JP7205423B2 - ガラス基板の保持用膜体、及びガラス基板の研磨方法 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス基板の保持用膜体、及びガラス基板の研磨方法に関する。

液晶ディスプレイ用に適用されるガラス基板においては、表面の平滑度が低いと表示される画像に歪みが生じるため、その製造工程において、表面の微小な凹凸やうねりを研磨装置によって除去する必要がある。このような研磨装置として、研磨定盤に貼り付けられた研磨パッドに、研磨ヘッドに保持されたガラス基板を押し当てるとともに、研磨定盤及び研磨ヘッドを相対的に回転させてガラス基板を研磨する研磨装置が知られている。このような研磨装置では、研磨ヘッドに取り付けられる自己吸着型の保持用膜体にガラス基板を吸着保持させることにより、ガラス基板が研磨ヘッドに取り付けられる（特許文献１参照）。

この保持用膜体は、ガラス基板を吸着保持する自己吸着型シートと、両面接着シートとにより構成される。
自己吸着型シートとしては、例えば特許文献２に記載されるポリウレタンシートのような、多孔質のシートが使用される。多孔質の自己吸着型シートの表面に水等の液体を含ませ、当該表面をガラス基板に密着させると、表面の細孔に侵入した液体の表面張力により、ガラス基板が自己吸着型シートに吸着される。
保持用膜体は、両面接着シートの自己吸着型シートと反対側の面がバックプレートに貼り付けられ、バックプレートとともに研磨ヘッドに取り付けられる。

ガラス基板の表面を平滑にするためには、ガラス基板の全面を研磨パッドに対して均等な力で押し付けて研磨をする必要があり、そのためには、保持用膜体のサイズはガラス基板のサイズより大きいことが求められる。そして、近年の、液晶ディスプレイ用のガラス基板の大型化に伴い、保持用膜体にも大型化が求められている。
しかし、Ｇ１１と呼ばれるサイズ（２９４０ｍｍ×３３７０ｍｍ）のガラス基板より大きいサイズの自己吸着型シートの製造は困難である。したがって、Ｇ１１サイズのガラス基板の研磨を行う際には、ガラス基板より小さいサイズの自己吸着型シートを用いて保持用膜体を構成する必要がある。このような保持用膜体の構成としては、以下のような構成が挙げられる。

第１の構成としては、図１に示すように、小さいサイズの保持用膜体２を、バックプレート１の面方向において複数取り付ける構成が挙げられる。
第２の構成としては、図２に示すように、小さいサイズの保持用膜体２を引き延ばしてバックプレート１に取り付ける構成が挙げられる。

国際公開第２０１１／１２２４５４号 特開２００７－７８２４号公報

しかし、上記の第１の構成では、複数の自己吸着型シートを隙間なくバックプレートに取り付けるのは困難であり、したがって、自己吸着型シート同士の間にすき間が生じる。
このような隙間が生じると、研磨時にガラス基板を研磨定盤に押し付ける力に偏りが生じ、ガラス基板の研磨後の平滑度が悪化する。また、このような隙間には、研磨剤（酸化セリウム等）のスラリがしみ込んで固着しやすいが、このような固着が生じると、ガラス基板の吸着力が低下し、また、ガラス基板に傷をつける恐れもある為、保持用膜体を交換する必要が生じる。
このように、上記の第１の構成では、ガラス基板の研磨後の平滑度が悪化し、また、保持用膜体を頻繁に交換する必要がある（保持用膜体の寿命が短い）という問題点があった。

また、第２の構成では、自己吸着型シートを引き延ばして使用するため、表面の細孔の開口径が大きくなる。しかし、当該開口径が大きいと、細孔内に研磨剤のスラリがしみ込んで固着しやすい。したがって、第２の構成においても、保持用膜体の寿命が短いという問題点があった。

本発明は上記に鑑みてなされたものであり、寿命が長く、また、平坦度の高いガラス基板を得ることができるガラス基板の保持用膜体を提供することを目的とする。また、本発明は、当該ガラス基板の保持用膜体を用いたガラス基板の研磨方法を提供することも目的とする。

上記課題を解決する本発明のガラス基板の保持用膜体は、
第１面と、第１面の反対側の第２面とを有し、第１面にガラス基板を吸着保持する第１自己吸着型シートと、第１自己吸着型シートの第２面に備えられた第１粘着層と、第１粘着層の第１自己吸着型シートと反対側の面に備えられた第１シート状基材と、第１シート状基材の第１粘着層と反対側の面に備えられた第２粘着層と、を有する第１部材と、
第１面と、第１面の反対側の第２面とを有し、第１面にガラス基板を吸着保持する第２自己吸着型シートと、第２自己吸着型シートの第２面に備えられた第３粘着層と、第３粘着層の第２自己吸着型シートと反対側の面に備えられた第２シート状基材と、第２シート状基材の第３粘着層と反対側の面に備えられた第４粘着層と、を有する第２部材とを備え、
第１自己吸着型シートの第１面と第２自己吸着型シートの第１面が接続されている。

本発明のガラス基板の保持用膜体の一態様において、第１自己吸着型シートの第１面と第２自己吸着型シートの第１面の接続部分の厚みが２～５００μｍであってもよい。

本発明のガラス基板の保持用膜体の一態様は、第１部材の第２部材側の端面と第２粘着層側の主面の間、及び／又は第２部材の第１部材側の端面と第４粘着層側の主面の間に面取り部を有してもよい。

本発明のガラス基板の保持用膜体の一態様において、第１粘着層、第２粘着層、第３粘着層、及び第４粘着層はアクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、エポキシ系粘着剤から選ばれる少なくとも１種からなってもよい。

本発明のガラス基板の保持用膜体の一態様において、第２粘着層の第１シート状基材と反対側の面、及び第４粘着層の第２シート状基材と反対側の面が保護シートを備えてもよい。

本発明のガラス基板の保持用膜体の一態様は、矩形状であり、短辺の長さが２７００ｍｍ～５０００ｍｍであってもよい。

また、本発明のガラス基板の研磨方法は、本発明のガラス基板の保持用膜体の第１自己吸着型シートの第１面及び第２自己吸着型シートの第１面にガラス基板を吸着保持し、該ガラス基板を研磨パッドに押し付けて研磨する。

本発明は、寿命が長く、また、平坦度の高いガラス基板を得ることができるガラス基板の保持用膜体、及び、当該ガラス基板の保持用膜体を用いたガラス基板の研磨方法を提供する。

図１は、ガラス基板より小さいサイズの自己吸着型シートを用いて構成された保持用膜体の一構成例を示す図である。 図２は、ガラス基板より小さいサイズの自己吸着型シートを用いて構成された保持用膜体の一構成例を示す図である。 図３は、ガラス基板の研磨装置の斜視図である。 図４は、研磨装置の要部構造を示す拡大断面図である。 図５は、本発明の一実施形態に係る保持用膜体の斜視図である。 図６は、本発明の一実施形態に係る保持用膜体の断面図である。 図７は、本発明の一実施形態に係る保持用膜体がバックプレートに取り付けられ、ガラス基板を保持した状態の断面図である。 図８Ａは、本発明の一実施形態に係る保持用膜体の製造方法の一例における、第１部材の断面図である。 図８Ｂは、本発明の一実施形態に係る保持用膜体の製造方法の一例における、第１部材と第２部材を重ね合せた状態の概略図である。 図８Ｃは、本発明の一実施形態に係る保持用膜体の製造方法の一例における、第１自己吸着型シートの第１面と第２自己吸着型シートの第１面の溶接方法を示す概略図である。 図９は、本発明の一実施形態に係る保持用膜体における、溶接部分周辺の拡大断面図である。 図１０は、本発明の一実施形態に係る保持用膜体における、溶接部分周辺の拡大断面図である。 図１１は、本発明の一実施形態に係る保持用膜体における、溶接部分周辺の拡大断面図である。 図１２Ａは、本発明の一実施形態に係る保持用膜体の製造方法の変形例における、第１部材の断面図である。 図１２Ｂは、本発明の一実施形態に係る保持用膜体の製造方法の変形例における、第１自己吸着型シートの第１面と第２自己吸着型シートの第１面の溶接方法を示す概略図である。 図１２Ｃは、本発明の一実施形態に係る保持用膜体の製造方法の変形例において得られた保持用膜体の断面図である。 図１３Ａは、バックプレートに張り付けられた保持用膜体の一部のみが消耗、汚損等した状態を示す概略図である。 図１３Ｂは、バックプレートに張り付けられた保持用膜体の消耗、汚損等した部分が切除された状態を示す概略図である。 図１３Ｃは、バックプレートに張り付けられた、消耗、汚損等した部分が切除された保持用膜体に、新たな保持用膜体が溶接して接続された状態を示す概略図である。 図１３Ｄは、新たな保持用膜体がバックプレートに貼付された状態を示す概略図である。

以下、本発明のガラス基板の保持用膜体、及び、ガラス基板の研磨方法の実施形態について説明する。なお、本発明は、以下に説明する実施形態に限定されるものではない。また、以下の図面において、同じ作用を奏する部材・部位には同じ符号を付して説明することがあり、重複する説明は省略または簡略化することがある。また、図面に記載の実施形態は、本発明を明瞭に説明するために模式化されており、実際のサイズや縮尺を必ずしも正確に表したものではない。

図３は、ガラス基板の研磨装置１０の斜視図である。また、図４は、研磨装置１０の要部構造を示す拡大断面図である。

研磨装置１０は、矩形状に製造されたガラス基板Ｇの被研磨面Ａを液晶ディスプレイ用ガラス基板に必要な平坦度に研磨する研磨装置である。研磨装置１０は、研磨ヘッド１４と、保持用膜体１００と、アルミニウム製のプレート１６と、研磨パッド１８と、研磨テーブル２０とを備える。保持用膜体１００は、バックプレート（図示せず）を介して研磨ヘッド１４に取り付けられ、その下面でガラス基板Ｇを吸着保持する。研磨パッド１８は、アルミニウム製のプレート１６を介して研磨テーブル２０の上面に保持される。
保持用膜体１００を介して研磨ヘッド１４に保持されたガラス基板Ｇは、被研磨面Ａが研磨パッド１８に押し付けられて、必要な平坦度に研磨される。なお、保持用膜体１００の詳細構造については後述する。

研磨中においては、研磨テーブル２０とプレート１６とに貫通形成された多数のスラリ供給孔２２Ａ～２２Ｆから、酸化セリウム水溶液等の研磨スラリが研磨パッド１８に供給され、研磨パッド１８が研磨スラリによって浸された状態となる。この状態でガラス基板Ｇが研磨される。スラリ供給孔２２Ａ～２２Ｆは、研磨テーブル２０とプレート１６とにおいて密にかつ均一に形成される。このため、研磨パッド１８に研磨スラリが均一に供給される。研磨パッド１８は、プレート１６に貼り付けられている。研磨パッド１８としては、例えば発泡ポリウレタンタイプやスウェードタイプのものが使用される。研磨パッド１８は単一構成でもよいが、ガラス基板Ｇのサイズに対応してそのサイズも大きいことから、複数枚の分割パッドを組み合わせて１枚の研磨パッド１８とした構成でもよい。更に、研磨テーブル２０には多数の吸引孔２４Ａ～２４Ｇが貫通形成されており、これらの吸引孔２４Ａ～２４Ｇは不図示のサクションポンプにバルブを介して接続されている。したがって、前記バルブを開放することにより、サクションポンプの吸引力が吸引孔２４Ａ～２４Ｇに伝達されるので、プレート１６が研磨テーブル２０の上面に吸着保持される。前記バルブを閉鎖することにより、サクションポンプの吸引力が解除されるので、研磨テーブル２０から研磨パッド１８をプレート１６とともに取り外すことができる。

図３に示すように研磨ヘッド１４の上部中央には、スピンドル２６が固定され、このスピンドル２６には回転／昇降装置２８が連結されている。回転／昇降装置２８は、研磨装置１０全体を統括制御する制御部３０によって、ガラス基板Ｇの研磨に好適な回転数及び下降動作（押圧力）が制御されている。

図５は、本実施形態の保持用膜体１００の斜視図であり、図６は、本実施形態の保持用膜体１００の断面図である。
本実施形態の保持用膜体１００は、小さなサイズの保持用膜体である第１部材１１０及び第２部材１１１が、ガラス基板Ｇを吸着保持する側の面で接続された構成を有する。第１部材１１０は第１自己吸着型シート１０１と、第１粘着層１０２と、第１シート状基材１０３と、第２粘着層１０４とを備え、第２部材１１１は第２自己吸着型シート１０５と、第３粘着層１０６と、第２シート状基材１０７と、第４粘着層１０８とを備える。

第１自己吸着型シート１０１は、第１面と、第１面の反対側の第２面とを有し、第１面にガラス基板Ｇを吸着保持する。
第１粘着層１０２は、第１自己吸着型シート１０１の第２面に備えられる。
第１シート状基材１０３は、第１粘着層１０２の第１自己吸着型シート１０１と反対側の面に備えられる。
第２粘着層１０４は、第１シート状基材１０３の第１粘着層１０２と反対側の面に備えられる。

第２自己吸着型シート１０５は、第１面と、第１面の反対側の第２面とを有し、第１面にガラス基板Ｇを吸着保持する。
第３粘着層１０６は、第２自己吸着型シート１０５の第２面に備えられる。
第２シート状基材１０７は、第３粘着層１０６の第２自己吸着型シート１０５と反対側の面に備えられる。
第４粘着層１０８は、第２シート状基材１０７の第３粘着層１０６と反対側の面に備えられる。

本実施形態の保持用膜体１００において、図５及び６に、点線Ａで示すように、第１自己吸着型シート１０１の第１面と第２自己吸着型シート１０５の第１面は、接続されている。すなわち、本実施形態の保持用膜体１００のガラス基板Ｇを保持する面においては、複数の自己吸着型シートがすき間を備えずに滑らかに連続する面を形成する。そのため、本実施形態の保持用膜体１００は、以下のような利点を有する。
第１に、本実施形態の保持用膜体１００は、ガラス基板Ｇを保持する面において、スラリの染み込み及び固着による劣化が発生しにくく、寿命が長い。
第２に、本実施形態の保持用膜体１００を用いてガラス基板Ｇを保持して研磨すると、ガラス基板を研磨定盤に押し付ける力に偏りが生じにくいため、平滑度の高いガラス基板が得られる。
なお、上記の接続の態様は特に限定されないが、後述するように溶接により接続されていることが好ましい。溶接によれば接続部分が異質材料にならないので、得られる保持用膜体１００は、ガラス基板Ｇを保持する面において接続部分と接続部分以外の部分で硬度や構造が変化せず、ガラス基板Ｇを特に均一に押圧することができるものとなる。

図７に、本実施形態の保持用膜体１００がバックプレート１０９に取り付けられ、ガラス基板Ｇを保持した状態の断面図を示す。本実施形態の保持用膜体１００を用いてガラス基板Ｇを研磨する際には、図７に示すように、第１自己吸着型シート１０１の第１面及び第２自己吸着型シート１０５の第１面にガラス基板Ｇを吸着保持し、ガラス基板を研磨パッドに押し付けて研磨する。
バックプレート１０９は特に限定されないが、例えばアルミ製のプレートである。バックプレート１０９は、係合部材（図示せず）を備え、当該係合部材により研磨ヘッド１４に装着される。

第１自己吸着型シート１０１及び第２自己吸着型シート１０５は多孔質シートであり、例えばポリウレタン樹脂等の軟質ウレタン樹脂で形成されることが好ましく、厚みは約０．７～２．０ｍｍであることが好ましい。第１自己吸着型シート１０１及び第２自己吸着型シート１０５は、その表面に開口する細孔を備え、表面に水等の液体を含ませることにより、表面の細孔に浸入した液体の表面張力によってガラス基板Ｇを吸着保持することができる。

第１シート状基材１０３及び第２シート状基材１０７としては、特に限定されないが、例えばポリエチレンテレフタラート等の基材を使用することができる。
第１粘着層１０２、第２粘着層１０４、第３粘着層１０６、及び第４粘着層１０８は、粘着剤からなる層であり、特に、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、エポキシ系粘着剤から選ばれる少なくとも１種からなる層であることが好ましい。
第１シート状基材１０３及び第２シート状基材１０７の厚みは約５０μｍ～１００μｍであることが好ましく、第１粘着層１０２、第２粘着層１０４、第３粘着層１０６、及び第４粘着層１０８の厚みは約５０μｍであることが好ましい。
なお、ガラス基板Ｇの研磨後の平坦度を向上させるためには、第１粘着層１０２及び第３粘着層１０６よりも第２粘着層１０４及び第４粘着層１０８を薄くすることが好ましい。
また、第２粘着層１０４の第１シート状基材１０３と反対側の面、及び第４粘着層１０８の第２シート状基材１０７と反対側の面、即ち、バックプレート１０９に貼り付けられる面は保護シート（図示せず）を備え、バックプレート１０９に貼り付けられる際まで保護されていることが好ましい。

なお、図５～７において図示した構成においては、本実施形態の保持用膜体１００は２枚の自己吸着型シートを有するが、本実施形態の保持用膜体１００の構成はこれに限定されず、例えば、３枚以上の自己吸着型シートを有してもよい。本実施形態の保持用膜体１００が３枚以上の自己吸着型シートを有する場合は、隣接する自己吸着型シートの第１面（ガラス基板Ｇを保持する面）同士が、それぞれ接続されていればよい。

本実施形態の保持用膜体１００は、特に矩形のガラス基板Ｇの研磨に使用されるため、ガラス基板Ｇと同じく矩形であることが好ましい。
また、本実施形態の保持用膜体１００は、サイズが大きい場合、特に、複数の自己吸着型シートを使用する必要があるようなサイズである場合においても、上記の効果、即ち、長寿命化及びガラスの平滑度の向上の効果を奏する点において優れる。
したがって、本実施形態の保持用膜体１００は、矩形であり、短辺の長さが２７００ｍｍ以上であることが好ましい。本実施形態の保持用膜体１００の短辺の長さの上限は特には限定されないが、例えば５０００ｍｍ以下である。また、特に本実施形態の保護用膜体は、矩形であり、短辺の長さが３１００ｍｍ以上、長辺の長さが３５３０ｍｍ以上であることが好ましい。このようなサイズであれば、Ｇ１１サイズ（２９４０ｍｍ×３３７０ｍｍ）のガラス基板を効率よく保持し、研磨することができる。

以下に、本実施形態の保持用膜体１００の製造方法の一例について説明する。当該方法では、小さなサイズの保持用膜体である第１部材１１０及び第２部材１１１（図８Ａ参照）を溶接することで、図５や図６に示すような本実施形態の保持用膜体１００を得る。すなわち第１部材は、第１自己吸着型シート１０１と、第１粘着層１０２と、第１シート状基材１０３と、第２粘着層１０４とを備える保持用膜体であって、第２部材は、第２自己吸着型シート１０５と、第３粘着層１０６と、第２シート状基材１０７と、第４粘着層１０８とを備える保持用膜体である。これらの部材の自己吸着型シートの第１面を溶接して、本実施形態の保持用膜体１００を得る。以下に、詳細に説明する。

まず、材料となる保持用膜体（以下、「保持用膜体材料」とも記載する）を用意し、当該保持用膜体材料の端部を切りそろえて、第１部材１１０を得る（図８Ａ参照）。この際、第１部材１１０における、第２部材１１１と接続される端部の角度（図８Ａ中にθで示す角度）が９０°以下となるように切断することが好ましい。また、Ｇ１１サイズのガラス基板の保持に用いる保持用膜体１００を製造する場合は、保持用膜体材料としてＧ７サイズのガラス基板の保持に用いる保持用膜体を用いることが好ましい。
また、第２部材１１１も上記と同様にして製造する。

次いで、図８Ｂに示すように、第１部材１１０と、第２部材１１１とを、第１自己吸着型シート１０１と第２自己吸着型シート１０５とが向き合うように重ねる。この際、第１自己吸着型シート１０１と第２自己吸着型シート１０５の接続部分（図８Ｂ中にＥで示す部分）が重なり合うように配置する。

次いで、第１自己吸着型シート１０１と第２自己吸着型シート１０５の接続部分を、溶接して接続する。図８Ｃは、半田ごて１１２を矢印Ｘで示す方向に進行させて溶接している状態を示す図である。
当該溶接の際に、半田ごて１１２を第１自己吸着型シート１０１と第２自己吸着型シート１０５との間に挿入しすぎると、得られる保持用膜体１００の表面平滑性が劣化する。したがって、半田ごて１１２を第１自己吸着型シート１０１と第２自己吸着型シート１０５との間に０．１ｍｍ程度挿入して溶接することが好ましい。
なお、溶接は半田ごて１１２を用いた溶接に限定されず、例えばレーザ溶接などでもよい。

接続部分を全て溶接した後、第１部材１１０と第２部材１１１とを開くようにして、図５及び図６に示すように、第１自己吸着型シート１０１の第１面と、第２自己吸着型シート１０５の第１面とが接続された本実施形態の保持用膜体１００が得られる。なお、第１自己吸着型シート１０１の第１面と、第２自己吸着型シート１０５の第１面との接続部分の厚み（図６のＡ）は、約２～５００μｍである。

このように溶接により得られる保持用膜体１００の、溶接部分周辺の拡大図を図９に示す。なお、図９においては気泡の図示は省略している。図１０及び図１１においても同様である。溶接された第１部材１１０と第２部材１１１とを開いて平面状にすると、第１自己吸着型シート１０１及び第２自己吸着型シート１０５の第１面は、接続部分（溶接部分）に若干引っ張られることになる。したがって、得られる保持用膜体１００の第１面（ガラス基板Ｇを保持する面）は、図９に示すように接続部分を中心に若干へこんで凹面状になる。
接続部分の厚みＴが大きすぎると、このへこみが大きくなり、研磨後のガラス基板の平滑性が低下する恐れがあるため、好ましくない。また、第１自己吸着型シート１０１の第１面と、第２自己吸着型シート１０５の第１面とが接続部分に引っ張られることにより、接続部分周辺（接続部分から１ｍｍ程度の領域）では表面の細孔の開口径が若干大きくなるが、接続部分の厚みＴが大きすぎると開口径が大きくなりすぎ、細孔内に研磨剤のスラリがしみ込んで固着しやすくなるため、好ましくない。
一方、接続部分の厚みＴが小さすぎると、接続部分の一部分、又は全体が破断する恐れがある。接続部分の一部分、又は全体が破断すると、当該破断部分にスラリが染み込みやすくなり、研磨後のガラス基板に研磨スジが発生しやすくなる。
上記観点より、第１自己吸着型シート１０１の第１面と第２自己吸着型シート１０５の第１面の接続部分の厚みＴは２～５００μｍであることが好ましい。

本実施形態の保持用膜体をバックプレート１０９に貼付する際には、接続部分に張力がかかって表面平滑性が劣化したり、接続部分が破れたりするのを抑制するために、第１部材１１０と第２部材１１１とを極力近づけ、これらの間に極力隙間ができないように貼付することが好ましい。しかしながら、第１部材１１０と第２部材１１１との間にすき間ができないように貼付すると、貼り方や接続部分の厚みＴによっては、第１部材１１０と第２部材１１１とが互いに押し合い、接続部分が図１０に示すように盛り上がって凸面上になる場合がある。このような場合、研磨後のガラス基板の平滑性が低下するので、好ましくない。

これを防ぐためには、保持用膜体は、第１部材の第２部材側の端面と第２粘着層側の主面の間、及び／又は第２部材の第１部材側の端面と第４粘着層側の主面の間に、面取り部を有することが好ましい。図１１に示す本実施形態の変形例に係る保持用膜体２００は、第１部材２１０の第２部材２１１側の端面と第２粘着層２０４側の主面の間に面取り部２１３を有する。このように面取り部を形成することにより、上記のように接続部分が盛り上がることを抑制できる。

面取り部２１３の形状は特に限定されない。図１１に示す例では面取り部は直線状だが曲線状（例えば円弧状など）であってもよい。また、図１１に示す例では面取り部は第１部材２１０に設けられているが、第２部材２１１に設けられていてもよく、これら両方に設けられていてもよい。

面取り部２１３の幅Ｗ、すなわち保持用膜体２００をバックプレートに貼り付けた際の第２粘着層２０４と第４粘着層２０８との間のすき間の幅も特に限定されないが、この幅が大きすぎると、接続部分（溶接部分）においてガラスを押圧する力が弱くなり、研磨後のガラスの平滑性が低下する恐れがある。
この観点からは、面取り部２１３の幅Ｗは、５ｍｍ以下が好ましく、０．５ｍｍ以下がより好ましい。

また、面取り部の深さＤも特に限定されず、図１１に示すように、第１自己吸着型シート２０１（第２部材１１１に面取り部を設ける場合は第２自己吸着型シート２０５）の第２面まで面取り部が形成されていて、保持用膜体２００をバックプレートに貼り付けた際に第１自己吸着型シート２０１の第２面と第２自己吸着型シート２０５の第２の面とが離反するように構成されていればよい。

また、溶接により保持用膜体を製造する際において、保持用膜体材料の端部を切りそろえる際に、図１２Ａに示すように、第１部材３１０及び第２部材３１１の接続部分の端部の角度θが鋭角となるように切断してもよい。この場合は、図１２Ｂに示すように、半田ごて３１２の側面により溶接を行うことが好ましい。このように溶接すると、半田ごて３１２の位置決めにおいて、第１部材３１０及び第２部材３１１の厚み方向（図１２Ｂ中矢印Ｚで示す方向）の位置決めが非常に容易となる。当該溶接により得られる保持用膜体３００は、図１２Ｃに示すように、第１部材３１０と第２部材３１１との間にＶ字状の溝を備える形状となる。第１部材３１０及び第２部材３１１の接続部分の端部の角度θが小さすぎると、当該溝が広くなりすぎ、ガラスを均一に押圧できなくなるので、研磨後のガラス基板Ｇの平滑度が劣化する。したがって、第１部材３１０及び第２部材３１１の接続部分の端部の角度θは、４５°～９０°とすることが好ましい。

バックプレートに貼り付けられて使用されたガラス基板の保持用膜体の一部が消耗、汚損等する場合がある。この場合において、当該消耗、汚損等した部分のみを切除し、新たな保持用膜体を上記のように溶接により取り付けることで、消耗、汚損等した部分のみを交換することができる。
すなわち、図１３Ａに示すようにバックプレート４０９に貼り付けられた保持用膜体４００Ａの一部分のみが消耗、汚損等した場合において、当該消耗、汚損部４１３を含む部分を切除し（図１３Ｂ）、残存する保持用膜体４００Ａに新たな保持用膜体４００Ｂを溶接して接続し（図１３Ｃ）、新たな保持用膜体４００Ｂを開いてバックプレート４０９に貼付する（図１３Ｄ）ことにより、消耗、汚損等した部分のみを交換することができる。
このようにすることにより、保持用膜体の一部分のみが消耗、汚損等した場合に保持用膜体を全て交換する必要がなくなるため好ましい。

本実施形態のガラス基板の保持用膜体は、ガラス基板の研磨装置において研磨ヘッドにガラス基板を保持するために使用される。本実施形態のガラス基板の保持用膜体を用いると、平滑度の高いガラス基板が得られる。また、本実施形態のガラス基板の保持用膜体は、寿命が長い。
本実施形態のガラス基板の保持用膜体は、大型化された場合においても上記の効果を奏する。したがって、本実施形態のガラス基板の保持用膜体は、Ｇ１１サイズ等の大型のガラス基板の研磨装置における保持用膜体として有用である。

１ バックプレート；２ 保持用膜体；１０ 研磨装置；１４ 研磨ヘッド；１６ プレート；１８ 研磨パッド；２０ 研磨テーブル；２２Ａ～２２Ｆ スラリ供給孔；２４Ａ～２４Ｇ 吸引孔；２６ スピンドル；２８ 回転／昇降装置；３０ 制御部；１００、２００、３００、４００Ａ、４００Ｂ 保持用膜体；１０１、２０１、３０１ 第１自己吸着型シート；１０２、２０２、３０２ 第１粘着層；１０３ 第１シート状基材；１０４、２０４、３０４ 第２粘着層；１０５、２０５、３０５ 第２自己吸着型シート；１０６、２０６、３０６ 第３粘着層；１０７、２０７、３０７ 第２シート状基材；１０８、２０８、３０８ 第４粘着層；１０９、４０９ バックプレート；１１０、２１０、３１０ 第１部材；１１１、２１１、３１１ 第２部材；１１２、３１２ 半田ごて；４１３ 消耗、汚損部；Ｇ ガラス基板

Claims (7)

1. 第１面と、前記第１面の反対側の第２面とを有し、前記第１面にガラス基板を吸着保持する第１自己吸着型シートと、
   前記第１自己吸着型シートの第２面に備えられた第１粘着層と、
   前記第１粘着層の前記第１自己吸着型シートと反対側の面に備えられた第１シート状基材と、
   前記第１シート状基材の前記第１粘着層と反対側の面に備えられた第２粘着層と、を有する第１部材と、
   第１面と、前記第１面の反対側の第２面とを有し、前記第１面にガラス基板を吸着保持する第２自己吸着型シートと、
   前記第２自己吸着型シートの第２面に備えられた第３粘着層と、
   前記第３粘着層の前記第２自己吸着型シートと反対側の面に備えられた第２シート状基材と、
   前記第２シート状基材の前記第３粘着層と反対側の面に備えられた第４粘着層と、を有する第２部材とを備え、
   前記第１自己吸着型シートの第１面と前記第２自己吸着型シートの第１面が接続されている、ガラス基板の保持用膜体。
2. 前記第１自己吸着型シートの第１面と前記第２自己吸着型シートの第１面の接続部分の厚みが２～５００μｍである、請求項１に記載のガラス基板の保持用膜体。
3. 前記第１部材の前記第２部材側の端面と前記第２粘着層側の主面の間、及び／又は前記第２部材の前記第１部材側の端面と前記第４粘着層側の主面の間に面取り部を有する請求項１又は２に記載のガラス基板の保持用膜体。
4. 前記第１粘着層、前記第２粘着層、前記第３粘着層、及び前記第４粘着層はアクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、エポキシ系粘着剤から選ばれる少なくとも１種からなる、請求項１～３のいずれか１項に記載のガラス基板の保持用膜体。
5. 前記第２粘着層の前記第１シート状基材と反対側の面、及び前記第４粘着層の前記第２シート状基材と反対側の面が保護シートを備える、請求項１～４のいずれか１項に記載のガラス基板の保持用膜体。
6. 矩形状であり、短辺の長さが２７００ｍｍ～５０００ｍｍである、請求項１～５のいずれか１項に記載のガラス基板の保持用膜体。
7. 請求項１～６のいずれか１項に記載のガラス基板の保持用膜体の前記第１自己吸着型シートの第１面及び前記第２自己吸着型シートの第１面にガラス基板を吸着保持し、該ガラス基板を研磨パッドに押し付けて研磨する、ガラス基板の研磨方法。

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