JP2005081715A - レーザ加工装置およびレーザ加工方法 - Google Patents
レーザ加工装置およびレーザ加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005081715A JP2005081715A JP2003316605A JP2003316605A JP2005081715A JP 2005081715 A JP2005081715 A JP 2005081715A JP 2003316605 A JP2003316605 A JP 2003316605A JP 2003316605 A JP2003316605 A JP 2003316605A JP 2005081715 A JP2005081715 A JP 2005081715A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- workpiece
- laser beam
- laser processing
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【課題】 被加工物の端部に切り欠きを設けたり冷却する必要がなく、簡単に精度良くスクライブラインを形成することができるレーザ加工装置およびレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】 板体状の被加工物11にレーザ光20を照射することにより被加工物11にスクライブラインを形成する。対物レンズ7および対物レンズ移動機構8により、レーザ光20の焦点位置を、被加工物11の厚さ方向内部または外部に合わせてレーザ光20を被加工物11に照射する。レーザ光20の照射により被加工物11に局所的な蒸散を起こし、従来のような冷却あるいは外力を加える必要なく、レーザ光20のみにより正確に精度よくスクライブラインが形成される。
【選択図】 図1
【解決手段】 板体状の被加工物11にレーザ光20を照射することにより被加工物11にスクライブラインを形成する。対物レンズ7および対物レンズ移動機構8により、レーザ光20の焦点位置を、被加工物11の厚さ方向内部または外部に合わせてレーザ光20を被加工物11に照射する。レーザ光20の照射により被加工物11に局所的な蒸散を起こし、従来のような冷却あるいは外力を加える必要なく、レーザ光20のみにより正確に精度よくスクライブラインが形成される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ガラス基板のような被加工物に対してレーザ光を照射してスクライブラインを形成するレーザ加工装置およびレーザ加工方法に関する。
液晶表示装置のTFT(Thin Film Transistor;薄膜トランジスタ)基板や有機EL(electroluminescence)表示装置の基板として用いられるガラス基板や石英基板は、個々の表示パネルとなる一枚ずつを別個に作製する場合もあるが、近年では、余程の大型表示パネル以外は、大面積の基板(以下、これを大基板とも呼ぶ)に複数パネルを作り込み、それを切断することで個々のパネルとして分割することが一般的になって来ている。そのような大基板を分割する技術としては、大別すると下記の2種類がある。
まず第1に、機械的切削および外力印加によって分割を行うという方法がある。これは、ダイヤモンドや炭化タングステンのような硬度の極めて高い材質の工具を用いて、ガラス基板のような透明基板の表面にスクライブラインと呼ばれる刻線を形成した後、そのスクライブラインに曲げ応力または剪断応力が集中するように外力を加えることで、そのスクライブラインに沿った分割を行うというものである。
第2に、例えば特許文献1に提案されているように、レーザによる急加熱および急冷ならびに外力によって分割を行うという方法がある。
この方法は、さらに詳しくは、例えばCO2 レーザを基板に照射して急加熱したのちに液体状の冷媒等を吹き付けて急冷し、このときの熱衝撃によって生成した筋状に連なるクラックに沿って外力を与えることで、そのクラックに沿って基板を分割する、というものである。
特許第3027768号明細書
特開2001−179473号公報
しかしながら、まず第1に、機械的切削によるスクライブラインを用いた分割方法では、スクライブライン作成時にガラスの切削粉のような塵埃が発生して基板自体や周囲を汚してしまうという問題があった。また、スクライブライン作成時に基板面にマイクロクラックが発生し、分割時にはそのマイクロクラックの部分に応力が集中して、端部の欠けや精度不良等が発生するという問題があった。更に、機械的切削を効率良くかつ正確に行うためには、硬くて鋭利で高価な工具を使用し、かつその切れ味が鈍らないように頻繁に交換する必要があり、その管理が繁雑でありまたランニングコスト等が高価につくという問題があった。
第2に、レーザによる急加熱および急冷ならびに外力によって分割を行うという方法では、基板端部のスクライブが難しく、端部にレーザおよび急冷によるクラックとは別に予め切り欠きを設けておくことなどが必要であり、プロセスが煩雑であるという問題や、スクライブラインの直交部の精度が悪くなる虞があるという問題があった。また、冷媒の液体を吹き付けるため、基板が汚れるという問題があった。
更に、張り合わせ基板を分割する場合には、その表裏2枚の基板のそれぞれに表面からレーザを照射してスクライブラインを形成するので、基板の表裏を反転させる作業が必要であり、加工装置全体が大型化しタクトも増大してしまうという問題があった。
加えて、楕円状ビームのレーザ光を照射し、かつ冷媒を吹き付けるためのノズル等も必要であるため、加工装置全体が複雑化しタクトも増大してしまうという問題があった。
なお、特許文献2には、線幅に対する長手方向の長さが20倍から2000倍の線状レーザ光を照射することにより基板を分断することが提案されている。しかしながら、線状ビームでは、曲線状のスクライブラインを形成する場合にスクライブラインの線幅が一定しないものとなってしまったり、直交するスクライブラインを形成する場合に基板の回転作業が必要になり、装置が大型化してしまうという問題があった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、基板端部に切り欠きを設けたり冷却する必要がなく、スクライブラインを簡単に精度良く形成することのできるレーザ加工装置およびレーザ加工方法を提供することにある。
本発明によるレーザ加工装置は、板体状の被加工物にレーザ光を照射することによって被加工物にスクライブラインを形成するものであって、レーザ光の焦点位置を被加工物の厚さ方向内部または外部に合わせる焦点位置調節手段を備えたものである。ここで焦点位置調節手段は、レーザ光を照射しながら同時的に焦点位置の調節を行ってもよいし、予め焦点位置を調節したのちレーザ光を照射するようにしてもよい。
本発明によるレーザ加工方法は、板体状の被加工物にレーザ光を照射することによって被加工物にスクライブラインを形成するものであって、レーザ光の焦点位置を被加工物の厚さ方向内部または外部に合わせて被加工物に照射するようにしたものである。ここで焦点位置は、レーザ光を照射しながら同時的に調節して合わせてもよく、予め調節したのちレーザ光を照射してもよい。
本発明によるレーザ加工装置または本発明によるレーザ加工方法では、レーザ光の焦点位置を、被加工物の厚さ方向内部または外部に合わせるようにしたので、被加工物の端部に切り欠きを設けたり冷却したりしなくても、レーザ光のみにより正確なスクライブラインが形成される。
本発明のレーザ加工装置またはレーザ加工方法によれば、レーザ光の集光焦点位置を、被加工物の厚さ方向内部または外部に合わせるようにしたので、被加工物の端部に切り欠きを設けたり冷却したりしなくても、レーザ光のみによりスクライブラインを簡単に精度良く形成することができる。また、被加工物自体や周囲への汚染を生じることがなく、低コストで高精度なスクライブラインを形成することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施の形態に係るレーザ加工装置の概要構成を表したものである。このレーザ加工装置は、板体状の被加工物11にレーザ光20を照射することにより被加工物11にスクライブラインを形成するためのものである。被加工物11は、レーザ光20に対して透過性を有する透明基板でもよく、透過性を有しない不透明基板でもよい。透明基板としては、例えば、厚さ0.7mmのガラス基板があげられ、不透明基板としては、例えば、窒化ガリウム(GaN)基板があげられる。
レーザ光20は、パルス発振レーザであることが好ましい。光ピークパワーが高くスクライブラインの形成に好適であるからである。具体的には、例えば、YAGレーザ、YLFレーザ、YVO4レーザおよびガラスレーザのうちの1種類の第3高調波が好ましい。中でも、Nd:YAGレーザの第3高調波(波長355nm±1nm)あるいはYb:YAGレーザの第3高調波(波長343nm±1nm)、または、Nd:YLFレーザの第3高調波(波長349nm±1nm、または351±1nm)がより好ましい。高い光ピークパワーを被加工物11の一部分に集中照射することによって非線形吸収を誘起し、その一部分を高温にすることにより被加工物11を局所的に蒸散させてスクライブラインを形成することができるからである。また、特に被加工物11が透明基板である場合には、透明基板に対する適度な透過性を有するので、後述するように被加工物11の裏側にスクライブラインを形成することも可能であると共に、表側に意図しない溶融痕や歪みや損傷等を発生させることを防止することができるからである。レーザ光20の照射条件としては、例えば、被加工物11が透明基板である場合には、レーザダイオード(LD)励起YAGレーザの第3高調波、平均出力10W、波長355nm、繰り返し周波数10kHz、パルス幅20ns、パルスエネルギー1mJ/pulseとすることができる。
レーザ光20は、スポット形状がほぼ円形状または楕円形状であることが好ましい。直交するスクライブラインあるいは曲線状のスクライブラインを精度良く形成することができるからである。
レーザ加工装置は、例えば、レーザ発振器1と、冷却装置2と、レーザ電源3と、コリメータ4と、アッテネータ5と、ビームエキスパンダ6と、対物レンズ7と、対物レンズ移動機構8と、駆動電源9と、位置センサ10と、被加工物11を載置するステージ12と、制御用コンピュータ13と、モニタ14と、立ち下げミラー16とを、その主要部として備えている。
レーザ発振器1は、被加工物11に照射されるレーザ光20を出力するものである。冷却装置2は、レーザ光20の出力に伴って発熱するレーザ発振器1を冷却するためのものである。レーザ電源3は、レーザ発振器1にレーザ出力用の電源電力を供給するものである。コリメータ4は、レーザ発振器1からパルス的に出力されるレーザ光20をさらに正確な平行光にするためのコリメート光学系である。アッテネータ5は、レーザ光20の透過光量を調整するためのものであり、例えば1/2波長板と偏光ビームスプリッタとを有している。
ビームエキスパンダ6は、レーザ発振器1から出力されてコリメータ4、アッテネータ5を通って供給されて来るレーザ光20のビーム径およびスポット形状の調整を行うものである。ビームエキスパンダ6は、倍率が変更できるように設定されており、集光部のNA(Numerical Aperture;開口数)を調整することができるようになっている。
対物レンズ7および対物レンズ移動機構8は、レーザ光20の焦点位置(ビームウェスト位置)を被加工物11の厚さ方向内部または外部に合わせる焦点位置調節部である。対物レンズ7は、後述する対物レンズ移動機構8により光軸方向(z軸方向)に可動であり、レーザ光20の焦点位置を被加工物11の厚さ方向内部または外部の任意の位置に設定することができるようになっている。対物レンズ移動機構8は、対物レンズ7の位置を被加工物11の表面に対して垂直方向に移動させることでレーザ光20の焦点位置の調節の制御を行うものである。駆動電源9は、対物レンズ移動機構8に駆動用電源電力を供給するものである。
位置センサ10は、レーザ光20の光軸方向での被加工物11の表面の位置、すなわちz軸方向の位置を測定し、その測定結果の情報を対物レンズ移動機構8へとフィードバックさせることで、レーザ光20の焦点位置の調節のフィードバック制御ループを構成するための測定装置である。
ステージ12は、透明基板のような板体状の被加工物11を載置して、その水平方向(いわゆるx,y方向)の位置を移動および微調節するための移動テーブル(可動載置台)である。被加工物11はステージ12上に載置され、所定の移動速度で水平方向にその位置を移動できるように設定されている。
制御用コンピュータ13は、このレーザ加工装置における主要な動作についての各種制御を行うものである。モニタ14は、パーソナルコンピュータのような情報処理装置に付設されるモニターのように、制御用コンピュータ13の動作状態や各種コマンドの稼働状況のモニタリング等を行うことができるように、それら各種の情報を表示出力するためのものである。
立ち下げミラー16は、ビームエキスパンダ6からのレーザ光20をその表面で反射させるなどして対物レンズ7へと導くものである。
このレーザ加工装置では、レーザ発振器1から出力されたレーザ光20は、コリメータ4を通して平行光とされ、アッテネータ5で光強度を調整されたのち、ビームエキスパンダ6でビーム径が調整され、対物レンズ7を通って被加工物11に照射される。ここでは、対物レンズ7および対物レンズ移動機構8により、レーザ光20の焦点位置を、被加工物11の厚さ方向内部または外部に合わせるようにしたので、レーザ光20の照射により局所的な蒸散が起こり、従来のような冷却あるいは外力を加える必要なく、レーザ光20のみにより正確に精度良くスクライブラインが形成される。なお、このとき、レーザ発振器1の出力、集光のNA、ステージ12の移動速度および被加工物11の表面に対するレーザ光20の焦点位置などのパラメータを変化させることにより、被加工物11に形成されるスクライブライン30の最適化を図ることが望ましい。
図2は、このレーザ加工装置によるレーザ加工方法の一例を表すものである。まず、図2(A)に示したように、レーザ光20の焦点位置を、被加工物11の表側の厚さ方向内部または外部に合わせて、図2(B)に示したように、レーザ光20が照射される側から見て被加工物11の表側にスクライブライン30を形成する。そののち、図2(C)に示したように、被加工物11に対して上に凸に褶曲するような曲げ応力を掛けることでスクライブライン30に沿った分割を行う。
なお、焦点位置の更に詳細な設定については、後述の実施例でその一例について更に具体的に説明するが、対物レンズ7のNAやレーザ発振器1からの出力パワーの大小等の各種要素に対応して異なることになるので、例えば予備実験を行って、その結果に基づいて、最も望ましい焦点位置を決定すればよい。
図3は、このレーザ加工装置によるレーザ加工方法の他の例を表すものである。まず、図3(A)に示したように、レーザ光20の焦点位置を、被加工物11の裏側の厚さ方向内部または外部に合わせて、図3(B)に示したように、レーザ光20が照射される側から見て被加工物11の裏側にスクライブライン30を形成する。そののち、図3(C)に示したように、被加工物11に対して下に凸(換言すれば凹)に褶曲するような曲げ応力を掛けることでスクライブライン30に沿った分割を行う。
このように被加工物11の裏側近傍に焦点位置を合わせる場合、被加工物11は、照射するレーザ光20に対して透過性を有する、例えばガラス基板のような透明基板であることが好ましい。そのような透明基板は、レーザ光20が被加工物11の表面などで吸収・減衰されてしまわず、被加工物11の内部へと進んで裏側近傍で焦点を結び、効果的にスクライブライン30を形成することができるからである。
図3のように被加工物11の裏側にスクライブライン30を形成することの利点としては、スクライブライン30を形成した後に外力を与えることで分割を行うという分割作業を行う場合、大基板を表裏反転させる作業等を省略することができるということである。すなわち、スクライブライン30が形成された被加工物11を比較的柔らかい表面を有するテーブル上に置いた状態で、その上面からスクライブライン30に沿って下方に曲げ外力を印加することで、スクライブライン30に沿った分割(切断)を行うことができる。
図4は、このレーザ加工装置によるレーザ加工方法の更に他の例を表すものであり、レーザ光20の進行方向に重ねられた2枚の被加工物111,112を分割する場合を表している。この場合、被加工物111,112のうち少なくとも上側の被加工物112はレーザ光20に対して透明なものである必要があるが、下側の被加工物111は、レーザ光20に対して透明なものでもよいし、不透明なものでもよい。まず、1回目のレーザ照射では、図4(A)に示したように、レーザ光20の焦点位置を、下側の被加工物111の表側の厚さ方向内部または外部に合わせて、図4(B)に示したように、被加工物111の表側にスクライブライン30を形成する。次に、2回目のレーザ照射では、図4(C)に示したように、レーザ光20の焦点位置を、上側の被加工物112の表側の厚さ方向内部または外部に合わせて、図4(D)に示したように、上側の被加工物112の表側にもスクライブライン30を形成する。そののち、図4(E)に示したように、機械的な曲げ応力または剪断応力を掛けるなどして、スクライブライン30に沿った分割を行う。
図4に示したように、例えば液晶表示装置の製造プロセスなどにおいて2枚の被加工物111,112が接着剤などにより貼り合わせられている場合であっても、被加工物111,112の表側からレーザ光20を照射するだけで、被加工物111,112の両方の表側にスクライブライン30を形成することが可能となる。
図5は、このレーザ加工装置によるレーザ加工方法の更に他の例を表すものであり、2枚の被加工物111,112の各々の裏側にスクライブライン30を形成する場合を表している。この場合、被加工物111,112は、レーザ光20に対して透明なものであることが必要である。まず、1回目のレーザ照射では、図5(A)に示したように、レーザ光20の焦点位置を、下側の被加工物111の裏側の厚さ方向内部または外部に合わせて、図5(B)に示したように、被加工物111の裏側にスクライブライン30を形成する。次に、2回目のレーザ照射では、図5(C)に示したように、レーザ光20の焦点位置を、上側の被加工物112の裏側の厚さ方向内部または外部に合わせて、図5(D)に示したように、上側の被加工物112の裏側にもスクライブライン30を形成する。そののち、図5(E)に示したように、機械的な曲げ応力または剪断応力を掛けるなどして、スクライブライン30に沿った分割を行う。
図5に示したように、例えば液晶表示装置の製造プロセスなどにおいて2枚の被加工物111,112が接着剤などにより貼り合わせられている場合であっても、被加工物111,112の表側からレーザ光を照射するだけで、被加工物111,112の両方の裏側にスクライブライン30を形成することが可能となる。また、図3の場合と同様に、被加工物111,112を表裏反転させる作業が不要となる。
図6および図7は、ほぼ円形のスポットを有するレーザ光20によるレーザ加工方法の例を表している。レーザ光20をほぼ円形のスポット形状とすることにより、レーザ光20の走査方向を任意の角度や曲率で変化させてもスクライブライン30の幅はほとんど変化しない。よって、スクライブライン30のパターンの自由度が高くなり、例えば、図6に示したような曲線状のスクライブライン30を容易に形成することができる。これに対して、従来提案されていた線状ビームでは、曲線状のスクライブライン30を形成する場合に、スクライブライン30の線幅が一定しないものとなってしまうという致命的な不都合があった。しかし本実施の形態のようなほぼ円形のスポットを有するレーザ光20を用いることにより、どのような曲線状のスクライブライン30でも一定の線幅で形成することができるようになる。
あるいは、図7に示したような直交するスクライブライン30を、被加工物11を回転させることなく連続的に形成することなども可能となり、例えば小型液晶表示パネルの分割作業などに好適である。なお、加工速度を高めるため、レーザ光20のスポットは楕円形としてもよい。
このように本実施の形態では、レーザ光20の焦点位置を、被加工物11の厚さ方向内部または外部に合わせるようにしたので、レーザ光20を照射することにより被加工物11を局所的に蒸散させ、被加工物11の端部に切り欠きを設けたり冷却したりしなくても、レーザ光20のみによりスクライブライン30を簡単に精度良く形成することができる。また、被加工物11自体や周囲への汚染を生じることがなく、低コストで高精度なスクライブライン30を形成することができる。
特に、被加工物11として、レーザ光20に対して透過性を有する透明基板を用い、レーザ光20の焦点位置を、被加工物11の裏側に合わせれば、スクライブライン30を被加工物11の裏側に形成することができ、被加工物11を表裏反転させる作業が不要となる。
また、被加工物11として、被加工物111,112を複数積み重ねたものを用い、レーザ光20の焦点位置を、それらの被加工物111,112の表側または裏側に合わせれば、例えば液晶表示装置の製造プロセスなどにおいて被加工物111,112が接着剤などにより貼り合わせられている場合にも被加工物111,112の表側または裏側にスクライブライン30を形成することができる。
更に、レーザ光を、ほぼ円形または楕円形のスポットを有するようにすれば、曲線状のスクライブライン30あるいは直交するスクライブライン30を容易に形成することができる。
(変形例)
図8は、図1に示したレーザ加工装置の変形例を表す平面図であり、図9は、図8に示したレーザ加工装置によりスクライブライン30が形成された被加工物11の一例を表す平面図である。このレーザ加工装置は、複数のレーザ発振器1A,1Bと、これらのレーザ発振器1A,1Bからの複数のレーザ光20A,20Bの、被加工物11の表面の面内方向における間隔Lを調節する集光位置間隔調整機構15A,15Bとを備えていることを除いては、図1に示したレーザ加工装置と同一である。よって、図1と同様の構成要素については、レーザ発振器1Aに付属するものには図1と同じ符号にAを加えたものを付し、レーザ発振器1Bに付属するものには図1と同じ符号にBを加えたものを付し、その説明を省略する。なお、位置センサ10および対物レンズ移動機構8は、レーザ発振器1A,1Bに付属する光学系の各々に対応して設けられていることが好ましい。
図8は、図1に示したレーザ加工装置の変形例を表す平面図であり、図9は、図8に示したレーザ加工装置によりスクライブライン30が形成された被加工物11の一例を表す平面図である。このレーザ加工装置は、複数のレーザ発振器1A,1Bと、これらのレーザ発振器1A,1Bからの複数のレーザ光20A,20Bの、被加工物11の表面の面内方向における間隔Lを調節する集光位置間隔調整機構15A,15Bとを備えていることを除いては、図1に示したレーザ加工装置と同一である。よって、図1と同様の構成要素については、レーザ発振器1Aに付属するものには図1と同じ符号にAを加えたものを付し、レーザ発振器1Bに付属するものには図1と同じ符号にBを加えたものを付し、その説明を省略する。なお、位置センサ10および対物レンズ移動機構8は、レーザ発振器1A,1Bに付属する光学系の各々に対応して設けられていることが好ましい。
レーザ発振器1Aは、レーザ光20Aにより図3に示した被加工物11の左半分のスクライブライン30Aを形成するものである。また、レーザ発振器1Bは、レーザ光20Bにより、被加工物11の右半分のスクライブライン30Bを形成するものである。このようにレーザ発振器1A,1Bを設けることにより、作業時間を短縮して生産性を向上させることができる。
ここで、1本のスクライブライン30を形成するために割り当てるレーザ光20の照射時間を短くすることによっても作業時間の短縮は可能であるが、実際には、照射時間を短縮して有効なスクライブライン30を形成するためには、レーザ光20の光強度を極めて高くしなければならないので、被加工物11の表面のスクライブライン30付近に歪みや形状不良などが発生しやすいという不都合がある。このため、図8に示したように複数のレーザ発振器1A,1Bを設けた構成が、より有効で望ましい。
集光位置間隔調整機構15Aは、ビームエキスパンダ6A,立ち下げミラー16A,対物レンズ7A,対物レンズ移動機構8Aおよび位置センサ10Aを矢印A方向に移動可能となっている。また、集光位置間隔調整機構15Bは、ビームエキスパンダ6A,立ち下げミラー16A,対物レンズ7A,対物レンズ移動機構8Aおよび位置センサ10Bを矢印A方向に移動可能となっている。これにより、集光位置間隔調整機構15A,15Bは、レーザ光20A,20Bの間隔Lを、形成するパネル17のサイズWに応じて、例えばパネル17のサイズWの整数倍(L=nW(n=1,2,3…))になるように調整できるようになっている。
このように本変形例では、複数のレーザ発振器1A,1Bと、これらのレーザ発振器1A,1Bからの複数のレーザ光20A,20Bの、被加工物11の表面の面内方向における間隔Lを調節する集光位置間隔調整機構15A,15Bとを備えるようにしたので、形成するパネル17のサイズWに応じてレーザ光20A,20Bの間隔Lを調整し、生産性を向上させることができる。
次に、本発明の具体的な実施例について詳細に説明する。
(実施例1−1)
図1に示したレーザ加工装置を用いて、被加工物11にスクライブライン30を形成した。その際、被加工物11としては、厚さ0.7mmのガラス基板を用い、レーザ発振器1の出力、集光のNA、ステージ12の移動速度およびレーザ光20の焦点位置などのパラメータを変化させながら被加工物11に発生するスクライブライン30の最適化を図った。このときの条件としては、レーザ出力:3W,NA:0.046、走査速度:6mm/s、焦点位置:被加工物11の厚さ方向内部に0.15mmの深さとした。得られたスクライブライン30の写真を図10および図11に示す。この被加工物11に外力を加えたところ、スクライブライン30に沿って容易に分断することができた。
図1に示したレーザ加工装置を用いて、被加工物11にスクライブライン30を形成した。その際、被加工物11としては、厚さ0.7mmのガラス基板を用い、レーザ発振器1の出力、集光のNA、ステージ12の移動速度およびレーザ光20の焦点位置などのパラメータを変化させながら被加工物11に発生するスクライブライン30の最適化を図った。このときの条件としては、レーザ出力:3W,NA:0.046、走査速度:6mm/s、焦点位置:被加工物11の厚さ方向内部に0.15mmの深さとした。得られたスクライブライン30の写真を図10および図11に示す。この被加工物11に外力を加えたところ、スクライブライン30に沿って容易に分断することができた。
図10および図11から分かるように、形状不良や破損等がなく、被加工物11の表面から垂直な方向に深い正確なスクライブライン30を形成することができた。
(実施例1−2)
焦点位置を被加工物11の厚さ方向内部に0.25mmの深さに合わせたことを除き、実施例1−1と同様にしてスクライブライン30を形成した。得られたスクライブライン30の写真を図12(B)に示す。なお、図12(A)は、図10と同じものを対比のために示した。
焦点位置を被加工物11の厚さ方向内部に0.25mmの深さに合わせたことを除き、実施例1−1と同様にしてスクライブライン30を形成した。得られたスクライブライン30の写真を図12(B)に示す。なお、図12(A)は、図10と同じものを対比のために示した。
(比較例)
焦点位置を被加工物11の厚さ方向内部に0.0mm、すなわち被加工物11の表面に合わせたことを除き、実施例1−1と同様にしてスクライブラインを形成した。得られたスクライブラインの写真を図12(C)に示す。
焦点位置を被加工物11の厚さ方向内部に0.0mm、すなわち被加工物11の表面に合わせたことを除き、実施例1−1と同様にしてスクライブラインを形成した。得られたスクライブラインの写真を図12(C)に示す。
実施例1−1および実施例1−2ではいずれも、比較例に比べて、破損あるいは形状不良が少なく、精度良好なスクライブライン30を形成することができた。これに対して、焦点位置を被加工物11の表面に合わせた比較例では、破損や形状不良が多発した。すなわち、上述の照射パラメータによる本実施例および比較例においては、レーザ光20の焦点位置を、被加工物11の表面でなく厚さ方向内部に合わせることにより、精度良いスクライブライン30を形成できることが分かった。
この他にも、NAやレーザ光の出力パワーを種々に変更した実験を行ったところ、上記実施例と同様に、焦点位置が被加工物11の厚さ方向において深過ぎても浅過ぎても破損や形状不良が発生するという結果が得られた。
これらの結果から、破損や形状不良等を発生することなく正確なスクライブラインを形成するためには、適切な焦点位置の制御が重要であり、その焦点位置としては、深過ぎても浅過ぎても良くなく、レーザ光20の波長や光強度と被加工物11の材質との兼ね合いで適切な焦点位置を、本実施例で行ったような予備実験等によって捜し当てることができることが分かった。
また、大基板の全面に亘って確実に正確なスクライブライン30を形成するためには、被加工物11の厚さのむらや平坦度の誤差、ステージ12の平面性から生じるZ方向のフォーカスずれ等を、補正する機能が必要となる。本実施例では、対物レンズ7の近隣に位置センサ10を設置して、この位置センサ10から得られる被加工物11の表面の位置信号に基づいて対物レンズ7のz軸方向の位置を、対物レンズ移動機構8によって微調整した。このときの調整範囲は、上記の実験結果から判断して、±0.1mm程度でよく、この方法で十分な制御精度が得られた。また、NAを大きくした場合は焦点深度が浅くなる傾向にあるので、より高い制御精度が必要とされるが、その場合でも本実施例で用いたレーザ加工装置は十分に対応可能であった。
(実施例2)
被加工物11として、レーザ光20に対して非透過性の窒化ガリウム(GaN)基板を用い、実施例1と同様のレーザ加工装置によりスクライブライン30を形成した。照射条件は、レーザ出力:3W、NA:0.023、走査速度:6mm/s、焦点位置は、GaN基板の厚さ方向外部に0.6mmの位置に合わせた。得られたスクライブライン30の写真を図13および図14に示す。この被加工物11に外力を加えたところ、スクライブライン30に沿って容易に分断することができた。
被加工物11として、レーザ光20に対して非透過性の窒化ガリウム(GaN)基板を用い、実施例1と同様のレーザ加工装置によりスクライブライン30を形成した。照射条件は、レーザ出力:3W、NA:0.023、走査速度:6mm/s、焦点位置は、GaN基板の厚さ方向外部に0.6mmの位置に合わせた。得られたスクライブライン30の写真を図13および図14に示す。この被加工物11に外力を加えたところ、スクライブライン30に沿って容易に分断することができた。
図13および図14に示したように、形状不良や破損等がなく、被加工物11の表面から垂直な方向に深い鋭角なスクライブライン30を、正確に形成することができた。すなわち、被加工物11がレーザ光20に対して透過性を有しない場合であっても、集光焦点位置を、被加工物11の厚さ方向外部に合わせることにより、精度良いスクライブライン30を形成できることが分かった。
以上、実施の形態および実施例を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態および上記実施例に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、上記実施の形態および上記実施例では、レーザ加工装置の構成を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態および上記実施例において説明した全ての構成要素を備える必要はなく、また、他の構成要素を更に備えていてもよい。
また、例えば上記実施の形態および上記実施例では、レーザ光としてYAGレーザ等の第3高調波を用いる場合について説明したが、2倍波または4倍波を用いることも可能である。
本発明は、例えば液晶表示装置、有機EL表示装置などのガラス基板を用いた製造プロセス、または、半導体デバイス、電子デバイスなどの単結晶基板を用いた製造プロセスに適用可能である。
1…レーザ発振器、2…冷却装置、3…レーザ電源、4…コリメータ、5…アッテネータ、6…ビームエキスパンダ、7…対物レンズ、8…対物レンズ移動機構、9…駆動電源、10…位置センサ、11…被加工物、12…ステージ、13…制御用コンピュータ、14…モニタ、16…立ち下げミラー、20…レーザ光、30…スクライブライン
Claims (24)
- 板体状の被加工物にレーザ光を照射することによって前記被加工物にスクライブラインを形成するレーザ加工装置であって、
前記レーザ光の焦点位置を前記被加工物の厚さ方向内部または外部に合わせる集光焦点位置調節手段を備えた
ことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記レーザ光が、パルス発振レーザである
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザ光が、YAGレーザ、YLFレーザ、YVO4レーザおよびガラスレーザのうちの1種類の第3高調波である
ことを特徴とする請求項2記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザ光が、波長355±1nmあるいは波長343±1nmのYAGレーザ、または波長349±1nmあるいは波長351±1nmのYLFレーザである
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。 - 前記被加工物が、前記レーザ光に対して透過性を有する透明基板である
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザ光は、前記透明基板の一方の側から照射され、
前記焦点位置調節手段は、前記焦点位置を、前記透明基板における前記レーザ光が照射される側から見て裏側に合わせる
ことを特徴とする請求項5記載のレーザ加工装置。 - 前記被加工物が、前記透明基板を前記レーザ光の進行方向に複数積み重ねたものであり、
前記レーザ光は、前記複数の透明基板の一方の側から照射され、
前記焦点位置調節手段は、前記焦点位置を、前記複数の透明基板の各々における前記レーザ光が照射される側から見て表側または裏側に合わせる
ことを特徴とする請求項5記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザ光は、略円形または楕円形のスポットを有する
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザ光の光源に対する前記被加工物の表面の距離を測定する位置センサを備え、
前記焦点位置調節手段は、前記位置センサによって測定された距離に対応して前記焦点位置を調節する
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。 - 前記被加工物を載置する移動テーブルを備え、
前記移動テーブルが前記被加工物を前記レーザ光に対して相対的に前記被加工物の表面の面内方向に移動させる
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザ光を前記被加工物に対して相対的に前記被加工物の表面の面内方向に移動しながら照射する
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。 - 複数のレーザ光源と、
これらの複数のレーザ光源からの複数のレーザ光の、前記被加工物の表面の面内方向における間隔を調節する集光位置間隔調節手段を備えた
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。 - 板体状の被加工物にレーザ光を照射することによって前記被加工物にスクライブラインを形成するレーザ加工方法であって、
前記レーザ光の焦点位置を前記被加工物の厚さ方向内部または外部に合わせて前記被加工物に照射する
ことを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記レーザ光は、パルス発振レーザである
ことを特徴とする請求項13記載のレーザ加工方法。 - 前記レーザ光が、YAGレーザ、YLFレーザ、YVO4レーザ、ガラスレーザのうちの1種類の第3高調波である
ことを特徴とする請求項14記載のレーザ加工方法。 - 前記レーザ光が、波長355±1nmあるいは波長343±1nmのYAGレーザ、または波長349±1nmあるいは波長351±1nmのYLFレーザである
ことを特徴とする請求項13記載のレーザ加工方法。 - 前記被加工物が、前記レーザ光に対して透過性を有する透明基板である
ことを特徴とする請求項13記載のレーザ加工方法。 - 前記焦点位置を、前記透明基板における前記レーザ光が照射される側から見て裏側に合わせる
ことを特徴とする請求項17記載のレーザ加工方法。 - 前記被加工物が、前記透明基板を前記レーザ光の進行方向に複数重ねたものであり、
前記焦点位置を、前記複数の透明基板の各々における前記レーザ光が照射される側から見て表側または裏側に合わせる
ことを特徴とする請求項17記載のレーザ加工方法。 - 前記レーザ光は、略円形または楕円形のスポットを有する
ことを特徴とする請求項13記載のレーザ加工方法。 - 前記レーザ光の光源に対する前記被加工物の表面の距離を測定し、測定された距離に対応して前記焦点位置を調節する
ことを特徴とする請求項13記載のレーザ加工方法。 - 前記被加工物を移動テーブルに載置し、前記移動テーブルを前記レーザ光に対して相対的に前記被加工物の表面の面内方向に移動させる
ことを特徴とする請求項13記載のレーザ加工方法。 - 前記レーザ光を前記被加工物に対して相対的に前記被加工物の表面の面内方向に移動させながら照射する
ことを特徴とする請求項13記載のレーザ加工方法。 - 複数のレーザ光を、前記被加工物の表面の面内方向における間隔を調節して同時に照射することにより、複数本のスクライブラインを同時に形成する
ことを特徴とする請求項13記載のレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003316605A JP2005081715A (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003316605A JP2005081715A (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005081715A true JP2005081715A (ja) | 2005-03-31 |
Family
ID=34416448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003316605A Pending JP2005081715A (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005081715A (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007062074A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Seiko Epson Corp | 表示パネル、表示パネルのレーザスクライブ方法及び電子機器 |
JP2007537124A (ja) * | 2004-05-11 | 2007-12-20 | トップ エンジニアリング カンパニー リミテッド | 非金属材基板の切断装置及び切断方法 |
JP2008063207A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Tosoh Quartz Corp | 石英ガラス部材の製造方法及び石英ガラス部材 |
CN102463413A (zh) * | 2010-11-04 | 2012-05-23 | 奥林巴斯株式会社 | 激光加工装置 |
JP2012192415A (ja) * | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Disco Corp | レーザー加工装置 |
WO2014010488A1 (ja) * | 2012-07-10 | 2014-01-16 | 旭硝子株式会社 | ガラス板の加工方法 |
JP2014065630A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 脆性材料基板の分断方法及びスクライブ装置 |
JP2014065629A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 脆性材料基板の分断方法及びスクライブ装置 |
US8779326B2 (en) | 2006-11-08 | 2014-07-15 | Tel Solar Ag | Method and apparatus for laser beam alignment for solar panel scribing |
CN104136967A (zh) * | 2012-02-28 | 2014-11-05 | 伊雷克托科学工业股份有限公司 | 用于分离增强玻璃的方法及装置及由该增强玻璃生产的物品 |
JP2016138743A (ja) * | 2013-08-28 | 2016-08-04 | イェノプティック オプティカル システムズ ゲーエムベーハー | 放射源の出力密度分布を測定するための装置 |
JP2017531813A (ja) * | 2014-09-30 | 2017-10-26 | エルジー・ケム・リミテッド | 偏光板の切断方法およびこれを用いて切断された偏光板 |
US9828278B2 (en) | 2012-02-28 | 2017-11-28 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for separation of strengthened glass and articles produced thereby |
US10357850B2 (en) | 2012-09-24 | 2019-07-23 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for machining a workpiece |
US10450216B2 (en) | 2013-03-26 | 2019-10-22 | AGC Inc. | Glass sheet processing method and glass sheet processing apparatus |
-
2003
- 2003-09-09 JP JP2003316605A patent/JP2005081715A/ja active Pending
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007537124A (ja) * | 2004-05-11 | 2007-12-20 | トップ エンジニアリング カンパニー リミテッド | 非金属材基板の切断装置及び切断方法 |
JP4742751B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2011-08-10 | セイコーエプソン株式会社 | 表示パネル、表示パネルのレーザスクライブ方法及び電子機器 |
JP2007062074A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Seiko Epson Corp | 表示パネル、表示パネルのレーザスクライブ方法及び電子機器 |
JP2008063207A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Tosoh Quartz Corp | 石英ガラス部材の製造方法及び石英ガラス部材 |
US8779326B2 (en) | 2006-11-08 | 2014-07-15 | Tel Solar Ag | Method and apparatus for laser beam alignment for solar panel scribing |
KR101430277B1 (ko) * | 2006-11-08 | 2014-08-18 | 텔 쏠라 아게 | 솔라 패널의 라인 스크라이브를 위한 레이저 빔 얼라인먼트 장치와 이 장치로 제조되는 솔라 패널 |
CN102463413A (zh) * | 2010-11-04 | 2012-05-23 | 奥林巴斯株式会社 | 激光加工装置 |
JP2012096277A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Olympus Corp | レーザ加工装置 |
JP2012192415A (ja) * | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Disco Corp | レーザー加工装置 |
CN104136967A (zh) * | 2012-02-28 | 2014-11-05 | 伊雷克托科学工业股份有限公司 | 用于分离增强玻璃的方法及装置及由该增强玻璃生产的物品 |
US9828277B2 (en) | 2012-02-28 | 2017-11-28 | Electro Scientific Industries, Inc. | Methods for separation of strengthened glass |
CN104136967B (zh) * | 2012-02-28 | 2018-02-16 | 伊雷克托科学工业股份有限公司 | 用于分离增强玻璃的方法及装置及由该增强玻璃生产的物品 |
US9828278B2 (en) | 2012-02-28 | 2017-11-28 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for separation of strengthened glass and articles produced thereby |
JP2015511571A (ja) * | 2012-02-28 | 2015-04-20 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 強化ガラスの分離のための方法及び装置並びにこれにより生成された製品 |
CN104854046A (zh) * | 2012-07-10 | 2015-08-19 | 旭硝子株式会社 | 玻璃板的加工方法 |
US9334188B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-05-10 | Asahi Glass Company, Limited | Method for processing glass plate |
CN104854046B (zh) * | 2012-07-10 | 2017-06-23 | 旭硝子株式会社 | 玻璃板的加工方法 |
WO2014010488A1 (ja) * | 2012-07-10 | 2014-01-16 | 旭硝子株式会社 | ガラス板の加工方法 |
US10357850B2 (en) | 2012-09-24 | 2019-07-23 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for machining a workpiece |
JP2014065629A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 脆性材料基板の分断方法及びスクライブ装置 |
JP2014065630A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 脆性材料基板の分断方法及びスクライブ装置 |
US10450216B2 (en) | 2013-03-26 | 2019-10-22 | AGC Inc. | Glass sheet processing method and glass sheet processing apparatus |
JP2016138743A (ja) * | 2013-08-28 | 2016-08-04 | イェノプティック オプティカル システムズ ゲーエムベーハー | 放射源の出力密度分布を測定するための装置 |
JP2017531813A (ja) * | 2014-09-30 | 2017-10-26 | エルジー・ケム・リミテッド | 偏光板の切断方法およびこれを用いて切断された偏光板 |
US10821553B2 (en) | 2014-09-30 | 2020-11-03 | Lg Chem, Ltd. | Method for cutting polarizing plate and polarizing plate cut using same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5670647B2 (ja) | 加工対象物切断方法 | |
JP5171294B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP4791248B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP5452247B2 (ja) | レーザダイシング装置 | |
WO2014156828A1 (ja) | レーザ加工方法 | |
US7754582B2 (en) | Laser processing method | |
US20110132885A1 (en) | Laser machining and scribing systems and methods | |
JP5216017B2 (ja) | 脆性材料基板の分断方法 | |
JP2004528991A5 (ja) | ||
JP2005081715A (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
JP2004528991A (ja) | レーザーによる部分加工 | |
JPH0929472A (ja) | 割断方法、割断装置及びチップ材料 | |
JP2005179154A (ja) | 脆性材料の割断方法およびその装置 | |
JPWO2007094348A1 (ja) | レーザスクライブ方法、レーザスクライブ装置、及びこの方法または装置を用いて割断した割断基板 | |
WO2012063348A1 (ja) | レーザ加工方法及び装置 | |
JP4615231B2 (ja) | スクライブ装置およびこの装置を用いたスクライブ方法 | |
JP6050002B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP2007260749A (ja) | レーザ加工方法、レーザ加工装置及び脆性材料の加工品 | |
JP2010201479A (ja) | レーザ光加工装置及びレーザ光加工方法 | |
JP2009220142A (ja) | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 | |
JP2010173316A (ja) | スクライブ加工装置及びスクライブ加工方法 | |
KR20130126287A (ko) | 기판 절단 장치 및 방법 | |
JP2006061954A (ja) | 基板加工装置および基板加工方法 | |
KR20080093321A (ko) | 레이저가공 장치 | |
JP2005142303A (ja) | シリコンウエーハの分割方法および分割装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060529 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090811 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100105 |