KR200479561Y1 - 이중에어커튼이 구비된 클린부스 - Google Patents

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KR200479561Y1 KR2020140005288U KR20140005288U KR200479561Y1 KR 200479561 Y1 KR200479561 Y1 KR 200479561Y1 KR 2020140005288 U KR2020140005288 U KR 2020140005288U KR 20140005288 U KR20140005288 U KR 20140005288U KR 200479561 Y1 KR200479561 Y1 KR 200479561Y1
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Abstract

본 고안의 일 실시예에 따른 이중에어커튼이 구비된 클린부스는 출입구가 마련된 전면이 개방되고, 내부에 클린공간이 마련된 구조를 가진 본체프레임; 본체프레임과 연통가능하게 결합되고 내부에 흡입유로와 토출유로가 마련된 흡입여과프레임에 설치된 송풍유닛과, 토출유로 상에서 분사프레임과 연통되게 설치되어 분사프레임으로 청정공기를 다풍량으로 제공하는 제 2 헤파필터가 구비된 공기흡입여과부; 및 바닥면이 출입구를 향해 하향경사진 구조를 가지고 공기흡입여과부와 연통가능하게 출입구의 상부에 설치된 분사프레임과, 분사프레임의 바닥면에 설치되는 제 1 분사노즐부와, 제 1 분사노즐부의 하부로 이격되어 분사프레임의 바닥면에 설치되는 제 2 분사노즐부가 구비된 에어커튼생성부를 포함하고, 공기흡입여과부의 작동시, 제 1 분사노즐부는 출입구를 향해 저속으로 청정공기를 분사하여, 출입구에서 본체프레임의 바닥면에 대해 수직한 공기흐름을 가지는 제 1 에어커튼을 형성하고, 제 2 분사노즐부는 출입구를 향해 고속으로 청정공기를 분사하여, 제 1 에어커튼과 클린공간 사이에 제 2 에어커튼을 형성하고, 제 2 에어커튼은 공기흡입여과부의 흡입에 의해 클린공간으로 빨려들어가는 공기흐름을 가져, 클린공간으로의 이물질의 유입 및 클린공간에서 외부로의 이물질의 유출을 방지하는 것이 바람직하다.

Description

이중에어커튼이 구비된 클린부스{CLEAN BOOTH PROVIDED WITH DOUBLE AIR CURTAIN}
본 고안은 이중에어커튼이 구비된 클린부스에 관한 것이며, 상세하게는 저풍속에어커튼과 고풍속에어커튼을 제공하여 클린부스의 내부공간으로의 이물질의 유입을 차단할 수 있는 이중에어커튼이 구비된 클린부스에 관한 것이다.
일반적으로, 클린부스(clean booth)는 청정공간이 필요한 곳에 국부적으로 설치할 수 있으며 팬필터유닛(Fan Filter Unit)을 통해 유입된 공기가 수직층류, 혹은 난류방식으로 클린부스 내로 취출되므로 요구되는 청정도를 얻을 수 있는 장치이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 클린부스(10)는 메인프레임(11), 클린시트(12), 도어커튼(14), 팬-필터유닛(13), 컨트롤러(15)와 전원스위치(16)로 이루어진다.
메인프레임(11)은 4각 기둥구조를 가진다. 메인프레임(11)에는 클린시트(12)가 둘러싸여진 구조를 가진다. 클린시트(12)에 의해 클린부스(10)는 내부공간과 외부공간이 구획된다. 여기서, 내부공간에는 반도체 제조장치 또는 약품 제조 장치 등이 설치될 수 있다.
메인프레임(11)의 상부에는 팬-필터유닛(13)이 설치된다. 여기서, 팬-필터유닛(13)은 내부공간을 청정상태로 유지토록 내부공간 내의 공기를 청정시키는 장치이다. 팬-필터유닛(13)은 송풍팬, 송풍모터와 필터부재로 이루어지는 것이 일반적이다. 여기서, 송풍팬은 내부공간 내의 공기를 빨아들이고, 필터부재는 송풍팬이 흡입한 공기를 필터링하는 부재이다. 필터부재에 의해 필터링된 공기는 다시 내부공간으로 유입되어 내부공간이 청정상태가 되도록 한다.
클린부스(10)의 개폐는 도어커튼(14)에 의해 행해진다. 여기서, 도어커튼(14)은 메인프레임(11)의 전면에 설치된다. 클린부스(10)는 도어커튼(14)을 이용하여 외부공간과 내부공간을 구획하여, 외부공간의 오염물질이 클린부스(10) 내부로 유입되는 것을 방지하고, 또는 반도체 제조 공정 또는 약품 제조 공정에서 발생한 오염물질 또는 파티클이 클린부스(10) 외부로 유출되는 것을 방지한다.
다만, 도어커튼(14)이 개방된 상태에서 외부공간 내의 오염물질의 내부공간으로의 유입 또는 내부공간의 오염물질의 외부공간으로의 이동을 방지하기 어렵고, 이로 인해, 클린부스(10) 내부공간에 설치된 반도체 제조 장비 내부를 오염시키거나 또는/및 클린부스(10) 내부를 오염시키는 불량 또는 환경 오염 등을 유발할 수 있는 문제점이 존재한다.
한국공개특허 공개번호 제10-2006-0056709호에는 도어 입구에 에어 커튼을 가지는 반도체 제조 장비가 개시되어 있다.
본 고안은 도어의 개폐없이도 에어커튼방식으로 지속적으로 클린부스의 내부공간을 차단하여, 클린부스의 내부공간으로의 이물질의 유입 또는 내부공간으로부터의 이물질의 유출을 차단할 수 있는 이중에어커튼이 구비된 클린부스를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 고안은 에어커튼의 풍속을 저풍속과 고풍속으로 구분하여 에어커튼이 이중막구조로 형성되고, 이중막 구조로 형성된 에어커튼에 의해, 클린부스의 내부공간으로의 이물질의 유입 또는 내부공간으로부터의 이물질의 유출이 보다 완벽하게 차단될 수 있는 이중에어커튼이 구비된 클린부스를 제공하는 것을 목적으로 한다.
아울러, 본 고안은 도어의 개폐가 불필요한 구조로, 도어의 개폐에 사용되는 작업시간을 절감시킬 수 있는 이중에어커튼이 구비된 클린부스를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 고안의 일 실시예에 따른 이중에어커튼이 구비된 클린부스는 출입구가 마련된 전면이 개방되고, 내부에 클린공간이 마련된 구조를 가진 본체프레임; 본체프레임과 연통가능하게 결합되고 내부에 흡입유로와 토출유로가 마련된 흡입여과프레임에 설치된 송풍유닛과, 토출유로 상에서 분사프레임과 연통되게 설치되어 분사프레임으로 청정공기를 다풍량으로 제공하는 제 2 헤파필터가 구비된 공기흡입여과부; 및 바닥면이 출입구를 향해 하향경사진 구조를 가지고 공기흡입여과부와 연통가능하게 출입구의 상부에 설치된 분사프레임과, 분사프레임의 바닥면에 설치되는 제 1 분사노즐부와, 제 1 분사노즐부의 하부로 이격되어 분사프레임의 바닥면에 설치되는 제 2 분사노즐부가 구비된 에어커튼생성부를 포함하고, 공기흡입여과부의 작동시, 제 1 분사노즐부는 출입구를 향해 저속으로 청정공기를 분사하여, 출입구에서 본체프레임의 바닥면에 대해 수직한 공기흐름을 가지는 제 1 에어커튼을 형성하고, 제 2 분사노즐부는 출입구를 향해 고속으로 청정공기를 분사하여, 제 1 에어커튼과 클린공간 사이에 제 2 에어커튼을 형성하고, 제 2 에어커튼은 공기흡입여과부의 흡입에 의해 클린공간으로 빨려들어가는 공기흐름을 가져, 클린공간으로의 이물질의 유입 및 클린공간에서 외부로의 이물질의 유출을 방지하는 것이 바람직하다.
삭제
본 고안의 일 실시예에 있어서, 제 1 분사노즐부는 1m/s 내지 2m/s의 풍속으로 분사프레임 내부의 청정공기가 출입구를 향해 분사되도록 작동되고, 제 2 분사노즐부는 5m/s 내지 7m/s의 풍속으로 분사프레임 내부의 청정공기가 출입구를 향해 분사되도록 작동되는 것이 바람직하다.
본 고안의 일 실시예에 있어서, 공기흡입여과부는, 흡입유로에 설치되어 클린공간에서 흡입여과프레임으로 유입된 공기를 필터링하는 제 1 필터유닛; 및 토출유로 상에서 본체프레임의 상면에 인접하게 설치되어 클린공간으로 필터링된 청정공기를 제공하는 제 1 헤파필터를 더 포함하고, 송풍유닛의 작동시, 클린공간 내부의 공기는 제 1 필터유닛을 통과하면서 1차적으로 필터링되어 흡입유로를 따라 유동하면서 송풍유닛으로 흡입된 후 토출되어, 토출유로를 따라 유동하면서 제 1 헤파필터와 제 2 헤파필터에서 2차적으로 필터링된 후 클린공간으로 토출되어, 클린공간을 청정토록 하는 것이 바람직하다.
본 고안의 일 실시예에 있어서, 제 1 필터유닛은, 본체프레임의 후면에 인접하게 위치되어 흡입여과프레임의 내부에 설치되어, 송풍유닛의 작동시 클린공간에서 흡입된 공기 중에 포함된 오염물질을 필터링하는 프리필터; 및 프리필터에 대해 병렬배치구조로 흡입유로 상에 설치되어, 프리필터에서 필터링된 공기 중에 중간크기의 오염물질을 필터링하는 미디엄 백 필터를 포함하는 것이 바람직하다.
본 고안의 일 실시예에 있어서, 제 1 헤파필터와 제 2 헤파필터는 송풍유닛의 작동시 송풍유닛에서 토출된 공기 중에 포함된 미세한 크기의 오염물질을 필터링하는 것이 바람직하다.
한편, 본 고안의 일 실시예에 있어서, 본체프레임에는 공기흡입여과부, 제 1 분사노즐부와 제 2 분사노즐부의 작동상태를 제어하는 컨트롤부가 마련되고, 컨트롤부는 제 1 분사노즐부와 제 2 분사노즐부를 제어하여 출입구를 향해 분사되는 공기의 풍속을 제어하는 것이 바람직하다.
본 고안은 도어의 개폐없이도 에어커튼방식으로 지속적으로 클린부스의 내부공간을 차단하여, 클린부스의 내부공간으로의 이물질의 유입 또는 내부공간으로부터의 이물질의 유출을 차단할 수 있다.
또한, 본 고안은 에어커튼의 풍속을 저풍속과 고풍속으로 구분하여 에어커튼을 형성함으로써, 저풍속의 에어커튼을 이용하여 클린부스의 내부공간으로 유입되는 이물질을 일차적으로 차단한 후, 고풍속의 에어커튼을 이용하여 클린부스의 내부공간으로 유입되는 이물질을 이차적으로 차단하는 구조를 가져, 클린부스의 내부공간으로의 이물질의 유입 또는 내부공간으로부터의 이물질의 유출을 보다 완벽하게 차단할 수 있어, 클린부스의 내부공간에서의 작업생산량을 향상시킬 수 있다.
아울러, 본 고안은 도어의 개폐가 불필요한 구조로, 도어의 개폐에 사용되는 작업시간을 절감시킬 수 있다.
또한, 본 고안은 종래기술과 다르게, 출입구를 개폐하는 도어의 미설치로 인해, 지게차와 같은 설비가 곧바로 클린부스의 내부공간으로 진입될 수 있어, 클린부스 내에서 작업시, 제약회사에서의 약의 원료 측량, 충진 및 포장등 전자 및 반도체에서의 이동공간작업에 있어서 기존의 도어와 같은 장애물이 존재하지 않아 작업을 용이하게 할 수 있다.
도 1에는 종래기술에 따른 클린부스의 사시도가 개략적으로 개시되어 있다.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 이중에어커튼이 구비된 클린부스의 저면사시도를 개략적으로 도시한 것으로서, 도 2에서는 제 1 필터유닛과 제 2 필터유닛의 위치구조를 명확하게 표현하기 위해 흡입여과프레임 내부에 위치된 송풍유닛이 표시되지 않은 상태이다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 이중에어커튼이 구비된 클린부스의 전면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 이중에어커튼이 구비된 클린부스의 측면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 이중에어커튼이 구비된 클린부스의 작동상태도를 개략적으로 도시한 것이다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 이중에어커튼이 구비된 클린부스에 대해 설명하기로 한다.
본 고안의 일 실시예에 따른 이중에어커튼이 구비된 클린부스는 이물질의 유입이 차단되는 청정상태에서 작업을 할 수 있는 공간, 즉, 전자정밀 기계의 무진공간과 의약품 및 식품등의 원료 측량, 충진 또는 포장과 같은 무균공간을 제공하는 장치이다. 본 고안의 일 실시예에 따른 이중에어커튼이 구비된 클린부스(100)는 본체프레임(110), 공기흡입여과부(120)와 에어커튼생성부(130)를 포함한다.
도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본체프레임(110)은 출입구(112)가 마련된 전면이 개방되고, 내부에 클린공간(111)이 마련된 구조를 가진다. 본체프레임(110)에는 공기흡입여과부(120)가 연결된다. 본체프레임(110)에는 컨트롤부(140)가 설치된다.
여기서, 컨트롤부(140)는 제어패널(141)과 차압계(142)로 이루어진다. 여기서, 제어패널(141)은 공기흡입여과부(120), 제 1 분사노즐부(133)와 제 2 분사노즐부(135)의 작동상태를 제어하는 부재이다. 차압계(142)는 클린공간(111) 내의 압력을 측정하는 부재이다.
컨트롤부(140)는 후술할 송풍유닛(123)의 송풍팬(123b)의 회전속도를 제어하고, 제 1 분사노즐부(133)와 제 2 분사노즐부(135)에서 분사되는 청정공기(Fc)의 풍속을 제어할 수 있다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 공기흡입여과부(120)는 클린공간(111)의 공기(Fa)를 흡입 및 필터링한 후, 필터링된 청정공기(Fc)를 클린공간(111)으로 제공하는 부재이다. 공기흡입여과부(120)는 흡입여과프레임(121), 송풍유닛(123), 제 1 필터유닛(125)과 제 2 필터유닛(127)으로 이루어진다.
도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 흡입여과프레임(121)은 기역(ㄱ)자형 구조로 본체프레임(110)의 후면과 본체프레임(110)의 상면을 둘러싸도록 본체프레임(110)에 결합된다. 이때, 흡입여과프레임(121)은 본체프레임(110)의 후면과 상면에 각각 연통가능한 구조를 가진 것이 바람직하며, 흡입여과프레임(121)과 본체프레임(110)이 연통되는 공간에는 제 1 필터유닛(125)와 제 2 필터유닛(127)이 각각 설치된 것이 바람직하다.
본 실시예에서, 흡입여과프레임(121)에는 송풍유닛(123)에 의해 흡입여과프레임(121) 내부로 유입된 공기(Fa)가 유동하는 흡입유로(121a)와, 송풍유닛(123)에서 토출된 공기(Fa)가 유동하는 토출유로(121b)가 마련된다.
본 실시예에서, 송풍유닛(123)은 작동시 도 5에 도시된 바와 같이 클린공간(111) 내의 공기(Fa)를 흡입하고, 제 1 필터유닛(125)과 제 2 필터유닛(127)에 의해 필터링된 공기(Fa)를 외부로 토출토록 제공된 장치이다.
송풍유닛(123)은 제 1 필터유닛(125)과 제 2 필터유닛(127) 사이에서, 흡입여과프레임(121)에 설치된다. 송풍유닛(123)은 송풍지지플레이트(123a), 송풍팬(123b), 송풍모터(미도시)와 송풍팬가이드(123c)로 이루어진다.
송풍지지플레이트(123a)는 송풍팬(123b)과 송풍모터(미도시)를 지지하기 위한 부재이다. 송풍지지플레이트(123a)는 흡입여과프레임(121)의 내부에 설치된다. 송풍지지플레이트(123a)에는 송풍팬(123b)의 작동시 흡입유로(121a)로 유입된 공기(Fa)가 토출유로(121b)로 유동될 수 있는 구조를 가진 것이 바람직하며, 본 실시예에서는 송풍지지플레이트(123a)의 형상에 대해서는 특별히 한정하지 않기로 한다.
송풍지지플레이트(123a)의 상면에는 송풍팬(123b)과 송풍모터(미도시)가 결합된다. 여기서, 송풍팬(123b)은 송풍모터(미도시)로부터 회전력을 제공받아, 흡입여과프레임(121)의 외부에 존재하는 공기(Fa)를 흡입여과프레임(121)의 내부로 흡입하는 팬부재이다.
여기서, 송풍모터(미도시)는 컨트롤부(140)에 의해 송풍팬(123b)을 회전시키는 회전속도가 제어되어, 송풍팬(123b)이 클린공간(111) 내의 공기(Fa)를 흡입하는 정도를 제어할 수 있고, 이에 따라 이중에어커튼이 구비된 클린부스(100)는 클린공간(111) 내의 청정도를 제어할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 송풍팬(123b)의 종류에 대해 특별히 한정하지 않기로 하며, 당업자의 입장에서 자명한 범위 내에서 다양하게 가변가능함은 물론이다.
본 실시예에서, 송풍팬가이드(123c)는 송풍팬(123b)을 둘러싸도록 형성되어 송풍팬(123b)에 연결된다. 송풍팬가이드(123c)는 송풍팬가이드(123c)의 토출개구가 토출유로(121b)를 향해 위치된다. 여기서, 송풍팬가이드(123c)는 송풍팬(123b)으로 흡입된 공기(Fa)의 토출방향을 가이드한다. 송풍팬(123b)에서 토출된 공기는 송풍팬가이드(123c)를 통해 토출유로(121b)로 유동된다.
이하에서는 송풍유닛(123)의 작동시 흡입여과프레임(121)의 내부로 유입되는 공기(Fa)를 필터링하기 위한 제 1 필터유닛(125)과 제 2 필터유닛(127)에 대해 설명하기로 한다.
우선, 제 1 필터유닛(125)은 송풍유닛(123)의 하부에서 흡입유로(121a)에 설치되어, 송풍유닛(123)의 작동시 클린공간(111)에서 흡입여과프레임(121)으로 유입된 공기(Fa)를 필터링하는 필터부재이다.
제 1 필터유닛(125)은 프리필터(125a)와 미디엄 백 필터(125b)로 이루어진다. 여기서, 프리필터(125a)는 본체프레임(110)의 후면에 인접하게 위치되어 흡입여과프레임(121)의 내부에 설치된다.
프리필터(125a)는 송풍유닛(123)의 작동시 클린공간(111)에서 흡입된 공기(Fa) 중에 포함된 오염물질 중 비교적 큰 입자 또는 에어로졸(예컨대, 큰 먼지, 곰팡이, 머리카락, 애완 동물의 털 등)을 필터링하는 필터부재이다.
미디엄 백 필터(125b)는 프리필터(125a)에 대해 병렬배치구조로 흡입유로(121a) 상에 설치된다. 미디엄 백 필터(125b)는 프리필터(125a)에서 필터링된 공기(Fa) 중에 중간크기의 오염물질을 필터링하는 필터부재이다.
여기서, 미디엄 백 필터(125b)는 집진장치의 일종으로 유리섬유, 면, 양모, 합성섬유, 석면 등 좁은 눈금을 가지고 있는 포대 형태의 여과재로서, 안쪽에 흡착된 먼지는 가끔 흔들어 제거할 수 있다.
한편, 제 2 필터유닛(127)은 송풍유닛(123)의 작동시 송풍팬(123b)에서 토출된 공기(Fa)를 필터링하는 필터부재이다. 제 2 필터유닛(127)은 송풍유닛(123)의 상부에서 토출유로(121b)에 설치된다.
본 실시예에서, 제 2 필터유닛(127)은 제 1 헤파필터(127a)와 제 2 헤파필터(127b)를 포함한다. 제 1 헤파필터(127a)와 제 2 헤파필터(127b)는 프리필터(125a)와 미디엄 백 필터(125b)를 순차적으로 거치면서도 필터링되지 않은 공기(Fa) 중에 함유된 해로운 집먼지, 진드기, 바이러스, 공팡이 등과 같은 유해 물질과 마이크론 크기의 오염 먼지를 깨끗하게 제거할 수 있는 필터이다.
제 1 헤파필터(127a)는 필터지지플레이트(128)에 의해 지지되어 본체프레임(110)의 상면과 이격된 위치에서, 흡입여과프레임(121)의 내부에 설치된다. 제 1 헤파필터(127a)에서 필터링된 청정공기(Fc)는 클린공간(111)으로 유동된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 제 1 헤파필터(127a)는 흡입여과프레임(121) 내의 청정공기(Fc)가 클린공간(111)에 고르게 제공될 수 있도록, 본체프레임(110)의 상면과 소정의 간격만큼 이격되어 흡입여과프레임(121)에 설치된 것이 바람직하다. 제 1 헤파필터(127a)로는 일반풍량 헤파필터가 사용될 수 있다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제 2 헤파필터(127b)는 에어커튼생성부(130)의 분사프레임(131)과 연통되게 흡입여과프레임(121)에 설치된다. 제 2 헤파필터(127b)에서 필터링된 청정공기(Fc)는 에어커튼생성부(130)의 분사프레임(131)으로 유동된다. 제 2 헤파필터(127b)로는 다풍량 헤파필터가 사용될 수 있다.
이하에서는 에어커튼생성부(130)에 대해 설명하기로 한다.
도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 에어커튼생성부(130)는 본체프레임(110)의 출입구(112)에 에어커튼이 생성되도록 공기(Fa)를 분사하는 부재이다. 에어커튼생성부(130)는 본체프레임(110)의 출입구(112)의 상부에서 공기흡입여과부(120)에 설치된다. 에어커튼생성부(130)는 분사프레임(131), 제 1 분사노즐부(133)와 제 2 분사노즐부(135)로 이루어진다.
분사프레임(131)은 분사프레임의 바닥면(131a)이 본체프레임(110)의 출입구(112)를 향해 하향경사지게 흡입여과프레임(121)에 설치된다. 분사프레임(131)은 흡입여과프레임(121)과 연통되는 구조를 가진다. 분사프레임(131)과 흡입여과프레임(121) 사이에 연통된 공간에는 제 2 헤파필터(127b)가 설치된다.
분사프레임(131)은 제 2 헤파필터(127b)를 경유하여 흡입여과프레임(121)에서 제공된 청정공기(Fc)가 수용될 수 있도록 내부가 중공된 구조를 가지는 것이 바람직하다. 그리고, 분사프레임의 바닥면(131a)에는 분사프레임(131) 내부에 수용된 청정공기(Fc)가 외부로 토출될 수 있도록 제 1 분사노즐부(133)와 제 2 분사노즐부(135)가 설치된다.
본 실시예에서, 제 1 분사노즐부(133)와 제 2 분사노즐부(135)는 분사프레임(131)에 수용된 청정공기(Fc)를 분사프레임(131)의 외부로 토출시켜, 청정공기(Fc)로 하여금 본체프레임(110)의 출입구(112)에 에어커튼을 형성하는 부재이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 분사노즐부(133)는 분사프레임(131)의 길이방향(L)을 따라 분사프레임의 바닥면(131a)의 일측에 설치된 것이 바람직하다. 제 1 분사노즐부(133)는 컨트롤부(140)에 연결되어, 컨트롤부(140)에 의해 청정공기(Fc)의 분사속도가 제어될 수 있다.
제 1 분사노즐부(133)는 1m/s 내지 2m/s의 풍속으로 분사프레임(131) 내부의 청정공기(Fc)가 출입구(112)를 향해 분사되도록 작동될 수 있다. 제 1 분사노즐부(133)의 작동시, 제 1 분사노즐부(133)에서 분사된 청정공기(Fc)에 의해 본체프레임(110)의 출입구(112)에는 저속의 청정공기(Fc)에 의한 제 1 에어커튼(FAC1)이 형성된다.
이때, 제 1 에어커튼(FAC1)은 도 5에 도시된 바와 같이, 본체프레임(110)의 바닥면에 대해 수직한 방향으로 형성된 것이 바람직하다. 여기서, 제 1 에어커튼(FAC1)은 본체프레임(110)의 클린공간(111)으로 본페프레임의 존재하는 이물질이 유입되는 것을 일차적으로 차단하는 커튼역할을 한다.
본 실시예에서, 제 2 분사노즐부(135)는 제 1 분사노즐부(133)에 대해 분사프레임(131)의 폭방향(W)으로 소정의 간격만큼 이격되어, 분사프레임의 바닥면(131a)에 설치된다. 여기서, 제 2 분사노즐부(135)는 제 1 분사노즐부(133)의 하부에서, 제 1 분사노즐부(133)와 나란하게 배치된 것이 바람직하다.
제 2 분사노즐부(135)는 제 1 분사노즐부(133)와 마찬가지로 컨트롤부(140)에 연결되어, 컨트롤부(140)에 의해 청정공기(Fc)의 분사속도가 제어될 수 있다. 제 2 분사노즐부(135)는 제 1 분사노즐부(133)의 분사속도보다 상대적으로 고속인 5m/s 내지 7m/s의 풍속으로 분사프레임(131) 내부의 청정공기(Fc)가 출입구(112)를 향해 분사된다.
제 2 분사노즐부(135)의 작동시, 제 2 분사노즐부(135)에서 분사된 청정공기(Fc)에 의해 본체프레임(110)의 출입구(112)에는 고속의 청정공기(Fc)에 의한 제 2 에어커튼(FAC2)이 형성된다.
본 실시예에서, 제 2 에어커튼(FAC2)은 출입구(112)에 인접하게 형성됨에 따라 송풍팬(123b)의 흡입력에 영향을 받는 클린공간(111) 내의 환경에 영향을 받아, 본체프레임(110)의 바닥면에 인접한 부분에서 클린공간(111)으로 빨려들어가는 흐름을 가진다.
여기서, 제 2 에어커튼(FAC2)은 본체프레임(110)의 클린공간(111)으로 본체프레임(110)의 존재하는 이물질이 유입되는 것을 이차적으로 차단하는 커튼역할을 한다. 본 실시예에 따른 제 2 에어커튼(FAC2)은 제 1 에어커튼(FAC1)보다 높은 풍속을 가진 청정공기(Fc)에 의해 형성됨에 따라 본체프레임(110)의 출입구(112)에 보다 강한 에어막을 형성할 수 있다.
상기와 같은 구조에 의해, 본 고안에 따른 이중에어커튼이 구비된 클린부스(100)는 제 1 에어커튼(FAC1)과 제 2 에어커튼(FAC2)에 의한 이중 에어막에 의해 클린공간(111) 내부로의 오염물질의 유입 또는 클린공간(111)에서 외부로의 오염물질의 누출을 방지할 수 있어, 장치의 작업효율을 증대시킬 수 있다.
본 고안은 도어의 개폐없이도 에어커튼방식으로 지속적으로 클린부스의 내부공간을 차단하여, 클린공간(111)으로의 이물질의 유입 또는 클린공간(111)으로부터의 이물질의 유출을 차단할 수 있다.
그리고, 본 고안은 종래기술과 다르게, 출입구(112)를 개폐하는 도어의 미설치로 인해, 지게차와 같은 설비가 곧바로 클린공간(111)으로 진입될 수 있어, 클린공간(111) 내의 설비의 교체 및 유지보수가 용이하고, 도어의 개폐에 사용되는 작업시간을 절감시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 고안은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
100: 이중에어커튼이 구비된 클린부스
110: 본체프레임 111: 클린공간
112: 출입구 120: 공기흡입여과부
121: 흡입여과프레임 121a: 흡입유로
121b: 토출유로 123: 송풍유닛
123a: 송풍지지플레이트 123b: 송풍팬
123c: 송풍팬가이드 125: 제 1 필터유닛
125a: 프리필터 125b: 미디엄 백 필터
127: 제 2 필터유닛 127a: 제 1 헤파필터
127b: 제 2 헤파필터 130: 에어커튼생성부
131: 분사프레임 133: 제 1 분사노즐부
135: 제 2 분사노즐부 140: 컨트롤부
141: 제어패널 142: 차압계

Claims (7)

  1. 출입구가 마련된 전면이 개방되고, 내부에 클린공간이 마련된 구조를 가진 본체프레임;
    상기 본체프레임과 연통가능하게 결합되고 내부에 흡입유로와 토출유로가 마련된 흡입여과프레임에 설치된 송풍유닛과, 상기 토출유로 상에서 분사프레임과 연통되게 설치되어 상기 분사프레임으로 청정공기를 다풍량으로 제공하는 제 2 헤파필터가 구비된 공기흡입여과부; 및
    바닥면이 상기 출입구를 향해 하향경사진 구조를 가지고 상기 공기흡입여과부와 연통가능하게 상기 출입구의 상부에 설치된 분사프레임과, 상기 분사프레임의 바닥면에 설치되는 제 1 분사노즐부와, 상기 제 1 분사노즐부의 하부로 이격되어 상기 분사프레임의 바닥면에 설치되는 제 2 분사노즐부가 구비된 에어커튼생성부를 포함하고,
    상기 공기흡입여과부의 작동시, 상기 제 1 분사노즐부는 상기 출입구를 향해 저속으로 상기 청정공기를 분사하여, 상기 출입구에서 상기 본체프레임의 바닥면에 대해 수직한 공기흐름을 가지는 제 1 에어커튼을 형성하고,
    상기 제 2 분사노즐부는 상기 출입구를 향해 고속으로 상기 청정공기를 분사하여, 상기 제 1 에어커튼과 상기 클린공간 사이에 제 2 에어커튼을 형성하고,
    상기 제 2 에어커튼은 상기 공기흡입여과부의 흡입에 의해 상기 클린공간으로 빨려들어가는 공기흐름을 가져, 상기 클린공간으로의 이물질의 유입 및 상기 클린공간에서 외부로의 이물질의 유출을 방지하는 것을 특징으로 하는 이중에어커튼이 구비된 클린부스.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 분사노즐부는 1m/s 내지 2m/s의 풍속으로 상기 분사프레임 내부의 청정공기가 상기 출입구를 향해 분사되도록 작동되고,
    상기 제 2 분사노즐부는 5m/s 내지 7m/s의 풍속으로 상기 분사프레임 내부의 청정공기가 상기 출입구를 향해 분사되도록 작동되는 것을 특징으로 하는 이중에어커튼이 구비된 클린부스.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 공기흡입여과부는,
    상기 흡입유로에 설치되어 상기 클린공간에서 상기 흡입여과프레임으로 유입된 공기를 필터링하는 제 1 필터유닛; 및
    상기 토출유로 상에서 상기 본체프레임의 상면에 인접하게 설치되어 상기 클린공간으로 필터링된 청정공기를 제공하는 제 1 헤파필터를 더 포함하고,
    상기 송풍유닛의 작동시, 상기 클린공간 내부의 공기는 상기 제 1 필터유닛을 통과하면서 1차적으로 필터링되어 상기 흡입유로를 따라 유동하면서 상기 송풍유닛으로 흡입된 후 토출되어, 상기 토출유로를 따라 유동하면서 상기 제 1 헤파필터와 상기 제 2 헤파필터에서 2차적으로 필터링된 후 상기 클린공간으로 토출되어, 상기 클린공간을 청정토록 하는 것을 특징으로 하는 이중에어커튼이 구비된 클린부스.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 필터유닛은,
    상기 본체프레임의 후면에 인접하게 위치되어 상기 흡입여과프레임의 내부에 설치되어, 상기 송풍유닛의 작동시 상기 클린공간에서 흡입된 공기 중에 포함된 오염물질을 필터링하는 프리필터; 및
    상기 프리필터에 대해 병렬배치구조로 상기 흡입유로 상에 설치되어, 상기 프리필터에서 필터링된 공기 중에 중간크기의 오염물질을 필터링하는 미디엄 백 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중에어커튼이 구비된 클린부스.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 헤파필터와 상기 제 2 헤파필터는 상기 송풍유닛의 작동시 상기 송풍유닛에서 토출된 공기 중에 포함된 미세한 크기의 오염물질을 필터링하는 것을 특징으로 하는 이중에어커튼이 구비된 클린부스.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체프레임에는 상기 공기흡입여과부, 상기 제 1 분사노즐부와 상기 제 2 분사노즐부의 작동상태를 제어하는 컨트롤부가 마련되고,
    상기 컨트롤부는 상기 제 1 분사노즐부와 상기 제 2 분사노즐부를 제어하여 상기 출입구를 향해 분사되는 공기의 풍속을 제어하는 것을 특징으로 하는 이중에어커튼이 구비된 클린부스.
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