JP6050002B2 - レーザ加工方法 - Google Patents
レーザ加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6050002B2 JP6050002B2 JP2012018600A JP2012018600A JP6050002B2 JP 6050002 B2 JP6050002 B2 JP 6050002B2 JP 2012018600 A JP2012018600 A JP 2012018600A JP 2012018600 A JP2012018600 A JP 2012018600A JP 6050002 B2 JP6050002 B2 JP 6050002B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting line
- workpiece
- along
- crack
- modified region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
[第1実施形態]
[第2実施形態]
Claims (5)
- 強化ガラス板を備える板状の加工対象物から、面取りされた角部を有する有効部を切り出すためのレーザ加工方法であって、
少なくとも前記角部の面取り面に沿うように延在する第1切断予定ラインに沿って、レーザ光の集光点を相対的に移動させることにより、前記加工対象物の厚さ方向に伸展する第1亀裂を発生させる第1改質領域を、前記第1切断予定ラインに沿って前記強化ガラス板の内部に形成する第1工程と、
前記第1工程の後に、前記有効部の外側から前記角部に至るように延在する第2切断予定ラインに沿って、レーザ光の集光点を相対的に移動させることにより、前記加工対象物の厚さ方向に伸展する第2亀裂を発生させる第2改質領域を、前記第2切断予定ラインに沿って前記強化ガラス板の内部に形成する第2工程と、を備え、
前記加工対象物から前記有効部を複数切り出す場合には、前記第1工程の前に、隣り合う前記有効部の間を通るように延在する第3切断予定ラインに沿って、レーザ光の集光点を相対的に移動させることにより、前記加工対象物の厚さ方向に伸展する第3亀裂を発生させる第3改質領域を、前記第3切断予定ラインに沿って前記強化ガラス板の内部に形成する第3工程を更に備える、レーザ加工方法。 - 前記第1工程では、前記第1亀裂を前記加工対象物の表面及び裏面に到達させ、
前記第2工程では、前記第2亀裂を前記加工対象物の前記表面及び前記裏面に到達させる、請求項1記載のレーザ加工方法。 - 前記第1切断予定ラインが、前記有効部の側面のうち前記面取り面に至る前記有効部の端面に沿うように延在する場合には、前記第1切断予定ラインにおいて前記端面に沿うように延在する部分と連続するように前記第2切断予定ラインを設定する、請求項1又は2記載のレーザ加工方法。
- 前記面取り面が凸曲面である場合には、前記第1切断予定ラインにおいて前記面取り面に沿うように延在する部分と接するように前記第2切断予定ラインを設定する、請求項1〜3のいずれか一項記載のレーザ加工方法。
- 前記第3工程では、前記第3亀裂を前記加工対象物の表面及び裏面に到達させる、請求項1〜4のいずれか一項記載のレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012018600A JP6050002B2 (ja) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | レーザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012018600A JP6050002B2 (ja) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | レーザ加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013154604A JP2013154604A (ja) | 2013-08-15 |
JP6050002B2 true JP6050002B2 (ja) | 2016-12-21 |
Family
ID=49050275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012018600A Active JP6050002B2 (ja) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | レーザ加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6050002B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015126805A1 (en) | 2014-02-20 | 2015-08-27 | Corning Incorporated | Methods and apparatus for cutting radii in flexible thin glass |
CN106256519B (zh) * | 2015-06-19 | 2019-09-24 | 上海和辉光电有限公司 | 一种切割基板的方法 |
US10562130B1 (en) | 2018-12-29 | 2020-02-18 | Cree, Inc. | Laser-assisted method for parting crystalline material |
US10576585B1 (en) | 2018-12-29 | 2020-03-03 | Cree, Inc. | Laser-assisted method for parting crystalline material |
US11024501B2 (en) | 2018-12-29 | 2021-06-01 | Cree, Inc. | Carrier-assisted method for parting crystalline material along laser damage region |
US10611052B1 (en) | 2019-05-17 | 2020-04-07 | Cree, Inc. | Silicon carbide wafers with relaxed positive bow and related methods |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003088973A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-25 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工方法 |
CN1758985A (zh) * | 2003-03-12 | 2006-04-12 | 浜松光子学株式会社 | 激光加工方法 |
JP2004343008A (ja) * | 2003-05-19 | 2004-12-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザ光線を利用した被加工物分割方法 |
JP2006256944A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-28 | Lemi Ltd | 脆性材料の割断方法及び装置 |
JP2010017990A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Seiko Epson Corp | 基板分割方法 |
JP2011230940A (ja) * | 2010-04-26 | 2011-11-17 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 脆性材料基板の割断方法 |
-
2012
- 2012-01-31 JP JP2012018600A patent/JP6050002B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013154604A (ja) | 2013-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6059059B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP5597051B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP5864988B2 (ja) | 強化ガラス板切断方法 | |
JP5491761B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP5771391B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP5597052B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP6050002B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
TWI625186B (zh) | Laser processing method and laser processing device | |
JP2016513016A (ja) | 透明及び半透明な基板をレーザ切断する方法及び装置 | |
US20110132885A1 (en) | Laser machining and scribing systems and methods | |
WO2010116917A1 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
JP6012186B2 (ja) | 加工対象物切断方法 | |
WO2006101091A1 (ja) | レーザ加工方法 | |
WO2013039012A1 (ja) | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 | |
JP6012185B2 (ja) | 半導体デバイスの製造方法 | |
JP5361916B2 (ja) | レーザスクライブ方法 | |
JP5894754B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP2012240107A (ja) | レーザ加工方法 | |
JP5969214B2 (ja) | 半導体デバイスの製造方法 | |
JP2013147380A (ja) | レーザ加工方法 | |
JP2014019610A (ja) | レーザ加工方法 | |
JP2014091642A (ja) | レーザ加工方法及び電子デバイスの製造方法 | |
TW201420249A (zh) | 雷射加工方法及雷射加工裝置 | |
JP2014177369A (ja) | 強化ガラス部材の製造方法 | |
JP2014091641A (ja) | レーザ加工方法及び電子デバイスの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160121 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160809 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161007 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161101 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6050002 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |