JP5771391B2 - レーザ加工方法 - Google Patents
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- 外縁に傾斜部を有する板状のウエハと、前記ウエハの表面における前記傾斜部よりも所定距離内側に設けられレーザ光に対して透過性を有する積層部と、を具備する加工対象物に対し前記ウエハの内部に集光点を合わせて前記レーザ光を照射し、切断予定ラインに沿って、前記加工対象物の前記ウエハの内部に改質領域を厚さ方向に複数列形成するレーザ加工方法であって、
前記積層部は、その外縁側に設けられた非有効領域と、前記非有効領域の内側に設けられた有効領域と、を含んで構成されており、
前記切断予定ラインに沿って前記集光点を前記加工対象物に対し相対移動させながら前記レーザ光を前記表面側から照射し、前記ウエハの内部に前記改質領域としての第1改質領域を形成する工程と、
前記切断予定ラインに沿って前記集光点を前記加工対象物に対し相対移動させながら前記レーザ光を前記表面側から照射し、前記ウエハの内部において前記積層部と前記第1改質領域との間の領域に前記改質領域としての第2改質領域を形成する工程と、を有し、
前記第1改質領域を形成する前記工程では、
前記集光点が前記加工対象物における前記傾斜部に位置するとき、前記レーザ光を前記加工対象物に照射しないと共に、前記集光点が前記加工対象物における前記傾斜部よりも内側に位置するとき、前記レーザ光を前記加工対象物に照射し、
前記第2改質領域を形成する前記工程では、
前記集光点が前記加工対象物における前記積層部外縁よりも外側に位置するとき、前記レーザ光を前記加工対象物に照射しないと共に、前記集光点が前記加工対象物における前記積層部外縁よりも内側に位置するとき、前記積層部を介して前記レーザ光を前記加工対象物に照射し、
前記第1改質領域を形成する前記工程では、前記集光点が前記加工対象物において前記傾斜部よりも内側で前記積層部外縁よりも外側に位置するときに、前記レーザ光の照射を開始又は終了し、
前記第2改質領域を形成する前記工程では、前記集光点が前記加工対象物において前記非有効領域外縁と前記有効領域外縁との間で前記非有効領域外縁から内側に離れた所定位置に位置するときに、前記レーザ光の照射を開始又は終了する、ことを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記第2改質領域を形成する前記工程では、前記表面に至る亀裂が前記第2改質領域から延びるように当該第2改質領域を形成することを特徴とする請求項1記載のレーザ加工方法。
- 前記第1改質領域を形成する工程及び前記第2改質領域を形成する工程では、前記レーザ光を照射する場合と前記レーザ光を照射しない場合とを、前記レーザ光の出射のON及びOFFを制御することにより実施することを特徴とする請求項1又は2記載のレーザ加工方法。
- 前記第1改質領域を形成する工程及び前記第2改質領域を形成する工程では、前記レーザ光を照射する場合と前記レーザ光を照射しない場合とを、前記レーザ光の光路上に設けられたシャッタの開閉を制御することにより実施することを特徴とする請求項1又は2記載のレーザ加工方法。
- 前記第1改質領域を形成する工程及び前記第2改質領域を形成する工程では、前記レーザ光を照射する場合と前記レーザ光を照射しない場合とを、前記レーザ光の強度を前記改質領域が形成される加工閾値以上の強度と該加工閾値未満の強度との間で制御することにより実施することを特徴とする請求項1又は2記載のレーザ加工方法。
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