JP6047392B2 - 分割装置および分割方法 - Google Patents
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Description
図1の符号1は一実施形態で分割加工が施される半導体ウェーハ等のウェーハ(円形板状物)を示しており、図2はウェーハ1に分割加工を施す一実施形態の分割装置10を示している。
図1に示すウェーハ1は、厚さが例えば数百μm程度の円板状に形成され、外周縁の一部には、結晶方位を示すオリエンテーションフラットと呼ばれる切欠き1cが形成されている。図1(a)に示すようにウェーハ1には格子状の複数の分割予定ライン2によって複数の矩形領域3が設定されており、これら矩形領域3の表面1a側には、図1(b)に示すようにICやLSIからなる電子回路を有するデバイス4が形成されている。ウェーハ1は円板状であるため、分割予定ライン2の長さは均一ではなく、長さが異なっているものが複数本設定されている。
[2−1]構成
図2に示すように、分割装置10は、矩形状の基台11と、この基台11上にY方向に移動可能に載置された矩形状の移動テーブル15とを具備している。基台11上にはY方向に延びる互いに平行な一対のガイドレール12がX方向に離間して配設されており、X1側のガイドレール12の上面には断面V字状のガイド溝12aが形成されている。なお、以下の説明でのX(X1,X2)・Y(Y1,Y2)・Z方向は、図2に記載の座標軸X(X1,X2)・Y(Y1,Y2)・Z方向に一致するものとする。
以上が一実施形態の分割装置10の構成であり、次いで該装置10を用いたウェーハ1の分割方法を説明する。
以上により、ウェーハ1は格子状に設定された全ての分割予定ライン2に沿って分割される。
上記一実施形態では、ウェーハ1の、分割予定ライン2が比較的短い第一領域A1および第三領域A3と、分割予定ライン2が比較的長い第二領域A2とにそれぞれ対応した長さの異なる第一〜第三バー部材51,52,53を用いて分割予定ライン2を割断してウェーハ1を分割する。このため、各バー部材51,52,53の長さを分割予定ライン2を分割するのに十分、かつ、必要最低限の長さに構成することができる。その結果、ウェーハ1に応じた適正サイズの環状フレーム7を用いながら、バー部材51,52,53が環状フレーム7に干渉せずにウェーハ1を分割予定ライン2に沿ってバー部材51,52,53により確実に分割することができる。
[3−1]2つのバー部材を有する形態
上記一実施形態のバーユニット50は、ウェーハ1の最長の分割予定ライン2を含む第二領域A2の分割を担う第二バー部材52の両側に、最短の分割予定ライン2を含むウェーハ1の両側の第一、第三領域A1,A3の分割を担う第一、第三バー部材51,53が配設された構成であり、Y方向に一度の移動で、一方向に伸長する全ての分割予定ライン2を割断可能なものである。ところで本発明は少なくとも第一バー部材51と第二バー部材52を有することを特徴とするものである。したがって図9に示す実施形態のバーユニット50のように、バー部材は上記の第一バー部材51と第二バー部材52の2つのみを有する構成であってもよい。
上記各実施形態のバーユニット50は、基本的にはウェーハ1の第一〜第三領域A1,A2,A3、すなわち中央領域とその両側の外側領域に位置する複数の分割予定ライン2を、それぞれ一つのバー部材で割断する形態であったが、中央領域および外側領域を複数のバー部材でまとめて分割する形態であってもよい。
上記実施形態のバー部材51〜53は、吸引路54を負圧とし、ウェーハ1を吸引して分割予定ライン2に沿って分割する構造のものであるが、本発明のバー部材としては分割予定ライン2に沿って外力を付与しウェーハ1を分割可能なものであれば、いかなる形態のものであってよい。例えば図14に示す押圧刃70の先端で分割予定ライン2を押し上げて割断し、ウェーハ1を分割するようなものを採用することができる。押圧刃70は
ウェーハの外側領域および中央領域の分割予定ラインを割断すべく複数が具備され、それぞれの押圧刃70が独立して上下動する構成とされる。
2…分割予定ライン
5…改質層(分割起点)
6…テープ
7…環状フレーム
7a…環状フレームの開口部
8…ウェーハユニット(円形板状物ユニット)
10…分割装置
20…移動手段
30…環状フレーム保持手段
35a…支持面
50…バーユニット
51…第一バー部材
52…第二バー部材
53…第三バー部材
A1…第一領域(外側領域)
A2…第二領域(中央領域)
A3…第三領域(外側領域)
Claims (2)
- 長さが異なる分割予定ラインを複数有し該分割予定ラインに沿って分割起点が形成された円形板状物と、該円形板状物の一面に貼着されたテープと、該テープの外周が貼着された該円形板状物を収容する大きさの開口部を有した環状フレームとからなる円形板状物ユニットの該円形板状物を、該分割予定ラインに沿って分割する分割装置であって、
前記円形板状物ユニットの前記環状フレームを支持する支持面を有し、該円形板状物ユニットの円形板状物を上側とし該円形板状物に対応した領域の前記テープを下側として該円形板状物と該円形板状物に対応した領域の該テープとを露出させた状態で該環状フレームを保持する環状フレーム保持手段と、
該環状フレーム保持手段で保持された前記環状フレームに貼着された前記テープの下方に配設され、該テープを介して前記円形板状物の前記分割予定ラインの伸長方向と平行に伸長し該分割予定ラインを分割する該環状フレームの前記開口部の直径よりも短い長さを有したバーユニットと、
該バーユニットを分割すべき前記分割予定ラインに対して直交方向に相対移動させる移動手段と、を備え、
前記バーユニットは、
前記円形板状物の分割すべき前記分割予定ラインの中で最短の該分割予定ラインよりも長く、該円形板状物の分割すべき該分割予定ラインの中で最長の該分割予定ラインよりも短い長さを有した第一バー部材と、
分割すべき前記分割予定ラインの中で最長の該分割予定ラインよりも長い長さを有した第二バー部材と、を少なくとも有し、
前記第一バー部材は、前記円形板状物の外側領域に位置する前記分割予定ラインの分割を担い、前記第二バー部材は前記円形板状物の中央領域に位置する前記分割予定ラインの分割を担い、前記移動手段によって該第一バー部材と該第二バー部材とが該円形板状物の該外側領域と該中央領域とにそれぞれ位置付けられること
を特徴とする分割装置。 - 請求項1に記載の分割装置で、長さが異なる分割予定ラインを複数有し該分割予定ラインに沿って分割起点が形成された円形板状物と、該円形板状物の一面に貼着されたテープと、該テープの外周が貼着された該円形板状物を収容する大きさの開口部を有した環状フレームとからなる円形板状物ユニットの該円形板状物を、該分割予定ラインに沿って分割する分割方法であって、
前記環状フレーム保持手段で、前記円形板状物ユニットの前記環状フレームを保持する保持ステップと、
前記環状フレーム保持手段で固定される前記円形板状物ユニットの円形板状物の分割すべき前記分割予定ラインと、前記バー部材とを位置合わせする位置合わせステップと、
該位置合わせステップと前記保持ステップとを実施した後、分割すべき前記分割予定ラインの中で最短の該分割予定ラインを含む前記外側領域において前記移動手段によって前記第一バー部材が分割すべき該分割予定ラインに対して直交方向に相対移動されることで、該外側領域において該分割予定ラインに沿って円形板状物を分割する第一分割ステップと、
分割すべき前記分割予定ラインの中で最長の該分割予定ラインを含む前記中央領域において前記移動手段によって前記第二バー部材が分割すべき該分割予定ラインに対して直交方向に相対移動されることで、該中央領域において該分割予定ラインに沿って円形板状物を分割する第二分割ステップと、
を備えることを特徴とする分割方法。
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