KR102025209B1

KR102025209B1 - 청소 장치

Info

Publication number: KR102025209B1
Application number: KR1020147022144A
Authority: KR
Inventors: 준지 시바타; 가즈야 오모리
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2012-03-06
Filing date: 2013-02-28
Publication date: 2019-09-25
Also published as: US9687889B2; JP2013184762A; JP5720954B2; KR20140138126A; TWI610868B; SG11201405516VA; TW201400387A; CN104159838B; WO2013133124A1; US20150020343A1; CN104159838A

Abstract

청정실에서의 설치가 유리한 천정 반송차(3)의 청소 장치를 제공한다. 청정실 내의 천정측에 설치된 주행 레일(2)에 따라 주행 가능한 천정 반송차(3)를 외부 공간(Z1)으로부터 차폐된 차폐 공간(Z2)에 있어서 주행 정지 상태로서 천정 반송차(3)에 대하여 공기를 분출하는 공기 분출 장치(C)를 구비하고, 천정 반송차(3)를 청소하는 청소 장치.

Description

청소 장치{CLEANING APPARATUS}

본 발명은, 청정실 내의 천정측에 설치된 주행 레일을 따라 주행하는 천정 반송차(搬送車)에 대하여 공기를 분출하는 공기 분출 장치를 구비하고, 상기 천정 반송차를 청소하는 청소 장치에 관한 것이다.

상기와 같은 청소 장치는, 청정실 내에서의 주행에 따라 먼지가 퇴적·부착된 천정 반송차를 청소 가능하도록 한 것이며, 청소에 따라 발생하는 먼지가 청정실 내로 비산되는 것을 방지하기 위해, 외부 공간으로부터 차폐(遮蔽)된 차폐 공간을 형성하는 구획체를 구비하고, 이 구획체에 의해 형성되는 차폐 공간에서 공기 분출 장치가 천정 반송차의 청소를 행하는 것이다.

이와 같은 청소 장치에 관한 일례로서, 천정 반송차의 주행 경로 상에 설치되고, 공기 분출 장치가, 천정 반송차를 주행시키면서 청소하도록 구성된 것이 있다. (예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

일본 공개특허 제2008―214084호 공보

상기 특허 문헌 1의 구성이면, 천정 반송차는, 청소 장치가 청소 작동하는 동안에 주행 경로를 따라 주행 이동하게 되므로, 청소에 따라 발생하는 먼지가 청정실 내로 비산되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이를 위해서는, 차폐 공간을 형성하는 구획체를 청소 중에 주행 이동하는 천정 반송차의 주행 이동량에 따른 길이가 긴 것으로 구성할 필요가 있어, 청소 장치의 구성이 커지게 된다. 또한, 청정실에서는 고도의 공간 사용 효율이 요구되지만, 상기 특허 문헌 1의 구성에서는, 구획체를 설치하기 위해 주행 경로에서의 긴 부분을 점유하게 되므로, 바람직하지 않다.

상기 문제점을 해결하기 위해 청정실에서의 설치가 유리한 천정 반송차의 청소 장치의 실현이 요구된다.

본 발명에 관한 청소 장치는,

청정실 내의 천정측에 설치된 주행 레일을 따라 주행하는 천정 반송차에 대하여 공기를 분출하는 공기 분출 장치를 구비하고, 상기 천정 반송차를 청소하는 청소 장치로서,

외부 공간으로부터 차폐된 차폐 공간을 형성하는 구획체가 설치되고,

상기 구획체는, 상기 천정 반송차가 주행 이동에 의해 상기 차폐 공간으로 진입 가능하게 구성되며,

상기 공기 분출 장치는, 상기 차폐 공간에서 주행 정지 상태의 상기 천정 반송차에 대하여 청소 작동하도록 구성되어 있다.

상기한 구성에 의하면, 천정 반송차는, 구획체에 의해 형성된 차폐 공간에 주행 이동에 의해 진입한 후, 차폐 공간 내에 정지함으로써, 공기 분출 장치가 천정 반송차를 청소할 수 있다. 천정 반송차는, 공기 분출 장치에 의해 청소되는 동안은, 차폐 공간 내에 정지하고 있으므로, 차폐 공간으로서는, 천정 반송차를 포위하는 정도의 크기이면 된다. 그러므로, 구획체의 주행 방향에서의 길이가, 천정 반송차의 주행 방향에서의 길이에 상당하는 정도의 컴팩트한 것이면 되므로, 청정실에서의 설치가 유리하게 된다.

이와 같이, 상기 구성에 의하면, 청정실에서의 설치가 유리한 천정 반송차의 청소 장치를 실현할 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.

본 발명에 관한 청소 장치의 실시형태에 있어서는,

상기 차폐 공간 내의 공기를 흡입하여 상기 차폐 공간 밖으로 배출하는 팬과 상기 배출하는 공기를 정화하는 필터를 구비하는 팬 필터 유닛이, 상기 구획체에 구비되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 공기 분출 장치로부터 공기가 분출되어 천정 반송차가 청소됨에 따라 천정 반송차에 퇴적되어 있었던 먼지가 날아가버려, 차폐 구간에 부유하게 된다. 이와 같이 하여 천정 반송차의 청소에 따라 발생하는 먼지를 포함하는 공기는, 팬 필터 유닛의 팬에 의해 흡입되어 배출 공기로서 배출된다. 그 배출 공기는, 팬 필터 유닛의 필터에 의해 정화되어 먼지가 제거되게 된다.

이와 같이, 팬과 필터이 유닛화된 팬 필터 유닛을 구획체에 구비하는 간소한 구성에 의해, 천정 반송차의 청소에 따라 발생하는 먼지가 차폐 공간의 외부로 비산되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 청정실의 오염 방지를 도모하면서 구성의 복잡화를 억제할 수 있다.

본 발명에 관한 청소 장치의 실시형태에 있어서는,

상기 구획체에, 상기 천정 반송차가 상기 차폐 공간으로 진입하는 진입구와 상기 천정 반송차가 상기 차폐 공간으로부터 퇴출하는 퇴출구가 설치되고,

상기 진입구를 개방하는 개방 상태와 폐쇄하는 폐쇄 상태로 전환 가능한 진입구 개폐 장치와, 상기 퇴출구를 개방하는 개방 상태와 폐쇄하는 폐쇄 상태로 전환 가능한 퇴출구 개폐 장치와, 상기 진입구 개폐 장치 및 상기 퇴출구 개폐 장치의 개폐 작동 및 상기 공기 분출 장치의 청소 작동을 제어하는 제어 장치와, 상기 차폐 공간에서의 먼지의 농도를 계측하는 먼지 농도 계측 장치가 설치되고,

상기 제어 장치는, 상기 천정 반송차가 상기 차폐 공간에 정지한 상태에서 상기 진입구 개폐 장치 및 상기 퇴출구 개폐 장치를 상기 폐쇄 상태로 할 수 있도록, 상기 진입구 개폐 장치 및 상기 퇴출구 개폐 장치의 작동을 제어한 후, 상기 공기 분출 장치의 청소 작동을 개시하게 하기 위해, 상기 공기 분출 장치의 작동을 제어하는 동시에,

상기 제어 장치는, 상기 공기 분출 장치의 청소 작동을 개시하게 한 후, 상기 먼지 농도 계측 장치의 계측 정보에 기초하여, 상기 차폐 공간에서의 먼지의 농도가 설정 먼지 농도까지 저하된 것으로 판별하면 상기 공기 분출 장치의 청소 작동을 종료시키기 위해, 상기 공기 분출 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 천정 반송차가 차폐 공간에 정지한 상태에서 진입구 개폐 장치 및 퇴출구 개폐 장치가 폐쇄 상태된 후에, 공기 분출 장치의 청소 작동이 개시된다. 그리고, 공기 분출 장치에 의한 천정 반송차의 청소에 의해 발생하는 먼지는, 팬 필터 유닛에 의해 정화되어 차폐 공간으로부터 차폐 공간 밖으로 배출된다. 이와 같이 하여 천정 반송차의 청소가 진행되면, 차폐 공간에서의 먼지의 농도는 서서히 저하된다.

제어 장치는, 먼지 농도 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 차폐 공간에서의 먼지의 농도가 설정 먼지 농도까지 저하된 것으로 판별하면 공기 분출 장치의 청소 작동을 종료시킨다. 따라서, 천정 반송차에 퇴적되어 있었던 먼지가 원하는 상태까지 청소할 수 있었던 경우의 먼지 농도를, 미리 설정 먼지 농도로서 설정해 둠으로써, 천정 반송차를 원하는 상태까지 청소할 수 있었던 단계에서 공기 분출 장치의 작동을 정지시키는 것이 가능하다.

상기한 구성에 의하면, 천정 반송차가 원하는 청소 상태로 될 때까지 확실하게 공기 분출 장치를 작동시킬 수 있고, 또한 청소를 위해 필요 이상으로 천정 반송차를 차폐 공간에 정지시켜 구속하는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 공기 분출 장치의 작동을 정지시킨 후, 또는 동시 또는 정지시키기 직전에 퇴출구 개폐 장치를 개방 상태로 함으로써, 청소가 완료된 천정 반송차는 차폐 공간으로부터 외부로 주행 이동하여 퇴출할 수 있다. 그리고, 천정 반송차가 퇴출한 후에는, 진입구 개폐 장치를 개방 상태로 하여, 퇴출구 개폐 장치를 폐쇄 상태로 한 대기용 개폐 상태에서, 다음의 천정 반송차의 진입을 대기하도록 해도 된다. 또한, 주행 경로의 단부(端部)에 청소 장치를 설치하는 경우에는, 진입구 개폐 장치 및 퇴출구 개폐 장치는 겸용되게 된다.

본 발명에 관한 청소 장치의 실시형태에 있어서는,

상기 공기 분출 장치가, 공기를 분출하는 노즐을, 분출 대상 개소(箇所)를 변경 가능한 상태로, 복수 구비하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 공기 분출 장치가 구비하는 분출 노즐은, 분출 대상 개소를 변경 가능하며, 또한 복수 형성되어 있으므로, 공기 분출 장치는, 천정 반송차의 복수의 개소에 대하여 분출 개소를 변경시키면서 청소 작동을 할 수 있다. 따라서, 복수의 분출 노즐을 적절히 배치하여, 이들 분출 노즐의 분출 대상 개소를 변화시켜, 천정 반송차에 공기를 분출함으로써, 천정 반송차에서의 청소가 필요한 개소의 모두에 대응하여 분출 노즐을 별개로 형성하지 않아도, 천정 반송차에서의 청소가 필요한 개소를 적절히 청소할 수 있다.

본 발명에 관한 청소 장치의 실시형태에 있어서는,

상기 주행 레일 상을 주행하는 상기 천정 반송차가 진입 가능한 하우징을 구비하여, 상기 천정 반송차를 바닥측으로 이탈시키는 승강 기구를 상기 하우징 내에 구비한 유지보수용의 승강 장치가 설치되고,

상기 차폐 공간이, 상기 구획체로서의 상기 하우징에 의해 형성되고,

상기 공기 분출 장치가 상기 하우징 내에 설치되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 천정 반송(搬送) 설비에 설치된 유지보수용의 승강 장치의 하우징 내에서 천정 반송차의 청소를 행할 수 있으므로, 유지보수용의 승강 장치가 점유하고 있는 청정실에서의 바닥면 부분에 대응하는 공간 영역을 유효하게 활용할 수 있다.

도 1은 천정 반송 설비의 전체 평면도
도 2는 청소 장치를 구비한 유지보수용의 승강 장치의 일부 종단 측면도
도 3은 청소 장치를 구비한 유지보수용의 승강 장치의 일부 종단 정면도
도 4는 청소 장치를 구비한 유지보수용의 승강 장치의 일부 종단 사시도
도 5는 제어 블록도
도 6은 제어 블록도
도 7은 청소 제어의 플로우차트

다음에, 본 발명에 관한 청소 장치의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 복수의 물품 처리부(1)를 경유하도록 설정된 설정 이동 경로를 따라, 천정 반송차 주행용의 주행 레일(2)이 천정측에 설치되어 있고, 설정 이동 경로를 따라 주행하는 천정 반송차(3)가 주행 레일(2)에 안내 지지된 상태로 설치되어 있다.

그리고, 천정 반송차(3)는, 도시하지 않은 물품 반입(搬入) 개소로부터 물품 처리부(1), 물품 처리부(1)로부터 다른 물품 처리부(1), 및 물품 처리부(1) 내지 도 밖의 물품 반출(搬出) 개소에 물품을 반송하도록 구성되어 있다. 상기 주행 레일(2)은, 청정실 내에 설치되어 있고, 천정 반송차(3)는, 반도체를 복수 개 수납 가능한 기판 수납 용기를 반송 대상물로서 반송한다.

천정 반송차(3)의 주행부(4)에는, 주행 레일(2)의 상면을 전동(轉動)하는 주행 차륜(5a)과 주행 레일(2)의 가로측면을 전동하는 안내 차륜(5b)이 설치되어 있다. 그리고, 주행 차륜(5a)이 주행용 모터(M1)에 의해 회전 구동되는 것에 의해, 천정 반송차(3)가 주행 레일(2)에 안내되면서 설정 이동 경로를 따라 주행하도록 구성되어 있다.

또한, 천정 반송차(3)에는, 물품을 파지하는 동시에 주행부(4)에 대하여 승강 이동하는 승강부(6)가 구비되어 있다. 승강부(6)는, 승강용 모터(M2)(도 6 참조)에 의해 회전 드럼(도시하지 않음)을 정역(正逆) 방향으로 회전 구동시켜, 와이어를 권취 및 송출 조작함으로써 승강 이동하도록 구성되어 있다.

승강부(6)는, 기판 수납 용기가 상부에 구비하는 플랜지를 파지(把持) 가능한 한 쌍의 파지구(把持具)(7)를 구비한다. 상기 한 쌍의 파지구(7)는, 선단측이 서로 원근 이동하도록 기단측(基端側)을 요동(搖動) 가능하게 연결하고 있다. 한 쌍의 파지구(7)는, 파지용 모터(M3)에 의해 선단부가 서로 근접하여 물품을 파지하는 파지 자세나 선단부가 서로 이격되어 물품의 파지를 해제하는 해제 자세로 전환 조작되도록 구성되어 있다.

물품 처리부(1)의 탑재대(도시하지 않음)에 탑재되어 있는 기판 수납 용기를 수취하는 경우에는, 기판 수납 용기를 지지하고 있지 않은 공하(空荷) 상태의 천정 반송차(3)를 상기 물품 처리부(1)에 대응하는 목표 정지 위치에 정지시킨다. 그리고, 그 상태에서, 한 쌍의 파지구(7)가 기판 수납 용기를 파지할 수 있는 높이까지 승강부(6)를 하강 이동시킨 후, 한 쌍의 파지구(7)를 해제 자세로부터 파지 자세로 전환하여 탑재대에 탑재되어 있는 기판 수납 용기의 플랜지를 파지시킨다. 그 후, 승강부(6)를 상승 이동시킨다.

또한, 물품 처리부(1)의 탑재대에 기판 수납 용기를 받아건네는 경우에는, 기판 수납 용기를 지지하고 있는 실하 상태의 천정 반송차(3)를 상기 물품 처리부(1)에 대응하는 목표 정지 위치에 정지시킨다. 그리고, 그 상태에서, 기판 수납 용기가 탑재대에 탑재 지지될 때까지 승강부(6)를 하강 이동시킨 후, 한 쌍의 파지구(7)를 파지 자세로부터 해제 자세로 전환하여 기판 수납 용기에 대한 파지를 해제시킨다. 그 후, 승강부(6)를 상승 이동시킨다.

천정 반송차(3)에 의한 기판 수납 용기의 반송 작동은, 상위의 호스트 컨트롤러(H3)로부터 지령되는 반송 지령에 기초하여, 천정 반송차 컨트롤러(H2)(도 6 참조)에 의해 제어된다. 천정 반송차 컨트롤러(H2)는, 예를 들면, 천정 반송차 컨트롤러(H2)에 접속 가능한 단말기 장치에 의해 구성되는 수동 운전용 지령 장치(D)(도 6 참조)로부터의 수동 운전 지령에 기초하여, 천정 반송차(3)를 천정 반송차 발취(拔取) 개소(A)까지 주행시키는 유지보수용 운전 제어를 실행 가능하게 구성되어 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 설정 이동 경로에서의 환형(環形)의 이동 경로로부터 분기된 이동 경로에 천정 반송차 발취 개소(A)가 정해져 있고, 그 천정 반송차 발취 개소(A)에 주행 레일 승강 장치(8)가 설치되어 있다.

그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행 레일 승강 장치(8)에는, 주행 레일(2)에서의 천정 반송차 발취 개소(A)에 대응하는 주행 레일 부분(2a)이, 천정 반송차(3)를 지지한 상태로 상기 주행 레일(2)에서의 주행 레일 본체(2b)와 연속되는 반송차 주행용 높이(도 2 참조)와 바닥면 측으로 하강시킨 반송차 인출용 높이로 승강 이동 가능하게 설치되어 있다. 이로써, 천정 반송차 발취 개소(A)까지 주행하고 천정 반송차(3)를 유지보수를 위해 바닥측으로 인출할 수 있도록 되어 있다. 즉, 주행 레일 승강 장치(8)는, 천정 반송차(3)를 바닥측으로 이탈시키는 승강 기구를 구비한 유지보수용의 승강 장치로서 기능한다.

주행 레일 부분(2a)은 승강체(9)에 지지되어 있고, 승강체(9)는 복수의 프레임재를 종횡으로 조립한 프레임체에 의해 구성되어 있다. 그리고, 주행 레일 승강 장치(8)는, 팬터그래프식(pantograph type)의 승강 기구(10)에 의해 승강체(9)를 승강 조작함으로써, 주행 레일 부분(2a)을 반송차 주행용 높이와 반송차 인출용 높이로 승강 이동시킬 수 있도록 되어 있다. 또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행 레일 본체(2b)는 지지 브래킷(11)을 통하여 천정에 연결 지지되어 있지만, 주행 레일(2)에서의 천정 반송차 발취 개소(A)에 대응하는 주행 레일 부분(2a)은, 승강체(9)에서의 정상부(頂部)에 지지 브래킷(11)을 통하여 연결 지지되어 있다.

승강체(9)의 하단부에는, 세로축심 주위로 회전하는 전동식(電動式)의 송풍팬과, 그 송풍팬의 위쪽을 덮는 판형의 제진 필터를 일체로 조립하여 구성된 팬 필터 유닛(12)이, 천정 반송차(3)의 차체 가로 폭 방향으로 2대 병설되어 있다. 여기서, 차체 가로 폭 방향이란, 천정 반송차(3)의 주행 방향 및 상하 방향의 각각과 직교하는 방향을 말한다. 이들 팬 필터 유닛(12)은, 천정 반송차(3)를 청소할 때 작동하고, 천정 반송차(3)가 위치하는 청소 공간(Z2) 내의 공기를 정화하여 외부 공간(Z1)으로 배출한다.

승강체(9) 및 승강 기구(10)는, 세로 지주(支柱) 및 수평 프레임에 의해 프레임 제작되어 상면 패널(13T) 및 측면 패널(13S)을 구비한 상자형의 하우징(14)의 내부에 설치되어 있다. 도시는 생략하지만, 하우징(14)의 외측면에는, 작업자가 지령 조작하는 승강 지령 스위치가 형성되어 있고, 이 승강 지령 스위치에 의한 상승 지령에 기초하여 승강 기구(10)가 상승 방향으로 신장(伸長) 구동됨으로써 승강체(9)가 상승 구동되고, 또한 하강 지령에 기초하여 승강 기구(10)가 하강 방향으로 단축 구동됨으로써 승강체(9)가 하강 구동된다.

4개의 측면 패널(13S) 중 주행 레일 본체(2b)에 대향하는 측면에 설치된 측면 패널(13S)의 상부에는, 반송차 진입구(15)가 형성되어 있다. 또한, 이 반송차 진입구(15)가 형성된 측면 패널(13S)과 대향하는 면에 배치된 측면 패널(13S)의 하부에는, 반송차 인출구(16)가 형성되어 있다.

하우징(14)에는, 반송차 진입구(15)를 개폐 가능한 전동 셔터(17)가 설치되어 있다. 전동 셔터(17)는, 주행 레일 부분(2a)과 주행 레일 본체(2b)와의 사이에 형성된 간극(間隙)의 길이보다 얇은 판압(板壓)의 판형체로 이루어지는 셔터 본체(17a)를 세로 자세로 상하 방향 가능하게 설치하여, 이 셔터 본체(17a)를 개폐 구동하는 셔터 개폐용 모터(M4)를 구비하여 구성되어 있다. 이로써, 전동 셔터(17)는, 셔터 본체(17a)가 반송차 진입구(15)보다 아래쪽에 위치하여 반송차 진입구(15)를 개방하는 개방 상태와, 반송차 진입구(15)에 대응하는 높이에 위치하여 반송차 진입구(15)를 폐쇄하는 폐쇄 상태로 전환 가능하게 되어 있다.

승강체(9)가 반송차 주행용 높이에 위치하고 있는 상태에서는, 전동 셔터(17)를 폐쇄 상태로 함으로써, 승강체(9)의 바닥부와, 하우징(14)의 상면 패널(13T) 및 측면 패널(13S)로 폐쇄한 공간이 형성되고, 이 공간 내에서 후술하는 공기 분출 장치(C)에 의해 천정 반송차(3)의 청소가 행해진다. 즉, 하우징(14)의 상방 측에 위치하는 청소 공간(Z2)이 차폐 공간으로서 기능하고, 팬 필터 유닛(12)을 구비한 승강체(9)의 바닥부와, 하우징(14)의 상면 패널(13T) 및 측면 패널(13S)이, 외부 공간(Z1)으로부터 차폐된 차폐 공간을 형성하는 구획체(K)로서 기능한다. 그리고, 구획체(K)로서의 측면 패널(13S)은, 천정 반송차(3)가 주행 이동에 의해 차폐 공간으로 진입 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 청소 공간(Z2)의 기밀성을 확보하기 위해, 반송차 주행용 높이에 위치하고 있는 승강체(9)의 외주부와 하우징(14)과의 사이를 봉지(封止)하는 봉지 구조를 적절히 사용하는 것이 바람직하다.

반송차 진입구(15)는, 청소 대상의 천정 반송차(3)나 유지보수 대상의 천정 반송차(3)가 주행 레일 승강 장치(8)의 내부에 진입하는 경우에 통과하는 동시에, 청소 완료 후나 유지보수 완료 후의 천정 반송차(3)가 주행 레일 승강 장치(8)의 외부로 퇴출하는 경우에도 통과한다. 즉, 반송차 진입구(15)는, 진입구 및 퇴출구를 겸용하고 있다. 또한, 전동 셔터(17)는, 진입구 개폐 장치 및 퇴출구 개폐 장치로서 기능하고 있다.

또한, 주행 레일 승강 장치(8)에는, 바닥면 측을 주행 가능하고, 또한 반송차 인출용 높이로 하강된 주행 레일 부분(2a)과 같은 높이의 천정 반송차 갈아타기 용 보조 레일(2c)을 구비한 유지보수용 대차(臺車; carriage)(18)가 설치되어 있다. 이로써, 승강체(9)를 반송차 인출용 높이로 하강시킨 상태에서, 반송차 인출구(16)를 통과시키도록 하여 천정 반송차(3)를 주행 레일 부분(2a)으로부터 천정 반송차 갈아타기 용 보조 레일(2c)로 이동시키고, 천정 반송차(3)를 유지보수용 대차(18)의 천정 반송차 갈아타기용 보조 레일(2c)에 의해 지지한 상태에서, 유지보수 작업을 행하는 개소 등에 유지보수용 대차(18)를 이동시킬 수 있도록 되어 있다.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 승강체(9)는, 청소 공간(Z2)에 있어서 천정 반송차(3)에 대하여 공기를 분출시켜 천정 반송차(3)를 청소하는 공기 분출 장치(C)를 구비하고 있다. 공기 분출 장치(C)는, 공기를 분출 가능한 복수의 노즐(20)을, 분출 대상 개소를 변경 가능한 상태로 복수 구비하여 구성되어 있다. 공기 분출 장치(C)는, 청소 공간(Z2)에 있어서 주행 정지 상태의 천정 반송차(3)에 대하여 청소 작동한다.

복수의 노즐(20)은, 천정 반송차(3)의 전후 방향을 따라 연장되는 평행하게 배치된 4개의 회전 조작축(19)의 각각에 대하여, 축심(軸心) 방향[천정 반송차(3)의 전후 방향과 같음]으로 분산 배치되는 형태로 일체로 회전 가능하게 지지되어 있다. 4개의 회전 조작축(19)은, 상하 방향 및 차체 폭 방향으로 간격을 둔 상태로 승강체(9)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 승강체(9)에서의 각각의 회전 조작축(19)의 단부가 위치하는 개소에는, 감속기(21)를 통하여 회전 조작축(19)을 회전 구동시키는 노즐 회전용 모터(M5)가 장착되어 있다.

복수의 노즐(20)에 대해서는, 지상 측에 설치된 도시하지 않은 청소용 공기 공급 장치로부터 변형 가능한 공급 호스를 통하여 청소용 공기가 공급된다. 이로써, 노즐(20)은, 청소용 공기 공급 장치로부터 청소용 공기의 공급을 받을 수 있는 동시에, 승강체(9)와 일체 승강 가능하게 되어 있다. 복수의 노즐(20)을 분출 상태와 분출 정지 상태로 전환하는 분출용 전환 밸브(22)(도 5 참조)가 청소용 공기 공급 장치로부터 복수의 노즐(20)에 이르는 청소용 공기 공급로의 도중 개소에 설치되어 있다.

4개의 회전 조작축(19) 중, 상방 측에 배치된 2개의 상부 회전 조작축(19U)은, 청소 대상의 천정 반송차(3)의 주행부(4)의 높이보다 높고, 상기 주행부(4)에 근접하는 높이에 장착되어 있다. 여기서, 근접이란, 이격 거리가 주행 레일(2)의 높이 이하의 상태를 말한다. 한 쌍의 상부 회전 조작축(19U)에 설치된 노즐(20)로부터 공기를 분출시킨 상태에서, 상부 회전 조작축(19U)을 회전시킴으로써, 주행부(4)에 퇴적된 먼지를 확실하게 청소 가능하게 되어 있다. 또한, 4개의 회전 조작축(19) 중, 하방측에 배치된 2개의 하부 회전 조작축(19D)은, 청소 대상의 천정 반송차(3)의 승강부(6)의 높이와 같은 높이 또는 설정 거리만큼 어긋난 높이에 장착되어 있다. 한 쌍의 하부 회전 조작축(19D)에 설치된 노즐(20)로부터 공기를 분출시킨 상태에서, 하부 회전 조작축(19D)을 회전시킴으로써, 승강부(6)나 그 구동부에 퇴적된 먼지를 확실하게 청소 가능하게 되어 있다.

그리고, 복수의 노즐(20)은, 청소 효과를 충분한 것으로 하기 위해 청소 대상의 천정 반송차(3)에 대하여 선단부가 근접하도록 배치하고 있지만, 회전 조작축(19)에 의해 어느 자세로 회전 조작되어도 선단부가 천정 반송차(3)와 간섭하지 않도록 한 크기 및 위치에서 설치되어 있다.

공기 분출 장치(C)를 작동시키고 있을 때의 청소 공간(Z2)에서의 먼지의 농도를 계측하는 먼지 농도 계측 장치로서의 주지의 미립자 카운터(23)가 하우징(14)의 내부에 설치되어 있다. 미립자 카운터(23)는, 반송차 주행용 높이에 위치하고 있을 때의 승강체(9)보다 상방측으로서 천정 반송차(3)보다 하방측의 근접하는 높이에 설치되어 있다. 이로써, 청소 공간(Z2)의 하부에 위치하는 팬 필터 유닛(12)에 의해 흡인되는 오염 공기의 통류(通流) 경로 도중에 그 공기에 함유되는 먼지의 농도를 계측할 수 있다. 미립자 카운터(23)의 출력 신호는 청소 장치 컨트롤러(H1)에 입력된다(도 5 참조).

도 5에 나타낸 바와 같이, 공기 분출 장치(C)의 청소 작동 및 전동 셔터(17)의 개폐 작동을 제어하는 제어 장치로서의 청소 장치 컨트롤러(H1)가 설치되어 있다. 청소 장치 컨트롤러(H1)는, 청소 공간(Z2)에 의해 정지 상태의 천정 반송차(3)를 검출 가능한 반송차 검출 센서(24)의 검출 정보에 기초하여, 청소 공간(Z2)에 청소 대상의 천정 반송차(3)가 정지 상태로 존재하고 있는지의 여부를 판별 가능하게 구성되어 있다. 반송차 검출 센서(24)는, 청소 개소에 위치하고 있는 천정 반송차(3), 즉 반송차 주행용 높이에 위치하는 주행 레일 부분(2a)에 지지되어 있는 천정 반송차(3)를 검출 가능하게 구성되어 있고, 예를 들면, 검출 대상 범위에 존재하는 검출 대상체까지의 거리를 계측 가능한 측거식의 광센서에 의해 구성하는 것이 바람직하다.

그리고, 청소 장치 컨트롤러(H1)는, 작업자가 청소 지령 스위치(25)에 의해 청소 지령을 지령하면 이 청소 지령에 기초하여, 천정 반송차(3)가 청소 공간(Z2)에 정지한 상태에서 전동 셔터(17)를 폐쇄 상태로 할 수 있도록, 셔터 개폐용 모터(M4)의 작동을 제어한다. 그리고, 청소 장치 컨트롤러(H1)는, 공기 분출 장치(C)의 청소 작동을 개시하게 하고, 그 후, 미립자 카운터(23)의 계측 정보에 기초하여, 청소 공간(Z2)에서의 먼지의 농도가 설정 먼지 농도까지 저하된 것으로 판별하면 공기 분출 장치(C)의 청소 작동을 종료시키기 위해, 공기 분출 장치(C)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

이하에, 작업자가 수동 운전용 지령 장치(D)를 지령 조작하여 천정 반송차 컨트롤러(H2)가 유지보수용 운전 제어를 실행함으로써, 천정 반송차(3)가 천정 반송차 발취 개소(A)까지 주행한 후, 작업자가 청소 지령 스위치(25)를 지령 조작한 경우의 청소 장치 컨트롤러(H1)가 실행하는 청소 제어의 제어 내용에 대하여, 도 7에 나타낸 플로우차트에 기초하여 설명한다.

청소 장치 컨트롤러(H1)는, 스텝#1에서, 청소 지령이 지령된 것을 판별하면, 스텝#2로 이행하고, 반송차 검출 센서(24)의 검출 정보에 기초하여, 청소 공간(Z2)에 청소 대상의 천정 반송차(3)가 정지하고 있는지의 여부를 판별한다. 천정 반송차(3)가 청소 개소에 정지하고 있지 않으면, 천정 반송차(3)가 청소 개소에 도착할 때까지 대기한다. 천정 반송차(3)가 청소 개소에 정지한 상태로 되면, 스텝#3로 이행하고, 셔터 개폐용 모터(M4)의 구동을 제어하여 전동 셔터(17)를 폐쇄 상태로 전환한다. 그리고, 스텝#4에서, 공기 분출 장치(C)에 의한 청소 작동을 개시한다. 즉, 팬 필터 유닛(12)의 작동을 개시하게 하고, 분출용 전환 밸브(22)를 분출 상태로 전환하여 노즐(20)로부터 청소용 공기를 분출시키는 동시에, 노즐 회전용 모터(M5)를 정역으로 구동시켜, 복수의 노즐(20)을 회전 조작축(19)과 일체로 회전시켜, 노즐(20)의 선단부를 설정 각도 범위 내에서 반복 왕복 요동시킨다.

청소 장치 컨트롤러(H1)는, 공기 분출 장치(C)에 의한 청소 작동을 개시한 후, 스텝#5에서 청소 공간(Z2)에서의 먼지 농도를 감시한다. 청소 작동이 계속됨에 따라, 천정 반송차(3)에 퇴적되어 있었던 먼지가 청소 공간(Z2)에 비산(飛散)하고, 일시적으로 청소 공간(Z2)에서의 먼지 농도가 상승하지만, 그 후, 팬 필터 유닛(12)의 정화 작용에 의해, 서서히 저하되게 된다.

청소 장치 컨트롤러(H1)는, 미립자 카운터(23)의 계측 정보에 기초하여, 청소 공간(Z2)에서의 먼지 농도가 목표 먼지 농도까지 저하된 것으로 판별되면, 스텝#6으로 이행하여 공기 분출 장치(C)에 의한 청소 작동을 종료한다. 즉, 팬 필터 유닛(12)의 작동을 정지시켜, 분출용 전환 밸브(22)를 분출 정지 상태로 전환하여 노즐(20)로부터 청소용 공기를 분출 정지시킨다. 그 후, 복수의 노즐(20)이 대기 위치로 되도록, 즉 회전 조작축(19)의 회전 위상이 초기 위상으로 되도록 노즐 회전용 모터(M5)의 구동을 제어한다. 그리고, 스텝#7에서 셔터 개폐용 모터(M4)의 구동을 제어하여 전동 셔터(17)를 개방 상태로 전환한다.

이와 같이 하여 청소가 완료된 천정 반송차(3)를 다시 기판 수납 용기의 반송 작업으로 복귀시키려면, 수동 운전용 지령 장치(D)에 의해 호스트 컨트롤러(H3)에 대하여 충당[물품 반송 처리를 위한 천정 반송차(3)로서 선택] 가능하게 된 취지의 정보를 송신한다. 그리고, 청소 작업에 계속 상기 천정 반송차(3)의 유지보수 작업을 행하는 경우에는, 하우징(14)의 외측면에 설치된 도시하지 않은 승강 지령 스위치에 의해 하강 지령을 지령하여 승강체(9)를 반송차 인출용 높이로 하강시키고, 유지보수용 대차(18)에 이동 조작하여, 천정 반송차(3)를, 유지보수 작업을 행하는 개소 등으로 이동시키면 된다.

[다른 실시형태]

이상, 발명자에 의해 행해진 발명을 발명의 실시형태에 기초하여 구체적으로 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 여러 가지 변경 가능하다. 이하, 본 발명의 다른 실시형태를 예시한다.

(1) 상기 실시형태에서는, 천정 반송차의 청소 장치에 있어서의 구획체가 진입구와 퇴출구를 겸용한 개구를 구비한 것을 예시했지만, 구획체가 진입구와 퇴출구를 별개로 구비한 것이라도 된다. 즉, 천정 반송차의 주행 경로가 구획체를 관통하도록, 주행 경로의 도중 개소에 구획체를 설치하여, 구획체에서의 주행 방향의 전후 양 단부에 진입구 및 퇴출구를 설치한 통과식의 청소 장치라도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는 청소 장치가 바닥면에 세워 설치된 구획체 내에 설치된 것을 예시했지만, 구획체는, 천정으로부터 현수(懸垂) 지지된 것이라도 된다.

(2) 상기 실시형태에서는, 공기 분출 장치가 유지보수용의 승강 장치에 있어서의 하우징 내에 설치된 것을 예시했지만, 그 대신에, 공기 분출 장치가 청소 전용의 장치에 설치된 것이라도 된다.

(3) 상기 실시형태에서는, 작업자가 지령하는 수동 운전 지령에 의해, 천정 반송차를 청소 개소에 주행시키는 것을 예시했지만, 그 대신에, 천정 반송차의 주행을 관리하는 관리 장치[예를 들면, 상기 실시형태에 있어서의 천정 반송차 컨트롤러(H2)에 의해 구성할 수 있음]에 의해, 복수의 천정 반송차의 각각의 누적 주행량을 관리하고, 누적 주행량이 청소 시기 판별용으로 설정된 설정 주행량에 도달한 천정 반송차를 청소 장치에 주행시키기 위해 천정 반송차의 주행을 제어해도 된다.

또한, 청소 시기 판별용으로 설정된 설정 주행량에 달했는지의 여부의 판별 조건 대신에, 관리 장치가, 주행 경로 상에 복수 또는 단일의 주행량 계측용 개소를 설정하고, 주행량 계측용 개소를 통과한 횟수에 기초하여 청소 시기를 판별하도록 구성해도 된다. 이 경우, 주행량 계측용 개소에 광센서 등으로 구성된 통과 검출 장치를 설치하여, 천정 반송차의 주행을 관리하는 관리 장치가, 통과 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 각 천정 반송차의 주행량 계측용 개소를 통과한 횟수를 관리하면 된다.

(4) 상기 실시형태에서는, 공기 분출 장치의 청소 작동을 제어하는 제어 장치가, 공기 분출 장치의 청소 작동을 개시하게 한 후, 먼지 농도 계측 장치의 계측 정보에 기초하여, 차폐 공간에서의 먼지의 농도가 설정 먼지 농도까지 저하된 것으로 판별하면 공기 분출 장치의 청소 작동을 종료시키는 것을 예시했지만, 공기 분출 장치의 청소 작동을 개시하게 한 후, 계시(計時) 장치에 의해 설정 시간 경과하면 공기 분출 장치의 청소 작동을 종료시키는 것이라도 된다.

(5) 상기 실시형태에서는, 공기 분출 장치가, 노즐이 회전 조작됨으로써 분출 대상 개소를 변경 가능한 것을 예시했지만, 그 대신에 또는 부가하여, 노즐을 상하 또는 좌우로 이동함으로써 분출 대상 개소를 변경 가능한 것이라도 된다. 또한, 노즐은, 분출 대상 개소를 변경할 수 없는 것이라도 된다.

(6) 상기 실시형태에서는, 공기 분출 장치가, 승강 기구에 의해 승강 조작되는 승강체와 일체 승강 가능하게 설치된 것을 예시했지만, 그 대신에, 공기 분출 장치가, 구획체에 대하여 고정된 것이라도 된다. 이 경우도, 노즐은, 분출 대상 개소를 변경 가능하게 해도 되고, 분출 대상 개소를 변경할 수 없는 것이라도 된다.

C 공기 분출 장치
K 구획체
Z1 외부 공간
Z2 차폐 공간
H1 제어 장치
2 주행 레일
3 천정 반송차
10 승강 기구
12 팬 필터 유닛
14 하우징
15 진입구, 퇴출구
17 진입구 개폐 장치, 퇴출구 개폐 장치
20 노즐
23 먼지 농도 계측 장치

Claims

청정실 내의 천정측에 설치된 주행 레일을 따라 주행하는 천정 반송차(搬送車)에 대하여 공기를 분출하는 공기 분출 장치를 구비하고, 상기 천정 반송차를 청소하는 청소 장치로서,
외부 공간으로부터 차폐(遮蔽)된 차폐 공간을 형성하는 구획체가 설치되고,
상기 구획체는, 상기 천정 반송차가 주행 이동에 의해 상기 차폐 공간으로 진입 가능하게 구성되며,
상기 공기 분출 장치는, 상기 차폐 공간에서 주행 정지 상태의 상기 천정 반송차에 대하여 청소 작동하고,
상기 주행 레일 상을 주행하는 상기 천정 반송차가 진입 가능한 하우징을 구비하고, 상기 천정 반송차를 바닥측으로 이탈시키는 승강 기구를 상기 하우징 내에 구비한 유지보수용의 승강 장치가 설치되고,
상기 차폐 공간이, 상기 구획체로서의 상기 하우징에 의해 형성되고,
상기 공기 분출 장치가 상기 하우징 내에 설치되어 있는,
청소 장치.
제1항에 있어서,
상기 차폐 공간 내의 공기를 흡입하여 상기 차폐 공간 밖으로 배출하는 팬과 배출된 상기 공기를 정화하는 필터를 구비하는 팬 필터 유닛이, 상기 구획체에 구비되어 있는, 청소 장치.
제2항에 있어서,
상기 구획체에는, 상기 천정 반송차가 상기 차폐 공간으로 진입하는 진입구와 상기 천정 반송차가 상기 차폐 공간으로부터 퇴출하는 퇴출구가 설치되고,
상기 진입구를 개방하는 개방 상태와 폐쇄하는 폐쇄 상태로 전환 가능한 진입구 개폐 장치와, 상기 퇴출구를 개방하는 개방 상태와 폐쇄하는 폐쇄 상태로 전환 가능한 퇴출구 개폐 장치와, 상기 진입구 개폐 장치 및 상기 퇴출구 개폐 장치의 개폐 작동 및 상기 공기 분출 장치의 청소 작동을 제어하는 제어 장치와, 상기 차폐 공간에서의 먼지의 농도를 계측하는 먼지 농도 계측 장치를 구비하고,
상기 제어 장치는, 상기 천정 반송차가 상기 차폐 공간에 정지한 상태에서 상기 진입구 개폐 장치 및 상기 퇴출구 개폐 장치를 상기 폐쇄 상태로 할 수 있도록, 상기 진입구 개폐 장치 및 상기 퇴출구 개폐 장치의 작동을 제어한 후, 상기 공기 분출 장치의 청소 작동을 개시하게 하기 위해, 상기 공기 분출 장치의 작동을 제어하는 동시에,
상기 제어 장치는, 상기 공기 분출 장치의 청소 작동을 개시하게 한 후, 상기 먼지 농도 계측 장치의 계측 정보에 기초하여, 상기 차폐 공간에서의 먼지의 농도가 설정 먼지 농도까지 저하된 것으로 판별하면, 상기 공기 분출 장치의 청소 작동을 종료시키기 위해, 상기 공기 분출 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는, 청소 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 공기 분출 장치는, 공기를 분출하는 노즐을, 분출 대상 개소(箇所)를 변경 가능한 상태로, 복수 구비하여 구성되어 있는, 청소 장치.
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