JP5270457B2 - 基板切断装置 - Google Patents

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本発明は、電子部品実装済みの複数の電子回路基板が未分割の状態で1枚に繋がっている集合基板を、複数の電子回路基板に切断する基板切断装置に関するものである。
この種の基板切断装置として、特許文献1に記載のものが知られている。この基板切断装置は、互いに刃先を対向させた上刃と下刃との間で、それぞれの刃を集合基板に強く押し当てることで集合基板を厚み方向にせん断する。電子回路基板の小型化に伴って基板端部付近にまで電子部品を実装するようになった近年においては、集合基板をこのようにしてせん断する方式を採用すると、電子部品を破損してしまうことがある。
この破損について図を用いて詳しく説明する。図1は、集合基板90を部分的に示す拡大側面図である。同図において、集合基板90の樹脂からなる基板91の第1面における基板境界線上には、境界溝としての第1面V溝91aが形成されている。また、基板91の第2面における基板境界線上には、第2面V溝91bが形成されている。これらV溝に沿って集合基板90が切断されることで、V溝よりも図中右側に位置している電子回路基板と、図中左側に位置している電子回路基板とに分割される。図示の集合基板90には、電子部品としてのチップコンデンサ95やIC96などが実装されている。
図2は、基板切断装置のワーク載置台150にセットされた集合基板90を部分的に示す拡大側面図である。集合基板90は、図示のように、第2面V溝91bに対して切断刃としての下刃151が挿入された状態でワーク載置台にセットされる。基板切断装置は、この状態の集合基板90における第1面V溝91aに対して図3に示す従動回転可能な上刃52を押し当てながら溝延在方向に移動させる。すると、図4に示すように、集合基板90の基板91が下刃151と上刃152との間に強く挟まれて、V溝を境にしてせん断される。
図5は、基板91における切断中の箇所を示す拡大側面図である。同図において、集合基板90の基板91における刃押し当て箇所の近傍には、チップコンデンサ95がはんだ92によって基板91の電極パッド93に接合されている。基板91の両面のV溝にそれぞれ刃が強く押し当てられると、その箇所は圧縮変形しながらせん断される。このとき、基板91の刃押し当て箇所の近傍にある部品実装箇所は、図中矢印に示すように、上刃152に向けて強く引き伸ばされる。すると、引き伸ばされた部品実装箇所の上にあるチップコンデンサ95は、はんだ92を介して基板面方向に引っ張られて、伸縮性に劣る積層セラミックにクラックを発生させてしまう。このようにして、基板切断処理の際に、チップコンデンサ95が破損してしまうのである。
この破損を回避し得る基板切断装置としては、特許文献2に記載のものが知られている。この基板切断装置では、上刃や下刃の押し当てによって集合基板をせん断するのではなく、回転駆動する円盤状の回転刃によって集合基板における基板境界線箇所を切削又は研削する方式を採用している。具体的には、この基板切断装置は、互いに平行配設された2本のガイドレールの間に架け渡された状態の集合基板を保持体によって保持する。それら2本のガイドレールにおける延在方向の所定位置は、回転駆動する回転刃が、レール並び方向に沿ってレール間を往復移動しながら、集合基板を切断する基板切断位置になっている。一方、2本のレール間に架け渡された集合基板を保持している保持体は、集合基板をレールに沿って基板切断位置に向けてスライド移動させていき、その基板境界線箇所をレール延在方向における基板切断位置で停止させる。この状態で、回転駆動する回転刃がレール間を横断することで、基板境界線箇所を境にして集合基板を切断する。このとき、回転する回転刃は基板境界線箇所を切削又は研削することによって集合基板を切断していくことで、基板に押し当てた上刃や下刃によって集合基板をせん断する方式とは異なり、基板境界線箇所の周辺を圧縮変形させることがない。よって、集合基板を切断する際の基板境界線周辺箇所の圧縮変形による電子部品の破損を回避することができる。
しかしながら、この基板切断装置は、次に説明する理由により、切断位置ズレを発生させるおそれがあった。即ち、この基板切断装置において、切断位置ズレを発生させることなく、集合基板を正確に切断するためには、上述の基板切断位置において、集合基板の基板境界線を回転刃の移動方向に真っ直ぐに沿わせる必要がある。そして、そのためには、基板境界線を基板切断位置のところで回転刃の移動方向に真っ直ぐに沿わせるように、集合基板を正確に位置合わせしなければならない。ところが、特許文献2に記載の基板切断装置では、集合基板をガイドレールに沿って所定量だけ移動させることで基板境界線を基板切断位置に位置させるという大まかな位置合わせしか行っていない。このような大まかな位置合わせでは、基板の反りや歪みなどにより、保持体が集合基板を僅かに傾けた姿勢で保持した場合に、基板境界線を基板切断位置で回転刃の移動方向に対して傾けて位置させてしまい、切断位置ズレを発生させるおそれがある。
本発明は以上の背景に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、集合基板を切断する際の基板境界線周辺箇所の圧縮変形による電子部品の破損を回避しつつ、切断位置ズレを回避することができる基板切断装置を提供することである。
上記目的を達成するために、請求項1の発明は、電子部品実装済みの複数の電子回路基板が未分割の状態で1枚に繋がっている集合基板を、回転する円盤状の回転刃によって切削又は研削して複数の電子回路基板に切断する基板切断装置において、
前記集合基板の第1面における直線状の基板境界線上に設けられた溝である第1面境界溝に対して自らの刃先を係合させるように延在する第1係合刃と、該第1係合刃の刃先に対して所定の間隙を介して対向させている自らの刃先を、前記集合基板の第2面における直線状の基板境界線上に設けられた溝である第2面境界溝に係合させるように延在する第2係合刃とを設け、前記回転刃の回転軸線に直交する面方向を、前記第1係合刃及び第2係合刃の延在方向に対して平行にしつつ、前記回転刃の刃先をそれら係合刃の延在方向の延長線上に位置させる姿勢で、前記回転刃を配設し、且つ、前記第1面境界溝に対して前記第1係合刃を係合させつつ、前記第2面境界溝に対して前記第2係合刃を係合させるように、前記集合基板を前記間隙に内に挿入した後、前記集合基板を前記間隙内で前記延在方向に沿ってスライド移動させて前記回転刃の刃先との接触位置に導いて切断するようにしたことを特徴とするものである。
また、請求項2の発明は、請求項1の基板切断装置において、前記第1係合刃及び第2係合刃をそれぞれ水平方向に延在させた姿勢で、前記第2係合刃を前記第1係合刃の鉛直方向の真上に位置させ、且つ、それら係合刃の延在方向の一端側にて前記第1係合刃を前記第2係合刃の端部よりも外側に延出させたことを特徴とするものである。
また、請求項3の発明は、請求項2の基板切断装置において、前記集合基板の一端側を前記間隙に挿入した状態で、前記集合基板における前記間隙に挿入していない他端部を重力方向下方から支える支持部材を設けたことを特徴とするものである。
また、請求項4の発明は、請求項3の基板切断装置において、前記集合基板の前記他端部を重力方向下方から支えながら、駆動源の発する動力により、前記集合基板を前記延在方向に沿って前記接触位置に向けて押してスライド移動させる支持移動部材として、前記支持部材を構成したことを特徴とするものである。
また、請求項5の発明は、請求項4の基板切断装置において、前記延在方向に沿ってスライド移動せしめられる前記集合基板が前記接触位置で前記回転刃を境に二分されることによって得られる2つの基板分割箇所のうち、少なくとも一方を受ける基板受け台を設けるとともに、該基板受け台を、前記支持移動部材と連動させて前記延在方向に移動させるようにしたことを特徴とするものである。
また、請求項6の発明は、請求項1乃至5の何れかの基板切断装置において、前記回転刃の刃先の近傍で、前記集合基板から生ずる切削屑を吸引口内に吸引する第1吸引部と、該第1吸引部よりも大きな吸引口により空中に舞った切削屑を吸引する第2吸引部と、それら吸引部に対して吸引ダクトを介して接続された吸引力発生手段と、前記吸引ダクト内の所定箇所を開閉するのに伴って前記吸引力発生手段による吸引力を前記第2吸引部に対して繋いだり遮断したりする流路開閉手段と、前記回転刃の回転駆動中には、前記所定箇所を閉じる一方で、前記回転刃の回転停止後には、前記所定箇所を開くように、前記流路開閉手段の動作を制御する制御手段とを設けたことを特徴とするものである。
また、請求項7の発明は、請求項1乃至6の何れかの基板切断装置において、前記回転刃に対して回転軸線方向の両脇にそれぞれ存在するスペースである第1スペースと第2スペースとのうち、前記第1スペースに配設され、前記回転刃の回転軸線方向における一方の側面に向けてエアーを発射する第1エアー発射手段と、前記第1スペースに配設され、前記回転刃の刃先よりも法線方向の外側の領域に向けてエアーを発射する第2エアー発射手段と、前記第2スペースに配設され、前記第2エアー発射手段から発射されたエアーを受けながらその進行方向を前記回転刃における他方の側面に向かう方向に転換するエアー受け部材とを設けたことを特徴とするものである。
また、請求項8の発明は、請求項2乃至5の何れかの基板切断装置において、前記接触位置の前記回転刃の刃先に対して回転軸線方向の両脇でそれぞれ隣り合う位置に配設され、それぞれ前記集合基板の前記第2面に接触しながら前記集合基板を前記回転刃の回転中心に向けて押さえる2つの押さえ部材を設けたことを特徴とするものである。
また、請求項9の発明は、請求項8の基板切断装置において、前記延在方向に沿ってスライド移動せしめられる前記集合基板が前記接触位置で前記回転刃を境に二分されることによって得られる2つの基板分割箇所を、それぞれ接触位置通過後にも押さえるように2つの前記押さえ部材を構成するとともに、2つの基板分割箇所をそれぞれ押さえ部材との間に挟み込んで保持する2つの挟み込み部材を設けたことを特徴とするものである。
これらの発明においては、回転する回転刃によって集合基板の基板境界線箇所を切削又は研削して集合基板をその基板境界線箇所で切断する方式を採用したことで、基板境界線箇所に押し当てた刃を基板厚み方向に強く押圧して基板をせん断する方式とは異なり、集合基板の基板境界線周辺箇所を圧縮変形させることがない。よって、集合基板を切断する際の基板境界線周辺箇所の圧縮変形による電子部品の破損を回避することができる。
また、これらの発明においては、集合基板を切断するのに先立って、その集合基板を第1係合刃と第2係合刃との間に挿入する。この際、集合基板の第1面境界溝に対して第1係合刃を係合させつつ、集合基板の第2面境界溝に対して第2係合刃を係合させる。この係合により、第1係合刃及び第2係合刃の延在方向の延長線上にある回転刃に対して、基板境界線箇所である第1面境界溝及びその裏側の第2面境界溝が真っ直ぐに位置合わせされる。かかる位置合わせの後、集合基板を第1係合刃や第2係合刃の延在方向に沿って回転刃に向けて真っ直ぐにスライド移動させていくと、回転刃に対して第1面境界溝及びその裏側の第2面境界溝を真っ直ぐに位置合わせしたままの状態で集合基板をそれら境界溝に沿って真っ直ぐに切削又は研削することが可能である。よって、境界溝を回転刃に対して傾けてしまうことによる切断位置ズレの発生を回避することができる。
集合基板を部分的に示す拡大側面図。 せん断方式の基板切断装置のワーク載置台にセットされた集合基板を部分的に示す拡大側面図。 同基板切断装置の上刃を示す側面図。 同基板切断装置によって切断されている最中の集合基板を部分的に示す拡大側面図。 同基板切断装置によって切断された集合基板の切断箇所を拡大して示す拡大側面図。 実施形態に係る基板切断装置を示す斜視図。 同基板切断装置の第1係合刃及び第2係合刃を示す側面図。 同基板切断装置の第1係合刃、第2係合刃及び回転刃を拡大して示す拡大側面図。 同第1係合刃及び第2係合刃の刃先を拡大して示す拡大正面図。 同基板切断装置を示す側面図。 第1面V溝を第1係合刃に係合させるために、第1係合刃上で移動させられている状態の集合基板を示す図。 第1面V溝に対して第1係合刃が係合せしめられた状態の集合基板を示す図。 同状態のまま第1係合刃上で第2係合刃に向けてスライド移動せしめられている集合基板を同基板切断装置とともに示す側面図。 第1面V溝に対して第1係合刃が係合せしめれ、且つ第2面V溝に対して第2係合刃が係合せしめられた状態の集合基板を示す図。 同状態の集合基板を同基板切断装置とともに示す側面図。 先頭部が第1係合刃と第2係合刃との間隙に挿入され、且つ、後端部がスライド支柱の爪部に載置された状態の集合基板を同基板切断装置とともに示す側面図。 同スライド支柱の上端部を集合基板の後端部とともに拡大して示す図。 先頭部を切断位置に進入させる直前の状態の集合基板を、回転刃、第1係合刃及び第2係合刃とともに示す拡大側面図。 先頭部がV溝に沿って真っ直ぐに研削されている最中の集合基板を、回転刃、第1係合刃及び第2係合刃とともに示す拡大側面図。 研削加工中の集合基板100を、第2係合刃や回転刃とともに示す断面図。 同回転刃及びその周囲構成を拡大して示す拡大側面図。 装置の切断位置に進入する直前の集合基板箇所を係合刃や押さえ部材とともに示す拡大断面図。 装置の切断位置における集合基板箇所を回転刃や押さえ部材とともに示す拡大断面図。 装置の切断位置を通過した直後における集合基板箇所を案内板や押さえ部材とともに示す拡大断面図。 基板切断装置における回転刃駆動部を示す正面図。 (a)、(b)は、回転刃をフランジ等とともに示す拡大側面図、拡大正面図。 同回転刃やフランジ等を更に拡大して示す拡大正面図。 同基板切断装置の集塵系部位を示す概略構成図。
以下、本発明を適用した基板切断装置の一実施形態について説明する。
図6は、実施形態に係る基板切断装置を示す要部構成図である。同図において、基板切断装置は、ベース板1、支柱板2、庇状架台3、フード4、テーブル支持側板5、スライドテーブル6、板状の第1係合刃7、板状の第2係合刃8、研磨用砥石からなる円盤状の回転刃9、スライド支柱10、スライドレール11などを備えている。
ベース板1の上面には、支柱板2、テーブル支持側板5及び刃支持側板12がそれぞれ垂直に立設せしめられている。テーブル支持側板5の上面は、スライドテーブル6の幅方向の一端部をスライド移動可能に支持している。スライドテーブル6の幅方向の他端部は、後述するスライド支柱10に固定されており、このスライド支柱10は、ベース板1上に設けられたスライドレール11上にスライド移動可能に支持されている。これにより、スライドテーブル6は、テーブル支持側板5の延在方向である図中矢印A方向に移動可能になっている。
ベース板1の上に垂直に立設せしめられた支柱板2は、上端側の側面で庇状架台3を片持ち支持している。そして、この庇状架台3は、支柱板2に支持されている側とは反対側の端部で、板状の第2係合刃8を保持している。また、この第2係合刃8は、自らの刃先を鉛直方向下方に向けつつ水平方向である図中矢印A方向に延在させる姿勢をとっている。
一方、ベース板1の上に垂直に立設せしめられた刃支持側板12には、板状の第1係合刃7が固定されている。この第1係合刃7は、自らの刃先を鉛直方向上方に向けつつ図中矢印A方向に延在させる姿勢をとっている。
図7は、第1係合刃7及び第2係合刃8を示す側面図である。同図において、第2係合刃8の図中右側端部の真下には、第1係合刃7の図中左側の端部が位置している。そして、図8や図9に示すように、第1係合刃7における鉛直方向上方を向いている刃先と、第2係合刃8における鉛直方向下方を向いている刃先との間には、所定の間隙Gが形成されている。なお、第1係合刃7は、自らの刃先を図示しない集合基板の境界溝である第1面V溝に係合させるものである。また、第2係合刃8は、自らの刃先を図示しない集合基板の境界溝である第2面V溝に係合させるものである。
先に図7に示したように、第1係合刃7の延在方向(水平方向)における図中右側の端部は、第2係合刃8の図中右側の端部よりも延出している。これにより、装置の図中右側端部においては、第1係合刃7の上方に第2係合刃8が存在しない空スペースが形成されている。
第1係合刃7の図中左側の端部は、湾曲した形状に形成されており、そのすぐ左脇には、回転刃9が配設されている。また、第2係合刃8における延在方向の中央には、所定の円形曲率で切り取られたような形状の切り欠き部が設けられている。円盤状の回転刃9は、その側面を第1係合刃7や第2係合刃8の延在方向に沿って延在させつつ、その刃先を第1係合刃7や第2係合刃8の延長線上に位置させる姿勢をとるように、自らの鉛直方向の上端部を第2係合刃8の切り欠き部内に食い込ませつつ、自らの図中右側端部を第2係合刃8の左側端部の湾曲部に食い込ませている。
作業者は、把持している集合基板100を、図10に示すように、第1係合刃7の上の空きスペースのところへもっていく。この空きスペースでは、手に持っている集合基板100を自在に動かすことが可能である。作業者は、図11に示すように、第1係合刃7上で集合基板100を動かしながら、図12に示すように、集合基板100の下方を向いている第1面に存在する第1面V溝101aに対して第1係合刃100aの刃先を係合させる。この状態で、図13に示すように、集合基板100を第1係合刃100の延在方向(本例では水平方向)に沿って、第2係合刃8に向けて図中矢印B方向にスライド移動させる。すると、集合基板100におけるスライド移動方向の先頭部が、第1係合刃7と第2係合刃8との間隙に進入する。そして、図14に示すように、同先頭部において、集合基板100の上方を向いている第2面にある第2面V溝100bに対して第2係合刃8が係合する。これにより、集合基板100は、同先頭部において、第1面V溝100aに対して第1係合刃7が係合せしめられつつ、第2面V溝100bに対して第2係合刃8が係合せしめられた状態になる。
この状態では、図15に示すように、集合基板100のスライド移動方向の後端部は、第1係合刃7と第2係合刃8との間隙に進入していない。作業者は、集合基板100の後端部よりも更に後方にあるスライド支柱10を、図16に示すように集合基板100に向けて手動でスライド移動させる。スライドテーブル6はスライド支柱10と一体になっているので、このとき、スライド支柱10とともにスライド移動する。
スライド支柱10の上端部には、図17に示すような形状の爪部10aが形成されている。この爪部10aは、集合基板100の後端部におけるスライド移動方向の所定の領域(例えば数mmの領域)を自らの上に載置しつつ、集合基板100の後端に突き当たる形状になっている。集合基板100は、自らの周縁や、自らが包含している各電子回路基板のそれぞれの周縁における外側から内側に向けて、その所定領域にかかる範囲に対して、電子部品が実装されないという設計条件のもとで製造されている。よって、集合基板100の後端から先端に向けての所定領域の範囲を、図示のように爪部10aの上に載置しても、集合基板100の後端に実装されている電子部品が爪部10aに干渉することはない。
先に示した図16において、スライド支柱10やスライドテーブル6は、作業者の手操作によってスライド移動可能であるとともに、図示しない低速シリンダーの駆動によっても、スライド移動することが可能になっている。低速シリンダーは、図示しないフットスイッチが踏まれることによって駆動する。このとき、同時に図示しない駆動モータの駆動もオンになって、上述した回転刃(図16の符号9)が回転駆動される。
作業者は、図示のように、集合基板100の先頭部を第1係合刃7と第2係合刃8との間隙に挿入し、且つ、集合基板100の後端部をスライド支柱10の爪部上に載置した状態で、図示しないフットスイッチを踏む。すると、低速シリンダーの駆動により、スライド支柱10やスライドテーブルがゆっくりと、図中右側から左側に向けて水平方向にスライド移動し始める。同時に、回転刃9が回転駆動する。そして、集合基板100は、スライド支柱10によって押されるため、第1係合刃7上でその延在方向に沿って図中右側から左側に向けてスライド移動する。このとき、集合基板100の先頭部は、図18に示すように、第1係合刃7と第2係合刃8との間隙内において、自らの第1面V溝を第1係合刃7に係合させ、且つ第2面V溝を第2係合刃8に係合させた状態で、それら係合刃により、回転刃9に向けて真っ直ぐに案内される。回転刃9は、自らの法線方向と、それら係合刃の延在方向とを平行にしつつ、それ自らの刃先をそれら係合刃の延在方向の延長線上に位置させる姿勢をとっている。このため、それぞれの係合刃が両面のV溝に係合せしめられた集合基板100の第1面V溝や第2面V溝は、回転刃9の刃先の延長線上で回転刃9の法線方向に沿って真っ直ぐに位置合わせされる。この状態でそれら係合刃の延在方向に沿って真っ直ぐに回転刃9に向けて案内される集合基板100の先頭部は、第1面V溝や第2面V溝に対して、回転刃9が溝延在方向に沿って真っ直ぐに当てられるようにして、回転刃9に接触する。そして、駆動モータによって図中時計回り方向に回転駆動する回転刃9により、図19に示すように、両V溝に沿って真っ直ぐに研削されて、両V溝を境にして2分される。
以上の構成の本基板切断装置においては、集合基板に対して上刃や下刃を押し当てる方式とは異なり、刃の押し当てによって基板境界線箇所である第1面V溝100aや第2面V溝100bの周囲を圧縮変形させることがない。よって、それらV溝の周辺箇所の圧縮変形に起因する電子部品の破損を回避することができる。また、集合基板100の第1面V溝100aに対して第1係合刃7を係合させつつ、集合基板100の第2面V溝100bに対して第2係合刃8を係合させるように、集合基板100先頭部を両係合刃の間隙に挿入する際に、次のような位置合わせを自然に行う。即ち、第1係合刃7及び第2係合刃8の延在方向の延長線上にある回転刃9に対して、第1面V溝100aや第2面V溝100bを真っ直ぐにするように、集合基板100を位置合わせする。これにより、それらV溝を回転刃9に対して傾けてしまうことによる切断位置ズレの発生を回避することができる。
なお、本実施形態においては、回転刃9として砥石からなるものを用い、集合基板100をV溝に沿って真っ直ぐに研削加工して切断する例について説明したが、本発明における集合基板の切断は研削に限られるものではない。例えば、丸鋸の刃のように、集合基板を切削によって切断する回転刃を採用してもよい。
また、上記間隙Gについては、次のようにして調整することができる。即ち、図6の庇状架台3の側面には、水平方向に所定の距離をおいて並ぶ図示しない2つの雄ネジが突設せしめられている。また、第2係合刃8には、それら雄ネジを挿入することが可能な2つの長穴が鉛直方向に延在する姿勢で形成されている。第2係合刃8の長穴に対して庇状架台3の雄ネジを挿入した状態で、雄ネジにナットを螺号することで、第2係合刃8を庇状架台3にネジ止めしている。2つのナットをそれぞれ緩めると、第2係合刃8を鉛直方向に遊動させることが可能になるので、その遊動によって間隙Gを任意の長さにした後、ナットを締めることで、間隙Gを自在に調整することができる。
図19に示したように、集合基板100の先頭部を回転する回転刃9によって研削加工しているときには、集合基板100の先頭部を鉛直方向下方から上方に向けて移動させようとする力が働く。これにより、集合基板100の先頭部は、上方を向いている第2面の第2面V溝が第2係合刃8に強く押し当てられる。このとき、集合基板100の全体に対しては、第1係合刃7の図示しない後端側を支点にして図中時計回り方向に回転させようとする力が働くため、集合基板100の図示しない後端部は、先頭部とは逆に、鉛直方向上方から下方に向けて移動しようとする。しかしながら、先に図17に示したように、集合基板100の後端部は、スライド支柱10の爪部10aの上に載置されているため、下方に向けての移動が阻止される。以上の結果、集合基板100の先頭部を回転刃9によって研削加工している際に、集合基板100全体に対して図19における時計回り方向の移動力を付与しても、集合基板100を前後方向にスキューさせることはない。
但し、集合基板100の左右方向(図19における図紙面に直交する方向)においては、左側端部や右側端部を支えていないため、基板のスキューを発生させるおそれがある。研削加工中の集合基板100を左右方向にスキューさせてしまうと、図20に示すように、薄い砥石からなる円盤状の回転刃9の刃先にせん断力を付与して、その刃先を容易に折ってしまう。このため、研削加工中の集合基板100を左右方向におけるスキューも回避する必要がある。
そこで、実施形態に係る基板切断装置においては、後述する押さえ部材を第2係合刃8に設けることで、集合基板100の左右方向におけるスキューの発生を回避するようになっている。なお、これまで示してきた図においては、便宜上、押さえ部材や、後述する挟み込み部材の図示を省略していた。
図21は、回転刃9及びその周囲構成を拡大して示す拡大側面図である。同図において、回転刃9の図中左側方には、案内板19が配設されている。図示しない集合基板は、回転刃9により、回転刃9よりも図中手前側の箇所と、図中奥側の箇所とに二分される。案内板19は、二分後の前者の箇所を引き続き回転刃9よりも図中手前側に位置させつつ、後者の箇所を引き続き回転刃9よりも図中奥側に位置させるように、それぞれの箇所を案内するためのものである。第2係合刃7の延在方法の延長線上に真っ直ぐに位置するように配設されている。
図示の第1係合刃7、第2係合刃8、及び案内板19は、それぞれ第1側面をこちら側に向ける姿勢で配設されており、第1側面の反対側にはそれぞれ図示しない第2側面が存在している。第2係合刃8の第1側面における刃先部には、第1押さえ部材20aが水平方向に延在するように固定されている。また、第2係合刃8の図示しない第2側面においては、第1側面の第1押さえ部材20bの裏側に位置するように、第2押さえ部材20bが固定されている。第1押さえ部材20aや第2押さえ部材20bは、回転刃9の刃先に対して回転軸線方向の両脇でそれぞれ隣り合うように配設され、それぞれ集合基板の上側の面である第2面に接触しながら集合基板を回転刃9の回転中心に向けて押さえる役割を担っている。
図22は、装置の切断位置に進入する直前の集合基板箇所を係合刃や押さえ部材等とともに示す拡大断面図である。集合基板100の切断直前箇所は、これまで説明してきたように、第1面V溝100aに対して第1係合刃7が係合せしめられつつ、第2面V溝100bに対して第2係合刃8が係合せしめられた状態になっている。この状態では、集合基板100が両V溝の位置を支点にして左右方向にスキューするおそれがある。そこで、第2係合刃8の第1側面に固定された第1押さえ部材20aは、図示の第1係合刃7よりも図中左側の位置で、集合基板100の第2面に接触しながら、集合基板100を回転刃の回転中心に向けて押さえている。また、第2係合刃8の第2側面に固定された第2押さえ部材20bは、図示の第1係合刃7よりも図中右側の位置で、集合基板100の第2面に接触しながら、集合基板100を回転刃の回転中心に向けて押さえている。つまり、装置の切断位置の直前においては、第1押さえ部材20a、第2押さえ部材20bが、集合基板100のV溝の両脇で、集合基板100の第2面に接触しながら集合基板100をそれぞれ回転刃の回転中心に向けて押さえている。これにより、V溝を支点にした集合基板100の左右方向のスキューを回避している。
図23は、装置の切断位置にある集合基板箇所を回転刃や押さえ部材等とともに示す拡大断面図である。装置の切断位置(回転刃と集合基板とが接触する位置)においては、図示のように、集合基板100に対して第2係合刃8を接触させないように、第2係合刃8の刃先が切り欠かれている。切断位置で第2係合刃8の刃先が集合基板100に接触していると、集合基板100のみならず、第2係合刃8をも回転刃9によって研削してしまうからである。また、装置の切断位置においては、第1係合刃が存在しておらず、その代わりに、回転刃9やこれを挟み込んで支持するフランジが存在している。そして、集合基板100は、V溝の箇所が回転刃9によって研削加工される。研削加工中の回転刃9の回転軸線方向の両脇には、第1押さえ部材20a、第2押さえ部材20bが存在しており、それぞれ、集合基板100の第2面に接触しながら、集合基板100を回転刃9の回転中心に向けて押さえている。よって、装置の切断位置においても、第1押さえ部材20a、第2押さえ部材20bにより、V溝を中心とした集合基板100の左右方向のスキューが回避されている。
図24は、装置の切断位置を通過した直後における集合基板箇所を案内板や押さえ部材とともに示す拡大断面図である。装置の切断位置よりも下流側では、図示のように、集合基板100が二分されている。このように二分された箇所を、第1押さえ部材20aや第2押さえ部材20bで押さえると、それぞれの基板箇所の左右方向へのスキューを却って助長してしまう。この一方で、それぞれの基板箇所を全く支えずにフリーにしておくと、図示しない回転刃9の駆動により、それぞれの基板箇所を大きく振動させてしまう。そこで、実施形態に係る基板切断装置においては、次のようにしてそれぞれの基板箇所のスキューを回避するようになっている。即ち、それぞれの基板箇所を、切断位置通過後にも押さえるように第1押さえ部材20aや第2押さえ部材20bを、切断位置通過後の位置にも配設している。加えて、第1押さえ部材20aとの間に一方の基板箇所を挟み込んで保持する第1挟み込み部材21aを案内板19の第1側面に設けるとともに、第2押さえ部材20bとの間に一方の基板箇所を挟み込んで保持する第2挟み込み部材21bを案内板19の第1側面に設けている。このようにして、それぞれの基板箇所を、押さえ部材と挟み込み部材との間に挟み込むことで、それぞれの基板箇所の左右方向のスキューを回避することができる。
なお、2つの押さえ部材や、2つの挟み込み部材は、それぞれ、集合基板のV溝から所定領域の範囲だけに接触するようにその厚みが調整されている。上述したように、V溝(分割後の基板の縁部)から所定領域の範囲には、電子部品が実装されない設計になっているので、押さえ部材や挟み込み部材を基板上の電子部品に接触させてしまうことはない。その範囲が数mm程度であったとしても、その範囲においてV溝の両脇でそれぞれ基板を押さえることで、左右方向の基板スキューを効果的に回避することができる。
先に図6に示したように、スライド支柱10は、スライドテーブル6に固定されている。そして、実施形態に係る基板切断装置においては、上述したように、図示しない低速シリンダーの駆動により、これらスライド支柱10やスライドテーブル6を一体的にスライド移動させる。この際、スライド支柱10の爪部10aが図示しない集合基板の後端部を押すことで、集合基板を第1係合刃7の延在方向に沿ってスライド移動させる。
スライドテーブル6の上面は、切断によって二分された2つの集合基板箇所のうち、一方を載置する載置面となっているが、この載置面の高さレベルは、第1係合刃7の刃先のレベルよりも低くなっている。よって、装置の切断位置(回転刃との接触位置)に達する前の集合基板箇所は、スライドテーブル6の載置面には載っておらず、載置面よりも少し上方に存在している。
先に示した図19において、集合基板100は、図中左右方向に延在するV溝に沿って切断されていくが、このときが初めての切断加工であるとは限らない。図中一点鎖線L1で示すように、図中左右方向の所定位置において、図紙面に直交する方向に延在する切断処理が既になされていることもあり得る。このような集合基板100の場合、一点鎖線L1の箇所が切断位置を通過すると、回転刃9によって二分された基板箇所のそれぞれが、基板の後端側の箇所から分断される。つまり、この場合、集合基板100は、図中左右方向に既に二分されていた基板箇所が、切断位置において更に図中奥行き方向に二分されることで、4分されることになる。そして、そのうち、スライド移動方向の上流側の2つの基板箇所は、切断位置を通り過ぎた後、上述した挟み込み部材による挟み込み位置を更に通り過ぎると、それらを支持するものが何もなくなって落下する。それら2つの基板箇所のうち、図中手前側の基板箇所については、作業者が容易に把持することが可能であるため、落下に先立って把持することで、落下を阻止することが可能である。ところが、もう1つの基板箇所は、案内板19の裏側に存在するため、作業者が把持することは困難である。図6に示したスライドテーブル6は、そのもう1つの基板箇所を受けるためのものである。集合基板と同期してスライド移動するので、そのもう1つの基板箇所を庇状架台3の直下あたりで受けた後、庇状架台3の直下を通り過ぎてくるので、作業者は、スライドテーブル6上に受けられた、そのもう1つの基板箇所を容易に取ることができる。また、スライドテーブル6が集合基板と同期してスライド移動するので、複数の基板箇所をスライドテーブル上に積み重ねて落下させてしまうといった事態を回避することもできる。
図25は、実施形態に係る基板切断装置における回転刃駆動部を示す正面図である。円盤状の砥石からなる回転刃9は、図示のように数[mm]程度の厚みの非常に薄っぺらいものである。この回転刃9を補強するために、回転刃9は軸線方向の両側から第1フランジ25、第2フランジ26に挟み込まれた状態で装置にセットされる。第2フランジ26は、回転軸部材27に一体形成されている。この回転軸部材27は、ベース1上に垂直に立設せしめられた第1軸受け側板28と第2軸受け側板29とによって回転自在に支持されている。回転軸部材27におけるフランジとは反対側の端部には、プーリー30が固定されており、回転軸部材27と一体となって回転する。一方、ベース1の下面には、駆動モータ31が吊り下げ固定されている。そして、この駆動モータ31のモータ軸には、モータプーリー32が固定されている。回転軸部材27のプーリー30と、モータ軸のモータプーリー32とには、タイミングベルト33が掛け回されている。駆動モータ31が回転すると、その回転駆動力がタイミングベルト33を介して回転軸部材27に伝わって、回転刃9を回転させる仕組みである。
図26(a)は、回転刃9をフランジ等とともに示す拡大側面図である。また、図26(b)は、回転刃9をフランジ等とともに示す拡大正面図である。また、図27は、回転刃9やフランジを更に拡大して示す拡大正面図である。図26(b)に示すように、回転刃9やフランジは、ベース1に着脱可能に固定されるカバー部材14によって覆われるようになっている。このカバー部材14は、回転刃9での研削によって発生した加工屑の飛び散り防止するためのものである。加工屑が最も多く発生するのは、回転刃9と集合基板とが接触する位置であるが、この位置では、回転刃9を集合基板と接触させる必要がある。このため、前述の位置にある回転刃上部については、カバー部材14で覆うことができない。つまり、回転刃9の全域のうち、加工屑を発生させる刃上部については、カバー部材14で覆うことができない。このため、図27に示すように、回転刃9の上端部のごく僅かな領域だけは露出させ、その他の回転刃領域をカバー部材14で覆っている。
先に示した図6において、庇状架台3は、第2係合刃8の他、フード4や、エアーカーテンノズル13を保持している。エアーカーテンノズル13は、回転刃9の真上に位置しており、図示しない複数のエアー吐出孔を鉛直方向下側に向けている。そして、それらエアー吐出孔から吐出したエアーにより、自らと、回転刃9との間にエアーカーテンを形成する。
このエアーカーテンは、図27に示したように、カバー部材14の上端と、回転刃9との間の隙間から、カバー部材14の内部に進入する。これにより、回転刃9の上端の位置で発生した加工屑を、カバー部材14の内部に効果的に吹き入れることができる。
図26(a)において、ベース1には吸入口が設けられており、カバー部材14内の空気は、図示しない集塵装置により、この吸引口を介して集塵装置内に吸引される。カバー部材14内に捕捉された加工屑は、図26(b)に示すように、ベース1に設けられた吸引口1aを通じて集塵装置内に回収される。
回転刃9の刃先に対しては、加工屑が固着してしまうことがある。この固着屑をそのままにしておくと、固着屑を大きく成長させて研削加工を困難にしてしまう。そこで、実施形態に係る基板切断装置においては、回転刃9の回転軸線の両側からそれぞれ、回転刃9の先端部に向けてエアーを吹き付けるエアーブローノズルを設けている。回転刃9の先端部に向けてエアーブローすることで、刃先に固着した固着屑を刃先から吹き落とすことができる。
図26(b)において、回転刃9に対して回転軸線方向の両脇にそれぞれ存在するスペースのうち、図中右側のスペースは第1スペースである。また、図中左側のスペースは第2スペースである。第1軸受け側板28は、第1スペースで回転軸部材27を回転自在に支持している。そして、この第1軸受け側板28には、第1エアーブローノズル16や、第2エアーブローノズル17が固定されている。それらエアーブローノズルは、図26(a)に示したように、それぞれ2つずつ設けられている。
図27において、回転刃9の図中右側の側面に向けてエアーを発射する第1エアー発射手段としての第1エアーブローノズル16は、図示のように、自らの先端から発射したエアーを同側面に対して直接吹き付ける。このような直接吹き付けが可能になるように、図26(a)に示したように、第1エアーボローノズルは回転刃9の刃先の真横に配設されている。一方、第2エアーブローノズル17は、回転刃9の法線方向において、回転刃9の刃先よりも外側に配設されているため、回転刃9の刃先よりも法線方向の外側の領域に向けてエアーを発射する。このままでは、そのエアーを回転刃9に吹き付けることができない。そこで、図27に示したように、上述した第2スペースに配設されるカバー部材14の内側に、エアー受け部材15を固定している。このエアー受け部材15は、第2エアーブローノズル17から発射されたエアーを受けながらその進行方向を回転刃9における図中左側の側面に向かう方向に転換する。この転換により、図26(a)に矢印で示すように、第2エアーブローノズル17から発射されたエアーが回転刃9の同側面に吹き付けられる。
図26(b)において、回転刃9の図中左側の側面に対してエアーを直接吹き付けさせるように、第2エアーブローノズル17をカバー部材14に固定する方法もある。しかしながら、この方法では、第2エアーブローノズル17に接続したエアー導入用の耐圧ホースが、カバー部材14の着脱操作性を著しく害してしまう。これに対して、実施形態に係る基板切断装置では、第2エアーブローノズル17をカバー部材14に設けていないので、エアー導入用の耐圧ホースによってカバー部材14の着脱操作性を阻害してしまうことがない。なお、エアーを吹き付ける代わりに、窒素ガス等のガスを吹き付けるようにしたり、エアーとガスとの混合気体を吹き付けるようにしたりしてもよい。
図28は、実施形態に係る基板切断装置の集塵系部位を示す概略構成図である。ベース1の下方には、集塵装置50が配設されている。また、ベース1の上部には、いわゆるドラフトチャンバーのように、ベース1上の各機器を覆う透明樹脂ケースが設けられており、この透明樹脂ケースによって周囲への加工屑の飛散が防止されている。
集塵装置50からは、吸引管51が延びており、この吸引管51の先は、第1分岐管52と第2分岐管53との2つに分岐されている。第1分岐管52は、ベース1の下面における回転刃9の直下箇所に接続されている。この接続位置では、ベース1に吸引口(図26(b)の1b)が設けられており、ベース1上のカバー部材14内の加工屑がその吸引口と、第1分岐管52とを介して集塵装置50内に吸引される。
吸引ダクトとしての第2分岐管53の内部には、流路開閉手段としてのダンパー54が配設されており、このダンパー54の開閉動作によって第2分岐管53内の流路が開かれたり閉じられたりする。ダンパー54の開閉動作は、ダンパーシリンダー55の駆動によって行われる。そして、第2分岐管53の先端には、フード4が接続されている。このフード4は、図中下方を向ける図示しない大きな吸引口を有している。そして、カバー部材14内に捕捉し切れずに空中に舞ってしまった加工屑を吸い取って、第2分岐管53内へと導く。フード4に設けられた第2吸引部としての吸引口は、ベース1に設けられた第1吸引部としての吸引口1aよりも遙かに大きい。
上述したように、作業者が図示しないフットスイッチを踏むと、駆動モータの駆動によって回転刃9が回転駆動するとともに、低速シリンダーの駆動によってスライド支柱10がスライド移動して集合基板を回転刃9に向けてスライド移動させる。このとき、ダンパーシリンダー55は、そのシリンダーを本体内から大きく延出させて、ダンパー54に対して閉動作を行わせる。つまり、第2分岐管53内の流路を閉じる。これにより、集塵装置50の吸引力は、全てカバー部材14内の加工屑をベース1の吸引口1aから吸引するための力として使用される。
一方、作業者が図示しないフットスイッチの踏み込みを止めると、駆動モータや低速シリンダーの駆動が停止する。これにより、回転刃の回転駆動や、スライド支柱10のスライド移動が停止する。このとき同時に、ダンパーシリンダー55は、そのシリンダーを本体内に収納するように縮めて、ダンパー54に対して開動作を行わせる。つまり、第2分岐管53内の流路を開く。フード4に設けられた吸引口(以下、フード吸引口という)は、ベース1に設けられた吸引口1a(以下、ベース吸引口1aという)よりも遙かに大きいため、集塵装置50の吸引力の殆どは、空中に舞ってしまった加工屑をフード4から吸引するための力として使用される。
以上、実施形態に係る基板切断装置においては、第1係合刃7及び第2係合刃8をそれぞれ水平方向に延在させた姿勢で、第2係合刃8を第1係合刃7の鉛直方向の真上に位置させ、且つ、それら係合刃の延在方向にて第1係合刃7を第2係合刃8の端部よりも外側に延出させている。かかる構成では、図7に示したように、第1係合刃7の延在方向の一端側(本例では図中右側)において、第1係合刃7の上に第2係合刃8を存在させない空スペースを形成する。そして、図11に示したように、第1係合刃7の上で集合基板100を自由に動かしながら、集合基板100の第1面V溝100aに対して第1係合刃7を容易に係合させることができる。この係合により、第1面V溝100aや第2面V溝100bの回転刃9に対する位置合わせが行われることになるので、V溝の位置合わせを極めて容易に行うことができる。
また、実施形態に係る基板切断装置においては、図16に示したように、集合基板100の一端側を第1係合刃7と第2係合刃8との間隙に挿入した状態で、集合基板100における同間隙に挿入していない他端部である後端部を重力方向下方から支える支持部材としてのスライド支柱10を設けている。かかる構成では、既に説明したように、装置の切断位置(接触位置)において、回転刃9によって集合基板100の先端部に鉛直方向上方に向かう力を付与してしまうにもかかわらず、集合基板100の前後方向におけるスキューの発生を回避することができる。
また、実施形態に係る基板切断装置においては、集合基板100のスライド移動方向における後端部を重力方向下方から支えながら、駆動源たる低速シリンダーの発する動力により、集合基板100を延在方向に沿って切断位置に向けて押してスライド移動させる支持移動部材として、スライド支柱10を構成している。かかる構成では、手作業によらず、低速シリンダーの駆動力により、集合基板100を切断位置に向けてスライド移動させることができる。これにより、集合基板100を一定の速度でスライド移動させて、スライド移動速度ムラに起因する切断加工ムラの発生を回避することができる。
また、実施形態に係る基板切断装置においては、係合刃の延在方向(水平方向)に沿ってスライド移動せしめられる集合基板100が装置の切断位置で回転刃9を境に二分されることによって得られる2つの基板分割箇所のうち、一方を受ける基板受け台としてのスライドテーブル6を設けるとともに、スライドテーブル6を、支持移動部材たるスライド支柱と連動させて係合刃延在方向に移動させるようにしている。かかる構成では、既に説明したように、集合基板100のスライド移動に同期させてスライドテーブル6をスライド移動させることで、前述の一方の基板分割箇所をテーブル上から容易に取り出すことができるとともに、複数の基板分割箇所をスライドテーブル6上に積み重ねてしまうといった事態を回避することができる。
また、実施形態に係る基板切断装置においては、回転刃9の刃先の近傍で、集合基板100から生ずる切削屑を吸引する第1吸引部たるベース吸引口1aと、ベース吸引口1aよりも大きな吸引口により、空中に舞った切削屑を吸引する第2吸引部たるフード吸引口と、それら吸引部に対して吸引ダクトたる吸引管51を介して接続された吸引力発生手段たる集塵装置50と、吸引ダクト内の所定箇所である第2分岐管53を開閉するのに伴って集塵装置50による吸引力をフード吸引口に対して繋いだり遮断したりする流路開閉手段たるダンパー54と、回転刃9の回転駆動中には、第2分岐管53の流路を閉じる一方で、回転刃9の回転停止後には、同流路を開くように、ダンパー54の動作を制御する図示しない制御回路とを設けている。かかる構成では、1つの集塵装置50により、回転刃9の近傍での加工屑の回収と、空中に舞ってしまった加工屑の回収とを行うことができる。
また、実施形態に係る基板切断装置においては、回転刃9に対して回転軸線方向の両脇にそれぞれ存在するスペースである第1スペースと第2スペースとのうち、第1スペースに配設され、回転刃9の回転軸線方向における一方の側面に向けてエアーを発射する第1エアー発射手段たる第1エアーブローノズル16と、第1スペースに配設され、回転刃9の刃先よりも法線方向の外側の領域に向けてエアーを発射する第2エアー発射手段たる第2エアーブローノズル17と、第2スペースに配設され、第2エアーブローノズル17から発射されたエアーを受けながらその進行方向を回転刃9における他方の側面に向かう方向に転換するエアー受け部材15とを設けている。かかる構成では、既に説明したように、エアー導入用の耐圧ホースによってカバー部材14の着脱操作性を阻害してしまうといった事態を回避しつつ、回転刃9の先端部に対して回転軸線方向の両側からエアーを吹き付けて、回転刃9の刃先での加工屑固着の成長を防止することができる。
また、実施形態に係る基板切断装置においては、装置の切断位置における回転刃9の刃先に対して回転軸線方向の両脇でそれぞれ隣り合う位置に配設され、それぞれ集合基板100の第2面に接触しながら集合基板100を回転刃9の回転中心に向けて押さえる第1押さえ部材20a、第2押さえ部材20bを設けている。かかる構成では、既に説明したように、V溝を中心とした集合基板100の左右方向のスキューの発生を回避して、同スキューによる回転刃9の破損を解消することができる。
また、実施形態に係る基板切断装置においては、係合刃の延在方向に沿ってスライド移動せしめられる集合基板100が装置の切断位置で回転刃9を境に二分されることによって得られる2つの基板分割箇所を、それぞれ接触位置通過後にも押さえるように第1押さえ部材20a及び第2押さえ部材20bを構成している。加えて、それら2つの基板分割箇所をそれぞれ押さえ部材との間に挟み込んで保持する第1挟み込み部材21a、第2挟み込み部材21bを設けている。かかる構成では、既に説明したように、分割後のそれら2つの基板分割箇所における左右方向のスキューを回避することができる。
1:ベース
1a:ベース吸引口(第1吸引部)
4:フード(第2吸引部)
6:スライドテーブル(基板受け台)
7:第1係合刃
8:第2係合刃
9:回転刃
10:スライド支柱(支持移動部材)
15:エアー受け部材
16:第1エアーブローノズル(第1エアー発射手段)
17:第2エアーブローノズル(第2エアー発射手段)
20a:第1押さえ部材
20b:第2押さえ部材
21a:第1挟み込み部材
21b:第2挟み込み部材
51:吸引管(吸引ダクト)
53:第2分岐管(吸引ダクトの所定箇所)
54:ダンパー(流路開閉手段)
100:集合基板
100a:第1面V溝(第1面境界溝)
100b:第2面V溝(第2面境界溝)
特開平1−115595号公報 特開2006−229179号公報

Claims (9)

  1. 電子部品実装済みの複数の電子回路基板が未分割の状態で1枚に繋がっている集合基板を、回転する円盤状の回転刃によって切削又は研削して複数の電子回路基板に切断する基板切断装置において、
    前記集合基板の第1面における直線状の基板境界線上に設けられた溝である第1面境界溝に対して自らの刃先を係合させるように延在する第1係合刃と、該第1係合刃の刃先に対して所定の間隙を介して対向させている自らの刃先を、前記集合基板の第2面における直線状の基板境界線上に設けられた溝である第2面境界溝に係合させるように延在する第2係合刃とを設け、
    前記回転刃の回転軸線に直交する面方向を、前記第1係合刃及び第2係合刃の延在方向に対して平行にしつつ、前記回転刃の刃先をそれら係合刃の延在方向の延長線上に位置させる姿勢で、前記回転刃を配設し、
    且つ、前記第1面境界溝に対して前記第1係合刃を係合させつつ、前記第2面境界溝に対して前記第2係合刃を係合させるように、前記集合基板を前記間隙に内に挿入した後、前記集合基板を前記間隙内で前記延在方向に沿ってスライド移動させて前記回転刃の刃先との接触位置に導いて切断するようにしたことを特徴とする基板切断装置。
  2. 請求項1の基板切断装置において、
    前記第1係合刃及び第2係合刃をそれぞれ水平方向に延在させた姿勢で、前記第2係合刃を前記第1係合刃の鉛直方向の真上に位置させ、
    且つ、それら係合刃の延在方向の一端側にて前記第1係合刃を前記第2係合刃の端部よりも外側に延出させたことを特徴とする基板切断装置。
  3. 請求項2の基板切断装置において、
    前記集合基板の一端側を前記間隙に挿入した状態で、前記集合基板における前記間隙に挿入していない他端部を重力方向下方から支える支持部材を設けたことを特徴とする基板切断装置。
  4. 請求項3の基板切断装置において、
    前記集合基板の前記他端部を重力方向下方から支えながら、駆動源の発する動力により、前記集合基板を前記延在方向に沿って前記接触位置に向けて押してスライド移動させる支持移動部材として、前記支持部材を構成したことを特徴とする基板切断装置。
  5. 請求項4の基板切断装置において、
    前記延在方向に沿ってスライド移動せしめられる前記集合基板が前記接触位置で前記回転刃を境に二分されることによって得られる2つの基板分割箇所のうち、少なくとも一方を受ける基板受け台を設けるとともに、
    該基板受け台を、前記支持移動部材と連動させて前記延在方向に移動させるようにしたことを特徴とする基板切断装置。
  6. 請求項1乃至5の何れかの基板切断装置において、
    前記回転刃の刃先の近傍で、前記集合基板から生ずる切削屑を吸引口内に吸引する第1吸引部と、該第1吸引部よりも大きな吸引口により空中に舞った切削屑を吸引する第2吸引部と、それら吸引部に対して吸引ダクトを介して接続された吸引力発生手段と、前記吸引ダクト内の所定箇所を開閉するのに伴って前記吸引力発生手段による吸引力を前記第2吸引部に対して繋いだり遮断したりする流路開閉手段と、前記回転刃の回転駆動中には、前記所定箇所を閉じる一方で、前記回転刃の回転停止後には、前記所定箇所を開くように、前記流路開閉手段の動作を制御する制御手段とを設けたことを特徴とする基板切断装置。
  7. 請求項1乃至6の何れかの基板切断装置において、
    前記回転刃に対して回転軸線方向の両脇にそれぞれ存在するスペースである第1スペースと第2スペースとのうち、前記第1スペースに配設され、前記回転刃の回転軸線方向における一方の側面に向けてエアーを発射する第1エアー発射手段と、前記第1スペースに配設され、前記回転刃の刃先よりも法線方向の外側の領域に向けてエアーを発射する第2エアー発射手段と、前記第2スペースに配設され、前記第2エアー発射手段から発射されたエアーを受けながらその進行方向を前記回転刃における他方の側面に向かう方向に転換するエアー受け部材とを設けたことを特徴とする基板切断装置。
  8. 請求項2乃至5の何れかの基板切断装置において、
    前記接触位置の前記回転刃の刃先に対して回転軸線方向の両脇でそれぞれ隣り合う位置に配設され、それぞれ前記集合基板の前記第2面に接触しながら前記集合基板を前記回転刃の回転中心に向けて押さえる2つの押さえ部材を設けたことを特徴とする基板切断装置。
  9. 請求項8の基板切断装置において、
    前記延在方向に沿ってスライド移動せしめられる前記集合基板が前記接触位置で前記回転刃を境に二分されることによって得られる2つの基板分割箇所を、それぞれ接触位置通過後にも押さえるように2つの前記押さえ部材を構成するとともに、
    2つの基板分割箇所をそれぞれ押さえ部材との間に挟み込んで保持する2つの挟み込み部材を設けたことを特徴とする基板切断装置。
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