KR102068032B1 - 스크라이브 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 커팅라인을 경계로 단위기판들이 형성되는 기판이 위치되는 스테이지를 갖는 장치본체와; 상기 스테이지 상부에 위치되도록 상기 장치본체에 승강가능하게 설치되며, 승강됨에 따라 기판에 형성되는 커팅라인을 선택적으로 누르는 누름유닛; 및 상기 스테이지 상부에 위치되도록 상기 장치본체에 승강가능하게 설치되며, 상승됨에 따라 상기 단위기판을 꺽어 상기 커팅라인으로부터 분리하는 분리유닛을 포함하는 스크라이브 장치를 제공한다.

Description

스크라이브 장치{SCRIBE APPARATUS}
본 발명은 스크라이브 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 단위 기판들을 픽업 및 틸팅을 동시에 진행하여 분리할 수 있는 스크라이브 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판형 디스플레이로 이용되는 LCD나 유기EL패널, 무기EL패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 마더 글래스 패널(MOTHER GLASS PANEL)로부터 소정 크기로 절단된 단위 글래스 패널을 사용한다.
여기서 상기 단위 글래스 패널의 절단은, 패널의 표면에 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이브 휠을 가압 이동시켜 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 상기 단위 글래스 패널을 스크라이브 라인으로부터 분리하는 브레이킹 공정을 통해 수행된다.
한편, 근래에 들어 내로우 베젤의 기판의 개발이 요구되고 있고, 이러한 기판을 단위기판별로 분리할 때, 단위기판을 구획하는 스크라이브 라인을 커팅라인으로 하여 이를 별도의 푸쉬바로 누른 후에, 진공 픽업 수단을 사용하여 해당 단위기판을 상방으로 흡착하여 상승시키면서 분리하도록 하고 있다.
그러나, 상기와 같이 내로우 베젤이 요구되는 기판에서 단위기판을 단순히 흡착하여 상방으로 상승시켜 단위기판을 분리하는 경우, 커팅라인에서 추가 크랙 진전이 원활하게 형성되지 않게 되고, 오히려 단위기판측으로의 크랙이 발생되어 단위기판 자체가 파손되는 문제점이 있다.
또한, SOS(scribe on seal) 타입의 기판의 경우 커팅라인에 씰라인이 포함되기 때문에, 상기의 방식으로 단위기판을 분리하는 경우 씰라인이 정상적으로 분리되지 않는 문제점도 있다.
본 발명과 관련된 선행문헌으로는 대한민국 공개특허 공개번호 제10-2010-0058037호(공개일 : 2010년 06년 03일)가 있으며, 상기 선행문헌에는 기판을 브레이킹하는 장치에 관한 기술이 개시된다.
본 발명의 목적은, 커팅라인을 경계로 형성된 단위기판들을 픽업 및 틸팅을 동시에 진행하여 크랙발생을 방지하면서 분리할 수 있는 스크라이브 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 커팅라인을 포함하여 단위기판 둘레에 씰라인이 형성되는 경우, 커팅라인을 따르는 씰라인을 효과적으로 분리할 수 있는 스크라이브 장치를 제공함에 있다.
바람직한 양태에 있어서, 본 발명은 커팅라인을 경계로 단위기판들이 형성되는 기판이 위치되는 스테이지를 갖는 장치본체와; 상기 스테이지 상부에 위치되도록 상기 장치본체에 승강가능하게 설치되며, 승강됨에 따라 기판에 형성되는 커팅라인을 선택적으로 누르는 누름유닛; 및 상기 스테이지 상부에 위치되도록 상기 장치본체에 승강가능하게 설치되며, 상기 누름유닛이 하강하여 상기 커팅라인을 누른 이후, 승강됨에 따라 상기 단위기판을 틸팅하여 상기 커팅라인으로부터 분리하는 분리유닛을 포함하는 스크라이브 장치를 제공한다.
상기 기판은 각각의 상기 단위기판을 둘러싸는 씰라인이 형성되고, 상기 씰라인은 상기 커팅라인을 포함하여 형성되는 것이 바람직하다.
상기 분리유닛은, 상기 장치본체에 승강되도록 설치되는 제 2승강부와, 상기 단위기판들 중 어느 하나를 집는 그립부와, 상기 제 2승강부에 설치되며, 상기 그립부를 회전시키는 회전부를 구비하여 상기 그립부가 회전됨을 통해 틸팅하여 상기 그립부에 의해 집힌 단위 기판을 분리하는 것이 바람직하다.
상기 분리유닛은, 상기 제2승강부의 승강됨에 따라 상기 회전부의 회전동작을 연동시키도록 제어하는 것이 바람직하다.
상기 그립부는, 상기 회전부에 연결되며, 다수의 지지 포인트가 설정되는 지지부재와, 상기 다수의 지지 포인트에 설치되며, 외부로부터 진공을 제공받는 다수의 노즐과, 상기 다수의 노즐의 단부에 설치되며, 상기 진공을 사용하여 상기 단위 기판의 상면을 흡착하여 집는 흡착판을 갖는 다수의 진공노즐을 구비하는 것이 바람직하다.
상기 제 2승강부는, 다수의 지지 포인트가 설정되는 지지부재와, 상기 다수의 지지 포인트에 설치되며, 외부로부터 진공을 제공받는 다수의 노즐을 구비하고, 상기 그립부는, 상기 다수의 노즐의 단부에 설치되며, 상기 진공을 사용하여 상기 단위 기판의 상면을 흡착하여 집는 다수의 흡착판인 것이 바람직하다.
상기 다수의 흡착판을 통한 상기 단위기판 상면에서의 흡착 위치는 상기 커팅라인과 대응되는 측에서, 상기 단위 기판의 중심으로부터 이격되는 위치에 선형을 이루도록 다점 포인트를 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명은, 커팅라인을 경계로 형성된 단위기판들을 픽업 및 틸팅을 동시에 진행하여 크랙발생을 방지하면서 분리할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은, 커팅라인을 포함하여 단위기판 둘레에 씰라인이 형성되는 경우, 커팅라인을 따르는 씰라인을 효과적으로 분리할 수 있는 스크라이브 장치를 제공함에 있다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예를 따르는 스크라이브 장치의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따르는 스크라이브 장치에 의해 투입되는 기판의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따르는 스크라이브 장치에 의해 투입되는 기판의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 4a는 본 발명에 따르는 누름유닛 및 분리유닛의 작동 전 상태를 보여주는 도면이다.
도 4b는 본 발명에 따르는 누름유닛 및 분리유닛의 작동 전 상태를 보여주는 평면도이다.
도 5a는 본 발명에 따르는 누름유닛 및 분리유닛의 작동 후 상태를 보여주는 도면이다.
도 5b는 본 발명에 따르는 누름유닛 및 분리유닛의 작동 후 상태를 보여주는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제 2실시예를 따르는 스크라이브 장치의 구성을 보여주는 도면이다.
도 7a는 본 발명에 따르는 누름유닛 및 분리유닛의 작동 전 상태를 보여주는 도면이다.
도 7b는 본 발명에 따르는 누름유닛 및 분리유닛의 작동 전 상태를 보여주는 평면도이다.
도 8a는 본 발명에 따르는 누름유닛 및 분리유닛의 작동 후 상태를 보여주는 도면이다.
도 8b는 본 발명에 따르는 누름유닛 및 분리유닛의 작동 후 상태를 보여주는 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 스크라이브 장치를 설명한다.
제 1실시예
도 1은 본 발명의 제 1실시예를 따르는 스크라이브 장치의 구성을 보여주는 도면이다.
도 1을 참조 하면, 본 발명의 스크라이브 장치는 크게 장치본체와, 누름유닛과, 분리유닛으로 구성된다.
장치본체(100)
장치본체(100)는 스테이지(110)를 갖는다. 상기 스테이지(110)에는 기판(10)이 안착된다.
도 2를 참조 하면, 본 발명에 투입되는 기판(10)은 글라스이며, 다수의 단위기판(11)이 나란하게 형성되고, 각각의 단위기판들(11) 사이에는 미도시된 스크라이브 휠을 통해 스크라이브 처리된 커팅라인(CL)이 형성된다.
또한, 상기 단위기판들(11)의 둘레에는 소정의 두께를 갖는 씰라인(SL)이 형성된다. 상기 씰라인(SL)은 상기 커팅라인(CL)과 0.3mm 이하의 거리를 이루어 이격된다.
도 3을 참조 하면, 기판(10)은 SOS(Scribe on seal) 타입일 수도 있다.
즉, 상기 기판(10)에는 다수의 단위기판들(11)이 순차적으로 형성되며, 각각의 단위기판들(11) 사이에는 커팅라인(CL)이 형성된다.
여기서, 각각의 단위2기판들(11)의 둘레에는 씰라인(SL)이 형성되며, 씰라인(SL)은 커팅라인(CL)을 포함하도록 형성된다. 여기서, 씰라인(SL)의 두께는 0.5 내지 0.7mm일 수 있다.
상기와 같이 구성되는 기판(10)은 장치본체(100)에 구비되는 스테이지(110) 상단에 안착된다.
누름유닛(200)
도 1을 참조 하면, 상기 누름유닛(200)은 제 1승강부(210)와, 누름부와, 제 1XY구동부(230)로 구성된다.
상기 제 1승강부(210)는 장치본체(100)에 승강가능하도록 설치되고, 상기 제 1승강부(210)는 Z축을 따라 승강가능한 축(211)을 갖는 승강실린더일 수 있다. 상기 승강실린더는 제어부(500)로부터 제어 신호를 받아 축(211)을 승강시킨다.
상기 누름부는 상기 제 1승강부(210)의 축(211)에 연결되는 누름부재(220)를 갖는다.
상기 누름부재(220)는 기판(10)의 폭 방향을 따라 일정 길이를 갖도록 형성되고, 하단은 끝단이 뾰족하도록 형성된다.
상기 누름부재(220)의 하단의 뾰족한 부분은 기판(10)에 형성되는 커팅라인(CL)에 직접적으로 선접촉(line contact)되어 커팅라인(CL)을 가압하여 누룰 수 있는 부분이다.
여기서, 상기 제 1승강부(210)는 장치본체(100)에 설치되되, 제 1XY구동부(230)와 연결되어, 상기 제 1승강부(210)를 XY방향을 따라 이동 위치시킨다.
분리유닛(300)
상기 분리유닛(300)은 제 2승강부(310)와, 그립부(320)와, 제 1회전부(330)와, 제2XY구동부(340)로 구성된다.
상기 제 2승강부(310)는 장치본체(100)에 승강가능하도록 설치되고, 상기 제 2승강부(310)는 Z축을 따라 승강가능한 축(311)을 갖는 승강실린더일 수 있다. 상기 승강실린더는 제어부(500)로부터 제어 신호를 받아 축(311)을 승강시킨다.
상기 제 1회전부(330)는 회전체(331)와, 회전모터(332)로 구성될 수 있다.
회전체(331)는 후술되는 지지부재(321)의 중심부에 설치되고, 회전모터(33 2)는 제어부(500)로부터 제어신호를 받아 회전체(331)를 상하로 회전시켜 지지부재(321)를 회전시키도록 할 수 있다.
상기 그립부(320)는 상기 제 1회전부(330)에 연결된다.
상기 그립부(320)는 지지부재(321)와, 다수의 진공노즐(322)로 구성된다.
상기 지지부재(321)는 상기 제 1회전부(330)에 연결되며, 사각 테두리 형상을 갖도록 형성된다. 사각 테두리 형상의 4군데의 모서리부에는 지지포인트가 형성된다. 따라서, 이러한 경우, 지지포인트는 4군데일 수 있다.
상기 다수의 진공노즐(322)은 각각의 지지포인트에 고정 설치된다.
각각의 진공노즐(322)은 외부로부터 진공을 제공받는 노즐(322a)과, 상기 노즐(322a)의 하단에 연결되어 진공을 형성하는 흡착판(322b)으로 구성된다.
여기서, 상기 각각의 진공노즐(322)에 구비되는 흡착판(322b)은 단위기판(11)의 상면을 진공흡착함에 사용된다.
그리고, 상기 제 2승강부(310)는 장치본체(100)에 설치되는 제 2XY구동부(340)에 연결된다. 상기 제2XY구동부(340)는 제어부(500)로부터 제어신호를 받아 상기 제 2승강부(310)를 XY방향을 따라 이동시킬 수 있다.
한편, 상술한 제어부(500)에는 기판(10)에 형성되는 커팅라인(CL)의 좌표정보 및 단위기판(11) 상면에서의 흡착 좌표정보가 미리 설정될 수 있다.
다음은, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 제 1실시예를 따르는 스크라이브 장치의 작용을 도 4a 내지 도 5b를 참조하여 설명한다.
도 4a와 도 4b는 누름유닛과 분리유닛의 작동 전 상태를 보여준다.
도 4a 및 도 4b를 참조 하면, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같은 기판(10)은 스테이지(110) 상에 안착될 수 있다. 여기서, 상기 기판(10)에는 스크라이브 휠에 의해 단위 기판들(11)을 구획하는 커팅라인(CL)이 형성되는 상태를 이룬다.
그리고, 상기 스테이지(110) 상부에는 누름유닛(200)과, 분리유닛(300)이 대기되는 상태를 이룬다.
여기서, 상기 누름유닛(200)은 기판(10)에 형성된 커팅라인(CL)의 상부에 위치된다. 즉, 제어부(500)는 커팅라인(CL)의 좌표정보에 위치되도록 제 1XY구동부(230)를 사용하여 누름부를 이동 위치시킨다.
그리고, 상기 분리유닛(300)은 단위기판(11)의 상부에 위치된다. 즉, 제어부(500)는 흡착 좌표정보에 위치되도록 제 2XY구동부(340)를 사용하여 그립부(320)를 이동 위치시킨다.
도 5a와 도 5b는 누름유닛과 분리유닛의 작동 후 상태를 보여준다.
도 5a 및 도 5b를 참조 하면, 누름유닛(200)은 기판(10)의 커팅라인(CL) 상부에 위치되어 대기된다.
제어부(500)는 누름부재(220)의 끝단이 커팅라인(CL)에 접촉되어 누를 수 있도록 제 1승강부(210)를 사용하여 제 1승강부(210)의 축(211)을 하강시킨다.
여기서, 상기 제어부(500)는 미리 설정된 하강 거리를 이루도록 상기 축(211)을 하강시키는 것이 바람직하다. 또한, 상기 하강 거리는 가변적으로 제어부(500)에 설정될 수 있다.
이어, 제어부(500)는 분리유닛(300)을 사용하여 커팅라인(CL)의 측부에 위치되는 단위기판(11)을 집어 소정의 각도를 이루도록 틸팅한다.
즉, 상기 제어부(500)는 그립부(320)의 흡착판들(322b)이 단위기판(11)의 상면을 흡착할 수 있도록 제 2승강부(310)의 축을 하강시킨다.
여기서, 상기 제어부(500)는 미리 설정된 하강 거리를 이루도록 상기 제 2승강부(310)의 축(311)을 하강시키는 것이 바람직하다. 또한, 상기 하강 거리는 가변적으로 제어부(500)에 설정될 수 있다.
이와 동시에, 각각의 진공노즐(322)은 외부의 진공 제공부(미도시)로부터 진공을 제공받기 때문에, 각각의 흡착판(322b)에는 진공 흡착력이 형성된다.
따라서, 각각의 흡착판들(322b)에 의해 단위기판(11)의 상면은 진공 흡착될 수 있다.
여기서, 흡착판들(322b)은 사각 형상을 이루는 다점 포인트(VP)를 이루어, 단위기판(11)의 상면 4부분을 진공흡착하여 고정할 수 있다.
이와 같은 상태에서, 제어부(500)는 제 2승강부(310)의 축(311)을 승강시킴과 아울러 제 1회전부(330)를 제어하여 그립부(320)를 상방으로 설정된 각도로 회전시키도록 한다.
따라서, 기판(10)의 커팅라인(CL)이 누름부재(220)의 끝단에 선접촉되는 상태로 눌려진 상태에서, 측부의 단위기판(11)은 제 2승강부(310) 및 제 1회전부(330)에 의해 상승 및 틸팅이 동시에 수행됨으로써, 해당 단위기판(11)은 커팅라인(CL)을 경계로 상방으로 설정된 각도를 이루어 꺽이는 상태를 이룬다.
이에 따라, 틸팅되는 단위기판(11)은 상승 및 틸팅되면서 눌려진 커팅라인(CL)에서 추가 크랙을 용이하게 진전시켜 단위기판(11)이 용이하게 분리되도록 할 수 있다.
이에 더하여, 도 3에 도시되는 기판(10)을 사용하는 경우, 씰라인(SL)을 포함한 커팅라인(CL)을 뾰족한 누름부재(220)의 하단을 사용하여 선접촉시켜 누르는 상태에서 단위기판(11)을 상승 및 틸팅함으로써, 커팅라인(CL)으로부터 추가 크랙을 용이하게 진전시켜 씰라인(SL)을 안정적으로 분리하도록 할 수 있다.
제 2실시예
도 5를 참조 하면, 본 발명의 스크라이브 장치는 크게 장치본체(100)와, 누름유닛(200)과, 분리유닛(400)으로 구성된다.
상기 장치본체(100) 및 누름유닛(200)은 제 1실시예의 구성과 실질적으로 동일하기 때문에, 이하에서 구성 설명은 생략하기로 한다.
상기 분리유닛(400)은 제 2승강부(410)와, 그립부(420)와, 제 2회전부(430)와, 제 2XY구동부(440)로 구성된다.
상기 제 2승강부(410)의 축(410a)에는 다수의 지지 포인트가 설정되는 지지부재(411)가 설치된다.
여기서, 상기 지지부재(411)는 일자형상으로 형성되어 선형을 이루고, 상기 지지 포인트는 지지부재(411) 상에 이격되어 형성된다.
그리고, 상기 다수의 지지 포인트에는 외부로부터 진공을 제공받는 다수의 노즐(412)이 설치된다.
상기 제 2회전부(430)는 회전체(431)와, 회전축(432)과, 회전모터(433)로 구성된다.
상기 회전체(431)는 각각의 노즐(412) 하단에 설치되고, 회전체(431)는 각각의 회전축(432)을 연결한다. 회전모터(433)는 제어부(500)로부터 제어신호를 전달받아 회전체들(431)을 동시에 회전시킨다.
그리고, 각각의 노즐(412) 하단에 설치된 회전체들(431)에는 흡착판들(421)이 설치된다.
상기 흡착판들(421)은 각각의 노즐(412)과 튜브를 통해 연결되어 진공을 제공받아 진공 흡착력을 형성할 수 있다.
여기서, 상기 다수의 흡착판(421)을 통한 상기 단위기판(11) 상면에서의 흡착 위치는 기판(10)에 형성된 커팅라인(CL)과 대응되는 측에서, 단위기판(11)의 중심으로부터 이격되는 위치에 선형을 이루도록 다점 포인트(VP)를 형성한다.
한편, 제 1실시예에서와 같이 제어부(500)에는 기판(10)에 형성되는 커팅라인(CL)의 좌표정보 및 단위기판 상면에서의 흡착 좌표정보가 미리 설정될 수 있다.
다음은, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 제 2실시예를 따르는 스크라이브 장치의 작용을 도 7a 내지 도 8b를 참조하여 설명한다.
도 7a와 도 7b는 누름유닛과 분리유닛의 작동 전 상태를 보여준다.
도 7a 및 도 7b를 참조 하면, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같은 기판(10)은 스테이지(110) 상에 안착될 수 있다. 여기서, 상기 기판(10)에는 스크라이브 휠에 의해 단위기판들(11)을 구획하는 커팅라인(CL)이 형성되는 상태를 이룬다.
그리고, 상기 스테이지(110) 상부에는 누름유닛(200)과, 분리유닛(400)이 대기되는 상태를 이룬다.
여기서, 상기 누름유닛(200)은 기판(10)에 형성된 커팅라인(CL)의 상부에 위치된다. 즉, 제어부(500)는 커팅라인(CL)의 좌표정보에 위치되도록 제 1XY구동부(230)를 사용하여 누름부를 이동 위치시킨다.
그리고, 상기 분리유닛(400)은 단위기판(11)의 상부에 위치된다. 즉, 제어부(500)는 흡착 좌표정보에 위치되도록 제 2XY구동부(440)를 사용하여 그립부(420)를 이동 위치시킨다.
도 8a와 도 8b는 누름유닛과 분리유닛의 작동 후 상태를 보여준다.
도 8a 및 도 8b를 참조 하면, 누름유닛(200)은 기판(10)의 커팅라인(CL) 상부에 위치되어 대기된다.
제어부(500)는 누름부재(220)의 끝단이 커팅라인(CL)에 접촉되어 누를 수 있도록 제 1승강부(210)를 사용하여 제 1승강부(210)의 축(211)을 하강시킨다.
여기서, 상기 제어부(500)는 미리 설정된 하강 거리를 이루도록 상기 축(211)을 하강시키는 것이 바람직하다. 또한, 상기 하강 거리는 가변적으로 제어부(500)에 설정될 수 있다.
이어, 제어부(500)는 분리유닛(400)을 사용하여 커팅라인(CL)의 측부에 위치되는 단위기판(11)을 집어 소정의 각도를 이루도록 틸팅한다.
즉, 상기 제어부(500)는 그립부(420)의 흡착판들(421)이 단위기판(11)의 상면을 흡착할 수 있도록 제 2승강부(410)의 축(410a)을 하강시킨다.
여기서, 상기 제어부(500)는 미리 설정된 하강 거리를 이루도록 상기 제 2승강부(410)의 축(410a)을 하강시키는 것이 바람직하다. 또한, 상기 하강 거리는 가변적으로 제어부(500)에 설정될 수 있다.
이와 동시에, 각각의 노즐(412)은 외부의 진공 제공부로부터 진공을 제공받기 때문에, 각각의 흡착판(421)에는 진공 흡착력이 형성된다.
따라서, 각각의 흡착판들(421)에 의해 단위기판(11)의 상면은 진공 흡착될 수 있다.
여기서, 흡착판들(421)은 사각 형상을 이루는 다점 포인트(VP)를 이루어, 단위기판(11)의 상면 4부분을 진공흡착하여 고정할 수 있다.
이와 같은 상태에서, 제어부(500)는 제 2승강부(410)의 축(410a)을 승강시킴과 아울러 제 2회전부(440)를 제어하여 그립부(420)를 상방으로 설정된 각도로 회전시키도록 한다.
즉, 기판(10)의 커팅라인(CL)은 누름부재(220)의 끝단에 선접촉되는 상태로 눌려진 상태를 이루고, 측부의 단위기판(11)은 2군데의 포인트(VP)를 이루는 흡착판들(421)에 의해 흡착되는 상태를 이룬다.
그리고, 제 2승강부(410) 및 제 2회전부(430)에 의해 지지부재(411)는 상승되고, 각각의 흡착판(421)은 상방으로 회전되어, 상승 및 틸팅이 동시에 수행됨으로써, 단위기판(11)은 커팅라인(CL)을 경계로 상방으로 설정된 각도를 이루어 꺽이는 상태를 이룰 수 있다.
이에 따라, 틸팅되는 단위기판(11)은 상승 및 틸팅되면서 눌려진 커팅라인(CL)에서 추가 크랙을 용이하게 진전시켜 단위기판(11)이 용이하게 분리되도록 할 수 있다.
이에 더하여, 도 3에 도시되는 기판(10)을 사용하는 경우, 씰라인(SL)을 포함한 커팅라인(CL)을 뾰족한 누름부재(220)의 하단을 사용하여 선접촉시켜 누르는 상태에서, 단위기판(11)을 상승 및 틸팅함으로써, 커팅라인(CL)에서 추가 크랙을 용이하게 진전시키고, 단위기판(11)을 비롯한 씰라인(SL)을 안정적으로 분리할 수 있다.
이상, 본 발명의 스크라이브 장치에 관한 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다.
그러므로 본 발명의 범위에는 설명된 실시예에 국한되어 전해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
즉, 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 기판 11 : 단위기판
100 : 장치본체 110 : 스테이지
200 : 누름유닛 210 : 제 1승강부
220 : 누름부재 230 : 제1XY구동부
300,400 : 분리유닛 310,410 : 제2승강부
320,420 : 그립부 321,411 : 지지부재
322 : 진공노즐 322a,412 : 노즐
322b,421 : 흡착판 330,430 : 제 2회전부
340,440 : 제 2XY구동부 500 : 제어부
CL : 커팅라인 SL : 씰라인

Claims (7)

  1. 커팅라인을 경계로 다수의 단위기판들이 형성되는 기판이 위치되는 스테이지를 갖는 장치본체;
    상기 각각의 단위기판들 사이에 상기 커팅라인을 형성하는 스크라이브 휠;
    상기 스테이지 상부에 위치되도록 상기 장치본체에 승강가능하게 설치되며, 승강됨에 따라 기판에 형성되는 커팅라인을 선택적으로 누르는 누름유닛; 및
    상기 스테이지 상부에 위치되도록 상기 장치본체에 승강가능하게 설치되며, 상기 누름유닛이 하강하여 상기 커팅라인을 누른 상태에서, 승강됨에 따라 상기 단위기판을 틸팅하여 상기 커팅라인으로부터 분리하는 분리유닛을 포함하며,
    상기 기판은 각각의 상기 단위기판을 둘러싸는 씰라인이 형성되고,
    상기 씰라인은 상기 커팅라인을 포함하여 형성되는
    하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 분리유닛은,
    상기 장치본체에 승강되도록 설치되는 제 2승강부와,
    상기 단위기판들 중 어느 하나를 집는 그립부와,
    상기 제 2승강부에 설치되며, 상기 그립부를 회전시키는 회전부를 구비하여 상기 그립부가 회전됨을 통해 틸팅하여 상기 그립부에 의해 집힌 단위 기판을 분리하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 분리유닛은,
    상기 제2승강부의 승강됨에 따라 상기 회전부의 회전동작을 연동시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 그립부는,
    상기 회전부에 연결되며, 다수의 지지 포인트가 설정되는 지지부재와,
    상기 다수의 지지 포인트에 설치되며, 외부로부터 진공을 제공받는 다수의 노즐과, 상기 다수의 노즐의 단부에 설치되며, 상기 진공을 사용하여 상기 단위 기판의 상면을 흡착하여 집는 흡착판을 갖는 다수의 진공노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 2승강부는,
    다수의 지지 포인트가 설정되는 지지부재와, 상기 다수의 지지 포인트에 설치되며, 외부로부터 진공을 제공받는 다수의 노즐을 구비하고,
    상기 그립부는, 상기 다수의 노즐의 단부에 설치되며, 상기 진공을 사용하여 상기 단위 기판의 상면을 흡착하여 집는 다수의 흡착판인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 다수의 흡착판을 통한 상기 단위기판 상면에서의 흡착 위치는
    상기 커팅라인과 대응되는 측에서, 상기 단위 기판의 중심으로부터 이격되는 위치에 선형을 이루도록 다점 포인트를 형성하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
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