JP4721997B2 - ウエーハの分割装置およびウエーハの分割方法 - Google Patents
ウエーハの分割装置およびウエーハの分割方法 Download PDFInfo
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Description
2 分割装置
5a,5b ライン吸着手段
51 第一のライン吸着部
52 第二のライン吸着部
53 駆動手段
55 押圧手段
101 デバイス
102 分割予定ライン
551 押圧部
E1〜E5 吸着領域
Claims (3)
- 複数のデバイスを区画する複数の分割予定ラインに分割起点加工が施されたウエーハを分割予定ラインに沿って分割するウエーハの分割装置であって、
分割予定ラインを挟むように位置付けられ分割予定ラインの側部を吸着支持する第一のライン吸着部および第二のライン吸着部から構成されたライン吸着手段と、
前記第一のライン吸着部および前記第二のライン吸着部の少なくともいずれか一方を分割予定ラインに直交する方向に離反する駆動手段と、
前記第一のライン吸着部および前記第二のライン吸着部の少なくともいずれか一方と対峙して配設され分割予定ラインの側部を押圧する押圧部を有する押圧手段と、
を備え、
前記第一のライン吸着部および前記第二のライン吸着部は、複数の吸着領域に区画され、分割予定ラインの位置に応じて該吸着領域が選択され、
前記押圧部は、前記第一のライン吸着部または前記第二のライン吸着部の区画された前記吸着領域に対応して区画され、区画された前記押圧を個別に進退させる進退駆動部を備えていることを特徴とするウエーハの分割装置。 - 前記吸着領域は、負圧によって吸着力を生成することを特徴とする請求項1に記載のウエーハの分割装置。
- 請求項1または2に記載のウエーハの分割装置を用い、複数のデバイスを区画する複数の分割予定ラインに分割起点加工が施されたウエーハを分割予定ラインに沿って分割するウエーハの分割方法であって、
分割予定ラインを挟むように前記第一のライン吸着部と前記第二のライン吸着部とが位置付けられ分割予定ラインの側部を吸着支持する吸着支持工程と、
前記第一のライン吸着部および前記第二のライン吸着部の少なくともいずれか一方を前記駆動手段で分割予定ラインに直交する方向に離反して分割予定ラインを分割する分割工程と、
前記第一のライン吸着部および前記第二のライン吸着部のいずれか一方がウエーハの最外側の領域を吸着領域として選択して吸着支持した際、選択された吸着領域に対応して対峙する最外側の前記押圧部とでウエーハの最外側を挟持して前記分割工程を実施する最外側分割工程と、
からなることを特徴とするウエーハの分割方法。
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