JP2013216446A - 清掃装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】塵埃が周囲に飛散することを防止できる清掃装置を提供する。
【解決手段】物品支持台4の清掃対象箇所を覆うカバー体22と、カバー体22に囲まれた領域内において清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風手段Fと、送風手段Fの送風により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段24とを備えて構成する。
【選択図】図5
【解決手段】物品支持台4の清掃対象箇所を覆うカバー体22と、カバー体22に囲まれた領域内において清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風手段Fと、送風手段Fの送風により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段24とを備えて構成する。
【選択図】図5
Description
本発明は、走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品支持用の支持体の下降作動により前記支持体にて支持している物品を物品支持台に載置させる形態で受け渡し自在に構成された物品搬送車の前記支持体にて支持される被支持部を備え、前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の下降作動により前記物品支持台上に移動自在に構成され、前記物品支持台上に位置する状態で前記物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃する清掃装置に関する。
かかる清掃装置は、物品搬送車にて物品が搬送される物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃するものであり、物品搬送車の支持体にて支持される被支持部を備えて、物品を搬送するための物品搬送車を利用して清掃対象箇所に搬送されるようになっているものである。
そして、このような清掃装置において、従来では、清掃対象箇所に存在する塵埃を掃き出すための掃出部を備えて、掃出部が清掃対象箇所に接触した状態で物品搬送車に備えられた移載装置の出退作動により水平方向に移動することで、塵埃を清掃対象箇所から掃き出して清掃対象箇所を清掃するように構成されているものがある(例えば、特許文献1参照。)。
そして、このような清掃装置において、従来では、清掃対象箇所に存在する塵埃を掃き出すための掃出部を備えて、掃出部が清掃対象箇所に接触した状態で物品搬送車に備えられた移載装置の出退作動により水平方向に移動することで、塵埃を清掃対象箇所から掃き出して清掃対象箇所を清掃するように構成されているものがある(例えば、特許文献1参照。)。
しかしながら、上記従来の清掃装置は、掃出部にて清掃対象箇所から塵埃を掃き出すように構成されており、清掃対象箇所から掃き出された塵埃が周囲に飛散するため、飛散した塵埃が床面上に落下する等、飛散した塵埃により清掃対象箇所の周囲を汚損してしまう問題があった。
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、塵埃が周囲に飛散することを防止できる清掃装置を提供する点にある。
本発明にかかる清掃装置は、走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品支持用の支持体の下降により前記支持体にて支持している物品を物品支持台に載置させる形態で受け渡し自在に構成された物品搬送車の前記支持体にて支持される被支持部を備え、前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の下降により前記物品支持台上に移動自在に構成され、前記物品支持台上に位置する状態で前記物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃するものであって、その第1特徴構成は、
前記物品支持台の前記清掃対象箇所を覆うカバー体と、前記カバー体にて前記正そう対象箇所を覆った状態で前記カバー体に囲まれた領域内において前記清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風手段と、前記送風手段の送風により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段とを備えて構成されている点にある。
前記物品支持台の前記清掃対象箇所を覆うカバー体と、前記カバー体にて前記正そう対象箇所を覆った状態で前記カバー体に囲まれた領域内において前記清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風手段と、前記送風手段の送風により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段とを備えて構成されている点にある。
すなわち、物品支持台の清掃を行う清掃装置は、物品搬送車の支持体にて支持された状態で支持体が下降することより物品支持台に受け渡され、物品支持台の清掃が完了した清掃装置は、物品搬送車の支持体にて支持された状態で支持体が上昇作動することにより物品支持台から受け取られるようになっている。このように、清掃装置は、物品を搬送する物品搬送車にて物品支持台に搬送されるようになっている。
そして、清掃装置を物品支持台に受け渡してカバー体にて清掃対象箇所を覆った状態で、送風手段にて清掃対象箇所に向けて送風することで、物品支持台の上面の清掃対象箇所に存在していた塵埃がカバー体内で巻き上げられ、その巻き上げられた塵埃は塵埃回収手段にて回収されるため、塵埃が周囲に飛散することを防止できる。
本発明にかかる清掃装置の第2特徴構成は、第1特徴構成において、前記塵埃回収手段が、前記送風手段の上方に形成される集塵用空間に備えられ、前記送風手段が、前記集塵用空間の空気を吸引して前記塵埃回収手段を通過させて前記送風手段より下方に位置する前記清掃対象箇所に向けて空気を送風するように構成され、前記清掃対象箇所に向けて送風された空気を前記送風手段の横側方を通して前記集塵用空間に案内する空気案内経路を備えて構成されている点にある。
すなわち、送風手段にて清掃対象箇所に向けて送風された空気は、送風手段の横側方を通して集塵用空間に案内された後、清掃手段に吸引されて清掃対象箇所に向けて送風される。つまり、送風手段により清掃対象箇所に向けて送風されて、巻き上げられた塵埃を含む空気は集塵用空間における塵埃回収手段を通過することで塵埃が回収され、再び、送風手段により清掃対象箇所に向けて送風される。このようにカバー体内で空気を循環させて塵埃を集塵するように構成されているため、カバー体に、外部空間から内部空間に空気を給気するための給気部や、内部空間から外部空間に空気を排気する排気部を備える必要がないため、カバー体の構成の簡素化を図ることができる。
本発明にかかる清掃装置の第3特徴構成は、第1又は第2特徴構成において、前記カバー体の下端部が、前記カバー体の内部空間と外部空間とを遮蔽するべく前記物品支持台の上面の形状に沿って変形自在に構成されている点にある。
すなわち、物品支持台の上面には凹凸が形成されている場合があるが、カバー体の下端部は物品支持台の上面の形状に沿って変形することができため、物品支持台に載置された清掃装置が物品支持台の上面に形成された凹凸に乗り上げることにより傾いた姿勢で載置されることが防止される。そのため、物品支持台の上面に凹凸が形成されていても、清掃装置を清掃に適した姿勢で物品支持台に載置することができ、清掃対象箇所を適切に清掃し易い。
本発明にかかる清掃装置の第4特徴構成は、第1〜第3特徴構成のいずれか1つにおいて、前記送風手段が、塵埃を除去する除塵フィルタとその除塵フィルタを通して前記清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風ファンとを一体的に組み付けたファンフィルタユニットにて構成されている点にある。
すなわち、除塵フィルタを通して清掃対象箇所に向けて空気を送風するため、塵埃回収手段にて回収できなかった塵埃を除塵フィルタにて除去することができ、清掃対象箇所にはクリーンな空気を供給することができるため、清掃対象箇所を適切に清掃することができる。
そして、送風手段として、除塵フィルタと送風ファンとを一体的に組み付けたファンフィルタユニットを備えるだけでよいので、塵埃フィルタと送風ファンとを備えた送風手段の設置が簡単なものとなる。
そして、送風手段として、除塵フィルタと送風ファンとを一体的に組み付けたファンフィルタユニットを備えるだけでよいので、塵埃フィルタと送風ファンとを備えた送風手段の設置が簡単なものとなる。
本発明にかかる清掃装置の第5特徴構成は、第1〜第4特徴構成のいずれか1つにおいて、前記送風手段が、縦軸心周りで回転する送風ファンを備え且つ前記清掃装置が前記物品支持台に載置された状態において前記清掃対象箇所から上方に間隔を隔てた箇所に設けられ、前記送風手段の下端面が多孔状の板状体にて覆われている点にある。
すなわち、送風手段の下端面が多孔状の板状体にて覆われており、送風手段と板状体との間に空気が溜まるチャンバー室が形成される。そのため、送風ファンに対して清掃対象箇所の面積が広い場合でも、チャンバー室の機能により清掃対象箇所の広範囲にわたって均一化された空気を供給することができる。
本発明にかかる清掃装置の第6特徴構成は、第1〜第5特徴構成のいずれか1つにおいて、前記送風手段の作動を制御する制御手段と、前記送風手段に対して電力を供給するバッテリーと、前記清掃装置が前記物品支持台上に移動されたことを検出する移動検出手段とを備え、前記制御手段が、前記移動検出手段にて前記清掃装置が前記物品支持台上に移動したことが検出されるに伴って前記送風手段を作動させ、前記送風手段の作動開始から設定時間経過後に前記送風手段の作動を停止させるべく、前記送風手段の作動を制御するように構成されている点にある。
すなわち、バッテリーが備えられているため、例えば物品搬送車から清掃装置に給電を行うための給電線を設ける等の必要がなく、清掃装置を取り扱い易いものとなる。
そして、移動検出手段にて清掃装置が物品支持台上に移動が検出されると送風手段が作動し、その送風手段の作動開始から設定時間経過後に送風手段の作動が停止される。よって、送風手段は、物品支持台上に移動する前、及び、物品支持台上に移動されて清掃対象箇所を清掃するのに必要な設定時間が経過した後は作動が停止されるため、省電力化を図ることができる。
そして、移動検出手段にて清掃装置が物品支持台上に移動が検出されると送風手段が作動し、その送風手段の作動開始から設定時間経過後に送風手段の作動が停止される。よって、送風手段は、物品支持台上に移動する前、及び、物品支持台上に移動されて清掃対象箇所を清掃するのに必要な設定時間が経過した後は作動が停止されるため、省電力化を図ることができる。
以下、本発明にかかる清掃装置を備えた物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1〜図4に示すように、物品搬送設備には、天井側に配設された走行レール2に案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在な物品搬送車としての天井搬送車1と、基板に対して処理を行う処理装置3に隣接する状態で床側に設けられた物品支持台4と、物品支持台4上を清掃する清掃装置5(図4参照)とが設けられている。
図1〜図4に示すように、物品搬送設備には、天井側に配設された走行レール2に案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在な物品搬送車としての天井搬送車1と、基板に対して処理を行う処理装置3に隣接する状態で床側に設けられた物品支持台4と、物品支持台4上を清掃する清掃装置5(図4参照)とが設けられている。
物品として、複数枚の基板を収納した基板収納容器6が天井搬送車1にて搬送されており、具体的には、半導体ウェハーを収容したFOUP(Front Opening Unified Pod)が搬送されている。
基板収納容器6の上面には、天井搬送車1の支持体としての支持機構14にて支持されるトップフランジ7が形成され、基板収納容器6の底面には、物品支持台4に備えられた突起部が係合する容器凹入部が備えられている。
基板収納容器6の上面には、天井搬送車1の支持体としての支持機構14にて支持されるトップフランジ7が形成され、基板収納容器6の底面には、物品支持台4に備えられた突起部が係合する容器凹入部が備えられている。
〔天井搬送車〕
図2及び図3に示すように、天井搬送車1は、走行レール2上を走行経路に沿って走行する走行部11と、走行レール2の下方に位置するように走行部11に吊り下げ支持され且つ基板収納容器6を昇降移動自在に支持する本体部12とを備えて構成されている。
図2及び図3に示すように、天井搬送車1は、走行レール2上を走行経路に沿って走行する走行部11と、走行レール2の下方に位置するように走行部11に吊り下げ支持され且つ基板収納容器6を昇降移動自在に支持する本体部12とを備えて構成されている。
本体部12には、基板収納容器6を支持する支持機構14と、支持機構14を昇降移動させる昇降操作機構15と、搬送用位置に位置する基板収納容器6の上方側及び走行経路長手方向の両側を覆うカバー部16と、支持機構14にて支持された基板収納容器6の落下を防止する落下防止体17と、支持機構14にて支持された基板収納容器6の揺れを防止する揺れ防止体18とを備えて構成されている。
支持機構14には、横軸心周りに揺動自在な一対の把持爪14aが備えられており、一対の把持爪14aは、互いに接近するように揺動して基板収納容器6のトップフランジ7を把持する把持姿勢と、互いに離間するように揺動してトップフランジ7に対する把持を解除する解除姿勢とに姿勢変更自在に構成されている。
昇降操作機構15は、先端部に支持機構14を連結支持した巻き取りベルト15aを巻取り及び繰出し自在に構成されており、巻き取りベルト15aを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構14を昇降移動させるように構成されている。図1に示すように、巻き取りベルト15aを巻き取った状態では、支持機構14に支持された基板収納容器6はカバー部16内の搬送用位置に位置している。
落下防止体17は、搬送用位置の基板収納容器6の直下に位置する受止位置(図2参照)と、支持機構14の昇降による基板収納容器6の昇降経路から退避させた退避位置(図3参照)とに位置変更自在に構成されている。そして、落下防止体17を受止位置に位置させることで、天井搬送車1の走行中に支持機構14による支持が外れても基板収納容器6を落下防止体17にて受け止めることで基板収納容器6の落下を防止することができ、落下防止体17を退避位置に位置させることで、支持機構14を昇降移動させて基板収納容器6を物品支持台4に受け渡すことや物品支持台4から基板収納容器6を受け取ることができるようになっている。
揺れ防止体18は、搬送用位置の基板収納容器6に対して走行経路長手方向の両側から接当する接当位置(図2参照)と、搬送用位置の基板収納容器6に対して走行経路長手方向に離間させた離間位置(図3参照)とに位置変更自在に構成されている。そして、揺れ防止体18を接当位置に位置させることで、天井搬送車1の走行中の基板収納容器6の揺れが防止されており、揺れ防止体18を離間位置に位置させることで、支持機構14を昇降移動させて基板収納容器6を物品支持台4に受け渡すことや物品支持台4から基板収納容器6を受け取ることができるようになっている。
天井搬送車1は、支持機構14にて基板収納容器6を支持した状態で走行移動するときは、巻き取りベルト15aが巻き取られ且つ基板収納容器6を把持するべく把持爪14aが把持姿勢になっており、落下防止体17は受止位置に位置し且つ揺れ防止体18は接当位置に位置している。このとき、基板収納容器6は搬送用位置に位置している。
また、天井搬送車1は、支持機構14にて物品を支持していない状態で走行移動するときは、巻き取りベルト15aが巻き取られ且つ把持爪14aが解除姿勢になっており、落下防止体17は退避位置に位置し且つ揺れ防止体18は離間位置に位置している。
また、天井搬送車1は、支持機構14にて物品を支持していない状態で走行移動するときは、巻き取りベルト15aが巻き取られ且つ把持爪14aが解除姿勢になっており、落下防止体17は退避位置に位置し且つ揺れ防止体18は離間位置に位置している。
そして、天井搬送車1が物品支持台4に基板収納容器6を受け渡すときは、天井搬送車1を物品支持台4に対応する停止位置に停止させた状態で、落下防止体17を退避位置に移動させ且つ揺れ防止体18を離間位置に移動させた後、巻き取りベルト15aを繰り出して基板収納容器6を支持する支持機構14を下降移動させて基板収納容器6を物品支持台4に降ろし、把持爪14aを把持解除姿勢に切り換えて基板収納容器6に対する把持を解除し、その後、巻き取りベルト15aを巻き取って基板収納容器6を支持しない支持機構14を上昇移動させることで、基板収納容器6を物品支持台4に受け渡すようになっている。
また、天井搬送車1が物品支持台4から基板収納容器6を受け取るときは、天井搬送車1を物品支持台4の直上に停止させた状態で、巻き取りベルト15aを繰り出して基板収納容器6を支持しない支持機構14を下降移動させた後、把持爪14aを把持姿勢に切り換えて物品支持台4に載置された基板収納容器6を把持し、その後、巻き取りベルト15aを巻き取って基板収納容器6を支持する支持機構14を上昇移動させ、落下防止体17を受止位置に移動させ且つ揺れ防止体18を接当位置に移動させることで、基板収納容器6を物品支持台4から受け取るようになっている。
このように、天井搬送車1は、支持機構14の下降により基板収納容器6を物品支持台4に受け渡し、支持機構14の上昇により基板収納容器6を物品支持台4から受け取るように構成されており、物品支持用の支持機構14の下降により支持機構14にて支持している基板収納容器6を物品支持台4に載置させる形態で受け渡し自在に構成されている。
また、物品支持台4の上面には、清掃装置5にて清掃する清掃対象箇所Eが設定されており、この清掃対象箇所E内に基板収納容器6に係合する3箇所の突起部が位置するように清掃対象箇所Eが設定されている。換言すれば、3箇所の突起部は、物品支持台4の上面における清掃対象箇所Eに備えられている。
〔清掃装置〕
図5に示すように、清掃装置5は、天井搬送車1の支持機構14にて支持される被支持部21を備えて構成されており、被支持部21が支持機構14にて支持された状態で支持機構14の下降により物品支持台4上に移動自在に構成されている。そして、清掃装置5は、物品支持台4上に位置する状態で物品支持台4の上面における清掃対象箇所Eを清掃するように構成されている。
図5に示すように、清掃装置5は、天井搬送車1の支持機構14にて支持される被支持部21を備えて構成されており、被支持部21が支持機構14にて支持された状態で支持機構14の下降により物品支持台4上に移動自在に構成されている。そして、清掃装置5は、物品支持台4上に位置する状態で物品支持台4の上面における清掃対象箇所Eを清掃するように構成されている。
また、清掃装置5は、その外形が天井搬送車1のカバー部16に収まる大きさに形成されており、基板収納容器6と同様に天井搬送車1にて搬送されるように構成されている。つまり、支持機構14にて被支持部21が支持されて清掃装置5が搬送用位置に位置する状態で天井搬送車1が走行移動し、被支持部21が支持機構14にて支持された状態での支持機構14の下降により物品支持台4に受け渡され、被支持部21が支持機構14にて支持された状態での支持機構14の上昇により物品支持台4から受け取られるように構成されている。
清掃装置5は、物品支持台4の清掃対象箇所Eを覆うカバー体22と、カバー体22にて清掃対象箇所Eを覆った状態でカバー体22に囲まれた領域内において清掃対象箇所Eに向けて空気を送風する送風手段23と、送風手段23の送風により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段24とを備えて構成されている。
カバー体22は、内部空間S1を形成する下部分22aと、バッテリー35等が設けられた上部分22bとを備えて構成されている。下部分22aは、側面側及び上面側が閉塞され且つ下面側が開放された形状に形成されて、内部に内部空間S1が形成されている。また、下部分22aは、その下部が四角筒状に形成されており、上部が上方側ほど内部空間S1の横断面積が小さくなる先細り形状に形成されている。
そして、カバー体22は、清掃装置5が物品支持台4に載置された状態において清掃対象箇所Eを覆うように清掃装置5に設けられており、天井板25の上面の中央に、天井搬送車1の支持機構14にて支持される被支持部21が連結されている。
そして、カバー体22は、清掃装置5が物品支持台4に載置された状態において清掃対象箇所Eを覆うように清掃装置5に設けられており、天井板25の上面の中央に、天井搬送車1の支持機構14にて支持される被支持部21が連結されている。
下部分22aにおける周壁の下面には、その全周に亘って上下方向に変形自在な変形部材26が設けられており、この変形部材26は弾性変形自在なスポンジゴムにて構成されている。このようにして、カバー体22の下端部が、カバー体22の内部空間S1と外部空間S0とを遮蔽するべく物品支持台4の上面に沿って変形自在に構成されている。
送風手段23は、塵埃を除去する除塵フィルタ28とその除塵フィルタ28を通して清掃対象箇所Eに空気を送風する送風ファン29とを一体的に組み付けたファンフィルタユニットFにて構成されている。
このファンフィルタユニットFは、カバー体22の天井板25から下方に間隔を隔て、且つ、カバー体22の周壁から横側方に間隔を隔てるとともに、清掃装置5が物品支持台4に載置された状態において清掃対象箇所Eから上方に間隔を隔てた状態となるように、カバー体22の内部空間S1に設けられている。そして、内部空間S1におけるファンフィルタユニットFの上方には集塵用空間30が形成され、内部空間S1におけるファンフィルタユニットFの横側方には、清掃対象箇所Eに向けて送風された空気をファンフィルタユニットFの横側方を通して集塵用空間30に案内する空気案内経路31が形成されている。
このファンフィルタユニットFは、カバー体22の天井板25から下方に間隔を隔て、且つ、カバー体22の周壁から横側方に間隔を隔てるとともに、清掃装置5が物品支持台4に載置された状態において清掃対象箇所Eから上方に間隔を隔てた状態となるように、カバー体22の内部空間S1に設けられている。そして、内部空間S1におけるファンフィルタユニットFの上方には集塵用空間30が形成され、内部空間S1におけるファンフィルタユニットFの横側方には、清掃対象箇所Eに向けて送風された空気をファンフィルタユニットFの横側方を通して集塵用空間30に案内する空気案内経路31が形成されている。
塵埃回収手段24は、集塵用空間30に備えられており、ファンフィルタユニットFの上面側を覆う状態で設けられている。この塵埃回収手段24は、紙等の通気自在な材質にて空気の流動方向の上流側が開口する袋状に形成されており、塵埃回収手段24を通気する空気から塵埃を塵埃回収手段24内に集塵するようになっている。ちなみに、塵埃回収手段24は、着脱自在に構成されており交換可能となっている。
また、ファンフィルタユニットFの下端面は、多孔状の板状体33にて覆われている。この板状体33は、ファンフィルタユニットFの下面側を覆う状態で設けられており、ファンフィルタユニットFから下方に膨出する形状に形成されている。そのため、ファンフィルタユニットFの除塵フィルタ28と板状体33との間にチャンバー室Cが形成されている。
また、ファンフィルタユニットFの下端面は、多孔状の板状体33にて覆われている。この板状体33は、ファンフィルタユニットFの下面側を覆う状態で設けられており、ファンフィルタユニットFから下方に膨出する形状に形成されている。そのため、ファンフィルタユニットFの除塵フィルタ28と板状体33との間にチャンバー室Cが形成されている。
ファンフィルタユニットFは、送風ファン29が縦軸心周りで回転するようにカバー体22に支持されており、送風ファン29を回転させることで、ファンフィルタユニットFの上方に位置する集塵用空間30の空気を吸引し、ファンフィルタユニットFの下方の清掃対象箇所Eに向けて送風するように構成されている。
送風ファン29にて下方の清掃対象箇所Eに向けて供給される空気は、塵埃回収手段24にて回収されなかった細かい塵埃が除塵フィルタ28にて除去されて、清浄化されている。また、送風ファン29から供給される空気に脈動が生じていたとしても、チャンバー室Cの機能によりその脈動が抑えられて、清掃対象箇所Eの広範囲にわたって均一化された空気が供給される。
そして、ファンフィルタユニットFの送風作用により、ファンフィルタユニットFの上方の集塵用空間30では負圧となり、ファンフィルタユニットFの下方の送風用空間32(清掃対象箇所Eの上方の空間)では正圧となる。そのため、送風用空間32の空気が空気案内経路31を通って集塵用空間30に流動する。ファンフィルタユニットFによる清掃対象箇所Eへの空気の供給及び送風用空間32から集塵用空間30への空気の流動により、清掃対象箇所Eに存在していた塵埃が巻き上げられて集塵用空間30に運ばれ、その集塵用空間30に運ばれた塵埃は塵埃回収手段24にて回収されるようになっている。
このように、ファンフィルタユニットFの送風作用により、カバー体22内で空気を循環させて、清掃対象箇所Eの塵埃をカバー体22内で巻き上げて塵埃回収手段24にて塵埃を回収するようになっている。
このように、ファンフィルタユニットFの送風作用により、カバー体22内で空気を循環させて、清掃対象箇所Eの塵埃をカバー体22内で巻き上げて塵埃回収手段24にて塵埃を回収するようになっている。
〔制御装置〕
図6に示すように、物品搬送設備には、天井搬送車1の作動を制御する制御手段としての搬送制御装置H1が設けられている。
搬送制御装置H1は、基板収納容器6を物品支持台4に受け渡す受渡処理と、基板収納容器6を物品支持台4から受け取る受取処理と、清掃装置5を物品支持台4に受け渡した後、予め設定された清掃用待機時間だけ経過した後に清掃装置5を物品支持台4から受け取る清掃処理とを実行するべく、天井搬送車1の作動を制御するように構成されている。
図6に示すように、物品搬送設備には、天井搬送車1の作動を制御する制御手段としての搬送制御装置H1が設けられている。
搬送制御装置H1は、基板収納容器6を物品支持台4に受け渡す受渡処理と、基板収納容器6を物品支持台4から受け取る受取処理と、清掃装置5を物品支持台4に受け渡した後、予め設定された清掃用待機時間だけ経過した後に清掃装置5を物品支持台4から受け取る清掃処理とを実行するべく、天井搬送車1の作動を制御するように構成されている。
受渡処理では、基板収納容器6を支持する天井搬送車1を物品支持台4に対応する停止位置に停止させた状態で、落下防止体17を退避位置に移動させ且つ揺れ防止体18を離間位置に移動させ、巻き取りベルト15aの繰り出した後に把持爪14aの解除姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器6を物品支持台4に受け渡し、その後、巻き取りベルト15aを巻き取られる。
また、受取処理では、基板収納容器6を支持しない天井搬送車1を物品支持台4に対応する停止位置に停止させた状態で、巻き取りベルト15aを繰り出した後に把持爪14aを把持姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器6を物品支持台4から受け取り、その後、巻き取りベルト15aを巻き取り、落下防止体17を受止位置に移動させ且つ揺れ防止体18を接当位置に移動させる。
尚、受渡処理では、物品支持台4に受け渡す清掃装置5は、基板収納容器6を収納する収納部や清掃装置5を保管する専用の保管部から搬送し、受取処理では、物品支持台4から受け取った清掃装置5を収納部や保管部に搬送するようになっている。
また、受取処理では、基板収納容器6を支持しない天井搬送車1を物品支持台4に対応する停止位置に停止させた状態で、巻き取りベルト15aを繰り出した後に把持爪14aを把持姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器6を物品支持台4から受け取り、その後、巻き取りベルト15aを巻き取り、落下防止体17を受止位置に移動させ且つ揺れ防止体18を接当位置に移動させる。
尚、受渡処理では、物品支持台4に受け渡す清掃装置5は、基板収納容器6を収納する収納部や清掃装置5を保管する専用の保管部から搬送し、受取処理では、物品支持台4から受け取った清掃装置5を収納部や保管部に搬送するようになっている。
清掃処理では、図7(a)に示すように、清掃装置5を支持する天井搬送車1を物品支持台4に対応する停止位置に停止させた状態で、落下防止体17を退避位置に移動させ且つ揺れ防止体18を離間位置に移動させ、巻き取りベルト15aを繰り出して清掃装置5を物品支持台4に載置させる。そして、清掃装置5を物品支持台4に受け渡すに伴って、清掃装置5を物品支持台4に受け渡したことを示す受け渡し完了情報を送信装置34から清掃装置5に送信する。
また、清掃処理では、図7(c)に示すように、受け渡し完了情報を清掃装置5に送信してから清掃用待機時間以上経過した後に当該清掃装置5を物品支持台4から受け取るように、基板収納容器6を支持しない天井搬送車1を物品支持台4に対応する停止位置に停止させた状態で、巻き取りベルト15aを繰り出した後に把持爪14aを把持姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器6を物品支持台4から受け取り、その後、巻き取りベルト15aを巻き取り、落下防止体17を受止位置に移動させ且つ揺れ防止体18を接当位置に移動させる。
また、清掃処理では、図7(c)に示すように、受け渡し完了情報を清掃装置5に送信してから清掃用待機時間以上経過した後に当該清掃装置5を物品支持台4から受け取るように、基板収納容器6を支持しない天井搬送車1を物品支持台4に対応する停止位置に停止させた状態で、巻き取りベルト15aを繰り出した後に把持爪14aを把持姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器6を物品支持台4から受け取り、その後、巻き取りベルト15aを巻き取り、落下防止体17を受止位置に移動させ且つ揺れ防止体18を接当位置に移動させる。
清掃装置5には、ファンフィルタユニットF(送風ファン29)の作動を制御する制御手段としての清掃制御装置H2と、ファンフィルタユニットF(送風ファン29を回転駆動させる電動モータ)に対して電力を供給するバッテリー35と、送信装置34から送信される受け渡し完了情報を受信する受信装置36とが設けられている。
図7(b)に示すように、清掃制御装置H2は、搬送制御装置H1からの受け渡し完了情報を受信装置36にて受信するに伴ってファンフィルタユニットFを作動させ、ファンフィルタユニットFの作動開始から設定時間経過後にファンフィルタユニットFの作動を停止させるべく、ファンフィルタユニットFの作動を制御するように構成されている。
そのため、清掃装置5は、天井搬送車1にて物品支持台4に受け渡された後にファンフィルタユニットFを作動させて清掃対象箇所Eを清掃し、ファンフィルタユニットFの作動開始から設定時間経過後にファンフィルタユニットFの作動が停止される。このようにファンフィルタユニットFの作動が停止された後に、当該清掃装置5を物品支持台4に受け渡した天井搬送車1とは別の天井搬送車1にて受け取られるようになっている。
尚、設定時間は、清掃用待機時間より短い時間が設定されている。
また、受信装置36は、清掃装置5が物品支持台4上に移動されるに伴って送信される受け渡し完了情報を受信するものであり、清掃装置5が物品支持台4上に移動されたことを検出する移動検出手段に相当する。
尚、設定時間は、清掃用待機時間より短い時間が設定されている。
また、受信装置36は、清掃装置5が物品支持台4上に移動されるに伴って送信される受け渡し完了情報を受信するものであり、清掃装置5が物品支持台4上に移動されたことを検出する移動検出手段に相当する。
このように、基板収納容器6を搬送する天井搬送車1にて清掃装置5が物品支持台4上に受け渡される。そして、ファンフィルタユニットFを作動させることで、物品支持台4の清掃対象箇所Eに存在する塵埃をカバー体22内で巻き上げて塵埃回収手段24にて回収している。そのため、清掃装置5にて清掃対象箇所Eを清掃したときに塵埃が周囲に飛散しないようになっている。
〔別実施形態〕
(1) 上記実施形態では、塵埃回収手段24を、ファンフィルタユニットFの除塵フィルタ28とは別に設けたが、図8に示すように、ファンフィルタユニットFにおける除塵フィルタ28を塵埃回収手段24としてもよい。
また、清掃対象箇所Eに対して直上から空気を送風したが、図8に示すように、清掃対象箇所Eに対して横側方から空気を送風してもよい。
(1) 上記実施形態では、塵埃回収手段24を、ファンフィルタユニットFの除塵フィルタ28とは別に設けたが、図8に示すように、ファンフィルタユニットFにおける除塵フィルタ28を塵埃回収手段24としてもよい。
また、清掃対象箇所Eに対して直上から空気を送風したが、図8に示すように、清掃対象箇所Eに対して横側方から空気を送風してもよい。
(2) 上記実施形態では、カバー体22内で空気が循環するように構成したが、カバー体22に、内部空間S1から外部空間S0に空気が流動自在な通気部を設け、送風手段23を、外部空間S0の空気を内部空間S1に送風するようにカバー体22に設けて、カバー体22内で空気が循環しないように構成してもよい。ちなみに、この場合では、塵埃回収手段24は通気部に設ける。
(3) 上記実施形態では、送風ファン29を縦軸心周りに回転する状態で送風手段23に備えたが、図8に示すように、送風ファン29を横軸心周りに回転する状態で送風手段23に備えてもよい。
また、上記実施形態では、送風手段23を、送風ファン29と除塵フィルタ28とを一体的に組み付けたファンフィルタユニットFにて構成したが、送風手段23を、送風ファン29のみにて構成してもよく、また、送風手段23を、送風ファン29と除塵フィルタ28とを備えて構成する場合でも、これら送風ファン29と除塵フィルタ28とを個別にカバー体22に取り付けるように構成してもよい。
また、上記実施形態では、送風手段23を、送風ファン29と除塵フィルタ28とを一体的に組み付けたファンフィルタユニットFにて構成したが、送風手段23を、送風ファン29のみにて構成してもよく、また、送風手段23を、送風ファン29と除塵フィルタ28とを備えて構成する場合でも、これら送風ファン29と除塵フィルタ28とを個別にカバー体22に取り付けるように構成してもよい。
(4) 上記実施形態では、変形部材26をスポンジゴムにて構成して、カバー体22の下端部を物品支持台4の上面に沿って変形自在に構成したが、カバー体22の下端部を変形自在にする構成は適宜変更可能であり、例えば、カバー体22の下端部に、棒状又は板状の閉止体を周壁に沿って複数並べて設け、その複数の閉止体の夫々を、下方へは移動が規制され且つ上方へは移動自在な状態でカバー体22の下端から下方に突出するように設け、複数の閉止体の夫々が、物品支持台4の上面に接触することで上方に持ち上げられるようにして、カバー体22の下端部を変形自在に構成してもよい。
また、物品支持台4の上面が平坦な場合では、カバー体22の下端部に変形部材26を設けないようにして、カバー体22の下端部を、上下方向に変形不能に構成してもよい。
また、物品支持台4の上面が平坦な場合では、カバー体22の下端部に変形部材26を設けないようにして、カバー体22の下端部を、上下方向に変形不能に構成してもよい。
(5) 上記実施形態では、送風手段23の下端面を覆う状態で多孔状の板状体33を設けたが、この多孔状の板状体33を設けなくてもよい。
また、板状体33の孔の形状は適宜変更可能であり、パンチングメタルにて構成して丸孔を多数備えたものでもよく、スリット状の孔を複数備えたものでもよい。
また、板状体33の孔の形状は適宜変更可能であり、パンチングメタルにて構成して丸孔を多数備えたものでもよく、スリット状の孔を複数備えたものでもよい。
(6) 上記実施形態では、移動検出手段として、搬送制御装置H1からの受け渡し完了情報を受信する受信装置36を設けたが、移動検出手段として、清掃装置5が物品支持台4上に移載されるに伴ってオン操作される接触式センサ等の物品支持台4に対する清掃装置5の位置を検出する位置検出センサを設けてもよい。
(7) 上記実施形態では、ファンフィルタユニットFの作動開始から予め設定された設定時間経過後にファンフィルタユニットFの作動を停止させたが、清掃装置5にパーティクルカウンタ等の塵埃濃度計測手段を設けて、ファンフィルタユニットFの作動が開始した後、塵埃濃度計測手段にて計測されるカバー体内の塵埃濃度が閾値以下になることでファンフィルタユニットFの作動を停止させてもよい。
(8) 上記実施形態では、物品搬送車を、天井側に配設された走行レール2に沿って走行移動する天井搬送車1とし、巻き取りベルト15aの繰り出し及び巻き取りにより支持体を昇降させたが、物品搬送車を、床面側に配設されたスタッカークレーンとし、昇降台の昇降移動により支持体を昇降させてもよい。
(9) 上記実施形態では、物品支持台4に清掃装置5を受け渡した物品搬送車とは別の物品搬送車にて、物品支持台4から清掃装置5を受け取るようにしたが、物品支持台4に清掃装置5を受け渡した物品搬送車にて、物品支持台4から清掃装置5を受け取るようにしてもよい。
ちなみに、物品搬送設備に清掃装置5を1台だけ設けてもよく複数台設けてもよい。
ちなみに、物品搬送設備に清掃装置5を1台だけ設けてもよく複数台設けてもよい。
1 物品搬送車
2 走行レール
5 物品支持台
6 物品
14 支持体
21 被支持部
22 カバー体
23 送風手段
24 塵埃回収手段
28 除塵フィルタ
29 送風ファン
30 集塵用空間
33 板状体
35 バッテリー
36 移載検出手段
E 清掃対象箇所
F ファンフィルタユニット
H2 制御手段
S0 外部空間
S1 内部空間
2 走行レール
5 物品支持台
6 物品
14 支持体
21 被支持部
22 カバー体
23 送風手段
24 塵埃回収手段
28 除塵フィルタ
29 送風ファン
30 集塵用空間
33 板状体
35 バッテリー
36 移載検出手段
E 清掃対象箇所
F ファンフィルタユニット
H2 制御手段
S0 外部空間
S1 内部空間
Claims (6)
- 走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品支持用の支持体の下降により前記支持体にて支持している物品を物品支持台に載置させる形態で受け渡し自在に構成された物品搬送車の前記支持体にて支持される被支持部を備え、前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の下降により前記物品支持台上に移動自在に構成され、前記物品支持台上に位置する状態で前記物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃する清掃装置であって、
前記物品支持台の前記清掃対象箇所を覆うカバー体と、前記カバー体にて前記清掃対象箇所を覆った状態で前記カバー体に囲まれた領域内において前記清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風手段と、前記送風手段の送風により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段とを備えて構成されている清掃装置。 - 前記塵埃回収手段が、前記送風手段の上方に形成される集塵用空間に備えられ、
前記送風手段が、前記集塵用空間の空気を吸引して前記塵埃回収手段を通過させて前記送風手段より下方に位置する前記清掃対象箇所に向けて空気を送風するように構成され、
前記清掃対象箇所に向けて送風された空気を前記送風手段の横側方を通して前記集塵用空間に案内する空気案内経路を備えて構成されている請求項1記載の清掃装置。 - 前記カバー体の下端部が、前記カバー体の内部空間と外部空間とを遮蔽するべく前記物品支持台の上面の形状に沿って変形自在に構成されている請求項1又は2記載の清掃装置。
- 前記送風手段が、塵埃を除去する除塵フィルタとその除塵フィルタを通して前記清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風ファンとを一体的に組み付けたファンフィルタユニットにて構成されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 前記送風手段が、縦軸心周りで回転する送風ファンを備え且つ前記清掃装置が前記物品支持台に載置された状態において前記清掃対象箇所から上方に間隔を隔てた箇所に設けられ、
前記送風手段の下端面が多孔状の板状体にて覆われている請求項1〜4のいずれか1項に記載の清掃装置。 - 前記送風手段の作動を制御する制御手段と、前記送風手段に対して電力を供給するバッテリーと、前記清掃装置が前記物品支持台上に移動したことを検出する移動検出手段とを備え、
前記制御手段が、前記移動検出手段にて前記清掃装置が前記物品支持台上に移動したことが検出されるに伴って前記送風手段を作動させ、前記送風手段の作動開始から設定時間経過後に前記送風手段の作動を停止させるべく、前記送風手段の作動を制御するように構成されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の清掃装置。
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