JP5210409B2 - ブレイク装置 - Google Patents
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Description
まず、図6(a)に示すように、スクライブ装置のテーブル20上に脆性材料基板Wを載置し、その表面にカッターホイール21を用いてスクライブラインSを形成する。
次いで、図6(b)に示すように、弾性体のクッションシート23が敷かれたブレイク装置のテーブル22上に脆性材料基板Wを載置する。このとき、脆性材料基板WのスクライブラインSを形成した表面(表面側)をクッションシート23側に向け、反対側の表面(裏面側)が上面となるように反転させる。
そして下向きとなったスクライブラインSの裏面上方から、スクライブラインSに沿って長く延びる板状のブレイクバー24を下降させて脆性材料基板Wの反対面から押圧し、脆性材料基板Wをクッションシート23上で僅かにV字状に撓ませることにより、スクライブラインS(クラック)を深さ方向に浸透させる。これにより図6(c)に示すように脆性材料基板WはスクライブラインSに沿ってブレイクされる。
また、左右のスカート片が、バー本体の長さ方向に沿って連続して長く形成されるようにしてもよい。これにより、スクライブラインに沿って、均一に横方向の力を与えることができる。
これにより、スカート片が基板に当接し、押圧されたときに溝部分で屈曲するようになり、スカート片の素材が硬度の高い、或いはかなり肉厚のある弾性樹脂材であっても容易に弾性変形させることができる。また、屈曲することにより、基板に対し水平方向に引き離そうとする力が有効に働くようになる。
図1は本発明に係るブレイク装置の一例を示す斜視図であり、図2はブレイクバーの斜視図であり、図3はブレイクバーの動作を説明するための断面図である。
脆性材料基板Wには前段のスクライブ工程でスクライブライン(切溝)Sが形成されており、図1に示すように、このスクライブラインSがブレイクバーBの長さ方向と一致するようにテーブル1にクッションシート14を介して載置する。このとき脆性材料基板WのスクライブラインSを形成した面(表面側)をクッションシート14側に向け、反対側の面(裏面側)が上面となるようにしておく。
この状態でブレイクバーBがさらに降下すると、バー本体8の先端当接部8aが脆性材料基板Wを押圧し、脆性材料基板Wをクッションシート14上でV字状に撓ませる。これにより、スクライブラインS(クラック)が深さ方向に浸透し、図3(c)に示すようにスクライブラインSから脆性材料基板Wがブレイクされる。
この分断の際、脆性材料基板Wはスカート片9、9の弾性変形によりスクライブラインSから離れる方向に力(与圧)を受けているので、分断と同時に脆性材料基板Wの隣接する左右の分断端面が引き離され、端面どうしが互いに接触するなどの干渉が生じることがない。これにより、欠け等の傷の発生がなくなり、端面強度の優れた分断面を得ることができる。
また、バー本体8の脆性材料基板Wに対する押圧力を従来のブレイクバーでの押圧力と同程度に設定しておくことにより、今までと同等のブレイク処理を実現することができる。
S スクライブライン
A ブレイク装置
B ブレイクバー
1 テーブル
8 バー本体
8a バー本体の先端当接部
9 スカート片
9a スカート片の先端部
9b スカート片の溝
Claims (4)
- 脆性材料基板に対し、スクライブラインを形成した表面側とは反対側の裏面側から前記スクライブラインに向かってブレイクバーを押しつけることにより、前記基板をV字形に撓ませて前記スクライブラインに沿った分断を行うようにしたブレイク装置であって、
前記ブレイクバーが、長尺の硬質部材で形成され、かつ、押圧する方向の先端に先端当接部を備えたバー本体と、
前記バー本体よりも柔軟な弾性部材で形成され、かつ、前記先端当接部を挟んで互いに対をなすように前記バー本体に取り付けられた左右のスカート片とからなり、
前記左右のスカート片は、先端に近づくにつれて前記バー本体から外側に広がるように傾斜して形成され、かつ、その先端が前記先端当接部よりも押圧方向側に出るように形成されていることを特徴とするブレイク装置。 - 左右のスカート片が、バー本体の長さ方向に沿って間隔をあけて複数に分割して形成されている請求項1に記載のブレイク装置。
- 左右のスカート片が、バー本体の長さ方向に沿って連続して長く形成されている請求項1に記載のブレイク装置。
- 左右のスカート片の外側面に、バー本体の長さ方向に沿った溝が形成されている請求項1〜請求項3の何れかに記載のブレイク装置。
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