TWI440593B

TWI440593B - 搬送系統

Info

Publication number: TWI440593B
Application number: TW100119280A
Authority: TW
Inventors: Yasutomo Okajima; Kenichiro Ikeda
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd
Priority date: 2010-08-31
Filing date: 2011-06-01
Publication date: 2014-06-11
Also published as: JP5158156B2; TW201208962A; JP2012051656A; CN102432168A; CN102432168B; KR20120022055A; KR101214937B1

Description

搬送系統

本發明係有關於一種搬送呈立起姿勢之平板狀之工件之搬送系統。

先前，眾所周知有如下基板分斷裝置，其將形成有劃線之母基板以水平狀態固定，並且藉由分別配置於母基板之上下方之分斷單元沿著劃線使母基板分斷(例如專利文獻1)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2006-289625號公報

然而，專利文獻1中對於將平板狀之工件以立起姿勢固定而搬送之技術則沒有任何記載。

因此，本發明之目的在於提供一種能夠良好地搬送呈立起姿勢之平板狀之工件之搬送系統。

為了解決上述問題，技術方案1之發明為一種搬送系統，其特徵在於包含：固定側單元；及搬送單元，其包含以立起姿勢固定平板狀之工件之固定機構，並且使由上述固定機構固定之上述工件相對於上述固定側單元相對性地移動；上述搬送單元之上述固定機構包含：擠壓框，其擠壓上述工件之外緣部；複數個夾持部，其各自夾持配置於與上述擠壓框之間之上述工件之上述外緣部；及施壓構件，其藉由對上述擠壓框賦予施壓力，而將上述工件之上述外緣部固定於上述擠壓框與各夾持部之間；上述固定側單元包含：第1驅動部，其使上述複數個夾持部中之一部分向相對於上述擠壓框接近或離開之方向進退；及第2驅動部，其對上述施壓構件賦予壓縮力。

而且，技術方案2之發明如技術方案1之搬送系統，其中上述第2驅動部包含：拉桿，其沿著由上述施壓構件對上述擠壓框施壓之施壓方向進退；及旋轉體，其設置於上述拉桿之前端，擠壓上述施壓構件並沿著上述搬送單元之搬送方向轉動。

而且，技術方案3之發明如技術方案1或2之搬送系統，其更包含控制單元，該控制單元控制上述固定側單元及上述搬送單元之動作；上述固定側單元更包含交接部，其保持呈水平姿勢之上述工件，並且將呈立起姿勢之上述工件交接給上述搬送單元；上述複數個夾持部包含：可動夾持部，其向相對於上述擠壓框接近或離開之方向進退；及固定夾持部，其固定於上述擠壓框附近。

而且，技術方案4之發明如技術方案3之搬送系統，其中上述控制單元藉由下述步驟而將呈立起姿勢之上述工件固定於上述固定機構：(i)藉由使上述交接部移動，而使由上述交接部保持之上述工件呈立起姿勢，同時使上述工件移動至上述搬送單元之上述固定機構附近；(ii)藉由使上述第1驅動部動作，而使各可動夾持部向自上述擠壓框離開之方向移動；(iii)藉由使上述第2驅動部動作，而使上述擠壓框向與上述施壓方向相反之方向移動；(iv)使上述固定夾持部相對於被保持於上述交接部之上述工件而相對性地移動，從而將上述工件之上述外緣部抵接於上述固定夾持部；(v)於上述工件之上述外緣部抵接於上述固定夾持部之狀態下，使上述第1驅動部動作，由此使各可動夾持部向接近於上述擠壓框之方向移動，並且將上述工件之上述外緣部抵接於各可動夾持部；(vi)於上述工件之上述外緣部抵接於上述複數個可動夾持部及上述固定夾持部之狀態下，使上述第2驅動部動作，由此使上述擠壓框向上述施壓方向移動，使立起姿勢之上述工件由上述固定機構固定；及(vii)於由上述固定機構將上述工件固定之狀態下，使上述交接部對上述工件之保持狀態解除。

而且，技術方案5之發明如技術方案3之搬送系統，其中上述控制單元藉由下述步驟而解除由上述固定機構以立起姿勢固定之上述工件之固定狀態：(i)使由上述固定機構固定之上述工件被保持於上述交接部；(ii)於上述工件之上述外緣部抵接於上述複數個可動夾持部及上述固定夾持部之狀態下，使上述第2驅動部動作，藉此使上述擠壓框向與由此上述施壓方向相反之方向移動，從而將上述固定機構對上述工件之固定解除；(iii)於上述工件之上述外緣部抵接於上述複數個可動夾持部及上述固定夾持部之狀態下，使上述第1驅動部動作，由此使各可動夾持部向自上述擠壓框離開之方向移動；(iv)使上述固定夾持部相對於被保持於上述交接部之上述工件而相對性地移動，從而使上述工件之上述外緣部自上述固定夾持部離開；及(v)藉由使上述交接部移動，而使被保持於上述交接部之上述工件自上述搬送單元之上述固定機構離開。

技術方案1至5之發明中，搬送單元之固定機構藉由來自設置於固定側單元之第1及第2驅動部之驅動力執行工件之固定及工件之解除固定。即，搬送單元不需要用以執行工件之固定及工件之解除固定之驅動部(第1及第2驅動部)，從而無需將與該要素相關之配管及配線設置於移動側(搬送單元)與固定側之間。因此，可提高行進時之搬送單元之安全性及維護時之作業人員之作業效率。

特別是根據技術方案2之發明，搬送單元相對於固定側單元移動時，設置於第2驅動部之拉桿前端之旋轉體壓縮施壓構件且於施壓構件上沿著搬送方向旋轉。由此，搬送單元可維持旋轉體之壓縮狀態且於搬送方向上移動。因此，即便搬送單元相對於固定側單元而相對性地移動時，亦能夠維持工件之解除固定狀態。

特別是根據技術方案3至5之發明，能夠良好地執行將呈立起姿勢之工件固定於固定機構之動作、及將固定於固定機構之工件之固定解除之動作。

以下，一邊參照附圖一邊對本發明之實施形態詳細進行說明。

<1.　整體構成>

圖1及圖2分別係表示本發明之實施形態中之基板分斷裝置1之構成之一例之前視圖及後視圖。圖3係表示工件3之構成之一例之前視圖。基板分斷裝置1係將形成有劃線8之脆性材料基板7(參照圖3)沿著劃線8分斷(切斷)之裝置。

如圖1及圖2所示，基板分斷裝置1主要包含變換姿勢單元10、主體單元40、搬送單元50、非接觸保持單元80、分斷單元85及控制單元90。

另外，圖1及以後之各圖中，為了明確該等部分之方向關係，視需要適當標註以Z軸方向為鉛垂方向、以XY平面為水平面之XYZ正交座標系。

變換姿勢單元10將平板狀之工件3之姿勢於水平姿勢及立起姿勢之間進行變換，並且將呈立起姿勢之工件3交接給搬送單元50。此外，變換姿勢單元10相對於主體單元40而固定。

此處，如圖3所示，固定於搬送單元50且由分斷單元85進行分斷處理之工件3主要包含切割環4、切割片5及脆性材料基板7。

切割環4(環狀體)係由不鏽鋼等金屬形成之平板。如圖1及圖2所示，藉由切割環4之外緣部4a由固定機構60夾持而將工件3固定於固定機構60上。

而且，如圖3所示，於切割環4之中央附近形成有開口4b。進而，於切割環4之外緣部4a設置有缺口4c。藉由檢測該缺口4c之位置來檢測工件3之旋轉角度。

切割片5(片材體)以覆蓋切割環4之開口4b之方式相對於切割環4而安裝。而且，脆性材料基板7以位於開口4b上之方式貼附於切割片5。因此，即便使工件3為立起姿勢，亦可切實地將脆性材料基板7固定。此處，本實施形態中，作為切割片5，亦可使用例如樹脂製之黏著片材。

脆性材料基板7係例如玻璃基板或陶瓷基板等那樣由脆性材料形成之基板。如圖3所示，於脆性材料基板7上形成有複數個劃線8及複數個電子零件9。

劃線8係形成於脆性材料基板7之表面上之切割紋(縱向紋路)。此處，藉由例如使燒結金剛石製之劃線輪(省略圖示)壓接於脆性材料基板7之表面並轉動而形成劃線8。而且，對形成有複數個劃線8之脆性材料基板7賦予應力，並沿著各劃線8將脆性材料基板7分斷，由此獲得複數個電子零件9(例如複數個液晶顯示裝置)。

另外，本實施形態中，將工件3(以及切割環4、切割片5及脆性材料基板7)之主面3a、3b中之未形成劃線8之面稱為第1主面3a，且將形成有劃線8之面稱為第2主面3b。

如圖1及圖2所示，主體單元40被用作將變換姿勢單元10、非接觸保持單元80及分斷單元85等單元、以及複數個旋轉致動器41(41a~41c)固定之固定部。

此處，各旋轉致動器41(41a~41c)根據壓縮空氣之供給狀態而使軸(旋轉軸，省略圖示)旋轉。藉此，安裝於軸上之搖桿42(42a~42c)擺動，並抵接於對應之夾持部61(61a~61c)之抵接部63(參照圖8)。另外，對於夾持部61(61a~61c)之硬體構成於下文中闡述。

搬送單元50設置成能夠沿著固定於主體單元40上之一對導件43、44行進。搬送單元50將平板狀之工件3以立起姿勢保持，並且使該工件3相對於變換姿勢單元10及主體單元40移動。此處，搬送單元50之保持可藉由對工件3之外緣部4a進行接觸保持而實現。

如此，搬送單元50不僅搬送工件3(搬送功能)，亦可藉由對包含脆性材料基板7之工件3之外緣部4a也進行接觸保持而將平板狀之工件3以立起姿勢之狀態予以固定(保持功能)。即，搬送單元50亦可用作「保持單元」。

而且，本實施形態中，搬送工件3時，搬送單元50移動，但變換姿勢單元10及主體單元40靜止。因此，本實施形態中，亦可將變換姿勢單元10及主體單元40統稱為「固定側單元」。

如圖2所示，非接觸保持單元80以與位於分斷位置P20之搬送單元50對向之方式設置，對由搬送單元50之固定機構60接觸保持外緣部4a之工件3進行非接觸保持。

如此，由對呈立起姿勢之平板狀之工件3之外緣部4a進行「接觸保持」之搬送單元50(保持單元)以及對工件3之第1主面3a進行「非接觸保持」之非接觸保持單元80構成保持裝置。

分斷單元85將由搬送單元50保持之工件3之脆性材料基板7沿著劃線8分斷。此處，分斷單元85對脆性材料基板7賦予應力，使垂直裂縫自形成有劃線8之脆性材料基板7之主面成長至其相反側之主面為止，由此將脆性材料基板7分斷。

控制單元90對變換姿勢單元10、主體單元40、搬送單元50、非接觸保持單元80及分斷單元85中所包含之各要素之動作進行控制，並且實現資料運算。如圖1及圖2所示，控制單元90主要包含ROM91、RAM92及CPU93。

ROM(Read Only Memory，唯讀記憶體)91為所謂之非揮發性之記憶部，例如儲存有程式91a。另外，作為ROM91，亦可使用自由讀寫之非揮發性記憶體即快閃記憶體。RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)92為揮發性之記憶部，例如儲存有用於CPU93之運算之資料。

CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)93以特定之時點執行依照ROM91之程式91a進行控制(例如複數個旋轉致動器41(41a~41c)及複數個擠壓用缸體37(37a~37d)之驅動控制等)。

另外，對於變換姿勢單元10、搬送單元50、非接觸保持單元80以及分斷單元85之詳細硬體構成於下文中闡述。

<2.　變換姿勢單元之構成>

圖4及圖5分別表示變換姿勢單元10之構成之一例之側視圖及俯視圖。此處，變換姿勢單元10如上所述，執行變換工件3之姿勢之動作、及將工件3交接給搬送單元50之動作。

如圖4及圖5所示，變換姿勢單元10主要包含複數個支持部11(11a~11d)、複數個定位把手13(13a~13d)、交接部20、擺動部30及擠壓部35。

複數個(本實施形態中為4個)支持部11(11a~11d)支持交接給變換姿勢單元10之工件3。如圖4及圖5所示，各支持部11(11a~11d)固定於可將工件3之切割環4之外緣部4a支持之位置、且不與交接部20之升降台21相干擾之位置。

而且，如圖4及圖5所示，各支持部11(11a~11d)於其前端具有設置成自由轉動之滾珠12(12a~12d)。藉此，各滾珠12(12a~12d)可點支持工件3並旋轉。因此，由各支持部11(11a~11d)支持之工件3之位置能夠容易且靈活地變換。

此處，由複數個支持部11(11a~11d)支持之工件3亦可例如自未圖示之搬送機械手交接給變換姿勢單元10。而且，基板分斷裝置1之作業人員(以下，簡稱為「作業人員」)亦可將工件3載置於複數個支持部11上。

如圖4及圖5所示，複數個(本實施形態中為4個)定位把手13(13a~13d)與對應之把持爪23(23a~23d)鄰接設置。各定位把手13(13a~13d)藉由設置於基部20a上之移動機構(省略圖示)而沿著對應之支臂26(26a~26d)之長度方向進退。藉此，各定位把手13(13a~13d)以使由各支持部11(11a~11d)支持之工件3之位置為所期望之範圍之方式，將工件3(更具體而言為切割片5)之外緣部4a向朝向升降台21之中心21a之方向擠壓。

工件確認感測器15檢測工件3是否支持於複數個支持部11。如圖5所示，工件確認感測器15固定於與支持部11b鄰接、且不與交接部20之升降台21相干擾之位置。作為工件確認感測器15，亦可使用例如以非接觸來檢測有無工件3之接近感測器。

交接部20保持呈水平姿勢且由複數個支持部11支持之工件3。而且，交接部20於其與搬送單元50之間交接藉由擺動部30而呈立起姿勢之工件3。如圖4及圖5所示，交接部20主要包含升降台21、複數個把持爪23(23a~23d)、複數個吸附部25(25a~25d)及交接用缸體28。

如圖5所示，升降台21具有自中心21a向外側呈放射狀延伸之複數個(本實施形態中為4根)支臂26(26a~26d)。升降台21防止由把持爪23及吸附部25保持之工件3發生變形。

複數個(本實施形態中為4個)把持爪23(23a~23d)(複數個把持部)把持於水平姿勢及立起姿勢之間進行變換姿勢之工件3(更具體而言為切割環4)之外緣部4a。如圖4及圖5所示，各把持爪23(23a~23d)設置於對應之支臂26(26a~26d)之前端27(27a~27d)附近。

此處，如圖4所示，各定位把手13(13a~13d)之上端附近(為了方便圖示，僅表示定位把手13b之上端附近)分叉。因此，即便各定位把手13(13a~13d)為了對工件3進行定位而進退，各定位把手13(13a~13d)亦不會與對應之把持爪23(23a~23d)及吸附部25(25a~25d)形成干擾。

而且，當利用各定位把手13(13a~13d)以使工件3之位置為所期望之範圍之方式進行定位時，工件3由各把持爪23(23a~23d)圍繞。

複數個(本實施形態中為4個)吸附部25(25a~25d)與各把持爪23(23a~23d)對應而設置，且吸附工件3(更具體而言為切割環4)之外緣部4a。

因此，由複數個定位把手13(13a~13d)定位之後，由複數個吸附部25(25a~25d)吸附工件3，藉此將被保持於複數個支持部11(11a~11d)之工件3交接給交接部20。

如此，各把持爪23(23a~23d)及各吸附部25(25a~25d)把持及吸附切割環4。即，脆性材料基板7並未由各把持爪23(23a~23d)及各吸附部25(25a~25d)把持或吸附。因此，交接部20及擺動部30可執行工件3之保持及變換姿勢，而不會對形成於脆性材料基板7上之劃線8(參照圖3)帶來影響。

在交接用缸體28將呈立起姿勢之工件3於交接部20及搬送單元50之間進行交接之情形時，使工件3於交接部20及搬送單元50之間移動。如圖4所示，交接用缸體28包含主體部28a及拉桿29。

拉桿29能夠相對於主體部28a進退。如圖4所示，拉桿29之前端固定於升降台21之底面。因此，被固定於升降台21上之立起姿勢之工件3對應於拉桿29之前進或後退動作而於交接部20與搬送單元50之間移動。

擺動部30藉由使交接部20以擺動軸31為中心擺動，而使由交接部20保持之工件3之姿勢於水平姿勢與立起姿勢之間變換。如圖4及圖5所示，擺動部30主要包含擺動軸31、擺動框32及擺動用缸體33。

擺動軸31用作為使交接部20相對於基部20a擺動之中心軸。如圖5所示，擺動軸31可旋轉地由軸承30a、30b支持(軸支持)。而且，軸承30a、30b分別固定於對應之托架30c、30d上。

擺動框32係由多片(本實施形態中為3片)板體32a~32c形成之框體。如圖5所示，於板體32a、32c之間固定有擺動軸31。另一方面，於板體32b固定有交接部20之交接用缸體28。

擺動用缸體33為使交接部20擺動之驅動部。如圖4所示，擺動用缸體33主要包含主體部33a及拉桿34。

拉桿34能夠相對於主體部33a進退。如圖4及圖5所示，主體部33a固定於交接部20之基部20a，拉桿34之前端34a固定於擺動框32之板體32a。

因此，當拉桿34自主體部33a前進時，由把持爪23及吸附部25保持之工件3之姿勢自水平變換姿勢為立起姿勢。另一方面，當拉桿34後退至主體部33a時，由把持爪23及吸附部25保持之工件3之姿勢自立起變換姿勢為水平姿勢。

擠壓部35調整自搬送單元50之固定機構60賦予至工件3之負載。藉此，由固定機構60執行將自交接部20交接給搬送單元50之工件3固定之動作、及將工件3之固定狀態解除之動作。

如圖4及圖5所示，擠壓部35主要包含安裝框35a、複數個托架36(36a~36d)及複數個擠壓用缸體37(37a~37d)。

安裝框35a及複數個托架36(36a~36d)用於將複數個擠壓用缸體37(37a~37d)固定於變換姿勢單元10上。如圖2及圖4所示，安裝框35a形成為框體狀，並固定於基部20a。而且，如圖2所示，複數個(本實施形態中為4個)托架36(36a~36d)為自安裝框35a之縱板起沿著搬送單元50之搬送方向(箭頭AR1方向)延伸之安裝板。

複數個擠壓用缸體37(37a~37d)分別將對應之施壓構件73(73a~73d，參照圖7)壓縮。如圖4及圖5所示，各擠壓用缸體37(37a~37d)主要包含複數個拉桿38(38a~38d)及複數個輥39(39a~39d)。

複數個(本實施形態中為4個)拉桿38(38a~38d)分別設置成能夠沿著箭頭AR2方向進退。而且，於各拉桿38(38a~38d)之前端安裝著對應之輥39(39a~39d)。

因此，當各拉桿38(38a~38d)前進時，對應之輥39(39a~39d)抵接於各施壓構件73(73a~73d，參照圖7)，藉此，各施壓構件73(73a~73d)被壓縮。

另一方面，當各拉桿38(38a~38d)後退時，對應之輥39(39a~39d)自各施壓構件73(73a~73d，參照圖7)離開。藉此，各施壓構件73(73a~73d)之壓縮狀態被解除。

複數個(本實施形態中為4個)輥39(39a~39d)分別為設置於對應之拉桿38(38a~38d)前端之旋轉體。如圖5所示，各輥39(39a~39d)設置成能夠以於鉛垂方向(與Z軸大致平行之方向，與箭頭AR1方向大致垂直之方向)延伸之旋轉軸為中心旋轉。

因此，當於各輥39(39a~39d)抵接於對應之施壓構件73(73a~73d)之狀態下，搬送單元50沿搬送方向(箭頭AR1方向)移動時，各輥39(39a~39d)以如下方式動作。即，各輥39一邊將對應之施壓構件73(73a~73d)壓縮，一邊於對應之施壓構件73(73a~73d)上沿著搬送方向旋轉。因此，搬送單元50可維持各輥39(39a~39d)之壓縮狀態，且沿搬送方向移動。其結果為，即便搬送單元50相對於變換姿勢單元10及主體單元40(固定側單元)移動時，亦可維持工件3之解除固定狀態。

<3.　搬送單元之構成>

圖6及圖7係表示搬送單元50之構成之一例之前視圖及後視圖。圖8係表示可動夾持部61(61a~61c)之構成之一例之前視圖。圖9係自圖8之V-V線觀察之導引爪69(69a)附近之剖面圖。圖10係自圖7之W-W線觀察之導引爪69(69d)附近之剖面圖。

此處，搬送單元50接觸保持工件3之外緣部4a，並且於執行工件3之授受之交接位置P10與由分斷單元85執行脆性材料基板7之分斷之分斷位置P20之間搬送立起姿勢之工件3。

藉此，能夠抑制包含搬送路徑於內之搬送單元50之設置面積(即搬送單元50之移動區域尺寸)。因此，能夠減小基板分斷裝置1之尺寸。

如圖6及圖7所示，搬送單元50主要包含固定台51及旋轉台52。此處，本實施形態之搬送單元50設置成能夠藉由例如未圖示之線性馬達而相對於變換姿勢單元10、主體單元40及非接觸保持單元80等移動。

旋轉台52是相對於固定台51旋轉之圓盤狀之旋轉部。如圖6及圖7所示，旋轉台52自由轉動地嵌入至形成於固定台51之圓形狀之貫通孔51a中。而且，旋轉台52具有將工件3固定之固定機構60。另外，對於固定機構60之構成於下文中闡述。

固定台51用作安裝例如用以使旋轉台52旋轉之旋轉要素、及用以使固定台51及旋轉台52相對於主體單元40行進之行進要素之安裝部。如圖6及圖7所示，固定台51主要包含導塊55、馬達56及皮帶57。

如圖6所示，複數個(本實施形態中為6個)導塊55設置於固定台51之正面51b。另外，於各導塊55之內部將複數個滾珠(省略圖示)設置成能夠旋轉。而且，各導塊55安裝於對應之導件43、44時，各導塊55內之滾珠(省略圖示)以能夠旋轉之狀態與對應之導件43、44接觸。

藉此，當各導塊55沿著對應之導件43、44(即沿著搬送方向(箭頭AR1方向))移動時，各導塊55內之滾珠(省略圖示)於對應之導件43、44上旋轉。因此，固定台51能夠沿著導件43、44順利地行進。

馬達56係對旋轉台52賦予旋轉力之驅動部。皮帶57將由馬達56賦予之旋轉力傳遞至旋轉台52。如圖6所示，皮帶57捲繞於旋轉台52、及安裝於馬達56之旋轉軸56a前端之馬達用滑輪58上。藉此，若馬達56旋轉，則固定於固定機構60之工件3旋轉。

張力調整用滑輪59調整賦予至皮帶57之張力。本實施形態中，張力調整用滑輪59之位置(例如Z軸方向上之位置)係由未圖示之定位機構來調整。藉此，可容易地消除皮帶57之鬆弛，並且可容易地調整皮帶57之張力。因此，能夠良好地維持旋轉台52之旋轉狀態。

<3.1.　固定機構之構成>

固定機構60將平板狀之工件3以立起姿勢固定。如圖6及圖7所示，固定機構60主要包含複數個夾持部61(61a~61c)、62及複數個擠壓部71。

複數個夾持部61(61a~61c)、62將配置於與擠壓部71之間之工件3之外緣部4a夾持。如圖7所示，複數個夾持部61(61a~61c)、62分別沿著擠壓框72而設置。

另外，以下說明中，將標註符號61(61a~61c)之夾持部稱為「可動夾持部」，將標註符號62之夾持部稱為「固定夾持部」。

即，複數個夾持部包含複數個可動夾持部61(61a~61c)及固定夾持部62。再換言之，複數個夾持部中之一部分為複數個可動夾持部61(61a~61c)，複數個夾持部中之剩餘部分為固定夾持部62。

複數個(本實施形態中為3個)可動夾持部61(61a~61c)分別於相對於擠壓框72接近或離開之方向進退。如圖7及圖8所示，各可動夾持部61(61a~61c)主要包含抵接部63、轉動板64、施壓構件66、可動導件67(67a~67c)及導引爪69(69a~69c)。

此處，可動夾持部61a~61c具有彼此相同之硬體構成。因此，以下僅對可動夾持部61a之硬體構成進行說明。

抵接部63係由例如金屬成形之球狀體，且安裝於轉動板64上。轉動板64是以轉動軸64a為中心轉動之板體。例如，旋轉致動器41(41a)之搖桿42(42a)(參照圖1及圖2)擺動，搖桿42(42a)抵接於對應之夾持部61(61a)之抵接部63時，轉動板64以轉動軸64a為中心向箭頭R1方向轉動。

連桿65為連接轉動板64及可動導件67(67a)之寬度較窄之板體。連桿65之一端利用轉動軸65a而與轉動板64連動連結，且連桿65之另一端利用轉動軸65b而與可動導件67(67a)連動連結。

施壓構件66由彈簧等彈性構件形成。如圖8所示，施壓構件66之一端66a固定於可動側之轉動板64上，施壓構件66之另一端66b固定於固定側之強化板64b。藉此，若轉動板64沿箭頭R1方向轉動，則施壓構件66對轉動板64向與箭頭R1方向相反之方向施壓。

可動導件67(67a)為平板狀之可動構件。可動導件67向相對於擠壓框72接近或離開之方向進退，由此來調整工件3之固定狀態。

即，利用旋轉致動器41(41a)使搖桿42(42a)擺動，使轉動板64沿箭頭R1方向轉動時，可動導件67(67a)向自擠壓框72離開之方向移動。藉此，可動導件67(67a)成為夾持解除狀態。

另一方面，當利用旋轉致動器41(41a)使搖桿42(42a)回到擺動前之位置，由於施壓構件66之施壓力轉動板64向與箭頭R1方向相反之方向轉動時，可動導件67(67a)向接近於擠壓框72之方向移動。藉此，可動導件67(67a)成為其與擠壓框72之間能夾持工件3之狀態。

如此，設置於主體單元40之複數個旋轉致動器41(41a~41c)用作驅動部(第1驅動部)，使複數個夾持部61(61a~61c)、62中之一部分(複數個可動夾持部61a~61c)向相對於擠壓框72接近或離開之方向進退。

如圖8所示，缺口60a係形成於可動導件67之擠壓框72側之凹口。此處，當於變換姿勢單元10之交接部20與搬送單元50之間交接工件3時，把持爪23(23a)可配置於由缺口60a形成之空間(例如間隙75(75a))中(參照圖8及圖11至圖13)。因此，於交接工件3時，能夠有效防止把持爪23(23a)與可動導件67(67a)相干擾。

複數個(本實施形態中為兩個)導引爪69(69a)與可動導件67(67a)及擠壓框72協作，從而夾持工件3。如圖8所示，導引爪69(69a)於沿著對向之擠壓框72之輪廓線之方向上離開而安裝於可動導件67(67a)上。而且，如圖9所示，以導引爪69(69a)之階差面60b位於可動導件67(67a)之下端面60c之更下方之方式，將導引爪69(69a)安裝於可動導件67(67a)上。

因此，如圖9所示，藉由可動導件67(67a)之下端面60c、導引爪69(69a)之階差面60b及擠壓框72之對向面60d與工件3接觸，而實現可動夾持部61(61a)及擠壓部71對工件3之夾持。

如圖7所示，固定夾持部62固定於擠壓框72附近。如圖7所示，固定夾持部62主要包含固定導件68及導引爪69(69d)。

固定導件68為平板狀之固定構件。即，固定導件68與可動導件67(67a~67c)不同，不於相對於擠壓框72接近或離開之方向上進退，而是固定於旋轉台52上。

藉此，能夠以固定夾持部62之位置為基準容易地執行工件3相對於固定機構60之定位。因此，藉由使用複數個可動夾持部61(61a~61c)及固定夾持部62而能夠良好地將工件3夾持及夾持解除。

如圖7所示，缺口68a係形成於固定導件68之擠壓框72側之凹口。此處，當於變換姿勢單元10之交接部20與搬送單元50之間交接工件3時，把持爪23(23d)可配置於由缺口68a形成之空間(例如間隙75(75d))中(參照圖7及圖11至圖13)。因此，於交接工件3時，能夠有效防止把持爪23(23d)與固定導件68相干擾。

複數個(本實施形態中為兩個)導引爪69(69d)與固定導件68及擠壓框72協作，從而夾持工件3。如圖7所示，導引爪69(69d)於沿著對向之擠壓框72之輪廓線之方向上離開而安裝於固定導件68上。而且，如圖10所示，以導引爪69(69d)之階差面60b位於比固定導件68之側端面68b更靠擠壓框72側之方式，將導引爪69(69d)安裝於固定導件68上。

因此，如圖9所示，藉由固定導件68之側端面68b、導引爪69(69d)之階差面60b及擠壓框72之對向面60d與工件3接觸，來實現固定夾持部62及擠壓部71對工件3之夾持。

擠壓部71藉由於與可動夾持部61(61a~61c)及固定夾持部62之間夾持工件3來擠壓工件3之外緣部4a。如圖7所示，擠壓部71主要包含擠壓框72及複數個施壓構件73(73a~73d)。

如圖6及圖7所示，擠壓框72形成為環狀(更具體而言為矩形環狀)，且安裝於旋轉台52之中央附近。如圖9及圖10所示，擠壓框72自工件3之第2主面3b側對工件3之外緣部4a進行擠壓。

複數個(本實施形態中為4個)施壓構件73(73a~73d)由彈簧等彈性構件形成。如圖7所示，各施壓構件73(73a~73d)與擠壓框72之四個角部中之對應之角連結。

此處，若各施壓構件73(73a~73d)自對應之擠壓用缸體37(37a~37d)(參照圖4及圖5)接收自圖7之紙面之正面朝向背面之方向(即與箭頭AR2方向相反之方向)之力，則各施壓構件73(73a~73d)被壓縮。即，擠壓部35之擠壓用缸體37(37a~37d)用作向對應之施壓構件73(73a~73d)賦予壓縮力之驅動部(第2驅動部)。

另一方面，當拉桿38(38a~38d)後退，輥39(39a~39d)自對應之施壓構件73(73a~73d)離開時，各施壓構件73(73a~73d)對擠壓框72施壓箭頭AR2方向(施壓方向)之施壓力。

藉此，工件3因受到來自各施壓構件73(73a~73d)之施壓力而被可動夾持部61(61a~61c)及固定夾持部62與擠壓框72夾持。其結果為，工件3固定於固定機構60上。

如此，固定機構60上之工件3之固定狀態由變換姿勢單元10之擠壓用缸體37(37a~37d)(第2驅動部)及主體單元40之旋轉致動器41(41a~41c)(第1驅動部)來進行調整。

即，藉由搬送單元50之固定機構60、變換姿勢單元10之擠壓用缸體37(37a~37d)及主體單元40之旋轉致動器41(41a~41c)，執行對成為搬送對象之工件3之固定。

因此，本實施形態中，亦將變換姿勢單元10、主體單元40及搬送單元50統稱為「搬送系統」。

<3.2.　工件之固定方法>

圖11至圖13係用以說明由固定機構60對工件3之固定步驟及解除固定步驟之後視圖。此處，對將呈立起姿勢之工件3固定於固定機構60上之步驟進行說明。

另外，該固定步驟是藉由控制單元90控制變換姿勢單元10、主體單元40、搬送單元50中所包含之各要素之動作來實現。

又，開始正式固定步驟之前，使搬送單元50移動至交接位置P10之解除位置P11(參照圖2)，工件3由各吸附部25(25a~25d)予以吸附保持。

在正式固定步驟中，首先利用擺動部30使交接部20移動(擺動)。藉此，使由交接部20保持之工件3呈立起姿勢並移動至搬送單元50之固定機構60附近。

其次，使設置於主體單元40之複數個旋轉致動器41(41a~41c)(參照圖2)動作，且使各搖桿42(42a~42c)擺動。藉此，使各可動夾持部61(61a~61c)之可動導件67(67a~67c)向自擠壓框72離開之方向移動。

繼而，使複數個擠壓用缸體37(37a~37d)動作，從而各拉桿38(38a~38d)自缸體主體前進。藉此，各施壓構件73(73a~73d)被對應之輥39(39a~39d)壓縮，擠壓框72向與各施壓構件73(73a~73d)之施壓方向(箭頭AR2方向)相反之方向移動。

繼而，使搬送單元50自交接位置P10之解除位置P11移動至固定位置P12(參照圖1及圖2)。藉此，各擠壓用缸體37(37a~37d)之前端之輥39(39a~39d)會將對應之施壓構件73(73a~73d)壓縮，且在施壓構件73(73a~73d)上旋轉。因此，搬送單元50於已使擠壓框72自工件3離開之狀態下沿著搬送方向移動。繼而，於擠壓框72已自工件3離開之狀態下，工件3之外緣部4a抵接於固定導件68之側端面68b(圖10)。

繼而，於工件3之外緣部4a抵接於固定導件68之側端面68b(圖10)之狀態下，使旋轉致動器41(41a~41c)動作，從而對應之搖桿42(42a~42c)回到擺動前之位置。

藉此，各可動夾持部61(61a~61c)之可動導件67(67a~67c)向接近於擠壓框72之方向移動。因此，使工件3之外緣部4a抵接於各可動導件67(67a~67c)。

繼而，於工件3之外緣部4a抵接於各可動夾持部61(61a~61c)及固定夾持部62之狀態下，使各擠壓用缸體37(37a~37d)動作，從而使各拉桿38(38a~38d)後退。

藉此，由各擠壓用缸體37(37a~37d)賦予至對應之施壓構件73(73a~73d)之壓縮力解除賦予，擠壓框72便向各施壓構件73之施壓方向移動。繼而，如圖9及圖10所示，可動導件67(67a~67c)及固定導件68之階差面60b與擠壓框72之對向面60d之距離變窄。

因此，工件3被夾於可動夾持部61(61a~61c)及固定夾持部62與擠壓部71之間，立起姿勢之工件3由固定機構60固定。即，根據正式固定步驟，可將立起姿勢之工件3良好地固定於固定機構60上。

繼而，於工件3由固定機構60固定之狀態下，解除各吸附部25(25a~25d)之吸附狀態。藉此，交接部20對工件3之保持狀態得以解除，工件3之固定步驟完成。

<3.3.　工件之解除固定方法>

此處，一邊參照圖11至圖13，一邊說明對藉由固定機構60而以立起姿勢固定之工件3解除該工件3之固定狀態之步驟。

另外，該解除步驟與工件3之固定步驟同樣地是藉由控制單元90控制變換姿勢單元10、主體單元40、搬送單元50中所包含之各要素之動作來實現。

而且，開始正式解除步驟之前，搬送單元50移動至交接位置P10之固定位置P12(參照圖2)，工件3由固定機構60固定。

正式解除步驟中，首先將由固定機構60固定之工件3被各吸附部25(25a~25d)吸附。藉此，工件3於固定於固定機構60之狀態下由交接部20保持。

其次，於工件3之外緣部4a抵接於複數個可動夾持部61(61a~61c)及固定夾持部62之狀態下，使複數個擠壓用缸體37(37a~37d)(第2驅動部)動作，從而各拉桿38(38a~38d)自缸體主體前進。

藉此，各施壓構件73(73a~73d)被對應之輥39(39a~39d)壓縮，使擠壓框72向與各施壓構件73(73a~73d)之施壓方向(箭頭AR2方向)相反之方向移動。而且，如圖9及圖10所示，可動導件67(67a~67c)及固定導件68之階差面60b與擠壓框72之對向面60d之距離擴大。因此，固定機構60對立起姿勢之工件3之固定被解除，工件3由交接部20之各吸附部25(25a~25d)吸附保持。

如此，擠壓部35之各擠壓用缸體37(37a~37d)壓縮對應之施壓構件73(73a~73d)，由此可解除工件3之固定狀態。

繼而，於工件3之外緣部4a抵接於複數個可動夾持部61(61a~61c)及固定夾持部62之狀態下，使複數個旋轉致動器41(41a~41c)(第1驅動部)動作，從而使各搖桿42(42a~42c)擺動。藉此，使各可動夾持部61(61a~61c)之可動導件67(67a~67c)向自擠壓框72離開之方向移動。

繼而，使搬送單元50自交接位置P10之固定位置P12移動至解除位置P11(參照圖1及圖2)。藉此，各擠壓用缸體37(37a~37d)前端之輥39(39a~39d)將對應之施壓構件73(73a~73d)壓縮，且於施壓構件73(73a~73d)上旋轉。因此，搬送單元50於已使擠壓框72自工件3離開之狀態下沿著搬送方向移動。而且，於擠壓框72自工件3離開了之狀態下，工件3之外緣部4a自固定導件68之側端面68b(圖10)離開。如此，根據正式解除步驟，能夠良好地解除由固定機構60固定之工件3之固定狀態。

繼而，由擺動部30使交接部20移動(擺動)，藉此由交接部20保持之工件3自搬送單元50之固定機構60離開。而且，工件3自固定機構60離開之後，使複數個擠壓用缸體37(37a~37d)之拉桿38(38a~38d)後退，由此擠壓框72向施壓方向(箭頭AR2方向)移動，工件3之解除固定步驟完成。

<4.　非接觸保持單元之構成>

圖14係表示非接觸保持單元80之構成之一例之前視圖。此處，非接觸保持單元80將如上所述般由搬送單元50接觸保持之工件3之第1主面3a輔助性地非接觸保持。如圖14所示，非接觸保持單元80主要包含安裝台81、複數個第1吸引部83及複數個第2吸引部84。

此處，本實施形態中，亦將符號83之「第1吸引部」與符號84之「第2吸引部84」統稱為「吸引部」。即，複數個吸引部包含複數個第1吸引部83及複數個第2吸引部84。

安裝台81以與行進至分斷位置P20為止之搬送單元50對向之方式設置。如圖2所示，安裝台81固定於主體單元40上。而且，如圖1及圖14所示，安裝台81之鉛垂面81a用作安裝複數個第1吸引部83及複數個第2吸引部84之安裝面。

插入孔81b為於鉛垂方向(與Z軸平行之方向)延伸之貫通長孔，且形成於安裝台81之中央附近。第1分斷棒86經由插入孔81b到達工件3之第1主面3a。

如圖1及圖14所示，複數個吸引部(複數個第1吸引部83及複數個第2吸引部84)設置於安裝台81之鉛垂面81a上。複數個吸引部吸引對向之立起姿勢之工件3之第1主面3a，藉此，以非接觸狀態保持工件3。此處，本實施形態中，作為複數個第1吸引部83及複數個第2吸引部84亦可使用伯努利吸盤。

如圖14所示，複數個(本實施形態中為12個)第1吸引部83於沿著形成於安裝台81上之插入孔81b之長度方向兩側之狀態下，設置於安裝台81之鉛垂面81a上。各第1吸引部83由例如伯努利吸盤構成。藉此，能夠藉由各第1吸引部83吸引對向之工件3而將工件3以非接觸狀態保持。

如圖14所示，複數個(本實施形態中為12個)第2吸引部84於自兩側夾持複數個第1吸引部83之狀態下，設置於安裝台81之鉛垂面81a上。各第2吸引部84與第1吸引部83同樣地由例如伯努利吸盤構成。藉此，各第2吸引部84與第1吸引部83同樣地吸引對向之工件3，由此能夠將工件3以非接觸狀態保持。

此處，如圖14所示，各第1吸引部83之直徑小於各第2吸引部84之直徑。而且，如圖14所示，複數個第1吸引部83中相鄰接之第1吸引部83彼此之間隔D1(第1間隔)小於複數個第2吸引部84中相鄰接之第2吸引部84彼此之間隔D2(第2間隔)。

如此，複數個第1吸引部83比複數個第2吸引部84更密集地配置。藉此，能夠更切實地將插入孔81b附近之工件3(換言之，第1分斷棒86附近之工件3)非接觸保持。因此，能夠良好地執行脆性材料基板7之分斷。

<5.　分斷單元之構成>

圖15係表示分斷單元85之構成之一例之俯視圖。此處，分斷單元85將由搬送單元50及非接觸保持單元80形成保持狀態之脆性材料基板7沿著劃線8分斷。如圖15所示，分斷單元85主要包含第1分斷棒86及複數個第2分斷棒87。

第1分斷棒86以經由插入孔81b到達搬送單元50側之方式進退。如圖14及圖15所示，第1分斷棒86沿著安裝台81之插入孔81b於一個方向(插入孔81b之長度方向，Z軸方向)(以下簡稱為「延伸方向」)延伸。

複數個(本實施形態中為2根)第2分斷棒87夾持由搬送單元50保持之工件3而設置於第1分斷棒86之相反側。各第2分斷棒87於與第1分斷棒86平行之方向(Z軸方向)延伸。

此處，如圖15所示，搬送方向(箭頭AR1方向)上之複數個第2分斷棒87僅隔開所期望之距離D3而配置。而且，如圖15所示，第2分斷棒87、第1分斷棒86及第2分斷棒87沿著自交接位置P10朝向分斷位置P20之方向(Y軸負方向)而依序配置。

而且，第1分斷棒86自形成有劃線8之第2主面3b之相反側之第1主面3a側起(於此情形時，第1分斷棒86抵接於切割片5)沿著劃線8賦予負載。

即，負載係自形成有劃線8之第2主面3b之相反側之第1主面3a賦予至劃線8。因此，能夠良好且切實地執行沿著劃線8之脆性材料基板7之分斷。

第1進退驅動部86a藉由對第1分斷棒86賦予驅動力而使第1分斷棒86於進退方向(箭頭AR6方向，參照圖15)進退。例如，第1進退驅動部86a於第1分斷棒86之延伸方向與劃線8大致平行之狀態下使第1分斷棒86向X軸負方向移動，由此使第1分斷棒86接近於脆性材料基板7之第1主面3a。

第2進退驅動部87a藉由對複數個第2分斷棒87賦予驅動力而使複數個第2分斷棒87於進退方向(箭頭AR6方向，參照圖15)進退。例如，第2進退驅動部87a於複數個第2分斷棒87之延伸方向與劃線8大致平行之狀態下使複數個第2分斷棒87向X軸正方向移動，由此使複數個第2分斷棒87接近於脆性材料基板7之第2主面3b。

若如此利用第1及第2進退驅動部86a、87a使第1及第2分斷棒86、87進退，則脆性材料基板7由該等第1及第2分斷棒86、87夾持。其結果為，呈立起姿勢之脆性材料基板7沿著劃線8分斷。

即，利用基板分斷裝置1執行之分斷處理中，第1及第2分斷棒86、87接近於脆性材料基板7之方向(進退方向(箭頭AR6方向))均與重力方向(Z軸負方向)大致垂直。

藉此，重力對第1及第2分斷棒86、87之影響相同。因此，無需針對第1及第2分斷棒86、87之每一個採取用以減輕重力影響之措施便可良好地將脆性材料基板7分斷。

<6.　本實施形態之基板分斷裝置之優點>

如上所述，本實施形態之基板分斷裝置1中，由搬送單元50(保持單元)保持脆性材料基板7時，第1及第2分斷棒86、87配置於以立起姿勢保持之脆性材料基板7之兩主面3a、3b側。

此處，與本實施形態不同，對如下情況進行研究：第1及第2分斷棒配置於脆性材料基板之上下方，使第1及第2分斷棒分別自脆性材料基板之上側及下側接近。於此情形時，第1及第2分斷棒接近於脆性材料基板之方向與重力方向所成之角分別約為0°(deg)、180°(deg)。即，重力對第1及第2分斷棒之影響不同。其結果為，於未對重力之影響進行任何調整之情形時，會產生自第1及第2分斷棒賦予至脆性材料基板之負載不同之問題。

其次，如本實施形態，對如下情況進行研究：使第1及第2分斷棒86、87分別自以立起姿勢保持之脆性材料基板7之兩主面3a、3b側接近。於此情形時，第1及第2分斷棒86、87接近於脆性材料基板7之方向與重力方向所成之角都約為90°(deg)。

而且，根據本實施形態之基板分斷裝置1及其固定機構60，工件3之外緣部4a由可動夾持部61(61a~61c)及固定夾持部62與擠壓部71良好地夾持。因此，可良好地將立起姿勢之工件3固定。

而且，本實施形態之基板分斷裝置1及其變換姿勢單元10中，搬送單元50之固定機構60藉由自變換姿勢單元10之擠壓部35賦予之負載而執行工件3之固定及工件3之解除固定。即，搬送單元50不需要用以執行工件3之固定及工件3之解除固定之要素，從而無需將與該要素相關之配管及配線配置於移動側(搬送單元50)與固定側(例如變換姿勢單元10等)之間。因此，藉由使用變換姿勢單元10而可提高行進時之搬送單元50之安全性及維護時之作業人員之作業效率。

而且，藉由本實施形態之基板分斷裝置1實現之搬送系統中，借助來自設置於主體單元40及變換姿勢單元10(固定側單元)上之複數個旋轉致動器41(41a~41c)(第1驅動部)及複數個擠壓用缸體37(37a~37d)(第2驅動部)之驅動力，執行工件3之固定及工件3之解除固定。

即，搬送單元50不需要用以執行工件3之固定及工件3之解除固定之驅動部(第1及第2驅動部)，從而無需將與該要素相關之配管及配線配置於移動側(搬送單元50)與固定側(變換姿勢單元10及主體單元40)之間。因此，可提高行進時之搬送單元50之安全性及維護時之作業人員之作業效率。

進而，本實施形態之基板分斷裝置1及藉由該基板分斷裝置1實現之保持裝置不僅由搬送單元50之固定機構60將工件3之外緣部4a接觸保持，亦可藉由非接觸保持單元80將工件3之主面(更具體而言為第1主面3a)非接觸保持。因此，即便於因工件3之特性而無法將除了工件3之外緣部4a以外(例如工件之主面3a、3b)接觸保持之情形時，亦可藉由搬送單元50(保持單元)及非接觸保持單元80而將工件3良好地保持。

<7.　變形例>

以上，已對本發明之實施形態進行了說明，但本發明並不限定於上述實施形態，而可進行各種變形。

(1)本實施形態中，說明了可動導件67(67a~67c)及導引爪69(69a~69c)如圖8及圖9所示相互獨立而構成，但並不限定於此。例如，可動導件67(67a)及導引爪69(69a)亦可形成為一體。

(2)另外，本實施形態中，說明了搬送單元50相對於變換姿勢單元10及主體單元40而移動，但並不限定於此。例如，亦可為變換姿勢單元10及主體單元40相對於搬送單元50而移動。

如此，各單元10、40及50之移動方式只要使搬送單元50相對於變換姿勢單元10及主體單元40(固定側單元)而相對性地移動即可。

(3)另外，本實施形態中，變換姿勢單元10之工件確認感測器15(參照圖4及圖5)於升降台21附近僅設置一個，但工件確認感測器15之個數並不限定於此。亦可於升降台21附近設置複數個(兩個以上)工件確認感測器15。

1．．．基板分斷裝置

3．．．工件

3a．．．第1主面

3b．．．第2主面

4．．．切割環

4a．．．外緣部

4b．．．開口

5．．．切割片

7．．．脆性材料基板

8．．．劃線

9．．．電子零件

10．．．變換姿勢單元

11(11a~11d)．．．支持部

12(12a~12d)．．．滾珠

13(13a~13d)．．．定位把手

15．．．工件確認感測器

20．．．交接部

20a．．．基部

21．．．升降台

21a．．．中心

23(23a~23d)．．．把持爪

25(25a~25d)．．．吸附部

26(26a~26d)．．．支臂

27(27a~27d)．．．前端

28．．．交接用缸體

28a．．．主體部

29．．．拉桿

30．．．擺動部

30a、30b．．．軸承

30c、30d．．．托架

31．．．擺動軸

32．．．擺動框

32a~32c．．．板體

33．．．擺動用缸體

33a．．．主體部

34．．．拉桿

34a．．．前端

35．．．擠壓部

35a．．．安裝框

36(36a~36d)．．．托架

37(37a~37d)．．．擠壓用缸體

38(38a~38d)．．．拉桿

39(39a~39d)．．．輥

40．．．主體單元

41(41a~41c)．．．旋轉致動器

42(42a~42c)．．．搖桿

43、44．．．件

50．．．搬送單元

51．．．固定台

51a．．．貫通孔

51b．．．正面

52．．．旋轉台

60．．．固定機構

60a、68a．．．缺口

60b．．．階差面

60c．．．下端面

60d．．．對向面

61(61a~61c)、62．．．夾持部

63．．．抵接部

64．．．轉動板

65．．．連桿

66、73(73a~73d)．．．施壓構件

67(67a~67c)．．．可動導件

68．．．固定導件

69(69a~69d)．．．導引爪

71．．．擠壓部

72．．．擠壓框

75(75a~75d)．．．間隙

80．．．非接觸保持單元

81．．．安裝台

81a、81b．．．插入孔

83．．．第1吸引部

84．．．第2吸引部

85．．．分斷單元

86．．．第1分斷棒

86a．．．第1進退驅動部

87．．．第2分斷棒

87a．．．第2進退驅動部

90．．．控制單元

91．．．唯讀記憶體

91a．．．程式

92．．．隨機存取記憶體

93．．．中央處理單元

AR1、AR2、AR3．．．箭頭

D1、D2．．．隔(第1及第2間隔)

P10．．．交接位置

P11．．．解除位置

P12．．．固定位置

P20．．．分斷位置

圖1係表示本發明之實施形態中之基板分斷裝置之構成之一例之前視圖；

圖2係表示本發明之實施形態中之基板分斷裝置之構成之一例之後視圖；

圖3係表示工件之構成之一例之前視圖；

圖4係表示變換姿勢單元之構成之一例之側視圖；

圖5係表示變換姿勢單元之構成之一例之俯視圖；

圖6係表示搬送單元之構成之一例之前視圖；

圖7係表示搬送單元之構成之一例之後視圖；

圖8係表示可動夾持部之構成之一例之前視圖；

圖9係自圖8之V-V線觀察之導引爪附近之剖面圖；

圖10係自圖7之W-W線觀察之導引爪附近之剖面圖；

圖11係用以說明固定機構對工件之固定步驟及解除固定步驟之後視圖；

圖12係用以說明固定機構對工件之固定步驟及解除固定步驟之後視圖；

圖13係用以說明固定機構對工件之固定步驟及解除固定步驟之後視圖；

圖14係表示非接觸保持單元之構成之一例之前視圖；及

圖15係表示分斷單元之構成之一例之俯視圖。