JP2008307562A - 脆性材料の割断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 素材ガラス2が支持テーブル3に搬入されると、中央ブロックB5の載置面のみに負圧が供給され、割断予定線2a〜2dの下方側となる他のブロック(B1〜B3、B4、B6〜B9)の載置面には圧縮空気が供給される。これにより素材ガラス2の中央部は中央ブロックB5によって吸着され、他の箇所の底面は各ブロック(B1〜B3、B4、B6〜B9)の載置面から僅かに浮上する。
この状態において、4本の割断予定線2a〜2dに沿ってレーザ光Lが照射されて素材ガラス2が割断される。その際、割断予定線2a〜2dの下方側となる素材ガラス2の底面は各ブロック(B1〜B3、B4、B6〜B9)から浮上しているので、レーザ光Lの熱エネルギーが支持テーブル3へ逃げるのを抑制している。
【効果】 素材ガラス2を高速で割断することができる。
【選択図】 図2
この状態において、4本の割断予定線2a〜2dに沿ってレーザ光Lが照射されて素材ガラス2が割断される。その際、割断予定線2a〜2dの下方側となる素材ガラス2の底面は各ブロック(B1〜B3、B4、B6〜B9)から浮上しているので、レーザ光Lの熱エネルギーが支持テーブル3へ逃げるのを抑制している。
【効果】 素材ガラス2を高速で割断することができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は脆性材料の割断装置に関し、より詳しくは、例えばガラス板を割断する場合に好適な脆性材料の割断装置に関する。
従来、レーザ光を照射してガラス板を割断する割断装置は公知であり、こうした従来の割断装置においては、次のようにしてガラス板を割断している。すなわち、先ずガラス板の割断予定線に沿ってメカニカルカッタを移動させてガラス板の表面に微少な溝を形成し、その後に上記溝に沿ってレーザ光の照射スポットを移動させることにより、上記微小な溝から底面にわたって亀裂を進展させることでガラス板を割断予定線のとおりに割断するようにしている(例えば特許文献1)。
特開昭54−106524号公報
近年、液晶ディスプレイの需要が高まっており、しかも液晶ディスプレイ用のガラス基板は年々大面積化しているため、液晶ディスプレイ用ガラス板の割断加工の高速化が要望されている。
従来の割断装置においては、吸着テーブル上にガラス板を吸着保持して上述したような割断加工を行っている。そのため、テーブルとガラス板は密着していることから、レーザ光の吸収熱がガラス板からテーブルへ逃げてしまい、ガラス板の温度上昇を妨げ、ガラス板の温度変化による変形を妨げる結果となっていた。このような従来の割断装置においては、ガラス板を高速で割断できないという欠点があった。
なお、ガラス板における割断予定線の箇所の温度を上げるためにはレーザ光の出力を高くすれば良いが、その場合にはガラス板の表面付近が必要以上に加熱されて損傷するという問題が生じる。
そこで、本発明の目的は、脆性材料を高速で割断することが可能な割断装置を提供することである。
従来の割断装置においては、吸着テーブル上にガラス板を吸着保持して上述したような割断加工を行っている。そのため、テーブルとガラス板は密着していることから、レーザ光の吸収熱がガラス板からテーブルへ逃げてしまい、ガラス板の温度上昇を妨げ、ガラス板の温度変化による変形を妨げる結果となっていた。このような従来の割断装置においては、ガラス板を高速で割断できないという欠点があった。
なお、ガラス板における割断予定線の箇所の温度を上げるためにはレーザ光の出力を高くすれば良いが、その場合にはガラス板の表面付近が必要以上に加熱されて損傷するという問題が生じる。
そこで、本発明の目的は、脆性材料を高速で割断することが可能な割断装置を提供することである。
すなわち、請求項1に記載した本発明は、板状の脆性材料を支持する載置面を有する支持手段と、上記支持手段に支持された脆性材料にレーザ光を照射して亀裂を形成するレーザ光照射手段と、上記支持手段上の脆性材料とレーザ光とを相対移動させる相対移動手段とを備え、上記脆性材料の割断予定線に沿ってレーザ光を照射して脆性材料を割断するようにした脆性材料の割断装置において、
上記支持手段の載置面を複数のブロックから構成するとともに、各ブロックごとにそれらの載置面から気体を噴出できるように構成し、上記割断予定線に沿って脆性材料にレーザ光を照射する際には、割断予定線の下方側となるブロックの載置面から気体を噴出させて、該ブロックの載置面から脆性材料を浮上させるようにしたものである。
上記支持手段の載置面を複数のブロックから構成するとともに、各ブロックごとにそれらの載置面から気体を噴出できるように構成し、上記割断予定線に沿って脆性材料にレーザ光を照射する際には、割断予定線の下方側となるブロックの載置面から気体を噴出させて、該ブロックの載置面から脆性材料を浮上させるようにしたものである。
このような構成によれば、脆性材料にレーザ光を照射して割断する際には、割断予定線の下方側のブロックから脆性材料が浮上しているので、脆性材料と支持手段との間に気体層が形成され、この気体層が断熱層として働き、レーザ光の吸収熱の脆性材料からの放熱を抑制する。したがって、レーザ光の出力を上昇させることなく割断予定線に沿って脆性材料を高速で割断することができる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明すると、図1において、1はメカニカルカッタにより脆性材料の表面に微小なスクライブ溝を形成し、その溝に沿ってレーザ光を照射することにより脆性材料を割断するレーザ加工装置であり、このレーザ加工装置1によって脆性材料である素材ガラス2の周囲4辺を所定寸法に割断(切断)することができるようになっている。
上記レーザ加工装置1は、本発明に係る支持テーブル3と、この支持テーブル3の一側の隣接位置に配置されて素材ガラス2を支持する素材テーブル4と、上記支持テーブル3の他側の隣接位置に配置されて支持テーブル3から搬出される製品としてのガラス基板2’を支持する製品テーブル5とを備えている。
上記レーザ加工装置1は、本発明に係る支持テーブル3と、この支持テーブル3の一側の隣接位置に配置されて素材ガラス2を支持する素材テーブル4と、上記支持テーブル3の他側の隣接位置に配置されて支持テーブル3から搬出される製品としてのガラス基板2’を支持する製品テーブル5とを備えている。
後に詳述するが、上記支持テーブル3は水平方向に配置された多孔質部材のブロックB1〜B9からなり、それらの上面である載置面3Aから空気を給排できるようになっている。
そして、支持テーブル3上への素材ガラス2の搬入時および製品としてのガラス基板2’の搬出時には、上記支持テーブル3の載置面3Aから空気を噴出させることで、支持テーブル3上に素材ガラス2又はガラス基板2’を浮上させることができるようになっている。
他方、支持テーブル3上に素材ガラス2が搬入された後には、支持テーブル3の載置面3Aから空気を吸引することで、支持テーブル3上に素材ガラス2を吸着保持できるようになっている。
図示しないが、上記素材テーブル4および製品テーブル5の載置面も支持テーブル3と同様な多孔質材で構成され、空気を給排できるようになっており、所要時に素材ガラス2あるいはガラス基板2’を両テーブル4、5の載置面に吸着し、或いは載置面上に浮上させることができるようになっている。なお、素材ガラス2や製品であるガラス基板2’の搬送面となる各テーブル間にも所要時に空気を噴出する多数の孔が設けられている。
そして、支持テーブル3上への素材ガラス2の搬入時および製品としてのガラス基板2’の搬出時には、上記支持テーブル3の載置面3Aから空気を噴出させることで、支持テーブル3上に素材ガラス2又はガラス基板2’を浮上させることができるようになっている。
他方、支持テーブル3上に素材ガラス2が搬入された後には、支持テーブル3の載置面3Aから空気を吸引することで、支持テーブル3上に素材ガラス2を吸着保持できるようになっている。
図示しないが、上記素材テーブル4および製品テーブル5の載置面も支持テーブル3と同様な多孔質材で構成され、空気を給排できるようになっており、所要時に素材ガラス2あるいはガラス基板2’を両テーブル4、5の載置面に吸着し、或いは載置面上に浮上させることができるようになっている。なお、素材ガラス2や製品であるガラス基板2’の搬送面となる各テーブル間にも所要時に空気を噴出する多数の孔が設けられている。
上記レーザ加工装置1は、レーザ光Lを発振するレーザ発振器6と、図示しない移動機構によって水平面のXY方向にそれぞれ独立して移動されてレーザ光Lを支持テーブル3上の素材ガラス2に向けて照射する第1加工ヘッド7Aおよび第2加工ヘッド7Bと、両加工ヘッド7A、7Bにおける移動方向の前面に配置されるとともにレーザ光Lの照射に先立って素材ガラス2の表面にスクライブ溝を形成するメカニカルカッタ8と、レーザ発振器6から発振されたレーザ光Lを両加工ヘッド7A、7Bへ分割して案内する複数の光学部品からなる導光手段11とを備えている。
また、上記レーザ加工装置1は、素材ガラス2や割断後のガラス基板2’を吸着保持可能な複数の吸着パッド12A、12Bを有して上記素材テーブル4と支持テーブル3と製品テーブル5とにわたってX方向に移動される枠状の搬送手段12と、上記搬送手段12、レーザ発振器6および両加工ヘッド7A、7Bの作動を制御する制御装置13とを備えている。
上記支持テーブル3上にはY方向と平行な一対の可動ガイドレール16、16’が設けられており、それら各可動ガイドレール16、16’には上記各加工ヘッド7A、7BがY方向に移動可能に取り付けられている。各加工ヘッド7A、7Bは図示しない第1移動機構によって可動ガイドレール16、16’に沿ってY方向に移動されるようになっている。
また、上記レーザ加工装置1は、素材ガラス2や割断後のガラス基板2’を吸着保持可能な複数の吸着パッド12A、12Bを有して上記素材テーブル4と支持テーブル3と製品テーブル5とにわたってX方向に移動される枠状の搬送手段12と、上記搬送手段12、レーザ発振器6および両加工ヘッド7A、7Bの作動を制御する制御装置13とを備えている。
上記支持テーブル3上にはY方向と平行な一対の可動ガイドレール16、16’が設けられており、それら各可動ガイドレール16、16’には上記各加工ヘッド7A、7BがY方向に移動可能に取り付けられている。各加工ヘッド7A、7Bは図示しない第1移動機構によって可動ガイドレール16、16’に沿ってY方向に移動されるようになっている。
また、各可動ガイドレール16、16’の両端部は、支持テーブル3を挟んで配置された一対のX方向ガイドレール18、18’に係合されており、該各可動ガイドレール16、16’は図示しない第2移動機構によってX方向ガイドレール18、18’に沿ってX方向に移動されるようになっている。
上記第1移動機構および第2移動機構は上記制御装置13によって作動されるようになっており、制御装置13は、第1移動機構および第2移動機構の作動を制御して、各加工ヘッド7A、7Bを水平面においてXY方向に移動させることができるようになっている。
上記第1移動機構および第2移動機構は上記制御装置13によって作動されるようになっており、制御装置13は、第1移動機構および第2移動機構の作動を制御して、各加工ヘッド7A、7Bを水平面においてXY方向に移動させることができるようになっている。
ここで本発明にかかる支持テーブル3の構成を説明する前に、レーザ加工装置1による素材ガラス2の割断動作を説明する。
先ず、素材テーブル4上に長方形をした1枚の素材ガラス2が所定位置に供給されると、素材テーブル4上まで搬送手段12が移動されて、該搬送手段12の枠状フレームにおけるX方向の一端側の吸着パッド12Aによって素材ガラス2の上面における支持テーブル3側の部分が吸着保持される。
次に、素材テーブル4の載置面および支持テーブル3の載置面3Aから空気が噴出されるので、素材テーブル4上の素材ガラス2が空気によって浮上される。その状態において、該素材ガラス2を保持した状態の搬送手段12がX方向に移動されることで、搬送手段12に保持された素材ガラス2が支持テーブル3の載置面3A上の所定位置に搬入される。
その後、素材テーブル4と支持テーブル3の載置面3Aおよび両テーブル間の空気の噴出が停止されてから支持テーブル3における載置面3Aに負圧が導入されるので、その負圧によって支持テーブル3上に素材ガラス2が吸着保持される。この後に搬送手段12による素材ガラス2の保持状態が解放される。
先ず、素材テーブル4上に長方形をした1枚の素材ガラス2が所定位置に供給されると、素材テーブル4上まで搬送手段12が移動されて、該搬送手段12の枠状フレームにおけるX方向の一端側の吸着パッド12Aによって素材ガラス2の上面における支持テーブル3側の部分が吸着保持される。
次に、素材テーブル4の載置面および支持テーブル3の載置面3Aから空気が噴出されるので、素材テーブル4上の素材ガラス2が空気によって浮上される。その状態において、該素材ガラス2を保持した状態の搬送手段12がX方向に移動されることで、搬送手段12に保持された素材ガラス2が支持テーブル3の載置面3A上の所定位置に搬入される。
その後、素材テーブル4と支持テーブル3の載置面3Aおよび両テーブル間の空気の噴出が停止されてから支持テーブル3における載置面3Aに負圧が導入されるので、その負圧によって支持テーブル3上に素材ガラス2が吸着保持される。この後に搬送手段12による素材ガラス2の保持状態が解放される。
この状態となると、上記制御装置13は上記第1移動機構と第2移動機構とを制御して両加工ヘッド7A、7Bをそれぞれ独立させて割断予定線2a、2b、2c、2dに沿ってX方向又はY方向に移動させるようになっており、それに伴ってメカニカルカッタ8によって素材ガラス2の表面にスクライブ溝9が形成されるとともに、該スクライブ溝9にレーザ光Lが照射されるようになっている(図4参照)。スクライブ溝9にレーザ光Lが照射されて素材ガラス2が加熱されることで、上記スクライブ溝9から裏面まで亀裂が進行することで、素材ガラス2の4辺をXY方向の割断予定線2a、2b、2c、2dに沿ってX方向又はY方向に割断するようになっており、それによって正確に所定寸法に割断した方形のガラス基板2’を得るようになっている。つまり、素材ガラス2には、その4辺に沿って井桁状をした4本の直線状の割断予定線2a、2b、2c、2dが設定されている。
このようにして、レーザ加工装置1による素材ガラス2の割断が終了したら、支持テーブル3の載置面3Aへの負圧の導入を停止し、素材ガラス2から切り離されたガラス片を図示しない排出手段により支持テーブル3上から除去する。
一方、上記素材ガラス2を割断する間に、既に素材テーブル4上に素材ガラス2が供給されている。そして、搬送手段12におけるX方向の一端側の吸着パッド12Aによって素材ガラス2が吸着保持されると同時に、搬送手段12におけるX方向の他端側の吸着パッド12Bによって支持テーブル3上のガラス基板2’が吸着保持される。
このようにして、レーザ加工装置1による素材ガラス2の割断が終了したら、支持テーブル3の載置面3Aへの負圧の導入を停止し、素材ガラス2から切り離されたガラス片を図示しない排出手段により支持テーブル3上から除去する。
一方、上記素材ガラス2を割断する間に、既に素材テーブル4上に素材ガラス2が供給されている。そして、搬送手段12におけるX方向の一端側の吸着パッド12Aによって素材ガラス2が吸着保持されると同時に、搬送手段12におけるX方向の他端側の吸着パッド12Bによって支持テーブル3上のガラス基板2’が吸着保持される。
この後、すべてのテーブル及び各テーブル間の載置面に上述したようにして空気が噴出され、製品としてのガラス基板2’が支持テーブル3上に浮上されると同時に、素材テーブル4上の素材ガラス2も浮上される。
この状態となると、搬送手段12は製品テーブル5に向けてX方向に平行移動されるので、新たな素材ガラス2が支持テーブル3上に供給されるとともに、製品としてのガラス基板2’が製品テーブル5上に搬出される。
この後、上述した各部の空気の噴出が停止されて、搬送手段12による吸着パッド12A、12Bによる素材ガラス2とガラス基板2’の保持状態が解放されるとともに、支持テーブル3及び製品テーブル5の載置面に負圧が導入されて、新たな素材ガラス2及びガラス基板2’が各テーブルに吸着支持される。
このように、割断処理の対象となる素材ガラス2は先ず素材テーブル4上に搬入され、その後、搬送手段12により支持テーブル3上に搬入される。そこで、素材ガラス2は両加工ヘッド7A、7BによりXY方向の各割断予定線2a〜2dに沿って四辺を割断されて製品としてのガラス基板2’が切り出されるようになっており、その後、ガラス基板2’は搬送手段12によって支持テーブル3上から製品テーブル5へ搬出されるようになっている。
この状態となると、搬送手段12は製品テーブル5に向けてX方向に平行移動されるので、新たな素材ガラス2が支持テーブル3上に供給されるとともに、製品としてのガラス基板2’が製品テーブル5上に搬出される。
この後、上述した各部の空気の噴出が停止されて、搬送手段12による吸着パッド12A、12Bによる素材ガラス2とガラス基板2’の保持状態が解放されるとともに、支持テーブル3及び製品テーブル5の載置面に負圧が導入されて、新たな素材ガラス2及びガラス基板2’が各テーブルに吸着支持される。
このように、割断処理の対象となる素材ガラス2は先ず素材テーブル4上に搬入され、その後、搬送手段12により支持テーブル3上に搬入される。そこで、素材ガラス2は両加工ヘッド7A、7BによりXY方向の各割断予定線2a〜2dに沿って四辺を割断されて製品としてのガラス基板2’が切り出されるようになっており、その後、ガラス基板2’は搬送手段12によって支持テーブル3上から製品テーブル5へ搬出されるようになっている。
しかして、図2ないし図3に示すように、本実施例は、レーザ加工装置1の支持テーブル3を多孔質部材からなる9個のブロックB1〜B9により構成し、それら全てのブロックB1〜B9の上面により支持テーブル3の載置面3Aを構成したものであり、それぞれのブロックB1〜B9単位でそれらの載置面3A(上面)から空気を給排可能としたものである。
すなわち、支持テーブル3は、素材ガラス2の中央部を支持する方形の中央ブロックB5と、この中央ブロックB5のXY方向と平行な各2辺にそれぞれ隣接させて配置された合計4つの側辺ブロックB2、B4、B6、B8と、隣り合う2つの側辺支持部の両端部に隣接させて配置された合計4つの隅ブロックB1、B3、B7、B9とから構成されている。
すなわち、支持テーブル3は、素材ガラス2の中央部を支持する方形の中央ブロックB5と、この中央ブロックB5のXY方向と平行な各2辺にそれぞれ隣接させて配置された合計4つの側辺ブロックB2、B4、B6、B8と、隣り合う2つの側辺支持部の両端部に隣接させて配置された合計4つの隅ブロックB1、B3、B7、B9とから構成されている。
前述したように上記9個の各ブロックB1〜B9は多孔質部材からなり、各ブロックB1〜B9の載置面3A(上面)は全て同一平面に設けられている。そして、各ブロックB1〜B9によって素材ガラス2を支持した状態では、割断予定線2aはブロックB1〜B3上に位置し、割断予定線2bはブロックB3、B6およびB9上に位置し、割断予定線2cは各ブロックB7〜B9上に位置し、さらに割断予定線2dはブロックB1、B4およびB7上に位置するように設定されている。
なお、支持テーブル3上に素材ガラス2が搬入されると、素材ガラス2の中央部は中央ブロックB5の上面によって支持されるようになっている。
なお、支持テーブル3上に素材ガラス2が搬入されると、素材ガラス2の中央部は中央ブロックB5の上面によって支持されるようになっている。
図3に示すように、各ブロックB1〜B9の底面には、それぞれ分岐管21の一端を接続してあり、これらの分岐管21の他端は合流されて導管22の一端に接続されており、この導管22の他端は負圧供給源23に接続されている。上記各分岐管21にはそれぞれ常閉の電磁開閉弁24が設けられており、上記制御装置13によってこれらの電磁開閉弁24は独立して作動を制御されるようになっている。
また、各ブロックB1〜B9の底面には、それぞれ別の分岐管25を接続してあり、これらの分岐管25の他端は1つに合流されて導管26の一端に接続されており、この導管26の他端は圧縮空気供給源27に接続されている。各分岐管25にはそれぞれ常閉の電磁開閉弁28が設けられており、上記制御装置13によってこれらの電磁開閉弁28は独立して作動を制御されるようになっている。
このように、支持テーブル3は9個のブロックB1〜B9から構成され、各ブロック単位でそれらの載置面3Aから空気を給排できるようになっている。
また、各ブロックB1〜B9の底面には、それぞれ別の分岐管25を接続してあり、これらの分岐管25の他端は1つに合流されて導管26の一端に接続されており、この導管26の他端は圧縮空気供給源27に接続されている。各分岐管25にはそれぞれ常閉の電磁開閉弁28が設けられており、上記制御装置13によってこれらの電磁開閉弁28は独立して作動を制御されるようになっている。
このように、支持テーブル3は9個のブロックB1〜B9から構成され、各ブロック単位でそれらの載置面3Aから空気を給排できるようになっている。
支持テーブル3は以上のように構成してあり、上記搬送手段12によって支持テーブル3上に素材ガラス2が搬入されたら、制御装置13は上記9箇所の各電磁開閉弁24、28と両加工ヘッド7A,7Bの作動を制御して、以下のようにして素材ガラス2の4辺を割断するようにしている。
すなわち、素材テーブル4上から支持テーブル3上に素材ガラス2が搬入されるときには、制御装置13によって支持テーブル3の各ブロックB1〜B9用の各電磁開閉弁28が開放され、圧縮空気供給源27から導管26と各分岐管25を介して各ブロックB1〜B9へ圧縮空気が給送されて、全てのブロックB1〜B9の載置面3Aから圧縮空気が噴出している。このため、搬送手段12によって搬送される素材ガラス2は支持テーブル3上を浮上された状態で所定位置まで搬入される(図1参照)。
すなわち、素材テーブル4上から支持テーブル3上に素材ガラス2が搬入されるときには、制御装置13によって支持テーブル3の各ブロックB1〜B9用の各電磁開閉弁28が開放され、圧縮空気供給源27から導管26と各分岐管25を介して各ブロックB1〜B9へ圧縮空気が給送されて、全てのブロックB1〜B9の載置面3Aから圧縮空気が噴出している。このため、搬送手段12によって搬送される素材ガラス2は支持テーブル3上を浮上された状態で所定位置まで搬入される(図1参照)。
この後、制御装置13は中央ブロックB5用の電磁開閉弁25を閉鎖させた後に中央ブロックB5用の電磁開閉弁24を開放させる。そのため、中央ブロックB5(載置面3A)のみに負圧供給源23から負圧が導入される。これにより、該中央ブロックB5の載置面3Aに供給された負圧によって素材ガラス2の中央部分の底面が吸着保持される。
また、その他のブロックB1〜B4およびB6〜B9の載置面3Aからは継続して圧縮空気が噴出しているため、それらのブロックの載置面3Aと対向する位置の素材ガラス2の底面は僅かに浮上される(図4参照)。つまり、各割断予定線2a、2b、2c、2dの存在する箇所の素材ガラス2の底面は、各ブロックB1〜B4およびB6〜B9の載置面3Aから浮上している。
また、その他のブロックB1〜B4およびB6〜B9の載置面3Aからは継続して圧縮空気が噴出しているため、それらのブロックの載置面3Aと対向する位置の素材ガラス2の底面は僅かに浮上される(図4参照)。つまり、各割断予定線2a、2b、2c、2dの存在する箇所の素材ガラス2の底面は、各ブロックB1〜B4およびB6〜B9の載置面3Aから浮上している。
この状態において、前述した加工ヘッド7A、7Bが各割断予定線2a〜2dに沿って所定の順路で移動するようになっており、それに伴って各割断予定線2aに沿って素材ガラス2の表面にメカニカルカッタ8によってスクライブ溝9が形成されてから該スクライブ溝9にレーザ光Lが照射される(図4参照)。これにより、スクライブ溝9から素材ガラス2の裏面まで亀裂が進行するので、各割断予定線2a〜2dのとおりに素材ガラス2が割断される(図4参照)。
ここで、加工ヘッド7Aにより割断予定線2aを図1に示す左から右に向けて割断した後、割断予定線2bを上から下に向けて割断する場合について説明すると、割断予定線2aの下方側となる素材ガラス2の底面は全て圧縮空気によって各ブロックB1〜B3の載置面3Aから浮上している。つまり、図4に示すように、各ブロックB1〜B3の載置面3Aとそれに対向する素材ガラス2の底面との間には空気による断熱層が存在している。そのため、割断予定線2aに沿ってメカニカルカッタ8によって素材ガラス2の表面にスクライブ溝9が形成されてから該スクライブ溝9にレーザ光Lが照射された際に、レーザ光Lによる熱エネルギーが各ブロックB1〜B3の載置面3Aに直接逃げることが阻止される。そのため、素材ガラス2は割断予定線2aのとおりにレーザ光Lによって効率的に割断される。
このように1辺となる割断予定線2aが割断されると、次に制御装置13は加工ヘッド7Aの進行方向をY方向からX方向に変更して割断予定線2bに沿って加工ヘッド7Aを移動させながら、該加工ヘッド7Aから素材ガラス2へレーザ光Lを照射する。
ここで、加工ヘッド7Aにより割断予定線2aを図1に示す左から右に向けて割断した後、割断予定線2bを上から下に向けて割断する場合について説明すると、割断予定線2aの下方側となる素材ガラス2の底面は全て圧縮空気によって各ブロックB1〜B3の載置面3Aから浮上している。つまり、図4に示すように、各ブロックB1〜B3の載置面3Aとそれに対向する素材ガラス2の底面との間には空気による断熱層が存在している。そのため、割断予定線2aに沿ってメカニカルカッタ8によって素材ガラス2の表面にスクライブ溝9が形成されてから該スクライブ溝9にレーザ光Lが照射された際に、レーザ光Lによる熱エネルギーが各ブロックB1〜B3の載置面3Aに直接逃げることが阻止される。そのため、素材ガラス2は割断予定線2aのとおりにレーザ光Lによって効率的に割断される。
このように1辺となる割断予定線2aが割断されると、次に制御装置13は加工ヘッド7Aの進行方向をY方向からX方向に変更して割断予定線2bに沿って加工ヘッド7Aを移動させながら、該加工ヘッド7Aから素材ガラス2へレーザ光Lを照射する。
なお、支持テーブル3の制御は上述した内容に限られるものではなく、次のような制御であっても良い。つまり、レーザ光Lを素材ガラス2に照射して割断処理中に、素材ガラス2を浮上させるブロックを切り換えてもよい。例えば、割断予定線2aを割断する際には、その割断予定線2aの箇所が載置されるブロックB1〜B3に空気を噴出させるとともに、その他のブロックB4〜B9に負圧を導入してそれらによって素材ガラス2を吸着保持しておき、割断予定線2aの割断が終了したら、次に割断しようとする割断予定線2bの箇所が載置されるブロックB3、B6、B9から空気を噴出させてそれらの位置の素材ガラス2の底面を浮上させ、その他のブロックにおいては素材ガラス2の底面を吸着保持するようにしても良い。また、この場合、中央のブロックB5以外の他のブロックにおいては、特に負圧を導入しないようにしても良い。
さらに、割断処理の進行状況に合わせて、ブロックB1、B2、B3、B6、B9の順に素材ガラス2の底面を浮上させるブロックを切り換えるようにしても良い。この場合も、中央のブロックB5と空気を噴出するブロック以外においては負圧を導入しても、しなくても良い。
以上のようにして素材ガラス2の4辺全てについて割断が終了したら、切り離されたガラス片は、図示しない排出手段によってガラス基板2’の周囲の支持テーブル3上から排出される。
さらに、割断処理の進行状況に合わせて、ブロックB1、B2、B3、B6、B9の順に素材ガラス2の底面を浮上させるブロックを切り換えるようにしても良い。この場合も、中央のブロックB5と空気を噴出するブロック以外においては負圧を導入しても、しなくても良い。
以上のようにして素材ガラス2の4辺全てについて割断が終了したら、切り離されたガラス片は、図示しない排出手段によってガラス基板2’の周囲の支持テーブル3上から排出される。
この状態において、ガラス基板2’の上面が搬送手段12の吸着パッド12Bによって吸着保持され、その後、制御装置13は、中央ブロックB5用の電磁開閉弁24を閉鎖させる一方、中央ブロックB5用の電磁開閉弁28を開放させる。これにより、中央ブロックB5への負圧の供給が停止される一方、中央ブロックB5に対して圧縮空気が供給される。つまり、支持テーブル3を構成する全てのブロックB1〜B9に圧縮空気が供給されて、それらの載置面3Aから噴出される圧縮空気によって製品としてのガラス基板2’が浮上される。
この後、搬送手段12が支持テーブル3上から製品テーブル5上へ移動されるので、ガラス基板2’は製品テーブル5へ搬出される。
この後、搬送手段12が支持テーブル3上から製品テーブル5上へ移動されるので、ガラス基板2’は製品テーブル5へ搬出される。
以上のように、本実施例では、支持テーブル3を9個のブロックB1〜B9に分割して、各ブロック単位で空気を給排できるようにしてあり、しかも各割断予定線2a〜2dの下方側となるブロックB1〜B4、B6〜B9においては素材ガラス2を浮上させるとともに、素材ガラス2の中央部分は中央ブロックB5の載置面3Aによって吸着している。
このようにして、支持テーブル3上の素材ガラス2の四辺を割断することで、レーザ光の熱エネルギーが割断予定線2a〜2dの下方側となる各ブロックの載置面3Aへ逃げないので、各割断予定線2a〜2dに沿って高速で素材ガラス2を割断することができる。
また、レーザ発振器6から発振されるレーザ光Lは低い出力でよいため、レーザ発振器6の製造コストを低減させることができる。
このようにして、支持テーブル3上の素材ガラス2の四辺を割断することで、レーザ光の熱エネルギーが割断予定線2a〜2dの下方側となる各ブロックの載置面3Aへ逃げないので、各割断予定線2a〜2dに沿って高速で素材ガラス2を割断することができる。
また、レーザ発振器6から発振されるレーザ光Lは低い出力でよいため、レーザ発振器6の製造コストを低減させることができる。
次に、図5は本発明の第2実施例としての支持テーブル3を示したものである。
上記実施例においては、多孔質部材からなる9個のブロックB1〜B9によって支持テーブル3を構成していたが、この第2実施例においては、各ブロックB1〜B9を上下方向の微小な多数の貫通孔を有する部材によって載置面3Aを形成したものである。その他の構成は、上記第1実施例のものと同じである。
このような第2実施例の支持テーブル3であっても、上記第1実施例と同様の作用・効果を得ることができる。
上記実施例においては、多孔質部材からなる9個のブロックB1〜B9によって支持テーブル3を構成していたが、この第2実施例においては、各ブロックB1〜B9を上下方向の微小な多数の貫通孔を有する部材によって載置面3Aを形成したものである。その他の構成は、上記第1実施例のものと同じである。
このような第2実施例の支持テーブル3であっても、上記第1実施例と同様の作用・効果を得ることができる。
なお、上述した実施例においては、複数の加工ヘッドにより素材ガラス2を割断しているが、単一の加工ヘッドによって素材ガラスの4辺を順次割断するようにしても良い。
また、上述した実施例では素材ガラス2の四辺を割断しているが、それに限られるものではなく、所要の位置に設定された割断予定線にあわせて複数のブロックを配置した構成であれば本発明を適用することができる。
また、上述した実施例では素材ガラス2の四辺を割断しているが、それに限られるものではなく、所要の位置に設定された割断予定線にあわせて複数のブロックを配置した構成であれば本発明を適用することができる。
1…レーザ加工装置(割断装置) 2…素材ガラス
2a〜2d…割断予定線 2’…ガラス基板(製品)
3…支持テーブル(支持手段) 3A…載置面
7A…第1加工ヘッド 7B…第2加工ヘッド
B1、B3、B7、B9…隅ブロック
B2、B4,B6、B8…側辺ブロック
B5…中央ブロック
L…レーザ光
2a〜2d…割断予定線 2’…ガラス基板(製品)
3…支持テーブル(支持手段) 3A…載置面
7A…第1加工ヘッド 7B…第2加工ヘッド
B1、B3、B7、B9…隅ブロック
B2、B4,B6、B8…側辺ブロック
B5…中央ブロック
L…レーザ光
Claims (3)
- 板状の脆性材料を支持する載置面を有する支持手段と、上記支持手段に支持された脆性材料にレーザ光を照射して亀裂を形成するレーザ光照射手段と、上記支持手段上の脆性材料とレーザ光とを相対移動させる相対移動手段とを備え、上記脆性材料の割断予定線に沿ってレーザ光を照射して脆性材料を割断するようにした脆性材料の割断装置において、
上記支持手段の載置面を複数のブロックから構成するとともに、各ブロックごとにそれらの載置面から気体を噴出できるように構成し、
上記割断予定線に沿って脆性材料にレーザ光を照射する際には、割断予定線の下方側となるブロックの載置面から気体を噴出させて、該ブロックの載置面から脆性材料を浮上させることを特徴とする脆性材料の割断装置。 - 上記各ブロックは導管を介して圧縮気体供給源又は負圧供給源に連通可能となっており、上記割断予定線に沿って脆性材料にレーザ光を照射する際には、当該割断予定線の下方側となるブロックに圧縮気体を供給する一方、他のブロックに負圧を供給することを特徴とする請求項1に記載の脆性材料の割断装置。
- 上記支持手段は、脆性材料の中央部分を支持する方形の中央ブロックと、この中央ブロックの4辺の隣接外方位置にそれぞれ配置された4個の側辺ブロックと、上記中央ブロックの隣接外方位置であって、かつ隣り合う側辺ブロックの間に位置する4個の隅ブロックとからなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の脆性材料の割断装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011031555A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 基板の分断方法および分断用テーブル |
CN101450423B (zh) * | 2008-12-24 | 2011-08-03 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种激光切割方法 |
JP2013023402A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Lemi Ltd | ガラス基板の加工装置 |
JP2016500634A (ja) * | 2012-10-23 | 2016-01-14 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | ガラスプレートを支持および固定するための装置および方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005212364A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Shibaura Mechatronics Corp | 脆性材料の割断加工システム及びその方法 |
-
2007
- 2007-06-13 JP JP2007156476A patent/JP2008307562A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005212364A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Shibaura Mechatronics Corp | 脆性材料の割断加工システム及びその方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101450423B (zh) * | 2008-12-24 | 2011-08-03 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种激光切割方法 |
JP2011031555A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 基板の分断方法および分断用テーブル |
JP2013023402A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Lemi Ltd | ガラス基板の加工装置 |
JP2016500634A (ja) * | 2012-10-23 | 2016-01-14 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | ガラスプレートを支持および固定するための装置および方法 |
JP2017061407A (ja) * | 2012-10-23 | 2017-03-30 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料板切断装置 |
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