JP2005167281A - 半導体チップの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体基板1の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射することにより、半導体基板1において第1の方向に延在する複数の切断予定ラインのそれぞれに沿って半導体基板1の内部に溶融処理領域(切断起点領域9a)を形成すると共に、半導体基板1において第1の方向と交差する第2の方向に延在する複数の切断予定ラインのそれぞれに沿って半導体基板1の内部に溶融処理領域(切断起点領域9b)を形成する。そして、それらの溶融処理領域(切断起点領域9a,9b)を切断の起点として切断予定ラインに沿って半導体基板1を切断することにより、溶融処理領域(切断起点領域9a,9b)が形成された切断面で囲まれた複数の半導体チップを得る。
【選択図】 図11
Description
(B)レーザ
光源:半導体レーザ励起Nd:YAGレーザ
波長:1064nm
レーザ光スポット断面積:3.14×10−8cm2
発振形態:Qスイッチパルス
繰り返し周波数:100kHz
パルス幅:30ns
出力:20μJ/パルス
レーザ光品質:TEM00
偏光特性:直線偏光
(C)集光用レンズ
倍率:50倍
N.A.:0.55
レーザ光波長に対する透過率:60パーセント
(D)半導体基板が載置される載置台の移動速度:100mm/秒
本発明に係る半導体基板の実施例1について、図10〜図13を参照して説明する。図10は実施例1に係る半導体基板1の斜視図であり、図11は図10に示す半導体基板1のXI−XI線に沿った断面図であり、図12は図10に示す半導体基板1のXII−XII線に沿った断面図であり、図13は図10に示す半導体基板1の表面に設けられたレーザマークの写真を表した図である。
本発明に係る半導体基板の実施例2について、図15〜図18を参照して説明する。実施例2に係る半導体基板1は、厚さ350μm、外径4インチの円板状のGaAsウェハであり、図15に示すように、半導体基板1の周縁部の一部が直線となるよう切り欠かれてOF15が形成されている。
本発明に係る半導体チップ、及び半導体デバイスの製造方法の実施例について、図19を参照して説明する。図19は、実施例に係る半導体チップ21の斜視図である。
Claims (2)
- 半導体基板の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射することにより、前記半導体基板において第1の方向に延在する複数の第1の切断予定ラインのそれぞれに沿って前記半導体基板の内部に第1の改質領域を形成すると共に、前記半導体基板において前記第1の方向と交差する第2の方向に延在する複数の第2の切断予定ラインのそれぞれに沿って前記半導体基板の内部に第2の改質領域を形成する工程と、
前記第1及び前記第2の改質領域を切断の起点として前記第1及び前記第2の切断予定ラインに沿って前記半導体基板を切断することにより、前記第1又は前記第2の改質領域が形成された切断面で囲まれた複数の半導体チップを得る工程と、を備えることを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 前記第1及び前記第2の改質領域は溶融処理領域であることを特徴とする請求項1記載の半導体チップの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005045950A JP3761566B2 (ja) | 2002-03-12 | 2005-02-22 | 半導体チップの製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002067348 | 2002-03-12 | ||
JP2005045950A JP3761566B2 (ja) | 2002-03-12 | 2005-02-22 | 半導体チップの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003574373A Division JP4509573B2 (ja) | 2002-03-12 | 2003-03-11 | 半導体基板、半導体チップ、及び半導体デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005167281A true JP2005167281A (ja) | 2005-06-23 |
JP3761566B2 JP3761566B2 (ja) | 2006-03-29 |
Family
ID=34740943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005045950A Expired - Lifetime JP3761566B2 (ja) | 2002-03-12 | 2005-02-22 | 半導体チップの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3761566B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2116323A1 (en) * | 2008-05-07 | 2009-11-11 | Sumco Corporation | Method of producing semiconductor wafer |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10576585B1 (en) | 2018-12-29 | 2020-03-03 | Cree, Inc. | Laser-assisted method for parting crystalline material |
US11024501B2 (en) | 2018-12-29 | 2021-06-01 | Cree, Inc. | Carrier-assisted method for parting crystalline material along laser damage region |
US10562130B1 (en) | 2018-12-29 | 2020-02-18 | Cree, Inc. | Laser-assisted method for parting crystalline material |
US10611052B1 (en) | 2019-05-17 | 2020-04-07 | Cree, Inc. | Silicon carbide wafers with relaxed positive bow and related methods |
-
2005
- 2005-02-22 JP JP2005045950A patent/JP3761566B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2116323A1 (en) * | 2008-05-07 | 2009-11-11 | Sumco Corporation | Method of producing semiconductor wafer |
US8124501B2 (en) | 2008-05-07 | 2012-02-28 | Sumco Corporation | Method of producing semiconductor wafer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3761566B2 (ja) | 2006-03-29 |
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