JP2008127228A - 板材加工装置 - Google Patents
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Abstract
素材ガラス2を割断加工する時には、弁体39を図5に示す第1位置に位置させ、かつ吸引ブロア36を作動させるとともにブローノズル32から割断加工部分に向けてエアを噴出させる。これにより、割断加工部分に生じるカレットは側部吸引ノズル35Bによって吸引されて回収される。
非割断加工時には、弁体39を第2位置に位置させるとともに吸引ブロア36が作動されて、加工テーブル3の載置面3A上に残ったカレットは底部吸引ノズル35Aによって吸引されて回収される。
【効果】 カレットを効率的かつ確実に回収することができる。
【選択図】 図5
Description
こうした従来の割断装置においては、支持テーブルには平面状の載置面が形成され、この載置面に載置されたガラス板にメカニカルカッタを当接することによって微小な溝を形成する際に、メカニカルカッタによる溝の切り込みが浅いと亀裂が形成されにくくなり、他方、溝の切り込みが深いと横方向の水平クラックが発生することがあるため、カッタとガラス板との高さ位置を精度良く合わせて加工するようにしている。
こうした従来の割断装置においては、発生したカレットを別設の集塵装置で集塵するようにしている。
しかしながら、割断装置を長時間稼働させることに伴って、集塵装置で捕捉できなかったカレットがガラス板上に残留して、ガラス板の搬出入時に支持テーブルの載置面に落ちることがある。このように載置面上にカレットが存在した状態で、支持テーブルの載置面上にガラス板を載置すると、ガラス板の上面の高さが予め想定した高さよりも高くなり、ガラス板の割断不良の原因になるという問題点があった。また、載置面上のカレットが素材ガラスに損傷を与えることもあった。
上記クリーニング手段の吸引ノズルは板材の加工部分の側方で上記加工ヘッドに付設されるとともに、上記クリーニング手段は上記吸引ノズルによる吸引方向を第1の方向と第2の方向に切り換える切り換え手段を備え、上記加工ヘッドによる板材の加工時と板材を加工していない非加工時とで吸引方向を切り換えるようにしたものである。
また、請求項2に記載した発明は、上記請求項1の構成を前提として、上記第1の方向は上記加工ヘッドによる板材の加工部分に上記吸引ノズルの開口部を向けた方向であり、上記第2の方向は上記加工テーブルの載置面に上記吸引ノズルの開口部を対向させた方向であるようにしたものである。
また、請求項3に記載した発明は、上記請求項2の構成を前提として、上記クリーニング手段は、第1の方向を向いた第1吸引ノズルと第2の方向を向いた第2吸引ノズルとを備え、上記切り換え手段は吸引手段と連通する吸引ノズルを切り換える弁機構からなるものである。
また、請求項4に記載した発明は、上記請求項2を前提として、上記切り換え手段は上記第1の方向と第2の方向の間で吸引ノズルを移動して吸引方向を切り換えるノズル移動機構からなるものである。
さらに、請求項5に記載した発明は、上記請求項1から請求項4のいずれかの構成を前提として、上記クリーニング手段は、板材の加工部分を挟んで吸引ノズルの開口部の対向位置に配置されてエアを噴出するブローノズルを備えており、上記板材の加工時においては、上記ブローノズルから上記開口部に向けてエアを噴出させて、加工部分に生じる加工屑を上記開口部を介して吸引通路内へ送り込むようにしたものである。
また、請求項2の発明によれば、板材の加工時ではその加工部分から生じる加工屑を確実に回収でき、板材の非加工時では加工テーブルの載置面上の加工屑を確実に回収できる。
また、上記請求項3および4の発明によれば、板材の加工時と非加工時とで吸引方向を容易に切り換えて加工屑を回収することができる。
さらに、上記請求項5の発明によれば、ブローノズルからエアを噴出させることで、加工部分に生じる加工屑を確実に吸引通路内へ送り込むことができる。
レーザ割断装置1は、水平で平坦な載置面3Aを有し、予め方形に形成された素材ガラス2を上記載置面3A上に支持する加工テーブル3と、この加工テーブル3の一側の隣接位置に配置されて素材ガラス2を支持する素材テーブル4と、上記加工テーブル3の他側の隣接位置に配置されて加工テーブル3から搬出される製品としてのガラス基板2’を支持する製品テーブル5とを備えている。
導光手段11は、レーザ発振器6の近傍に設置され、レーザ発振器6からのレーザ光Lを出力が1/2になった2本のレーザ光に分割するビームスプリッタ11Sと、ビームスプリッタ11Sにより分割された各レーザ光の光路上に設置され、レーザ光の通過をON/OFFするビームシャッタ11A、11Bと、各レーザ光を各加工ヘッド7A、7Bまで案内する複数の反射ミラーとを備えており、ビームシャッタ11A、11Bは後述する制御装置13によって作動を制御されるようになっている。
また、レーザ割断装置1は、素材ガラス2や割断後のガラス基板2’を吸着保持可能な複数の吸着パッド12A、12Bを有して上記素材テーブル4と加工テーブル3と製品テーブル5とにわたってX方向に移動される枠状の搬送手段12と、上記搬送手段12、レーザ発振器6および両加工ヘッド7A、7Bの作動を制御する制御装置13とを備えている。なお、本レーザ割断装置1の第1加工ヘッド7Aの図1における下方への移動端、図1における右方への移動端、加工テーブル3の載置面3Aを基準としたXYZ座標系が設定され、制御装置13に登録された加工プログラムに従って各部を制御するようになっている。
加工テーブル3上にはY方向と平行な一対の可動ガイドレール16、16’を設けてあり、それら各可動ガイドレール16、16’に上記各加工ヘッド7A、7BをY方向に移動可能に取り付けている。各加工ヘッド7A、7Bは第1移動機構17、17によって可動ガイドレール16、16’に沿ってY方向に移動されるようになっている。
また、各可動ガイドレール16、16’の両端部は、加工テーブル3を挟んで配置された一対のX方向ガイドレール18、18’に係合されており、上記両加工ヘッド7A、7Bを取り付けた各可動ガイドレール16、16’は図示しない第2移動機構によってX方向ガイドレール18、18’に沿ってX方向に移動されるようになっている。上記第1移動機構17および上記第2移動機構の作動は制御装置13によって作動されるようになっている。制御装置13は、第1移動機構17および第2移動機構の作動を制御して、各加工ヘッド7A、7Bを水平面においてXY方向に移動させることができるようになっている。
また、第1加工ヘッド7Aのブラケット21には上記反射鏡25の手前となるレーザ光Lの光路上にビームホモジナイザ26を固定して設けている。レーザ発振器6から発振されたレーザ光Lが上記導光手段11を経てビームホモジナイザ26を透過することで、該レーザ光Lの強度分布がトップハット状に形成され、かつレーザ光Lに約5度の拡がり角度が付与されるようになっている。
上記環状部材22はブラケット21の上部に設けられたアクチュエータ27により上記環状部材22の中心軸を回転中心として回転するようになっており、このアクチュエータ27は上記制御装置13によって作動を制御されるようになっている。なお、反射鏡25により鉛直方向に反射されたレーザ光Lの光軸は上記環状部材22の回転中心に一致しており、制御装置13によって所要時にアクチュエータ27が作動されると、レーザ光Lの光軸は移動することなく上記環状部材22と角筒部材23が所要角度回転されるようになっている。
上記アクチュエータ27により第1加工ヘッド7Aの角筒部材23を所要角度だけ回転させることで、メカニカルカッタ14Aとブローノズル32および吸引機構33を水平面において回転させることができる。
制御装置13からの指令によって昇降機構34がメカニカルカッタ14Aを下降端まで移動させると、メカニカルカッタ14Aの下端が加工テーブル3上の素材ガラス2の表面2Aに当接する高さに位置されるようになっている。この状態において第1加工ヘッド7Aが上記第1移動機構17あるいは第2移動機構によって移動されると、メカニカルカッタ14Aが転動することで素材ガラス2の表面2Aに連続する微小な溝M1が形成されるようになっている(図4参照)。
また、制御装置13からの指令によって昇降機構34がメカニカルカッタ14Aを上昇端まで移動させると、メカニカルカッタ14Aの下端は素材ガラス2から離隔するようになっている。この状態では、メカニカルカッタ14Aによって素材ガラス2に溝を形成できないようになっている。
ところで、上記メカニカルカッタ14Aによって素材ガラス2の表面に溝M1を形成し、かつ溝M1にレーザ光Lを照射することに伴って、その割断加工部分から糸状のカレットが生じる。そこで、割断加工に伴って発生するカレットを吸引して回収するために上記クリーニング手段31を加工ヘッド7Aに設けている。
図2および図5〜図7に示すように、クリーニング手段31の吸引機構33は、上端が閉鎖された縦長の箱型に形成されて上記角筒部材23の外面に連結されたハウジング35と、このハウジング35内の上部空間に下方側へ吸引口を向けて配置された吸引ブロア36と、ハウジング35の下部に配置されて、上記吸引ブロア36と連通する吸引ノズルを切り換える三方切り換え弁機構37と、上記吸引ブロア36と三方切り換え弁機構37との間の通路35Gに配置されたカレットフィルタ38とを備えている。
上記弁体39はロータリーアクチュエータ41に連結されており、所要時に上記制御装置13によってロータリーアクチュエータ41を作動させて、上記弁体39を側部吸引ノズル35Bが吸引ブロア36と連通する第1位置と底部吸引ノズル35Aが吸引ブロア36と連通する第2位置とに切り換えて吸引方向を切り換えるようになっている。なお、ロータリーアクチュエータ41を用いないで、現場の作業者が手動によって弁体を第1位置と第2位置とに切り換えるようにしても良い。
弁体39が第1位置に位置すると、図5に示すように、弁体39により底部吸引ノズル35Aが閉鎖されるとともに側部吸引ノズル35Bが弁体39の内部通路39Aを介して吸引ブロア36と連通し、側部吸引ノズル35B、弁体の内部通路39A、三方切り換え弁機構37と吸引ブロア36の間の通路35Gにより吸引通路が形成されるようになっている。
他方、弁体39が第2位置に位置すると、図6および図7に示すように、側部吸引ノズル35Bが弁体39によって閉鎖されるとともに底部吸引ノズル35Aが弁体39の内部通路39Aを介して吸引ブロア36と連通し、底部吸引ノズル35A、弁体の内部通路39A、三方切り換え弁機構37と吸引ブロア36の間の通路35Gにより吸引通路が形成されるようになっている。
なお、ハウジング35の底面35Eの高さは、素材ガラス2に接触しない高さに維持されている。また、上記側部吸引ノズル35Bの開口部35Dはレーザ光Lの光路を挟んで上記ブローノズル32と対向させてあり、ブローノズル32からエアが噴出されると、そのエアが側部吸引ノズル35B内に吹き込むようになっている。
第1加工ヘッド7Aが第1移動機構17と第2移動機構により移動することによって素材ガラス2の割断予定線上に溝M1を形成し、かつレーザ光Lによって素材ガラス2を割断する割断加工時には、制御装置13は上記三方切り換え弁機構37を第1位置に位置させるとともに吸引ブロア36を作動させ、かつブローノズル32からエアを噴出させるようにしている。これにより、素材ガラス2の割断加工部分に生じたカレットは、ブローノズル32から噴出されたエアに巻き込まれるように側部吸引ノズル35Bを介して吸引通路内に吸引されてカレットフィルタ38によって捕捉されるようになっている。
第1加工ヘッド7Aとクリーニング手段31は上述したように構成してあり、他方の第2加工ヘッド7Bも第1加工ヘッド7Aと同様に構成してあり、上記制御装置13は両加工ヘッド7A、7Bの作動をそれぞれ独立して制御するようになっている。
すなわち、素材テーブル4上に長方形をした1枚の素材ガラス2が所定位置に供給されると、素材テーブル4上まで搬送手段12が移動されて、該搬送手段12におけるX方向の一端側の吸着パッド12Aによって素材ガラス2の表面における加工テーブル3側の部分が吸着保持される。
この後、素材テーブル4、加工テーブル3の載置面3A及び両テーブル間に上述した複数の孔からエアが噴出され、素材テーブル4上の素材ガラス2がエアによって浮上される。その状態において、該素材ガラス2を保持した状態の搬送手段12がX方向に移動されることで、搬送手段12に保持された素材ガラス2が加工テーブル3上の所定位置に搬送される。このあと、素材テーブル4と加工テーブル3の載置面3Aおよび両テーブル間のエア噴出が停止されて搬送手段12による素材ガラス2の保持状態は解放されるとともに、加工テーブル3の載置面3Aの孔に負圧が導入されるので、その負圧によって載置面3Aに素材ガラス2が吸着保持される。
また、制御装置13は、ロータリーアクチュエータ41を介して両加工ヘッド7A、7Bの三方切り換え弁機構37の弁体39を図5に示した第1位置に位置させ、かつ、吸引ブロア36を作動させるとともにブローノズル32からエアを噴出させる。さらにビームスプリッタ11A、11BをOFFにした状態でレーザ発振器6を作動させレーザ光Lを発振させておく。
この状態から制御装置13は、両加工ヘッド7A、7Bを第1移動機構17と第2移動機構を介して割断予定線101、102に向けて所定速度で移動させる。これにより、第1加工ヘッド7Aのメカニカルカッタ14Aが上記一端101aに当接して割断予定線101上を移動されるとともに、第2加工ヘッド7Bのメカニカルカッタ14Aが上記一端102aに当接して割断予定線102上を移動される。各加工ヘッド7A、7Bの移動開始後にレーザ光Lの照射位置が素材ガラス2に差しかかる直前で制御装置13は、各ビームシャッタ11A、11BをONさせてレーザ光Lを通過させる。
そして、このように溝M1を形成し、かつ割断する割断加工時においては、溝M1を形成する箇所および割断加工箇所、つまり割断加工部分にカレットが発生するが、上述したように割断加工中においては、上記三方切り換え弁機構37の弁体39は第1位置に位置して吸引ブロア36が作動し、かつブローノズル32からエアが噴出している。そのため、レーザ光Lによる素材ガラス2の割断加工箇所の大気が側部開口部35Dを介して吸引通路内へ送り込まれて吸引ブロア36に吸引されるようになっている。これにより、溝M1の形成時に生じたカレットおよび素材ガラス2の割断加工部分に生じるカレットがハウジング35内に設けられたカレットフィルタ38によって捕捉される。
このようにして、レーザ割断装置1によってY方向の割断予定線101、102のとおりに両加工ヘッド7A、7Bにより素材ガラス2を割断するとともに、この割断加工時においては割断加工部分に生じるカレットをクリーニング手段31によって吸引して回収するようにしている。
この後、制御装置13は、上述した両割断予定線101、102を割断した場合と同様に、上記各構成部材の作動を制御して、X方向の図示しない割断予定線の箇所を各加工ヘッド7A、7Bによって割断する。また、それと同時に各加工ヘッド7A、7Bに設けたクリーニング手段31によって割断加工時に生じるカレットを上述のようにして吸引して回収するようにしている。
このようにして、レーザ割断装置1による素材ガラス2の割断加工が終了したら、この後、加工テーブル3の載置面3Aの孔への負圧の導入を停止して、素材ガラス2から切り落とした残材を図示しない除去装置によって加工テーブル3上から除去する。
搬送手段12におけるX方向の一端側の吸着パッド12Aによって素材ガラス2が吸着保持されると同時に、搬送手段12におけるX方向の他端側の吸着パッド12Bによって加工テーブル3上のガラス基板2’が吸着保持される。
また、これと同時に既に素材テーブル4に供給されている素材ガラス2も素材テーブル4の載置面に供給されたエアによって浮上されている。
この後、搬送手段12は製品テーブル5に向けてX方向に平行移動されるので、新たな素材ガラス2が加工テーブル3上に供給されるとともに、製品としてのガラス基板2’が製品テーブル5上に搬出される(図1参照)。
この後、各部のエア噴出が停止され搬送手段12による吸着パッド12A、12Bによる素材ガラス2とガラス基板2’の保持状態が解除されるとともに、加工テーブル3及び製品テーブル5の各載置面の孔に負圧が導入されて、素材ガラス2及びガラス基板2’が各テーブルに吸着支持されるようになっている。
この後、同様の割断加工処理が行われ、さらに所定枚数が素材ガラス2に対してレーザ割断装置1によって割断加工が施されると、それまでの素材ガラス2の搬出入と割断加工に伴って加工テーブル3の載置面3A上にカレットが落下して徐々に堆積されているので、加工テーブル3の載置面3A上のカレットを除去する必要がある。
その際、各加工ヘッド7A、7Bに連結した底部吸引ノズル35Aの底面開口部35Cは、加工テーブル3の載置面3Aと近接しているので、加工テーブル3の載置面3A上に落下していたカレットは両加工ヘッド7A、7Bのクリーニング手段31の底部開口部35Cを介してハウジング35内の吸引通路を通ってカレットフィルタ38に捕捉される。
このような加工テーブル3の載置面3Aのクリーニングは非割断加工時の所要時に行うもので、一日の作業前とか所定処理数毎とか適宜行うようにする。
なお、図面は省略するが、上記吸引機構33における三方切り換え弁機構37とそれに連通する両吸引ノズル35A、35Bの代わりに次のような構成を採用しても良い。つまり、上記ハウジング35の下方に配置した三方切り換え弁機構37とその周囲のハウジング35の下部を省略し、その代わりにハウジング35の下端となる通路35に可撓性を有する吸引ノズルの基部を接続して、該吸引ノズルの先端開口部を加工テーブル3の載置面に対向した方向と加工ヘッドによる素材ガラス2の加工部分を向けた方向に移動して吸引方向を切り換えるようにしても良い。
また、上述したメカニカルカッタ14Aを用いた溝形成機構14の代わりにレーザ光を素材ガラス2に照射して微小な溝M1を形成するようにしてもよい。
3…加工テーブル 7A…第1加工ヘッド
7B…第2加工ヘッド 17…第1移動機構
31…クリーニング手段 35A…底部吸引ノズル
35B…側部吸引ノズル 36…吸引ブロア
37…三方切り換え弁機構(切り換え手段)
Claims (5)
- 板材が載置される載置面を有する加工テーブルと、この加工テーブル上の板材に対して所要の加工を施す加工ヘッドと、この加工ヘッドと上記加工テーブルとを相対移動させる移動手段と、吸引手段と該吸引手段に接続される吸引ノズルを有して板材の加工時に生じた加工屑を吸引して回収するクリーニング手段とを備えた板材加工装置において、
上記クリーニング手段の吸引ノズルは板材の加工部分の側方で上記加工ヘッドに付設されるとともに、上記クリーニング手段は上記吸引ノズルによる吸引方向を第1の方向と第2の方向に切り換える切り換え手段を備え、上記加工ヘッドによる板材の加工時と板材を加工していない非加工時とで吸引方向を切り換えることを特徴とする板材加工装置。 - 上記第1の方向は上記加工ヘッドによる板材の加工部分に上記吸引ノズルの開口部を向けた方向であり、上記第2の方向は上記加工テーブルの載置面に上記吸引ノズルの開口部を対向させた方向であることを特徴とする請求項1に記載の板材加工装置。
- 上記クリーニング手段は、第1の方向を向いた第1吸引ノズルと第2の方向を向いた第2吸引ノズルとを備え、上記切り換え手段は吸引手段と連通する吸引ノズルを切り換える弁機構からなることを特徴とする請求項2に記載の板材加工装置。
- 上記切り換え手段は上記第1の方向と第2の方向の間で吸引ノズルを移動して吸引方向を切り換えるノズル移動機構からなることを特徴とする請求項2に記載の板材加工装置。
- 上記クリーニング手段は、板材の加工部分を挟んで吸引ノズルの開口部の対向位置に配置されてエアを噴出するブローノズルを備えており、上記板材の加工時においては、上記ブローノズルから上記開口部に向けてエアを噴出させて、加工部分に生じる加工屑を上記開口部を介して吸引通路内へ送り込むことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の板材加工装置。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091030 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110422 |
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A02 | Decision of refusal |
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