JP5171294B2 - レーザ加工方法 - Google Patents
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Description
[1]ワーク(半導体ウェーハ)
図1は、本実施形態での加工対象である薄板状のワークを示している。このワークはシリコン等を材料とする円盤状の半導体ウェーハ(以下、ウェーハと略称)である。このウェーハ1は、例えば、厚さが200μm程度、直径が200mm程度のものである。ウェーハ1の外周部の一部には、結晶方位を示すマークとしてオリエンテーションフラット2が形成されている。
レーザ加工装置10は基台11を有しており、この基台11上には、XY移動テーブル12が、水平なX軸方向およびY軸方向に移動自在に設けられている。このXY移動テーブル12の上に上記チャックテーブル41が設置されており、XY移動テーブル12がX軸方向やY軸方向に移動することにより、レーザヘッド52からウェーハ1の分割予定ラインA,Bに沿ってレーザ光線が照射されるようになっている。
次に、本発明のレーザ加工方法に基づく溝形成方法を上記レーザ加工装置10によって実施する例を説明する。溝形成に係る動作は、制御手段70によって制御される。
X軸ベース20をX軸方向に移動させて、ウェーハ1をレーザヘッド52から照射されるレーザ光線の焦点からX方向に外れた位置に位置付ける。また、Y軸ベース30を割り出し方向(Y軸方向)に移動させて、1本の分割予定ラインAのY軸方向位置をレーザ光線の焦点に合致させる、すなわち割り出しを行う。さらに、ケーシング51の上下位置を調整して、レーザヘッド52から照射されるレーザ光線の焦点を分割予定ラインAに所定深さの溝が形成される位置に定める。
全ての分割予定ラインAに第1の溝G1を形成し終えたら、チャックテーブル41を90°回転させて分割予定ラインBをX方向と平行に設定するアライメント作業を行う。この後は、上記の第1の分割予定ラインA全てに第1の溝G1を形成した動作を同様に行うことにより、全ての第2の分割予定ラインBに溝(第2の溝G2、図5参照)を形成する。
・光源…LD励起QスイッチNd:YVO4
・波長…355nm
・繰り返し周波数…50kHz
・第1の出力(パルスエネルギー)…平均8W
・第2の出力(パルスエネルギー)…平均6W
・集光スポット径…φ15μm
・加工送り速度…200mm/秒
また、チップ3は一辺が約5mmの正方形状で、溝G1,G2の幅は25μm程度である。また、溝G1,G2の深さは20μm程度である。
全ての分割予定ラインBにレーザ光線を照射して第2次溝形成工程を終えたら、ウェーハ1に対する溝形成は完了する。この後は、各第1の溝G1と各第2の溝G2を、例えばブレードダイシングして各分割予定ラインA,Bを完全に切断し、各チップ3に個片化する。ブレードダイシングする場合には、ウェーハ1をチャックテーブル41からダイシングフレーム5ごと取り外し、ブレードダイシング装置にセットして行う。そして、ウェーハ1のダイシングが完了したら、ピックアップ装置によって各チップ3がダイシングテープ4から剥離されてピックアップされ、複数のチップ3が得られる。
上記本実施形態によれば、第2次溝形成工程において、第1の溝G1に到達する直前区間d2〜d3を、その手前までの区間d0〜d2よりも低い出力(第2の出力)でレーザ光線を照射している。区間d2〜d3は、レーザ光線の焦点から第1の溝G1までの距離が短く、レーザ光線照射によって生じる熱が他の部分に放散しにくくなって過熱状態になりやすい。従来は、この区間d2〜d3も後方の区間d0〜d2と同じ出力(第1の出力)でレーザ光線を照射していたため、過熱による影響が発生していた。ところが本実施形態では、区間d2〜d3を第1の出力よりも低い第2の出力でレーザ光線を照射するため、過熱が抑えられる。その結果、過熱によって発生していた不具合を防止することができる。ちなみにこの不具合とは、前述したように、区間d2〜d3での第2の溝G2の幅の拡大によるチップの変形や、抗折強度の低下による割れや破損の招来である。なお、チップ3の変形や抗折強度の低下は、溝形成の場合よりもフルカットした際に顕著に起きており、したがってフルカットする場合に出力の調整は特に有効と言える。
上記実施形態では、レーザ光線の出力を、第1の溝G1を通過してからの区間d0〜d2では第1の出力とし、次の第1の溝G1’の直前区間d2〜d3では第1の出力よりも低い第2の出力とするといったように、出力を単に2段階に調整している。本発明は、区間d0〜d2の出力よりも区間d2〜3の出力が低い条件を満足していれば、これら区間において出力は一定ではなく、始点d0から終点d4にわたって徐々に低下するように調整してもよい。
[比較例]
厚さ約700μm、チップの一辺が約5mmとなる格子状の分割予定ラインA,Bが形成されたシリコンウェーハを、UV硬化型のダイシングテープ(リンテック社製:D650)に貼着し、このダイシングテープをダイシングフレームに貼着した。そして、ダイシングフレームごと、図3に示したようなレーザ加工装置にセットし、以下の条件で分割予定ラインA,Bにレーザ光線を一定の出力で照射して溝を形成した。ここで第2の分割予定ラインBにレーザ光線を照射して第2の溝を形成する際、溝の先端部分の温度を、溝の始点から終点まで1μm単位で連続的に測定した。図6の線T1は、その温度測定値のプロットを連続させたものである。分割予定ラインA,Bに溝を形成した後は、ブレードダイシングにより分割予定ラインA,Bを完全に切断してウェーハをダイシングし、複数のチップに個片化した。
・波長…355nm
・繰り返し周波数…50kHz
・出力(パルスエネルギー)…8W
・集光スポット径…φ15μm
・加工送り速度…200mm/秒
第2の分割予定ラインBに照射するレーザ光線の出力以外は上記比較例と同じ条件でウェーハをダイシングし、チップをピックアップして得た。実施例でのレーザ光線の出力は以下の通りとした。まず、上記比較例で測定した第2の溝の先端部分の温度測定値T1に基づいて、始点から終点(図5でのd0〜d3に相当)まで形成される第2の溝の幅および深さが適正となるレーザ光線の出力変化値、すなわち出力調整情報(図6の線P)を算出した。そしてこの出力調整情報にしたがって、第2分割予定ラインBに、始点から終点にわたり出力を変化させながらレーザ光線を照射して第2の溝を形成した。なお、第2の溝を形成する際に、比較例と同様にして、溝の先端部分の温度を連続的に測定した。図6の線T2は、その温度測定値のプロットを連続させたものである。
切削ブレードのみでフルカットした以外の製造条件は上記比較例と同様にしてチップを得た場合のピックアップに要した応力(ピックアップ応力)を「1」とした場合、比較例のピックアップ応力は「2」であり、実施例のピックアップ応力は「1.4」であった。この結果から、実施例では熱影響によるUV硬化型のダイシングテープの変質が抑えられ、紫外線照射によるダイシングテープの粘着力低下が円滑に生じていることが認められた。また、図6に示すように、レーザ光線の出力を一定とした場合では、第1の溝の直前区間で温度が急激に上昇し(T1)、過熱状態が発生していることが判った。そしてこのT1の温度情報に基づいてレーザ光線の出力をPで示すように変化させることにより、第1の溝の直前区間での大幅な温度上昇が抑えられ(T2)、過熱の発生が抑えられていることが認められた。
41…チャックテーブル(保持手段)
50…レーザ光線照射手段
70…制御手段(記憶手段)
A…第1の分割予定ライン
B…第2の分割予定ライン
G1,G1’…第1の溝
G2…第2の溝
La…レーザ光線
P…出力調整情報
T1…温度変化情報
Claims (2)
- 第1の方向に延びる第1の分割予定ラインAと、該第1の分割予定ラインAと交差する方向に延びる第2の分割予定ラインBとが形成されたワークを保持手段で保持し、
該保持手段と、前記ワークにレーザ光線を照射するレーザ光線照射手段とを相対移動させる加工送りを行いながら、該レーザ光線照射手段から照射されるレーザ光線を、前記第1の分割予定ラインAおよび前記第2の分割予定ラインBに沿って照射して、該第1の分割予定ラインAに第1の溝G1を、また、該第2の分割予定ラインBに第2の溝G2をそれぞれ形成するレーザ加工方法であって、
前記第1の分割予定ラインAに沿って前記加工送りを行いながら、前記レーザ光線照射手段から第1の出力のレーザ光線を照射して該第1の分割予定ラインAに前記第1の溝G1を形成する第1次溝形成工程を行い、
次いで、前記第2の分割予定ラインBに沿って前記加工送りを行いながら、前記レーザ光線照射手段から該第2の分割予定ラインBにレーザ光線を照射して前記第2の溝G2を形成する第2次溝形成工程を行うにあたり、該第2の分割予定ラインBが前記第1の溝G1に到達する直前の所定位置までは、該レーザ光線照射手段から照射されるレーザ光線の出力を前記第1の出力とし、該直前の所定位置から前記第1の溝G1に到達するまでの間の区間は、該第1の出力よりも低い第2の出力でレーザ光線を照射し、
前記第2次溝形成工程においては、前記レーザ光線照射手段から前記第2の分割予定ラインBに照射されるレーザ光線が前記第1の溝G1を通過した直後の部分では、該レーザ光線の出力を前記第1の出力以上の第3の出力に調整すること
を特徴とするレーザ加工方法。 - 前記第2次溝形成工程を行うにあたっては、前記レーザ光線照射手段から前記第2の分割予定ラインBに照射されるレーザ光線が前記第1の溝G1を通過した直後から、該第1の溝G1に隣接して次に交差する第1の溝G1’に到達するまでの、該第2の分割予定ラインBの温度変化情報を予め取得しておくとともに、該温度変化情報に基づいて、前記レーザ光線照射手段から照射されるレーザ光線の出力を適切な値に調整するための出力調整情報を記憶手段に記憶しておき、
該記憶手段に記憶した前記出力調整情報にしたがって、前記レーザ光線照射手段から前記第2の分割予定ラインBに照射されるレーザ光線の出力を調整すること
を特徴とする請求項1に記載のレーザ加工方法。
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