CN214612184U - 划片装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型的实施例的划片装置包括：划片轮，以能够旋转的方式安装于划片轮支架，用于在基板上形成划片线；划片轮清洁部件，配置于划片轮能够接近的位置，与划片轮相接触而使划片轮进行旋转；以及抽吸端口，与划片轮清洁部件相邻配置，用于抽吸划片轮清洁部件的周围的空气。

Description

划片装置

技术领域

本实用新型涉及为了切割基板而在基板上形成划片线的划片装置。

背景技术

通常，在平板显示器中使用液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射式投影仪基板以及反射式投影仪基板。平板显示器使用从如玻璃等的脆性的母体玻璃面板(基板)以规定的尺寸切割的单元玻璃面板(单元基板)。

基板切割工序包括划片工序。在划片工序中，在基板上沿着虚拟的预定线按压划片轮的同时使其移动，从而形成划片线。

另一方面，在基板上可能存在如灰尘等的异物。此外，在基板上形成划片线的过程中，可能从基板产生如碎片等的异物。

上述异物会附着于划片轮。附着在划片轮的异物会妨碍划片轮以准确的切割深度(划片轮插入于基板的表面的深度，即，沿着划片线所形成的槽的深度)插入到基板的表面。因此，无法在基板上形成准确的划片线。

此外，在划片轮与基板的表面相接触或插入于基板的表面时，因附着在划片轮的异物而划片轮可能会被磨损。因此，会导致划片轮的寿命缩短。

此外，异物可能会进入用于维持划片轮的划片轮支架与划片轮之间的间隙内。这种异物会妨碍划片轮的旋转(滚动)。因此，划片轮无法正常旋转而在基板上无法形成准确的划片线。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供能够对划片轮进行清洁的划片装置。

为了实现上述目的的本实用新型的实施例的划片装置可包括：划片轮，以能够旋转的方式安装于划片轮支架，用于在基板上形成划片线；划片轮清洁部件，配置于划片轮能够接近的位置，与划片轮相接触而使划片轮进行旋转；以及抽吸端口，与划片轮清洁部件相邻配置，用于抽吸划片轮清洁部件的周围的空气。

此外，本实用新型实施例的划片装置还可包括：供气器，用于供给气体；空气马达，与划片轮清洁部件相连接，在供气器所供给的气体的压力的作用下产生使划片轮清洁部件进行旋转的旋转力；以及负压发生器，与抽吸端口相连接，在供气器所供给的气体的压力的作用下在抽吸端口产生负压。

抽吸端口的内径可大于划片轮清洁部件的外径。

抽吸端口的内径可大于划片轮的外径与划片轮清洁部件的外径之和。

划片轮清洁部件的旋转中心轴可与划片轮的旋转中心轴错开。

基于划片轮清洁部件的旋转的划片轮的旋转速度可大于在基板上形成划片线时的划片轮的旋转速度。

划片轮的一部分可从划片轮支架突出，可在划片轮清洁部件的外周形成供划片轮突出的一部分插入的插入槽。

根据本实用新型实施例的划片装置，可通过清洁划片轮来准确地形成划片线，因此，可提升沿着划片线分割的基板的剖面的质量。

此外，根据本实用新型的实施例，通过清洁划片轮来去除附着在划片轮上的异物，从而可防止因异物导致划片轮的寿命缩短。

附图说明

图1为简要示出本实用新型的第一实施例的划片装置的俯视图。

图2及图3为简要示出本实用新型的第一实施例的划片装置的一部分的侧视图。

图4为设置于本实用新型的第一实施例的划片装置的划片轮清洁单元的空气回路图。

图5为简要示出设置于本实用新型的第一实施例的划片装置的划片轮及划片轮清洁单元的图。

图6为简要示出设置于本实用新型的第二实施例的划片装置的划片轮及划片轮清洁单元的图。

图7为简要示出设置于本实用新型的第三实施例的划片装置的划片轮及划片轮清洁部件的图。

图8及图9为简要示出设置于本实用新型的第四实施例的划片装置的划片轮及划片轮清洁部件的图。

附图标记的说明

32：划片头

33：划片轮

34：划片轮支架

70：划片轮清洁单元

71：划片轮清洁部件

72：抽吸端口

73：供气器

74：空气马达

75：负压发生器

76：调节器

具体实施方式

以下，参照附图，对本实用新型的实施例的划片装置进行说明。

以下，将要形成划片线的基板的移送方向定义为Y轴方向。并且，将与移送基板的方向(Y轴方向)垂直的方向定义为X轴方向。并且，将与放置基板的X-Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。此外，术语“划片线”是指，在基板S的表面上沿着规定方向延伸而形成的槽和/或狭缝。

如图1至图3所示，本实用新型的第一实施例的划片装置包括：划片单元30、第一移送单元20、第二移送单元40、划片轮清洁单元70。

第一移送单元20用于向划片单元30移送基板。第一移送单元20包括：第一操作台21、把持部件22、支撑杆23、导轨24。

第一操作台21的作用在于支撑基板。作为一例，第一操作台21可由在X轴方向上互相间隔的多个带构成。作为另一例，虽未图示，但第一操作台21可由具备与供气源相连接来喷射气体的多个气体喷射孔并朝基板的下部面喷射气体而使基板悬浮的悬浮台构成。作为又另一例，虽未图示，但第一操作台21可由一个带构成。

把持部件22用于把持被支撑在第一操作台21上的基板的后段。

支撑杆23与把持部件22相连接并沿X轴方向延伸。

导轨24与支撑杆23相连接并沿Y轴方向延伸。

在支撑杆23与导轨24之间可设置如在空压或液压的作用下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达、或滚珠丝杠副机构等的直线移动机构。因此，在把持部件22把持基板的状态下，支撑杆23在直线移动机构的作用下沿Y轴方向进行移动，由此，可沿Y轴方向移送基板。在此情况下，第一操作台21(例如，带)可与把持部件22的移动一同进行旋转而稳定地支撑基板。

把持部件22可以为对基板施压而把持的夹具。作为另一例，把持部件22可以为具备与真空源相连接的真空孔而吸附基板的结构。

另一方面，在本实用新型的第一实施例中说明了如下结构：即，在基板装载在第一操作台21上的状态下，把持部件22把持基板的后段而沿Y轴方向进行移动，据此基板沿移动的Y轴方向进行移动。

但是，本实用新型并不限定于此。例如，划片装置可包括：X轴驱动机构、Y轴驱动机构、旋转机构。X轴驱动机构可使第一操作台21沿X轴方向进行移动。Y轴驱动机构可使第一操作台21沿Y轴方向进行移动。旋转机构可使第一操作台21以Z轴为中心进行旋转。

根据上述结构，X轴驱动机构使第一操作台21沿X轴方向移动，据此装载在第一操作台21上的基板可沿X轴方向移动。此外，Y轴驱动机构使第一操作台21沿Y轴方向移动，据此装载在第一操作台21上的基板可沿Y轴方向移动。此外，随着旋转机构使第一操作台21以Z轴为中心进行旋转，据此装载在第一操作台21上的基板能够以Z轴为中心进行旋转。因此，基板沿X轴方向移动而基板相对于划片轮33的位置被调节。此外，基板沿Y轴方向移动而基板相对于划片轮33的位置被调节。此外，基板以Z轴为中心进行旋转而基板相对于划片轮33的位置被调节。由此，利用划片轮33来在基板上的合适的位置形成划片线。

第二移送单元40可将基板从划片单元30移送至后续工序。第二移送单元40可包括：用于支撑并移送基板的第二操作台41。

作为一例，第二操作台41可由在X轴方向上互相间隔的多个带构成。作为另一例，虽未图示，但第二操作台41可由一个带构成。

划片单元30用于在基板上形成划片线。划片单元30可包括：框架31、划片头32。框架31沿X轴方向延伸。划片头32以能够沿X轴方向移动的方式设置于框架31。

在框架31与划片头32之间可设置如在空压或液压的作用下工作致动器、在电磁相互作用下工作的直线电动机、或滚珠丝杠副机构等的直线移动机构。在上述直线移动机构的作用下划片头32可沿着框架31在X轴方向上行移动。

划片头32可包括：划片轮模块321、划片轮移动模块322。划片轮模块321包括：用于支撑划片轮33的划片轮支架34。划片轮移动模块322用于使划片轮模块321沿Z轴方向进行移动。

划片轮模块321在划片轮移动模块322的作用下朝向基板移动，划片轮33可对装载在第一操作台21上的基板进行施压。可根据划片轮33对基板进行施压的程度，划片轮33对基板的切削深度被调节。其中，切削深度是指，划片轮33插入到基板的表面的深度，即，沿着划片线所形成的槽的深度。

划片轮移动模块322可由如在空压或液压的作用下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的直线电动机、或滚珠丝杠副机构等的直线移动机构构成。

划片轮支架34能够以可装拆的方式安装于划片轮模块321。

划片轮33以滚动自如地方式设置于划片轮支架34。因此，在划片轮33接触在基板的表面的状态下，若划片头32进行水平移动、或者基板进行水平移动，则划片轮33能够以与划片头32的移动方向垂直的轴为中心进行旋转。即，在划片头32沿X轴方向移动的情况下，划片轮22能够以Y轴为中心进行旋转。并且，在划片头32沿Y轴方向移动的情况下，划片轮33能够以X轴为中心进行旋转。

划片轮清洁单元70用于对划片轮33进行清洁。如图2至图5所示，划片轮清洁单元70可包括：划片轮清洁部件71、抽吸端口72。

划片轮清洁部件71配置于划片轮33能够接近的位置。例如，划片轮清洁部件71以与Y轴平行的轴为中心进行旋转。划片轮清洁部件71与划片轮33相接触进行旋转而使划片轮33进行旋转。

划片轮清洁部件71可向正方向或反方向进行旋转。此外，划片轮清洁部件71可向正方向及反方向反复进行旋转。在划片轮清洁部件71的正方向和/或反方向的旋转的作用下划片轮33可向反方向和/或正方向进行旋转。

由此，附着在划片轮33的异物可在划片轮清洁部件71的作用下从划片轮33脱离。

划片轮清洁部件71及抽吸端口72能够一体安装于一个支撑板77。支撑板77可配置于框架31的X轴方向的一侧。

划片轮清洁部件71可由刚性低于划片轮33的材料形成，如刷子、海绵、滚筒等。因此，划片轮清洁部件71可包住划片轮33的整个外周。因此，划片轮清洁部件71可顺利地去除附着在划片轮33上的异物。

抽吸端口72与划片轮清洁部件71相邻配置。抽吸端口72用于抽吸划片轮清洁部件71的周围的空气。一对抽吸端口72可配置于划片轮清洁部件71的两侧。但是，本实用新型并不限定抽吸端口72的数量。例如，3个以上的抽吸端口72可配置于划片轮清洁部件71的周围。

如图5所示，与划片轮清洁部件71相邻的抽吸端口72的一部分向远离划片轮清洁部件71的方向凹陷而形成。因此，形成用于收容划片轮清洁部件71的收容部721。因此，收容部721具有用于收容规定的划片轮清洁部件71的收容空间。并且，划片轮清洁部件71的至少一部分收容于抽吸端口72内。形成收容部721而划片轮清洁部件71可最大限度地与抽吸端口72相邻。

因此，在划片轮清洁部件71的作用下从划片轮33脱落的异物可顺利地流入到抽吸端口72内，而不向外部飞散。

此外，如图5所示，优选地，抽吸端口72的内径Ds大于划片轮清洁部件71的外径Dc。因此，划片轮清洁部件71可包含在由抽吸端口72的内径Ds所定义的区域内。因此，在划片轮清洁部件71的作用下从划片轮33脱落的异物可顺利地流入抽吸端口72，而不向外部飞散。

此外，优选地，抽吸端口72的内径Ds大于划片轮33的外径Dw与划片轮清洁部件71的外径Dc之和。因此，在划片轮33与划片轮清洁部件71相接触的状态下，划片轮33及划片轮清洁部件71可包含在由抽吸端口72的内径Ds所定义的区域内。因此，在划片轮清洁部件71的作用下从划片轮33脱落的异物可顺利地流入抽吸端口72，而不向外部飞散。

另一方面，基于划片轮清洁部件71的旋转的划片轮33的旋转速度可大于在基板上形成划片线时的划片轮33的旋转速度。在对划片轮33进行清洁的过程中，划片轮33以更快的速度进行旋转，因此，可以更快速且有效地去除附着在划片轮33的异物，并且可对划片轮33进行整体且均匀地清洁。

划片轮清洁单元70可包括：供气器73、空气马达74、负压发生器75。

例如，供气器73、空气马达74、负压发生器75能够一体形成于支撑板77。

供气器73用于供给气体。例如，供气器73可由空气泵或压缩机构成。从供气器73供给的气体可以为空气或惰性气体。

供气器73可与调节器76相连接。调节器76的作用在于调节从供气器73向空气马达74及负压发生器75供给的气体的压力。

空气马达74在从供气器73供给的气体的压力的作用下产生旋转力。空气马达74经由压力管线P1与供气器73相连接。空气马达74通过旋转轴741与划片轮清洁部件71相连接。空气马达74利用从供气器73供给的气体的压力来产生使划片轮清洁部件71进行旋转的旋转力。

负压发生器75在从供气器73供给的气体的压力的作用下产生负压。负压发生器75经由压力管线P2与抽吸端口72相连接。负压发生器75利用从供气器73供给的气体的压力来在抽吸端口72产生负压。例如，负压发生器75可由具有与大气相连通的出口751的文丘里(Venturi)管构成。因此，从供气器73供给的气体通过负压发生器75的出口751释放到大气中，从而可在压力管线P2形成负压。并且，可在与压力管线P2相连接的抽吸端口72形成负压。

因此，在从一个供气器73供给的气体的压力的作用下划片轮清洁部件71可进行旋转且可在抽吸端口72形成负压。因此，与额外设置用于使划片轮清洁部件71旋转的结构及用于在抽吸端口72形成负压的结构的情况相比，可简化划片装置的结构及控制方法。

如图2所示，划片头32沿着框架31在X轴方向上移动而划片轮33可位于与划片轮清洁部件71相邻的位置。并且，如图3所示，划片轮模块321在划片轮移动模块322的作用下沿Z轴方向移动而使划片轮33与划片轮清洁部件71相接触。

在这种状态下，从供气器73供给空气而使空气马达74工作，从而划片轮清洁部件71进行旋转的同时，在负压发生器75的作用下在抽吸端口72产生负压。因此，可在划片轮清洁部件71的作用下附着在划片轮33的异物被去除。并且，从划片轮33被去除的异物可流入到抽吸端口72。

这种对划片轮33进行清洁的过程是可按照预设的周期执行，或者可在形成规定长度的划片线之后执行。

以下，参照图6，对本实用新型的第二实施例的划片装置进行说明。对于与在本实用新型的第一实施例中所说明的部分相同的部分标注相同的附图标记，并省略对其的详细说明。

如图6所示，根据本实用新型的第二实施例的划片装置，可在与划片轮清洁部件71相邻的抽吸端口72的端部设置缓冲部722。

缓冲部722可由具有弹性的可挠性材质形成。例如，缓冲部722可以由硅胶(silicone)之类的合成树脂形成。

在划片轮33接近划片轮清洁部件71的过程中，在划片轮33接触(碰撞)到抽吸端口72的端部的情况下，缓冲部722可吸收划片轮33的冲击。因此，即使划片轮33接触(碰撞)到抽吸端口72的端部，也可以防止划片轮33受损。

如此，在抽吸端口72的端部设置缓冲部722，从而防止划片轮33因与抽吸端口72碰撞而受损。此外，在抽吸端口72的端部设置缓冲部722，从而划片轮33可接近划片轮清洁部件71，而不用担心碰撞。因此，无法精确设计划片轮清洁部件71的设置位置和/或向划片轮33的划片轮清洁部件71接近的方向。

此外，在抽吸端口72的端部设置缓冲部722，从而可最大限度地减少多个抽吸端口72之间的间隔，由此可更进一步地防止从划片轮33脱落的异物向外部飞散。

以下，参照图7，对本实用新型的第三实施例的划片装置进行说明。对于与在本实用新型的第一实施例及第二实施例中说明的部分相同的部分标注相同的附图标记，并省略对其的详细说明。

如图7所示，根据本实用新型的第三实施例的划片装置，划片轮清洁部件71的旋转中心轴Cc及划片轮33的旋转中心轴Cw能够以垂直轴(Z轴)为基准相错开。

在划片轮33的旋转方向确定为一个方向的情况(例如，以附图为基准，划片轮33只能沿逆时针方向旋转的情况)下，划片轮清洁部件71的旋转中心轴Cc和划片轮33的旋转中心轴Cw被配置为以Z轴为基准相错开。因此，可增加划片轮清洁部件71的旋转力中的沿划片轮33的旋转方向作用的力的成分的大小。因此，可更有效地向划片轮33传递划片轮清洁部件71的旋转力，从而使划片轮33更顺畅地进行旋转。因此，可更有效地从划片轮33去除异物。

以下，参照图8及图9，对本实用新型的第四实施例的划片装置进行说明。对于与在本实用新型的第一实施例至第三实施例中说明的部分相同的部分标注相同的附图标记，并省略对其的详细说明。

如图8及图9所示，根据本实用新型的第四实施例的划片装置，划片轮33的一部分可从划片轮支架34突出。此外，可在划片轮清洁部件71的外周形成供划片轮33的突出部分插入的插入槽711。

如图9所示，若划片轮33插入到划片轮清洁部件71的插入槽711，则划片轮清洁部件71的一部分可插入到划片轮33的侧面与划片轮支架34的内部面之间。在划片轮清洁部件71为刷子的情况下，刷毛可插入到划片轮33的侧面与划片轮支架34的内部面之间。

因此，可轻松去除积存在划片轮33的侧面与划片轮支架34的内部面之间的间隙内的异物。因此，可防止划片轮33的侧面与划片轮支架34的内部面之间的间隙内的异物妨碍划片轮33的旋转(滚动)。

此外，划片轮清洁部件71的一部分可均匀地与划片轮33的侧面相接触，因此可轻松去除附着在划片轮33的侧面的异物。

此外，划片轮清洁部件71的一部分可以与划片轮支架34的与划片轮33相邻的部分相接触。因此，可轻松去除附着在划片轮支架34的与划片轮33相邻的部分的异物。

虽然已经示例性地对本实用新型的优选实施例进行了说明，但本实用新型的范围并不限定于上述的特定实施例，并且可以在实用新型的所要保护的范围内进行适当的变更。

Claims (7)

1.一种划片装置，其特征在于，包括：

划片轮，以能够旋转的方式安装于划片轮支架，用于在基板上形成划片线；

划片轮清洁部件，配置于上述划片轮能够接近的位置，与上述划片轮相接触而使划片轮进行旋转；以及

抽吸端口，与上述划片轮清洁部件相邻配置，用于抽吸上述划片轮清洁部件的周围的空气。

2.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，还包括：

供气器，用于供给气体；

空气马达，与上述划片轮清洁部件相连接，在上述供气器所供给的气体的压力的作用下产生使上述划片轮清洁部件进行旋转的旋转力；以及

负压发生器，与上述抽吸端口相连接，在上述供气器所供给的气体的压力的作用下在上述抽吸端口产生负压。

3.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

上述抽吸端口的内径大于上述划片轮清洁部件的外径。

4.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

上述抽吸端口的内径大于上述划片轮的外径与上述划片轮清洁部件的外径之和。

5.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

上述划片轮清洁部件的旋转中心轴与上述划片轮的旋转中心轴错开。

6.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

基于上述划片轮清洁部件的旋转的上述划片轮的旋转速度大于在上述基板上形成上述划片线时的上述划片轮的旋转速度。

7.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

上述划片轮的一部分从上述划片轮支架突出，在上述划片轮清洁部件的外周形成供上述划片轮突出的一部分插入的插入槽。

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