CN104854046B

CN104854046B - 玻璃板的加工方法

Info

Publication number: CN104854046B
Application number: CN201380037049.8A
Authority: CN
Inventors: 斋藤勋; 永田孝弘
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 2012-07-10
Filing date: 2013-07-03
Publication date: 2017-06-23
Anticipated expiration: 2033-07-03
Also published as: JPWO2014010488A1; TW201412659A; US20150114044A1; CN104854046A; DE112013003503B4; DE112013003503T5; US9334188B2; WO2014010488A1; TWI593646B

Abstract

一种玻璃板的加工方法，其包括：划线工序，利用从玻璃板(10)的第一主面(11)向着玻璃板(10)的第二主面(12)透过玻璃板(10)的激光(20)对玻璃板(10)局部地进行加热，并且使玻璃板(10)上的激光(20)的照射位置发生位移，由此，在玻璃板(10)的至少第二主面(12)上形成划线(32)。

Description

玻璃板的加工方法

技术领域

本发明涉及玻璃板的加工方法。

背景技术

作为玻璃板的加工方法，已知如下方法：在玻璃板上形成划线后，对玻璃板施加外力，沿着划线将玻璃板切断(例如，参考专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-6320号公报

发明内容

发明所要解决的问题

利用激光对玻璃板进行加热，利用玻璃板中产生的热应力形成划线。以往，在玻璃板的激光的入射面上形成划线，在形成划线后需要将玻璃板翻转。

本发明鉴于上述课题而完成，其目的在于提供在形成划线后不翻转玻璃板就能够将玻璃板切断的玻璃板的加工方法。

用于解决问题的手段

本发明提供以下的玻璃板的加工方法。

(1)一种玻璃板的加工方法，其包括：

划线工序，利用从玻璃板的第一主面向着所述玻璃板的第二主面透过所述玻璃板的激光对所述玻璃板的一部分进行加热，并且使所述玻璃板上的所述激光的照射位置发生位移，由此，在所述玻璃板的至少第二主面上形成划线。

(2)如(1)所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，所述玻璃板的第二主面的一部分被所述激光加热而膨胀，利用膨胀的部分的拉应力在所述玻璃板的第二主面上形成所述划线。

(3)如(1)或(2)所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，利用从所述玻璃板的第一主面向着所述玻璃板的第二主面透过所述玻璃板的激光，在所述玻璃板的第二主面上形成划线，并且在所述玻璃板的第一主面上形成划线。

(4)如(3)所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述玻璃板的第一主面和第二主面这两个面以及所述玻璃板的端面这些面中的至少一个面上形成有成为所述划线的起点的初始裂纹。

(5)如(1)或(2)所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，利用从所述玻璃板的第一主面向着所述玻璃板的第二主面透过所述玻璃板的激光，仅在所述玻璃板的第一主面和第二主面中的第二主面上形成划线。

(6)如(5)所述的玻璃板的加工方法，其中，

在所述玻璃板的端面上形成有成为所述划线的起点的初始裂纹，

所述激光在所述玻璃板的第一主面上的功率密度(P1)与在所述玻璃板的第二主面上的功率密度(P2)之比(P1/P2)小于1.0。

(7)如(6)所述的玻璃板的加工方法，其中，所述激光在所述玻璃板的第一主面上的功率密度(P1)与在所述玻璃板的第二主面上的功率密度(P2)之比(P1/P2)为0.001以上。

(8)如(5)所述的玻璃板的加工方法，其中，仅在所述玻璃板的第二主面的外周的内侧的位置形成有成为所述划线的起点的初始裂纹。

(9)如(1)～(8)中任一项所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，利用从多张玻璃板各自的第一主面向着各自的第二主面透过所述多张玻璃板的所述激光，在所述多张玻璃板各自的至少第二主面上同时形成划线。

(10)如(1)～(9)中任一项所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，形成相互交叉的多条划线。

(11)如(1)～(10)中任一项所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，形成具有交叉的部分的划线。

(12)如(1)～(11)中任一项所述的玻璃板的加工方法，其中，所述激光的波长为250nm～5000nm。

(13)如(1)～(12)中任一项所述的玻璃板的加工方法，其中，所述玻璃板的第二主面上的所述激光的形状为圆形。

发明效果

根据本发明，提供在形成划线后不翻转玻璃板就能够将玻璃板切断的玻璃板的加工方法。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的玻璃板的加工方法的图。

图2是表示图1的玻璃板的上表面上的激光的照射形状的图。

图3是表示图1的玻璃板的下表面上的激光的照射形状的图。

图4是沿图2的IV-IV线的截面图。

图5是沿图2的V-V线的截面图。

图6是表示划线的一例的图。

图7是表示划线的另一例的图。

图8是表示本发明的第二实施方式的玻璃板的加工方法的图。

图9是图8的玻璃板的截面图并且是与图4对应的截面图。

图10是图8的玻璃板的截面图并且是与图5对应的截面图。

图11是表示本发明的第三实施方式的玻璃板的加工方法的图。

图12是表示本发明的第四实施方式的玻璃板的加工方法的图。

具体实施方式

以下，参考附图对用于实施本发明的方式进行说明。在各附图中，对相同或对应的构成标注相同或对应的标号，并省略说明。

[第一实施方式]

在本实施方式中，对在作为玻璃板的第一主面的上表面和作为玻璃板的第二主面的下表面上分别形成划线的方法进行说明。关于仅在玻璃板的上下表面中的下表面上形成划线的方法，在第二实施方式和第三实施方式中进行说明。

图1是表示本发明的第一实施方式的玻璃板的加工方法的图。图2是表示图1的玻璃板的上表面上的激光的照射形状的图。图3是表示图1的玻璃板的下表面上的激光的照射形状的图。图4是沿图2的IV-IV线的截面图。图5是沿图2的V-V线的截面图。图1～图4中，箭头方向表示玻璃板上的激光的照射位置的位移方向。图5中，箭头方向表示应力的作用方向。图4和图5中，夸张地示出玻璃板的热变形。玻璃板的热变形的状况可以通过有限元分析来确认。

玻璃板的加工方法包括在玻璃板10上形成划线31、32的划线工序。玻璃板10的玻璃的种类没有特别限定，可以列举例如钠钙玻璃、无碱玻璃等。玻璃板10的厚度根据玻璃板10的用途适当设定，例如为0.005cm～2.5cm。玻璃板10可以为未实施强化处理的玻璃板。

划线工序中，利用从玻璃板10的上表面11向着玻璃板10的下表面12透过玻璃板10的激光20对玻璃板10局部地进行加热，并且使玻璃板10上的激光20的照射位置发生位移。利用玻璃板10中产生的热应力在玻璃板10的上表面11上形成划线31，同时在玻璃板10的下表面12上形成划线32。由此，能够在不翻转玻璃板10的情况下，通过对玻璃板10施加外力而将玻璃板10切断。例如，将玻璃板10在不翻转的情况下载置到弹性体上，从上方按压玻璃板10，由此，使玻璃板10的下表面12中产生拉应力，从而能够将玻璃板10沿划线32切断。

在此，“上表面”是指朝上的表面，可以为水平面、相对于水平面倾斜的倾斜面中的任意一个表面。另外，“下表面”是指朝下的表面，可以为水平面、相对于水平面倾斜的倾斜面中的任意一个表面。

另外，在本实施方式中，在玻璃板10的上表面11上也形成了划线31，因此，玻璃板10的上表面11和下表面12上的切割精度良好。

此外，在本实施方式中，利用一束激光20在玻璃板10的上表面11、下表面12上各自同时形成划线，因此，形成在玻璃板10的上表面11、下表面12上的划线的位置关系容易成为期望的位置关系。例如，在激光20相对于玻璃板10的上表面11垂直地入射的情况下，从与玻璃板10的上表面11垂直的方向观察，形成在玻璃板10的上表面11上的划线31与形成在玻璃板10的下表面12上的划线32容易重合。因此，玻璃板10的切断面容易与玻璃板10的上表面11、下表面12垂直。

例如，如图1所示，可以在玻璃板10的端面13上预先形成有成为划线31、32的起点的初始裂纹33。初始裂纹33可以到达玻璃板10的上表面11、下表面12，也可以形成在玻璃板10的上表面11、下表面12上。初始裂纹33成为划线31、32的共同起点。

另外，在初始裂纹形成在玻璃板10的端面13上的情况下，可以仅到达玻璃板10的上表面11，也可以仅到达玻璃板10的下表面12，还可以不到达玻璃板10的上表面11和下表面12。另外，初始裂纹可以形成在玻璃板10的上表面11和下表面12各表面上，这种情况下，可以到达端面13，也可以不到达端面13。初始裂纹只要形成在玻璃板10的上表面11和下表面12这两个面以及玻璃板10的端面13这些面中的至少一个面上即可。

初始裂纹33的形成方法可以为通常的方法，例如，可以为使用切割机、锉刀、激光等的方法。在玻璃板10的端面13用砂轮进行了磨削的情况下，可以将通过磨削形成的微裂纹作为初始裂纹使用。

玻璃板10的上表面11的一部分被激光20加热，如图4和图5所示，以激光20的照射位置的移动轨迹为中心，左右对称地向上凸出而膨胀。在向上凸出而膨胀的部分，产生与激光20的照射位置的位移方向正交的方向的拉应力。由于该拉应力，以初始裂纹33为起点的裂纹沿着激光20的照射位置的移动轨迹延伸，从而形成划线31。划线31的前端位于玻璃板10的上表面11上的激光20的照射位置或其前方附近。

同样地，玻璃板10的下表面12的一部分被激光20加热，如图4和图5所示，以激光20的照射位置的移动轨迹为中心，左右对称地向下凸出而膨胀。在向下凸出而膨胀的部分，产生与激光20的照射位置的位移方向正交的方向的拉应力。由于该拉应力，以初始裂纹33为起点的裂纹沿着激光20的照射位置的移动轨迹延伸，从而形成划线32。划线32的前端位于玻璃板10的下表面12上的激光20的照射位置或其前方附近。

形成在玻璃板10的上表面11上的划线31和形成在玻璃板10的下表面12上的划线32随着玻璃板10上的激光20的照射位置的位移而延伸。玻璃板10上的激光20的照射位置的位移可以通过玻璃板10的支撑体相对于切割装置的框架的移动或旋转或者通过激光20的光源22的移动来进行，也可以通过两种方式来进行。另外，玻璃板10上的激光20的照射位置的位移也可以通过将从光源22出射的激光20朝向玻璃板10进行反射的电控光束扫描镜的旋转来进行。

是否能够在玻璃板10的上表面11、下表面12上分别形成划线主要由初始裂纹33的形成位置、激光20的照射条件决定。作为激光20的照射条件，可以列举例如：(1)光源22的输出功率、(2)激光20对玻璃板10的透射率、(3)玻璃板10的上表面11、下表面12上的激光20的照射形状、(4)玻璃板10的上表面11上的激光20的功率密度(P1)与玻璃板10的下表面12上的激光20的功率密度(P2)之比(P1/P2)等。

在将玻璃板10的上表面11上的激光20的强度设为I₀、将在玻璃板10中恰好移动距离(D)(单位[cm])时的激光20的强度设为I时，式I＝I₀×exp(-α×D)成立。该式被称为朗伯-比尔定律。α表示玻璃板10对激光20的吸收系数(单位[cm^-1])，由激光20的波长、玻璃板10的化学组成等决定。α利用紫外可见近红外分光光度计等进行测定。

玻璃板10对激光20的吸收系数(α)(单位[cm^-1])与激光20从玻璃板10的上表面11移动至下表面12的距离(M)(单位[cm])之积(α×M)优选大于0且为3.0以下。α×M在该范围内时，激光20对玻璃板10的内部透射率高，能够将玻璃板10的下表面12充分地加热。α×M更优选为0.3以下(内部透射率为74％以上)，进一步优选为0.105以下(内部透射率为90％以上)。α×M过小时，内部透射率过高，吸收效率过低，因此，优选为0.0005以上(内部透射率为99.95％以下)，更优选为0.002以上(内部透射率为99.8％以下)，进一步优选为0.004以上(内部透射率为99.6％以下)。内部透射率为假设在玻璃板10的上表面11上没有反射时的透射率。

另外，玻璃板10的加热温度可以为玻璃的退火点以下的温度。玻璃的温度超过玻璃的退火点的温度时，玻璃发生粘性流动，热应力被缓和，难以形成划线31、32。

在激光20垂直入射到玻璃板10的上表面11上的情况下，激光20从玻璃板10的上表面11移动至下表面12的距离(M)为与玻璃板10的板厚(t)相同的值。另一方面，在激光20倾斜入射到玻璃板10的上表面11上的情况下，根据斯涅尔定律发生折射，因此，在将折射角设为γ时，激光20从玻璃板10的上表面11移动至下表面12的距离(M)通过M＝t/cosγ的公式近似地求出。

作为光源22，例如使用波长为800nm～1100nm的近红外线(以下简称为“近红外线”)的激光器。作为近红外线激光器，可以列举例如：Yb光纤激光器(波长：1000～1100nm)、Yb圆盘激光器(波长：1000～1100nm)、Nd:YAG激光器(波长：1064nm)、高输出功率半导体激光器(波长：808～980nm)。这些近红外线激光器的输出功率高且廉价，并且容易将α×M调节至期望的范围。

另外，在本实施方式中，使用输出功率高且廉价的近红外线激光器作为光源22，但也可以使用波长为250nm～5000nm的光源。例如，可以列举：UV激光器(波长：355nm)、绿光激光器(波长：532nm)、Ho:YAG激光器(波长：2080nm)、Er:YAG激光器(2940nm)、使用中红外光参量振荡器的激光器(波长：2600～3450nm)等。另外，激光20的振荡方式没有限制，可以使用连续振荡激光的CW激光器、间歇振荡激光的脉冲激光器中的任意一种激光器。另外，激光20的强度分布没有限制，可以为高斯型也可以为平顶型。

在近红外线激光器的情况下，玻璃板10中的铁(Fe)的含量、钴(Co)的含量、铜(Cu)的含量越多，则吸收系数(α)越大。另外，这种情况下，玻璃板10中的稀土元素(例如，Yb)的含量越多，则稀土原子在吸收波长附近的吸收系数(α)越大。从玻璃的透明性和成本的观点出发，使用铁来调节吸收系数(α)，玻璃板10中可以实质上不含有钴、铜和稀土元素。

在玻璃板10的上表面11中，与激光20的位移方向正交的方向的尺寸W1越小，则向上凸出而膨胀的部分越陡峭，与激光20的位移方向正交的方向的拉应力越大。同样地，在玻璃板10的下表面12中，与激光20的位移方向正交的方向的尺寸W2越小，则向下凸出而膨胀的部分越陡峭，与激光20的位移方向正交的方向的拉应力越大。

因此，激光20在玻璃板10的上表面11上与位移方向正交的方向的尺寸W1优选为玻璃板10的板厚的75％以下。另外，激光20在玻璃板10的下表面12上与位移方向正交的方向的尺寸W2优选为玻璃板10的板厚的75％以下。玻璃板10的上表面11中向上凸出而膨胀的部分和玻璃板10的下表面12中向下凸出而膨胀的部分足够陡峭，从而产生足以在玻璃板10的上表面11、下表面12上形成划线的拉应力。另一方面，在玻璃板10的内部产生压应力，能够防止形成在玻璃板10的上表面11上的划线31与形成在玻璃板10的下表面12上的划线32连接成一条划线。另外，由于在玻璃板10的上表面11、下表面12上的激光20的照射位置产生拉应力，因此，不需要像以往那样为了产生拉应力而利用制冷剂对玻璃板10的照射位置的后方附近进行冷却。在此，为了使激光光学系统的设计变得容易，优选使玻璃板10的上表面11上的与位移方向正交的方向的尺寸W1与玻璃板10的下表面12上的与位移方向正交的方向的尺寸W2为激光的波长以上。

玻璃板10的上表面11上的激光20的位移方向的尺寸L1和玻璃板10的下表面12上的激光20的位移方向的尺寸L2各自没有特别限定。L1、L2短时，容易形成曲线状的划线31、32。另外，L1、L2长时，在玻璃板10上的特定位置的加热时间相同的情况下，玻璃板10上的激光20的照射位置的位移速度快，能够以短时间形成划线31、32。

玻璃板10的上表面11、下表面12上的激光20的照射形状可以多种多样，优选为圆形。在形成划线的曲线部分时，激光20的照射位置的轨迹的宽度恒定，划线的位置精度良好。

在激光20从玻璃板10的上表面11向着玻璃板10的下表面12透过玻璃板10的过程中，激光20的强度(W)根据朗伯-比尔定律发生衰减。并且，玻璃板10的激光20所透过的部分的温度主要由激光20的功率密度(单位[W/cm²])等决定。

因此，激光20在玻璃板10的上表面11上的功率密度(P1)与在玻璃板10的下表面12上的功率密度(P2)之比(P1/P2)优选为0.5～2.0。P1/P2通过式P1/P2＝S2/S1/exp(-α×M)来计算。S1表示玻璃板10的上表面11上的激光20的照射面积，S2表示玻璃板10的下表面12上的激光20的照射面积。P1/P2为0.5～2.0时，玻璃板10的上表面11上的激光20的照射位置的温度与玻璃板10的下表面12上的激光20的照射位置的温度达到同等程度。因此，玻璃板10的上表面11中向上凸出而膨胀的部分与玻璃板10的下表面12中向下凸出而膨胀的部分以同等程度变得陡峭。结果，形成在玻璃板10的上表面11上的划线31的深度与形成在玻璃板10的下表面12上的划线32的深度达到同等程度的深度。P1/P2更优选为0.6以上，进一步优选为0.67以上。另外，P1/P2更优选为1.67以下，进一步优选为1.5以下。

为了调节玻璃板10的上表面11上的激光20的照射面积(S1)与玻璃板10的下表面12上的激光20的照射面积(S2)之比(S1/S2)，在光源22与玻璃板10之间配设未图示的会聚透镜等。在激光20的会聚位置在玻璃板10的下侧时，S1/S2大于1。

玻璃板的加工方法可以进一步包括对玻璃板10施加外力从而沿着划线31、32将玻璃板10切断的断裂工序。能够对玻璃板进行切割。

本实施方式的玻璃板10的切割与现有的全切的情况相比，玻璃板10的上表面11和下表面12上的切割精度更良好。现有的全切是指如下切割：不形成划线，对玻璃板照射激光，利用制冷剂对该照射位置的后方进行冷却，利用在冷却位置产生的拉应力形成在板厚方向上贯通玻璃板10的裂纹。在本实施方式中，在玻璃板10的上表面11和下表面12上的激光20的照射位置产生拉应力，利用所产生的拉应力形成划线31、32。因此，划线31、32的前端位置与激光20的照射位置接近，容易使划线31、32的位置与激光20的轨迹一致。因此，在玻璃板10的上表面11和下表面12上形成的划线31、32的位置精度良好，玻璃板10的上表面11和下表面12上的切割精度良好。

另外，在划线工序中，如图6所示，可以形成相互交叉的多条划线321、322。这种情况下，初始裂纹形成在各划线321、322的起点处，而不形成在多条划线321、322的交点处。另外，在划线工序中，如图7所示，可以形成具有多个相互交叉的部分的划线323。这种情况下，初始裂纹形成在划线323的起点处，在划线323的一部分与该划线323的另一部分相交叉的附近，不形成初始裂纹。因此，在图6所示的例子、图7所示的例子中，在玻璃板10的不成为制品的部分(例如，玻璃板10的外周部)残留初始裂纹的痕迹，在玻璃板10的成为制品的部分不残留初始裂纹的痕迹。

[第二实施方式]

在第一实施方式中，在玻璃板的上表面和下表面上分别形成划线。与此相对，在本实施方式中，不同点在于仅在玻璃板的上下表面中的下表面上形成划线。以下，主要对不同点进行说明。

另外，在本实施方式中，对初始裂纹33形成在玻璃板10的端面13上的情况进行说明。关于初始裂纹33仅形成在玻璃板10的下表面12的外周的内侧的情况，在第三实施方式中进行说明。

图8是表示本发明的第二实施方式的玻璃板的加工方法的图。图9是图8的玻璃板的截面图并且是与图4对应的截面图。图10是图8的玻璃板的截面图并且是与图5对应的截面图。图8和图9中，箭头方向表示玻璃板上的激光的照射位置的位移方向。图10中，箭头方向表示应力的作用方向。图9和图10中，夸张地示出玻璃板的热变形。

玻璃板的加工方法包括在玻璃板10上形成划线32的划线工序。划线工序中，利用从玻璃板10的上表面11向着玻璃板10的下表面12透过玻璃板10的激光20对玻璃板10局部地进行加热，并且使玻璃板10上的激光20的照射位置发生位移。利用玻璃板10中产生的热应力，仅在玻璃板10的上表面11和下表面12中的下表面12上形成划线32。由此，能够在不翻转玻璃板10的情况下，通过对玻璃板10施加外力而将玻璃板10切断。例如，将玻璃板10在不翻转的情况下载置到弹性体上，从上方按压玻璃板10，由此，使玻璃板10的下表面12中产生拉应力，从而能够将玻璃板10沿划线32切断。

如图8所示，成为划线32的起点的初始裂纹33以到达玻璃板10的上表面11、下表面12的方式形成在玻璃板10的端面13上。另外，在初始裂纹33形成在玻璃板10的端面13上的情况下，可以仅到达玻璃板10的上表面11，也可以不到达玻璃板10的上表面11和下表面12，但优选到达玻璃板10的下表面12。

玻璃板10的下表面12的一部分被激光20加热，如图9和图10所示，以激光20的照射位置的移动轨迹为中心，左右对称地向下凸出而膨胀。在向下凸出而膨胀的部分，产生与激光20的照射位置的位移方向正交的方向的拉应力。由于该拉应力，以初始裂纹33为起点的裂纹沿着激光20的照射位置的移动轨迹延伸，从而形成划线32。划线32的前端位于玻璃板10的下表面12上的激光20的照射位置或其前方附近。划线32随着玻璃板10上的激光20的照射位置的位移而延伸。

激光20在玻璃板10的下表面12上与位移方向正交的方向的尺寸W2(参考图3)优选为玻璃板10的板厚以下。玻璃板10的下表面12中向下凸出而膨胀的部分足够陡峭，从而产生足以在玻璃板10的下表面12上形成划线32的拉应力。另一方面，在玻璃板10的内部产生压应力。由于在玻璃板10的下表面12上的激光20的照射位置产生拉应力，因此，不需要像以往那样为了产生拉应力而利用制冷剂对玻璃板10的照射位置的后方附近进行冷却。另一方面，玻璃板10的上表面11中向上凸出而膨胀的部分是平缓的，从而在玻璃板10的上表面11中产生不形成划线的程度的拉应力。在此，为了使激光光学系统的设计变得容易，优选使玻璃板10的下表面12上的与位移方向正交的方向的尺寸W2为激光的波长以上。

玻璃板10的下表面12上的激光20的位移方向的尺寸L2没有特别限定。L2短时，容易形成曲线状的划线。另外，L2长时，在玻璃板10上的特定位置的加热时间相同的情况下，玻璃板10上的激光20的照射位置的位移速度快，能够以短时间形成划线32。

玻璃板10的下表面12上的激光20的照射形状可以多种多样，优选为圆形。在形成划线的曲线部分时，激光20的照射位置的轨迹的宽度恒定，划线的位置精度良好。

激光20在玻璃板10的上表面11上的功率密度(P1)与在玻璃板10的下表面12上的功率密度(P2)之比(P1/P2)优选小于1.0。P1/P2小于1.0时，玻璃板10的上表面11上的激光20的照射位置的温度低，玻璃板10的下表面12上的激光20的照射位置的温度高。因此，与玻璃板10的上表面11中向上凸出而膨胀的部分相比，玻璃板10的下表面12中向下凸出而膨胀的部分更陡峭。因此，容易仅在玻璃板10的上表面11和下表面12中的下表面12上形成预定深度的划线32。P1/P2更优选为0.95以下，进一步优选为0.9以下。另一方面，为了使激光光学系统的设计变得容易，P1/P2优选为0.001以上。P1/P2更优选为0.002以上，进一步优选为0.004以上。

玻璃板的加工方法可以进一步包括对玻璃板10施加外力从而沿着划线32将玻璃板10切断的断裂工序。能够对玻璃板进行切割。

本实施方式的玻璃板10的切割与现有的全切的情况相比，玻璃板10的下表面12上的切割精度更良好。

[第三实施方式]

在本实施方式中，与第二实施方式同样地仅在玻璃板的上下表面中的下表面上形成划线，但与第二实施方式的不同点在于，初始裂纹不是形成在玻璃板的端面上，而是仅形成在玻璃板的下表面的外周的内侧。以下，主要对不同点进行说明。

图11是表示本发明的第三实施方式的玻璃板的加工方法的图。如图11所示，玻璃板的加工方法包括在玻璃板10上形成划线35的划线工序。划线工序中，利用从玻璃板10的上表面11向着玻璃板10的下表面12透过玻璃板10的激光20对玻璃板10局部地进行加热，并且使玻璃板10上的激光20的照射位置发生位移。利用玻璃板10中产生的热应力，仅在玻璃板10的上表面11和下表面12中的下表面12上形成划线35。由此，能够在不翻转玻璃板10的情况下，通过对玻璃板10施加外力而将玻璃板10切断。

如图11所示，成为划线35的起点的初始裂纹34仅形成在玻璃板10的下表面12的外周的内侧。初始裂纹34不到达玻璃板10的端面13，不形成在玻璃板10的端面13和上表面11上。因此，容易仅在玻璃板10的上表面11和下表面12中的下表面12上形成划线35，激光照射条件宽。例如，在玻璃板10的上表面11中向上凸出而膨胀的部分的斜面的倾斜与玻璃板10的下表面12中向下凸出而膨胀的部分的斜面的倾斜为同等程度的情况下，容易仅在玻璃板10的上表面11和下表面12中的下表面12上形成划线35。

[第四实施方式]

在第一实施方式中，在一张玻璃板的上下表面上形成划线，但在本实施方式中，不同点在于在多张玻璃板各自的上下表面上同时形成划线。以下，主要对不同点进行说明。

玻璃板的加工方法包括在多张玻璃板10A、10B各玻璃板上同时形成划线的划线工序。多张玻璃板10A、10B可以具有相同的厚度、相同的玻璃组成。将多张玻璃板10A、10B在重叠且不结合的情况下供于划线工序。

另外，本实施方式的多张玻璃板10A、10B具有相同的厚度、相同的玻璃组成，但也可以具有不同的厚度，还可以具有不同的玻璃组成。另外，也可以将多张玻璃板10A、10B在通过中间层结合的状态下供于划线工序。例如，可以将在多张玻璃板之间密封液晶材料而得到的液晶面板、将多张玻璃板利用树脂膜结合而得到的夹层玻璃供于划线工序。

划线工序中，利用从多张玻璃板10A、10B各自的上表面向着各自的下表面透过多张玻璃板10A、10B的激光20对各玻璃板10A、10B局部地进行加热，并且使各玻璃板10A、10B上的激光20的照射位置发生位移。这样，划线工序中，在各玻璃板10A、10B的上表面11A、11B上形成划线31A、31B，同时在各玻璃板10A、10B的下表面12A、12B上形成划线32A、32B。由此，得到与第一实施方式同样的效果。另外，在本实施方式中，利用一束激光20在多张玻璃板10A、10B各玻璃板上同时形成划线，因此，多张玻璃板10A、10B的切断面容易位于同一平面上。

各玻璃板10A、10B的划线形成条件(例如，初始裂纹的形成位置、激光的照射条件等)与第一实施方式的玻璃板10的划线形成条件相同。另外，各玻璃板10A、10B的热变形的状况与图4和图5所示的玻璃板10的热变形的状况相同。

另外，本实施方式的划线工序与第一实施方式同样地在多张玻璃板各自的上下表面上同时形成划线，但也可以与第二实施方式、第三实施方式同样地仅在多张玻璃板各自的上下表面中的下表面上同时形成划线。

实施例

[试验例1-1～试验例1-5]

试验例1-1～试验例1-5中，使激光相对于矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚1mm，旭硝子公司制造的钠钙玻璃(商品名：AS))的上表面垂直地入射。激光的光源使用Yb光纤激光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α)为0.57cm^-1，α×M为0.057(即，内部透射率为94.5％)。在玻璃板的上下表面上，使激光的照射形状为圆形，并且使激光的照射位置从玻璃板的一个长边至另一个长边与玻璃板的短边平行地发生位移。激光的照射位置的中心设置于距离玻璃板的一个短边为10mm(距离另一个短边为90mm)的位置。使用轮式切割机，以到达玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面上形成初始裂纹。通过目视确认在玻璃板的上下表面上是否形成了划线来进行评价。

将其他实验条件与评价结果一同示于表1中。表1所示的条件以外的条件在试验例1-1～试验例1-5中相同。以下的各表中，P表示光源的输出功率，v表示玻璃板的上下表面上的激光的照射位置的位移速度。另外，t表示玻璃板的板厚(mm)。其他符号的含义如上所述。

[表1]

试验例1-1～试验例1-3中，W1/t和W2/t分别为0.75以下，P1/P2在0.5～2.0的范围内，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分陡峭，产生了充分的拉应力，能够在玻璃板的上下表面上形成划线。试验例1-4中，不满足W1/t和W2/t为0.75以下且P1/P2为0.5～2.0这样的条件，并且也不满足W2/t为1.00以下且P1/P2小于1.0这样的条件，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分平缓，未产生充分的拉应力，未能在玻璃板的上下表面中的任意一个表面上形成划线。试验例1-5中，光源的输出功率比试验例1-4稍高，形成了在厚度方向上贯通玻璃板的裂纹。因此可知，在玻璃板的上下表面的膨胀的部分平缓的情况下，提高光源的输出功率时，会产生在板厚方向上贯通玻璃板的裂纹。试验例1-5中，认为与以往同样地主要在玻璃板上的激光的照射位置产生压应力，利用其反作用在玻璃板上的激光的照射位置的后方附近产生拉应力，由于该拉应力而产生裂纹。

[试验例2-1～试验例2-5]

试验例2-1～试验例2-5中，使激光相对于矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚1.8mm，旭硝子公司制造的钠钙玻璃(商品名：AS))的上表面垂直地入射。激光的光源使用Yb光纤激光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α)为0.57cm^-1，α×M为0.103(即，内部透射率为90.2％)。在玻璃板的上下表面上，使激光的照射形状为圆形，并且使激光的照射位置从玻璃板的一个长边至另一个长边与玻璃板的短边平行地发生位移。激光的照射位置的中心设置于距离玻璃板的一个短边为10mm(距离另一个短边为90mm)的位置。使用轮式切割机，以到达玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面上形成初始裂纹。通过目视确认在玻璃板的上下表面上是否形成了划线来进行评价。

将其他实验条件与评价结果一同示于表2中。表2所示的条件以外的条件在试验例2-1～试验例2-5中相同。

[表2]

试验例2-1～试验例2-3中，W1/t和W2/t分别为0.75以下，P1/P2在0.5～2.0的范围内，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分陡峭，产生了充分的拉应力，能够在玻璃板的上下表面上形成划线。试验例2-4中，不满足W1/t和W2/t为0.75以下且P1/P2为0.5～2.0这样的条件，并且也不满足W2/t为1.00以下且P1/P2小于1.0这样的条件，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分平缓，未产生充分的拉应力，未能在玻璃板的上下表面中的任意一个表面上形成划线。试验例2-5中，光源的输出功率比试验例2-4稍高，形成了在厚度方向上贯通玻璃板的裂纹。因此可知，在玻璃板的上下表面的膨胀的部分平缓的情况下，提高光源的输出功率时，会产生在板厚方向上贯通玻璃板的裂纹。

[试验例3-1]

试验例3-1中，使激光相对于玻璃组成与旭硝子公司制造的汽车用窗玻璃相同的矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚3.4mm)的上表面垂直地入射。激光的光源使用Yb光纤激光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α)为2.86cm^-1，α×M为0.972(即，内部透射率为37.8％)。在玻璃板的上下表面上，使激光的照射形状为圆形，并且使激光的照射位置从玻璃板的一个长边至另一个长边与玻璃板的短边平行地发生位移。激光的照射位置的中心设置于距离玻璃板的一个短边为10mm(距离另一个短边为90mm)的位置。使用轮式切割机，以到达玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面上形成初始裂纹。通过目视确认在玻璃板的上下表面上是否形成了划线来进行评价。

将其他实验条件与评价结果一同示于表3中。

[表3]

试验例3-1中，W1/t和W2/t分别为0.75以下，P1/P2在0.5～2.0的范围内，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分陡峭，产生了充分的拉应力，能够在玻璃板的上下表面上形成划线。

[试验例4-1]

试验例4-1中，将两张矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚1.0mm，旭硝子公司制造的钠钙玻璃(商品名：AS))重叠，使激光相对于各玻璃板的上表面垂直地入射。激光的光源使用Yb光纤激光器(波长1070nm)。各玻璃板对激光的吸收系数(α)为0.57cm^-1，各玻璃板中α×M为0.057(即，内部透射率为94.5％)。在各玻璃板的上下表面上，使激光的照射形状为圆形，并且使激光的照射位置从各玻璃板的一个长边至另一个长边与各玻璃板的短边平行地发生位移。激光的照射位置的中心设置于距离各玻璃板的一个短边为10mm(距离另一个短边为90mm)的位置。使用轮式切割机，以到达各玻璃板的上下表面的方式在各玻璃板的端面上形成初始裂纹。通过目视确认在各玻璃板的上下表面上是否形成了划线来进行评价。

将其他实验条件与评价结果一同示于表4中。表4中，玻璃板的板编号表示激光透过的顺序。激光透过第1号玻璃板后，再透过第2号玻璃板。

[表4]

试验例4-1中，W1/t和W2/t分别为0.75以下，P1/P2在0.5～2.0的范围内，因此，各玻璃板的上下表面的膨胀的部分陡峭，产生了充分的拉应力，能够在各玻璃板的上下表面上形成划线。

[试验例5-1～试验例5-3]

试验例5-1～试验例5-3中，使激光相对于玻璃组成与旭硝子公司制造的汽车用窗玻璃相同的矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚2.0mm)的上表面垂直地入射。激光的光源使用Yb光纤激光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α)为2.86cm^-1，α×M为0.572(即，内部透射率为56.4％)。在玻璃板的上下表面上，使激光的照射形状为椭圆形(短轴为位移方向)，并且使激光的照射位置从玻璃板的一个长边至另一个长边与玻璃板的短边平行地发生位移。激光的照射位置的中心设置于距离玻璃板的一个短边为15mm(距离另一个短边为85mm)的位置。使用轮式切割机，以到达玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面上形成初始裂纹。通过目视确认在玻璃板的上下表面上是否形成了划线来进行评价。

将其他实验条件与评价结果一同示于表5中。表5所示的条件以外的条件在试验例5-1～试验例5-3中相同。

[表5]

试验例5-1中，W1/t和W2/t分别为0.75以下，P1/P2在0.5～2.0的范围内，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分陡峭，产生了充分的拉应力，能够在玻璃板的上下表面上形成划线。试验例5-2中，不满足W1/t和W2/t为0.75以下且P1/P2为0.5～2.0这样的条件，并且也不满足W2/t为1.00以下且P1/P2小于1.0这样的条件，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分平缓，未产生充分的拉应力，未能在玻璃板的上下表面中的任意一个表面上形成划线。试验例5-3中，光源的输出功率比试验例5-2稍高，形成了在厚度方向上贯通玻璃板的裂纹。因此可知，在玻璃板的上下表面的膨胀的部分平缓的情况下，提高光源的输出功率时，会产生在板厚方向上贯通玻璃板的裂纹。

[试验例6-1～试验例6-3]

试验例6-1～试验例6-3中，使激光相对于玻璃组成与旭硝子公司制造的汽车用窗玻璃相同的矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚2.0mm)的上表面垂直地入射。激光的光源使用Yb光纤激光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α)为2.86cm^-1，α×M为0.572(即，内部透射率为56.4％)。在玻璃板的上下表面上，使激光的照射形状为椭圆形(长轴为位移方向)，并且使激光的照射位置的位移方向为与玻璃板的短边平行的方向，激光的照射位置的中心设置于距离玻璃板的一个短边为15mm(距离另一个短边为85mm)的位置。使用轮式切割机，以到达玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面上形成初始裂纹。通过目视确认在玻璃板的上下表面上是否形成了划线来进行评价。

将其他实验条件与评价结果一同示于表6中。表6所示的条件以外的条件在试验例6-1～试验例6-3中相同。

[表6]

试验例6-1中，W1/t和W2/t分别为0.75以下，P1/P2在0.5～2.0的范围内，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分陡峭，产生了充分的拉应力，能够在玻璃板的上下表面上形成划线。试验例6-2中，不满足W1/t和W2/t为0.75以下且P1/P2为0.5～2.0这样的条件，并且也不满足W2/t为1.00以下且P1/P2小于1.0这样的条件，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分平缓，未产生充分的拉应力，未能在玻璃板的上下表面中的任意一个表面上形成划线。试验例6-3中，光源的输出功率比试验例6-2稍高，形成了在厚度方向上贯通玻璃板的裂纹。因此可知，在玻璃板的上下表面的膨胀的部分平缓的情况下，提高光源的输出功率时，会产生在板厚方向上贯通玻璃板的裂纹。

[试验例7-1～试验例7-5]

试验例7-1～试验例7-5中，使激光相对于矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚1.1mm，旭硝子公司制造的钠钙玻璃(商品名：AS))的上表面垂直地入射。激光的光源使用Yb光纤激光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α)为0.57cm^-1，α×M为0.063(即，内部透射率为93.9％)。在玻璃板的上下表面上，使激光的形状为圆形，并且使激光的照射位置从玻璃板的一个长边至另一个长边与玻璃板的短边平行地发生位移。激光的照射位置的中心设置于玻璃板的一个短边为15mm(距离另一个短边为85mm)的位置。使用轮式切割机，以到达玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面上形成初始裂纹。通过目视确认在玻璃板的上下表面上是否形成了划线来进行评价。

将其他实验条件与评价结果一同示于表7中。表7所示的条件以外的条件在试验例7-1～试验例7-5中相同。

[表7]

试验例7-1～试验例7-2中，W1/t和W2/t分别为0.75以下，P1/P2在0.5～2.0的范围内，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分陡峭，产生了充分的拉应力，能够在玻璃板的上下表面上形成划线。试验例7-3中，W1/t和W2/t分别在0.75～1.00的范围内，P1/P2小于1.0，因此，玻璃板的下表面的膨胀的部分比玻璃板的上表面的膨胀的部分更陡峭，能够仅在玻璃板的上下表面中的下表面上形成划线。试验例7-4中，不满足W1/t和W2/t为0.75以下且P1/P2为0.5～2.0这样的条件，并且也不满足W2/t为1.00以下且P1/P2小于1.0这样的条件，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分平缓，未产生充分的拉应力，未能在玻璃板的上下表面中的任意一个表面上形成划线。试验例7-5中，光源的输出功率比试验例7-4稍高，形成了在厚度方向上贯通玻璃板的裂纹。因此可知，在玻璃板的上下表面的膨胀的部分平缓的情况下，提高光源的输出功率时，会产生在板厚方向上贯通玻璃板的裂纹。

[试验例8-1～试验例8-3]

试验例8-1～试验例8-3中，使激光相对于矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚1.1mm，旭硝子公司制造的钠钙玻璃(商品名：AS))的上表面垂直地入射。激光的光源使用Yb光纤激光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α)为0.57cm^-1，α×M为0.063(即，内部透射率为93.9％)。在玻璃板的上下表面上，使激光的照射形状为圆形，并且使激光的照射位置从与玻璃板的一个短边在内侧相隔10mm的位置至玻璃板的另一个短边与玻璃板的长边平行地发生位移。激光的照射位置的中心设置于距离玻璃板的一个长边为10mm(距离另一个长边为40mm)的位置。通过目视确认在玻璃板的上下表面上是否形成了划线来进行评价。

将其他实验条件与评价结果一同示于表8中。表8所示的条件以外的条件在试验例8-1～试验例8-3中相同。试验例8-1、试验例8-2中，将轮式切割机按压到玻璃板上来形成初始裂纹。试验例8-1中，初始裂纹的形成位置设定在玻璃板10的上下表面各自的外周的内侧，并且设定在与玻璃板的一个短边相隔20mm的位置。另外，试验例8-2中，初始裂纹的形成位置设定在玻璃板的下表面的外周的内侧，并且设定在与玻璃板的一个短边相隔20mm的位置。试验例8-1、试验例8-2中，玻璃板的端面为利用激光进行切割而得到的切割面，不具有微裂纹等初始裂纹。另一方面，试验例8-3中，在玻璃板的任何位置均未形成初始裂纹。试验例8-3中，玻璃板的端面为利用激光进行切割而得到的切割面，不具有微裂纹等初始裂纹。

[表8]

试验例8-1中，W1/t和W2/t分别为0.75以下，P1/P2在0.5～2.0的范围内，因此，利用激光加热使玻璃板的上下表面的膨胀的部分陡峭，产生了充分的拉应力，能够在玻璃板的上下表面上形成划线。

试验例8-2中，与试验例7-3不同，初始裂纹仅形成在玻璃板的下表面的外周的内侧，因此，P1/P2不小于1.0，但能够仅在玻璃板的上下表面中的下表面上形成划线。另一方面，试验例8-3中，未形成初始裂纹，因此，未能形成划线。

[试验例9-1～试验例9-4]

试验例9-1～试验例9-4中，使激光相对于矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚1.1mm，旭硝子公司制造的钠钙玻璃(商品名：AS))的上表面垂直地入射。激光的光源使用Yb光纤激光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α)为0.57cm^-1，α×M为0.063(即，内部透射率为93.9％)。在玻璃板的上下表面上，使激光的形状为圆形，并且使激光的照射位置从玻璃板的一个长边至另一个长边与玻璃板的短边平行地发生位移。激光的照射位置的中心设置于距离玻璃板的一个短边为10mm(距离另一个短边为90mm)的位置。通过目视确认在玻璃板的上下表面上是否形成了划线来进行评价。

将其他实验条件与评价结果一同示于表9中。表9所示的条件以外的条件在试验例9-1～试验例9-4中相同。试验例9-1～试验例9-3中，将轮式切割机按压到玻璃板上来形成初始裂纹。试验例9-1中，初始裂纹的形成位置设定在玻璃板的端面的上部。试验例9-2中，初始裂纹的形成位置设定在玻璃板的端面的下部。试验例9-3中，初始裂纹的形成位置设定在玻璃板的端面的上方方向中央部。试验例9-1～试验例9-3中，玻璃板的端面为利用激光进行切割而得到的切割面，除了按压轮式切割机的位置以外，不具有微裂纹等初始裂纹。试验例9-4中，在玻璃板的任何位置均未形成初始裂纹。试验例9-4中，玻璃板的端面为利用激光进行切割而得到的切割面，不具有微裂纹等初始裂纹。

[表9]

试验例9-1～试验例9-3中，W1/t和W2/t分别为0.75以下，P1/P2在0.5～2.0的范围内，因此，玻璃板的上下表面的膨胀的部分陡峭，产生了充分的拉应力，能够在玻璃板的上下表面上形成划线。初始裂纹的位置可以为玻璃板的端面的上部、玻璃板的端面的下部、玻璃板的端面的中央部中的任意一个位置。另一方面，试验例9-4中，未形成初始裂纹，因此，未能形成划线。

以上，对玻璃板的加工方法的实施方式等进行了说明，但本发明不限于上述实施方式等，可以在权利要求书记载的范围内进行各种变形和改良。

例如，可以对玻璃板同时照射多束用于在玻璃板10的上下表面上形成划线的激光。

另外，玻璃板10可以为平板、弯曲板中的任意一种。

另外，玻璃板10的第一主面与玻璃板10的第二主面可以反过来。即，可以使用从玻璃板10的下表面12向着玻璃板10的上表面11透过玻璃板10的激光20在玻璃板10的至少上表面11上形成划线。例如，可以从下方对由吸附板的下表面吸附的玻璃板10照射激光20而在玻璃板10的上表面上形成划线，然后，将玻璃板10的一部分从下方向上顶而将玻璃板10沿划线切断。在形成划线后，不需要将玻璃板10翻转。

另外，也可以利用从玻璃板10的第一主面(例如，上表面)向着玻璃板10的第二主面(下表面)透过玻璃板10的激光仅在玻璃板10的第一主面和第二主面中的第一主面上形成划线。这种情况下，初始裂纹可以仅形成在第一主面的外周的内侧。另外，这种情况下，P1/P2可以大于1.0。

另外，可以通过对激光20的照射位置喷吹空气来进行冷却。利用冷却喷嘴对玻璃板10的形成划线的表面喷吹气体。例如，在像上述实施方式2或实施方式3那样仅在下表面12上形成划线的情况下，对下表面12上的激光20的照射位置喷吹气体。冷却喷嘴形成有锥形空洞，以使气体(空气、氮气等)在内部流动。在此，在像上述实施方式1那样在激光20的入射面(例如，上表面)上也形成划线的情况下，冷却喷嘴的轴与激光20的光轴一致，由透镜会聚的激光20从冷却喷嘴的内部通过，并从设置在冷却喷嘴28的前端的直径为φn的开口部出射。另外，可以与激光20的照射区域的移动同步地(即，以与激光相同的扫描速度)移动。通过这样的构成，利用气体对激光20的照射位置进行冷却。通过该冷却，容易在激光的照射位置产生拉应力。即，容易形成划线，从而能够进行稳定的加工。

冷却气体流量、冷却喷嘴的开口部的直径φn及冷却喷嘴的前端与玻璃板10的间隙可以任意确定。在此，冷却喷嘴的开口部的直径φn越小，则喷吹到玻璃板10上的气体的流速越快，玻璃板10上的冷却能力越提高。另外，冷却喷嘴的前端与玻璃板10的间隙越小，则玻璃板10上的冷却能力越提高。例如，对于束径为0.3mm的激光照射部，可以使用直径φn＝1mm的冷却喷嘴，以20L/分钟的流量喷吹室温的冷却空气。

参考特定的实施方式对本发明详细地进行了说明，但对于本领域技术人员而言显而易见的是，在不脱离本发明的精神和范围的情况下可以进行各种变更和修正。

本申请基于2012年7月10日提出的日本专利申请2012-154968和2013年3月7日提出的日本专利申请2013-045102，将其内容作为参考并入本说明书中。

产业实用性

根据本发明，提供能够在形成划线后不翻转玻璃板就能够将玻璃板切断的玻璃板的加工方法。

标号说明

10、10A、10B 玻璃板

11、11A、11B 上表面

12、12A、12B 下表面

20 激光

22 光源

31、31A、31B 划线

32、32A、32B 划线

33、初始裂纹

34、初始裂纹

35 划线

Claims

1.一种玻璃板的加工方法，其包括：

划线工序，利用从玻璃板的第一主面向着所述玻璃板的第二主面透过所述玻璃板的激光将所述玻璃板的一部分加热到玻璃的退火点以下，并且使所述玻璃板上的所述激光的照射位置发生位移，由此，在所述玻璃板的至少第二主面上形成划线。

2.如权利要求1所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，所述玻璃板的第二主面的一部分被所述激光加热而膨胀，利用膨胀的部分的拉应力在所述玻璃板的第二主面上形成所述划线。

3.如权利要求1或2所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，利用从所述玻璃板的第一主面向着所述玻璃板的第二主面透过所述玻璃板的激光，在所述玻璃板的第二主面上形成划线，并且在所述玻璃板的第一主面上形成划线。

4.如权利要求3所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述玻璃板的第一主面和第二主面这两个面以及所述玻璃板的端面这些面中的至少一个面上形成有成为所述划线的起点的初始裂纹。

5.如权利要求1或2所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，利用从所述玻璃板的第一主面向着所述玻璃板的第二主面透过所述玻璃板的激光，仅在所述玻璃板的第一主面和第二主面中的第二主面上形成划线。

6.如权利要求5所述的玻璃板的加工方法，其中，

7.如权利要求6所述的玻璃板的加工方法，其中，所述激光在所述玻璃板的第一主面上的功率密度(P1)与在所述玻璃板的第二主面上的功率密度(P2)之比(P1/P2)为0.001以上。

8.如权利要求5所述的玻璃板的加工方法，其中，仅在所述玻璃板的第二主面的外周的内侧的位置形成有成为所述划线的起点的初始裂纹。

9.如权利要求1、2、4、6、7、8中任一项所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，利用从多张玻璃板各自的第一主面向着各自的第二主面透过所述多张玻璃板的所述激光，在所述多张玻璃板各自的至少第二主面上同时形成划线。

10.如权利要求1、2、4、6、7、8中任一项所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，形成相互交叉的多条划线。

11.如权利要求1、2、4、6、7、8中任一项所述的玻璃板的加工方法，其中，在所述划线工序中，形成具有多个相互交叉的部分的划线。

12.如权利要求1、2、4、6、7、8中任一项所述的玻璃板的加工方法，其中，所述激光的波长为250nm～5000nm。

13.如权利要求1、2、4、6、7、8中任一项所述的玻璃板的加工方法，其中，所述玻璃板的第二主面上的所述激光的形状为圆形。