JP6430759B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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Description
しかるに、切削ブレードを備えた切削装置によってパッケージ基板を分割予定ラインに沿って切断すると、熱拡散基板の表面に被覆されたシリコーン樹脂にムシレが発生することから加工送り速度を5mm/秒程度の低速に設定しなければならず、生産性が悪いという問題がある。
このような問題は、パッケージ基板に限らずガラス、シリコン、サファイア、炭化珪素等の被加工物においても起こり得る。
該被加工物保持手段は、被加工物を吸引保持する保持面を備え該保持面上に保持される被加工物にレーザー光線が照射される領域に対応して形成された複数の逃げ溝と、該複数の逃げ溝によって区画される領域に開口し吸引手段に接続された吸引孔とを備えた保持テーブルと、
該保持テーブルの該逃げ溝に高圧エアーを噴射し該保持面上に保持される被加工物にレーザー光線を照射することによって逃げ溝に落下する被加工物の溶融物を吹き飛ばすエアー噴出ノズルを備えた高圧エアー噴出手段と、を具備し、
該エアー噴出ノズルは、該逃げ溝のそれぞれに対応して配設されている
ことを特徴とするレーザー加工装置が提供される。
図4の(a)および(b)には、被加工物としてのパッケージ基板の斜視図および断面図が示されている。図4の(a)および(b)に示すパッケージ基板10は、厚みが400μmのステンレス鋼、銅等の金属からなる熱拡散基板101の表面101aに格子状の分割予定ライン102となる所定の間隔を持って複数のLED等のデバイス103がボンド剤を介して配設されるとともに、分割予定ライン102となる所定の間隔を埋めるとともにデバイス103を覆うようにシリコーン樹脂104が被覆されて構成される。なお、シリコーン樹脂104は、熱拡散基板101の表面101aから例えば300μmの厚みで形成されている。
先ず、被加工物保持手段36を構成する保持テーブル361の上面である保持面361aにパッケージ基板10の熱拡散基板101側を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、パッケージ基板10を保持テーブル361上に吸引保持する(パッケージ基板保持工程)。このとき、保持テーブル361の保持面361aに開口する吸引孔361cに作用する負圧によって個々のデバイス103が確実に吸引保持される。このようにして、保持テーブル361上に吸引保持されたパッケージ基板10は、デバイス103を覆うように被覆したシリコーン樹脂104が上側となる。このようにして、パッケージ基板10を保持した保持テーブル361は、加工送り手段37を作動することにより撮像手段6の直下に位置付けられる。
レーザー光線の波長 :YAGレーザー(1.06μm)
繰り返し周波数 :18kHz
平均出力 :150W
集光スポット径 :φ50μm
加工送り速度 :160mm/秒
36:被加工物保持手段
361:保持テーブル
361a:保持面
361b:逃げ溝
361c:吸引孔
362:高圧エアー噴出手段
362a:第1のエアー噴射ノズル
362b:第2のエアー噴射ノズル
364a、364b:電磁開閉弁
365:高圧エアー供給手段
4:レーザー光線照射ユニット
5:レーザー光線照射手段
51:集光器
10:パッケージ基板
Claims (2)
- 被加工物を保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該被加工物保持手段と該レーザー光線照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、を具備するレーザー加工装置であって、
該被加工物保持手段は、被加工物を吸引保持する保持面を備え該保持面上に保持される被加工物にレーザー光線が照射される領域に対応して形成された複数の逃げ溝と、該複数の逃げ溝によって区画される領域に開口し吸引手段に接続された吸引孔とを備えた保持テーブルと、
該保持テーブルの該逃げ溝に高圧エアーを噴射し該保持面上に保持される被加工物にレーザー光線を照射することによって逃げ溝に落下する被加工物の溶融物を吹き飛ばすエアー噴出ノズルを備えた高圧エアー噴出手段と、を具備し、
該エアー噴出ノズルは、該逃げ溝のそれぞれに対応して配設されている、
ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 該エアー噴出ノズルから噴出されるエアーの噴出量は、200リットル/分に設定されている、請求項1記載のレーザー加工装置。
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JP2014193340A JP6430759B2 (ja) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | レーザー加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014193340A JP6430759B2 (ja) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | レーザー加工装置 |
Publications (2)
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Family
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Family Applications (1)
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- 2014-09-24 JP JP2014193340A patent/JP6430759B2/ja active Active
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