TWI751919B - 接觸式電軌高架搬運車（ｏｈｔ）集塵系統 - Google Patents

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Abstract

一種接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，係包含有：一電軌軌道，集電弓與該電軌軌道內的電軌導通電流，其組成一接觸式電軌；至少一集塵系統總成，該集塵系統總成包含設有複數個集塵馬達、一落塵偵測模組、一輸出模組及一分析模組相互電連結，該集塵馬達內設一集塵濾心、一電流偵測檢知及一驅動模組，該落塵偵測模組包含設有複數個偵測檢知，該驅動模組啟動該集塵馬達，用以清除接觸式電軌所產生的微粒及粉塵，該落塵偵測模組進行偵測落塵，俾能確實掌握落塵分佈的實際狀況。

Description

接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統
本發明係屬高架搬運車(Overhead Hoist Transfer，OHT)之技術領域，尤指其技術上提供一種接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，透過在高架搬運車(OHT)上裝設分散式之落塵偵測模組來判斷並監控落塵量；藉由在集塵馬達裝設電流偵測檢知，進行各項集塵馬達之健康管理功能，達到主動式保護集塵馬達之功效。
近年來全球半導體產業競爭激烈，除了先進製程技術日新月異，工廠智能化也需與時俱進，高架搬運車(OHT)能有效地利用廠房立體空間，在不占用人員走道的前提下，將無塵室內的空間使用率最大化。此一系統原先被廣泛的使用在12吋半導體前段晶圓廠內之物料搬送，惟半導體產業後段封裝與測試製程亦有感於人力需求孔急，為節省人力亦紛紛跟進採用高架搬運車(OHT)。
按，習知高架搬運車(OHT)可區分為非接觸(High Efficiency Inductive Power Distribution Technology，HID)式高架搬運車(OHT)及接觸式電軌高架搬運車(OHT)二 種類型，非接觸(HID)式高架搬運車(OHT)主要透過非接觸式供電來提供高架搬運車(OHT)行進動力之使用，因供電設備與高架搬運車(OHT)未產生實體接觸的情形，所以較不容易產生微粒或落塵，藉由此無接觸的特性來達到減少落塵，得以實現落塵量少的功能。所以習知非接觸(HID)式高架搬運車(OHT)的優點包括：(1)落塵量少。(2)不會產生火花現象。(3)具有模組化的型式，但亦具有如下述的缺點：(1)設備價格昂貴。(2)後續維護設備成本高(需要更換電力轉換部件)。(3)沒有針對落塵在行進中或動作中進行偵測。
習知接觸式電軌高架搬運車(OHT)，係透過集電弓接觸到電軌後產生電力提供高架搬運車(OHT)行進使用，高架搬運車(OHT)在行進過程中會因為接觸產生落塵現象。因此，習知接觸式電軌高架搬運車(OHT)其優點為：(1)設備價格低廉。(2)後續維護成本低。(3)具有模組化的型式，惟其缺點為：(1)落塵量高。(2)有產生火花風險。(3)沒有針對落塵在行進中或動作中進行偵測。
習知針對接觸式電軌落塵之管控落塵方式有：(1)採用集塵系統：其使用市售吸塵器集塵，優點為可將落塵做集中，缺點包括：(a)落塵區域未設有對應的感測檢知。(b)驅動馬達部份未設有對應的感測檢知。(c)集塵濾心部份未設有對應的感測檢知。(2)採用落塵鈑金遮片：使用鈑金形式做遮蔽，優點為可將落塵量集中，缺點為落塵 區域未設有對應的感測檢知。
是以，針對上述習知高架搬運車(OHT)結構所存在之問題點，如何開發一種更具理想實用性之創新結構，實消費者所殷切企盼，亦係相關業者須努力研發突破之目標及方向。
有鑑於此，發明人本於多年從事相關產品之製造開發與設計經驗，針對上述之目標，詳加設計與審慎評估後，終得一確具實用性之本發明。
習知高架搬運車(OHT)，針對落塵區域未設有對應的感測檢知，驅動馬達部份未設有對應的感測檢知，集塵濾心部份未設有對應的感測檢知，導致驅動馬達易故障及落塵汙染生產環境，嚴重影響產品品質及生產效率，實有加以改良的必要。
為改善上述之問題，本發明提供一種接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，係包含有：一電軌軌道，該電軌軌道設置於廠房之高架位置，至少一高架搬運車(OHT)可運行地組設於該電軌軌道上，對應至少一該高架搬運車(OHT)上方設有至少一集電弓，至少一該集電弓與該電軌軌道內的電軌導通電流，其組成一接觸式電軌。
至少一集塵系統總成，對應至少一該高架搬運 車(OHT)上設有至少一集塵系統總成，該集塵系統總成包含設有複數個集塵馬達、一落塵偵測模組、一輸出模組及一分析模組相互電連結，該輸出模組及該分析模組直接訊號連結外部之一中央控制分析系統，各該集塵馬達裝設於該高架搬運車(OHT)上方，用以清除該接觸式電軌所產生的微粒及粉塵，該集塵馬達內設一集塵濾心、一電流偵測檢知及一驅動模組，該落塵偵測模組包含設有複數個偵測檢知，各該偵測檢知分別固設於該高架搬運車(OHT)之殼體上，該驅動模組啟動該集塵馬達，該落塵偵測模組進行偵測落塵，同時該電流偵測檢知監控該集塵馬達電流，並判斷該集塵馬達電流是否超過該分析模組的最大電流定義值MAX(A)，如無過載現象則該集塵濾心可持續使用，如有過載問題則可能為該集塵馬達損壞或該集塵濾心阻塞。
前述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中各該集塵馬達設置於該高架搬運車(OHT)殼體上方的兩側。
前述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中各該偵測檢知分別固設於該高架搬運車(OHT)殼體下方兩側之內壁或該集電弓下方之該高架搬運車(OHT)殼體上。
前述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中各該偵測檢知採分散式偵測，以便於進行多個點 之區域性偵測。
前述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中該集塵濾心處設有一濾心偵測檢知，該濾心偵測檢知使用週期偵測方式或即時偵測方式，可採取監控該集塵馬達電流或使用時數之計數方式偵測。
前述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中該集塵濾心係為可更換式濾芯。
前述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中該輸出模組係為RS485通訊埠及輸出入(IO)界面。
本發明之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，透過在高架搬運車(OHT)上裝設分散式之落塵偵測模組來判斷並監控落塵量，可透過將偵測結果傳送到中央控制分析系統進行監控及管控行為模式為禁行或允行或保養，使其得以優於現有非接觸(HID)式或接觸式電軌高架搬運車(OHT)；藉由在集塵馬達加設電流偵測檢知，進行各項集塵馬達之健康管理功能，可透過傳送到中央控制分析系統進行監控及管控，優於習知高架搬運車(OHT)，且應用主動式保護集塵馬達，可在異常前提前預知，以確保集塵馬達得以正常運作；其集塵濾心設監控偵測之濾心偵測檢知，採用監控馬達電流或使用時數計數，可透過傳送到中央控制分析系統進行監控及管控，充分掌握集塵濾心使用狀況，優於習知高架搬運車(OHT)，可達到 主動式集塵濾心最佳效能。
有關本發明所採用之技術、手段及其功效，茲舉一較佳實施例並配合圖式詳細說明於後，相信本發明上述之目的、構造及特徵，當可由之得一深入而具體的瞭解。
10:接觸式電軌
11:電軌軌道
12:高架搬運車(OHT)
121:集電弓
20:集塵系統總成
30:集塵馬達
31:集塵濾心
311:濾心偵測檢知
32:電流偵測檢知
33:驅動模組
40:落塵偵測模組
41:偵測檢知
50:輸出模組
60:分析模組
70:中央控制分析系統
〔第1圖〕係本發明其一實施例之立體示意圖。
〔第2圖〕係本發明其一實施例之前視平面示意圖。
〔第3圖〕係本發明其一實施例之系統方塊圖。
本發明係提供一種接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統之設計者。
為使 貴審查委員對本發明之目的、特徵及功效能夠有更進一步之瞭解與認識，茲配合實施方式及圖式詳述如後：參閱第1至第3圖所示，本發明提供一種接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，係包含有：一電軌軌道11，該電軌軌道11設置於廠房之高架位置，至少一高架搬運車(OHT)12可運行地組設於該電軌軌道11上，對應至少一該高架搬運車(OHT)12上方設有至少一集電弓121，至少一該集電弓121與該電軌軌道11內的電軌導通電流，其組成一接觸式電軌10。
至少一集塵系統總成20，對應至少一該高架搬運車(OHT)12上設有至少一集塵系統總成20，該集塵系統總成20包含設有複數個集塵馬達30、一落塵偵測模組40、一輸出模組50及一分析模組60相互電連結，該輸出模組50及該分析模組60直接訊號連結外部之一中央控制分析系統70，各該集塵馬達30裝設於該高架搬運車(OHT)12上方，較佳地各該集塵馬達30設置於該高架搬運車(OHT)12殼體上方的兩側，用以清除該接觸式電軌10由於該高架搬運車(OHT)12運行所產生的微粒及粉塵，該集塵馬達30內設一集塵濾心31、一電流偵測檢知32及一驅動模組33，該落塵偵測模組40包含設有複數個偵測檢知41，各該偵測檢知41分別固設於該高架搬運車(OHT)12之殼體上，較佳地各該偵測檢知41分別固設於該高架搬運車(OHT)12殼體下方兩側之內壁或該集電弓121下方之該高架搬運車(OHT)12殼體上，各該偵測檢知41採分散式偵測，以便於進行多個點之區域性偵測，俾能更精準地掌握落塵分佈的實際狀況，該驅動模組33啟動該集塵馬達30，該落塵偵測模組40進行偵測落塵，同時該電流偵測檢知32監控該集塵馬達30電流，並判斷該集塵馬達30電流是否超過該分析模組60的最大電流定義值MAX(A)，如無過載現象則該集塵濾心31可持續使用，如有過載問題則可能為該集塵馬達30損壞或該集塵濾心31阻塞，可即時進行相關處置。
前述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系 統，其中該集塵濾心31處設有一濾心偵測檢知311，該濾心偵測檢知311使用週期偵測方式或即時偵測方式，可採取監控該集塵馬達30電流或使用時數之計數方式偵測。
前述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中該集塵濾心31係為可更換式濾芯。
前述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中該輸出模組50係為RS485通訊埠及輸出入(IO)界面。
本發明之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，透過在高架搬運車(OHT)12上裝設分散式之落塵偵測模組40來判斷並監控落塵量，可透過將偵測結果傳送到中央控制分析系統70進行監控及管控行為模式為禁行或允行或保養，使其得以優於現有非接觸(HID)式或接觸式電軌高架搬運車(OHT)。
本發明之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，藉由在集塵馬達30加設電流偵測檢知32，進行各項集塵馬達30之健康管理功能，可透過傳送到中央控制分析系統70進行監控及管控，優於習知高架搬運車(OHT)，且應用主動式保護集塵馬達30，可在異常前提前預知，以確保集塵馬達30得以正常運作。
本發明之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其集塵濾心31設監控偵測之濾心偵測檢知311，採用監控馬達電流或使用時數計數，可透過傳送到中央控制分析 系統70進行監控及管控，充分掌握集塵濾心31使用狀況，優於習知高架搬運車(OHT)，可達到主動式集塵濾心最佳效能。
由其上述可知，本發明之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，確為業界首見而符合發明專利之新穎性要件者，而其全面性之創新設計，符合發明專利之進步性要件，而其落塵區域、集塵馬達及集塵濾心都設有偵測檢知，使監控及管控落塵優於習知非接觸(HID)式或接觸式電軌高架搬運車(OHT)，符合較佳之產業利用性者。
前文係針對本發明之較佳實施例為本發明之技術特徵進行具體之說明；惟，熟悉此項技術之人士當可在不脫離本發明之精神與原則下對本發明進行變更與修改，而該等變更與修改，皆應涵蓋於如下申請專利範圍所界定之範疇中。
綜上所述，本發明係提供一種接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其確已達到本發明之所有目的，另其組合結構之空間型態未見於同類產品，亦未曾公開於申請前，已符合專利法之規定，爰依法提出申請。
10:接觸式電軌
11:電軌軌道
12:高架搬運車(OHT)
121:集電弓
30:集塵馬達
41:偵測檢知

Claims (8)

  1. 一種接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，包括：一電軌軌道，該電軌軌道設置於廠房之高架位置，至少一高架搬運車(OHT)可運行地組設於該電軌軌道上，對應至少一該高架搬運車(OHT)上方設有至少一集電弓，至少一該集電弓與該電軌軌道內的電軌導通電流，其組成一接觸式電軌；及至少一集塵系統總成，對應至少一該高架搬運車(OHT)上設有至少一集塵系統總成，該集塵系統總成包含設有複數個集塵馬達、一落塵偵測模組、一輸出模組及一分析模組相互電連結，該輸出模組及該分析模組直接訊號連結外部之一中央控制分析系統，各該集塵馬達裝設於該高架搬運車(OHT)上方，用以清除該接觸式電軌所產生的微粒及粉塵，該集塵馬達內設一集塵濾心、一電流偵測檢知及一驅動模組，該落塵偵測模組包含設有複數個偵測檢知，各該偵測檢知分別固設於該高架搬運車(OHT)之殼體上，該驅動模組啟動該集塵馬達，該落塵偵測模組進行偵測落塵，同時該電流偵測檢知監控該集塵馬達電流，並判斷該集塵馬達電流是否超過該分析模組的最大電流定義值。
  2. 如請求項1所述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中該集塵濾心處設有一濾心偵測檢知，該濾心偵測檢知可採取監控該集塵馬達電流或使用時數之計數方式偵測。
  3. 如請求項2所述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中該濾心偵測檢知係使用週期偵測方式或即時偵測方式。
  4. 如請求項2或3所述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中該集塵濾心係為可更換式濾芯。
  5. 如請求項1所述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中該輸出模組係為RS485通訊埠及輸出入(IO)界面。
  6. 如請求項1所述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中各該集塵馬達設置於該高架搬運車(OHT)殼體上方的兩側。
  7. 如請求項1所述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中各該偵測檢知分別固設於該高架搬運車(OHT)殼體下方兩側之內壁或該集電弓下方之該高架搬運車(OHT)殼體上。
  8. 如請求項1所述之接觸式電軌高架搬運車(OHT)集塵系統，其中各該偵測檢知採分散式偵測，以便於進行多個點之區域性偵測。
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