JP5731983B2 - 脆性ワークの切断方法及び切断装置 - Google Patents
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Description
この脆性材料の割断方法は、脆性材料の裏面ないしその近傍内部に焦点を合わせて表面側からレーザ光を照射して、脆性材料の裏面に亀裂を生じさせ、続いて、この亀裂が生じた箇所に対して、再度レーザ光を照射して加熱することで、上記亀裂を裏面から表面にかけて成長させて割断するようにしている。
しかしながら、この脆性材料の割断方法では、レーザ光の二回目の照射によって、一回目のレーザ光の照射で生じた亀裂を材料厚み方向に成長させるようにしているので、割断面に微小な亀裂や歪が生じる可能性を否定することができないうえ、例えば、脆性材料に角穴を開ける場合には、入隅に意図しない亀裂が発生する虞があるという問題を有しており、これらの問題を解決することが従来の課題となっていた。
また、レーザ出力形態としては、連続発振を採用することができるほか、ノーマルパルス発振や、例えばパルス幅がフェムト秒のQスイッチパルス発振を採用することができる。
このように、脆性ワークの切断部分にサブシールドガスを吹き付けつつ切断すると、脆性ワークのレーザ光が照射される表面側の切断品質が向上することとなる。
具体的には、治具に直線や曲線などの切断線に沿う溝を設けると共に、この溝にドロス除去用のアシストガスを供給することが望ましく、この際、切断線と治具の溝の縁との間に、脆性ワークの厚みが例えば約100μmであれば20μm程度のクリアランスを、また、脆性ワークの厚みが例えば約50μmであれば15μm程度のクリアランスを設けることが望ましい。
このように、治具に切断線に沿う溝を設けると共に、この溝にドロス除去用のアシストガスを供給すると、脆性ワークの裏面側の切断品質が向上することとなる。
次いで、この切断時と同じく18W以下の出力で且つこの切断時以上のビーム径のレーザ光を角穴の縁に沿って走査させて再溶融する。
また、本発明に係る脆性ワークの切断装置では、先レーザ光を発する先レーザ発振器及び後レーザ光を発する後レーザ発振器を備えた構成としているので、後レーザ発振器からの後レーザ光を先レーザ光に追随させて走査させることができ、その結果、作業時間のより一層の短縮を実現することが可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
図1〜図7は本発明に係る脆性ワークの切断装置の一実施例を示しており、この実施例では、本発明に係る脆性ワークの切断装置を液晶ディスプレー用ガラスの切断や角穴,丸穴等の穴開け加工に用いた場合を例に挙げて説明する。
この加工テーブル10は、図4に示すように、底部10aを有する矩形枠状を成している。この加工テーブル10の上方を向く端面の内側の縁には、ガラス受け用の段差10bが形成されており、液晶ディスプレー用ガラスWは、図5にも示すように、寝かせた状態で段差10bに載置されて、周囲をねじ止めされることで固定される。
このように、液晶ディスプレー用ガラスWの切断部分にサブシールドガスSGを吹き付けつつ切断すると、液晶ディスプレー用ガラスWの表面側の切断品質が向上する。
このように、加工テーブル10に切断線Waに沿う溝10cを設けると共に、この溝10cにドロス除去用のアシストガスDGを供給するように成すと、液晶ディスプレー用ガラスWの裏面側の切断品質が向上することとなる。
なお、加工テーブル10の溝10cは直線状のもに限定されるものではなく、切断線が曲線であればこれに対応した曲線状に形成される。
4 CO2レーザ発振器
10 加工テーブル(治具;走査機構)
11 X方向ガイド(走査機構)
12 Y方向ガイド(走査機構)
31 レーザコントローラ(制御部)
32 加工テーブルコントローラ(制御部)
La,Lb レーザ光
W 液晶ディスプレー用ガラス(脆性ワーク)
Wa 切断線
Wb 切断面
Claims (3)
- 液晶ディスプレー用ガラスなどの脆性材料から成る脆性ワークに矩形状や星形状などの入隅を有する形状の穴開け加工を行う際に用いる前記脆性ワークの切断方法であって、
レーザ光を前記脆性ワークの表面に照射して、矩形状や星形状などの入隅を有する穴の輪郭に沿う切断線を描くべく走査させて該脆性ワークを切断し、
次いで、前記レーザ光のビーム径以上のビーム径で且つ前記レーザ光の出力以下のレーザ光を前記切断線に沿って走査させて、切断面を再溶融する
ことを特徴とする。 - 液晶ディスプレー用ガラスなどの脆性材料から成る脆性ワークに矩形状や星形状などの入隅を有する形状の穴開け加工を行う際に用いる前記脆性ワークの切断装置であって、
レーザ光を発するレーザ発振器と、
このレーザ発振器から発せられたレーザ光の光軸及び前記脆性ワークを相対的に移動させて、前記レーザ光を脆性ワークの表面上で走査させる走査機構と、
前記レーザ発振器及び走査機構を動作させて、前記レーザ光を脆性ワークの表面上で矩形状や星形状などの入隅を有する穴の輪郭に沿う切断線を描くべく走査させて該脆性ワークを前記穴の輪郭に沿って切断すると共に、この走査により切断した前記脆性ワークの切断線に沿ってレーザ光を再走査させて切断面を再溶融する制御部を備え、
前記制御部は、後に走査させる後レーザ光のビーム径を先に走査させる先レーザ光のビーム径以上に制御すると共に、後に走査させる前記後レーザ光の出力を先に走査させる前記先レーザ光の出力以下に制御する
ことを特徴とする。 - 請求項2に記載の脆性ワークの切断装置であって、
前記先レーザ光を発する先レーザ発振器と、前記後レーザ光を発する後レーザ発振器を備え、前記制御部は、前記先レーザ発振器及び走査機構を動作させて、前記先レーザ光を脆性ワークの表面上で矩形状や星形状などの入隅を有する穴の輪郭に沿う切断線を描くべく走査させて該脆性ワークを切断すると共に、前記後レーザ発振器及び走査機構を動作させて、前記先レーザ光の走査により切断した前記脆性ワークの切断線に沿って前記後レーザ発振器からの後レーザ光を走査させて切断面を再溶融するべく制御する
ことを特徴とする。
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