JP3882340B2 - クリーンルーム用自動倉庫 - Google Patents
クリーンルーム用自動倉庫 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3882340B2 JP3882340B2 JP15089998A JP15089998A JP3882340B2 JP 3882340 B2 JP3882340 B2 JP 3882340B2 JP 15089998 A JP15089998 A JP 15089998A JP 15089998 A JP15089998 A JP 15089998A JP 3882340 B2 JP3882340 B2 JP 3882340B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- duct
- fan
- trolley
- automatic warehouse
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、多数の物品収納棚を有するラックと、ラックの前面を走行し、物品を物品収納棚に移載するための移載装置とを備えたクリーンルーム用自動倉庫に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、クリーンルーム用自動倉庫としては、ラックの前面を走行し、多数の物品収納棚を有するラックと、物品を物品収納棚に移載するための移載装置とを備えたものが知られている。そして、移載装置への給電には、発塵を防ぐためにケーブル部材が用いられるのが一般的である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
近年、自動倉庫の大型化によって移載装置の移動距離が長くなるとともに、移載装置の高速化が求められており、ケーブル部材を用いた給電方式では対応しきれなくなってきている。
この問題を解決するための給電方式として、トロリと集電子によるものが考えられる。しかし、トロリと集電子を用いた場合、トロリと集電子の摺接部分から金属粉が発塵し、物品に付着して大きなダメージを与える可能性がある。
【0004】
本発明の課題は、移載装置の給電にトロリと集電子による摺接式の給電方式を用いても、自動倉庫内のクリーン度を保つことができるクリーンルーム用自動倉庫を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するために、請求項1に記載の発明においては、多数の物品収納棚を有するラックと、ラックの前方を走行し、物品を物品収納棚に移載するための移載装置とを備えたクリーンルーム用自動倉庫において、
移載装置に給電するためのトロリと、トロリに摺接する移載装置の集電子の移動を許容するスリットを有し、トロリを収納するダクトと、ダクト内の発塵を吸引するファンとを備え、
前記ダクト内の発塵を吸引するファンは、倉庫内の発塵を吸引するためのファンを兼ね、
最下段の物品収納棚の下方に前記ダクトと前記ファンを配設すると共に、前記移載装置の集電子も前記最下段の物品収納棚の下方に配設することを特徴とするものである。
【0006】
請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の発明において、ダクト内であってトロリの下方に粘着手段が設けられていることを特徴とするものである。
【0009】
従って、請求項1に記載の発明では、トロリと集電子の摺接部分からの発塵はダクト内で起こる。そして、ダクト内の発塵はファンで吸引され、トロリと集電子の摺接部分からの発塵がダクトの外へ漏れ出すことがない。
また、ダクト内の発塵を吸引するファンで倉庫内の発塵も吸引される。
さらに、ダクトおよびファンが、最下段の物品収納庫の下方、すなわちスライドフォーク等の移載手段で物品が戴置できないデッドスペースに配置される。
【0010】
請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の発明の作用に加えて、ファンでは吸引できない重い粉塵が粘着手段で回収される。
【0013】
【実施の形態】
本実施の形態のクリーンルーム用自動倉庫を図面を参照しながら説明する。
本実施の形態のクリーンルーム用自動倉庫1は、多数の物品収納棚21を備えた2つのラック2が所定間隔を隔てて平行に対向配置され、その間(各ラック2の前方)をクレーン3(移載装置)が走行するようになっている。クレーン3への給電は、ラック2に設けられたトロリ41と、クレーン3に設けられた集電子31とが摺接することで行うようになっている。
【0014】
自動倉庫1は、図示略の物品搬入搬出口および下部に設けられた外気取り入れ口等の所定の開口を除いて密閉室となされている。自動倉庫1には、クレーン3を移動させるための間隔(走行路5)をあけて、対向するようにラック2が配置され、床6から上方に間隔を開けるようにして、ラック2の上下を遮断する水平板7が設けられている。水平板7は、クレーン3で物品Wを移載可能な最も低い位置に設けられており、その上方には、多数の物品収納棚21が設けられている。また、水平板7の背面と自動倉庫1の壁面8との間には開口11が形成されている。
【0015】
ラック2の背面(走行路5の反対側の部分)と自動倉庫1の前後の壁面8との間には、ラック2の背面から物品収納棚21に向かって開口した不図示の空気噴出口を有する空気通路12が形成されている。空気噴出口には、シルクスクリーン等からなる精密整流板が設けられている。
【0016】
水平板7の下方は、物品収納棚21を設けることができない(後述するクレーン3の昇降台34がそれ以上下降することができない)デッドスペースになっており、そこにファン22およびダクト40を配置することで自動倉庫1内のスペースを有効活用するようにしている。一方のラック2の水平板7の下方の走行路5側には、給電手段であるトロリ41を配置するためのダクト40が配置されている。ダクト40の走行路5側の面42には、集電子31の移動を許容するためのスリット43が設けられている。また、ダクト40の走行路5と反対側の面44には、ダクト40内の粉塵をファン22により吸引するための開口45が設けられて、その背面側にはフィルター支持部材46が設けられている。ダクト40の内部には、トロリ41を支持するための固定レール47が設けられている。トロリ41は、ラック2の長手方向に沿って設けられ、集電子31が接合するようになっている。トロリ41の下方には、粘着テープ(粘着手段)48が取り替え自在に設けられ、トロリ41と集電子31の摺接部分から発生し、ファン22により吸引されないで落下した大きくて重い粉塵を回収するようになっている。
【0017】
ダクト40の背面側には、その吸い込み口23が開口45側となるようにファン22が設けられ、自動倉庫1内およびダクト40内の粉塵を吸引するようになっている。また、その空気噴出口24は空気通路12側に設けられ、空気通路12を経て、その空気噴出口から物品収納棚21へ背面側から空気が噴出されるようになっている。フィルター支持部材46には、第一フィルター25が取り外し自在に設けられ、ダクト40内から吸引した粉塵を取り除くようになっている。また、空気噴出口24には第一フィルター26が取り外し自在に設けられ、第一フィルター25で濾過した空気をさらにクリーンにして空気通路12に噴出するようになっている。
【0018】
トロリ41と集電子31とが摺接することによる発塵は、ダクト40内で発生するため、ファン22で吸引可能な小さなものは、ファン22により吸引され、第一フィルター25で回収されるようになっている。ファン22で吸引不可能な大きな粉塵は、ファン22の吸引力に抗して落下し、粘着テープ48で回収されるようになっている。このため、ダクト40内で粉塵が浮遊することがなく、スリット43から自動倉庫1内に漏れ出すことがない。
第一フィルター25が、大きな粉塵により目詰まりするのを防ぐため、開口45は、ダクト40の上方に設けることが好ましい。そして、粘着テープ48を定期的に取り替え、第一フィルター25および第一フィルター26を定期的に清掃または取り替えることで、自動倉庫1内の空気を常にクリーンに保つことができる。
【0019】
ダクト40が設けられていない他方のラック2の水平板7の下方には、その吸い込み口23が走行路5側となるようにファン22が設けられ、走行路5(自動倉庫1内)の発塵を吸引するようになっている。また、その空気噴出口24は空気通路12側に設けられ、空気通路12を経て、その空気噴出口から物品収納棚21へ空気が噴出されるようになっている。走行路5と吸い込み口23の間には、第一フィルター25aが取り外し自在に設けられ、自動倉庫1内から吸引した粉塵を取り除くようになっている。また、空気噴出口24には、第一フィルター26が取り外し自在に設けられ、第一フィルター25aで濾過した空気をさらにクリーンにして空気通路12に噴出するようになっている。
【0020】
クレーン3は、走行路5に敷設されたレール4の上を走行する走行台車32と、走行台車32に立設されるマスト33と、不図示の駆動源によりマスト33を昇降する昇降台34とを備え、走行台車32には、マスト33の向きを変えるためのターンテーブル35が設けられている。昇降台34には、物品を移載するための伸縮自在なフォーク36が備えられている。走行台車32には、ブラケット37が取り付けられ、その先端部分は、スリット43からダクト40の内部に挿入されるとともに、集電子31が取り付けられている。
【0021】
物品Wを物品収納棚21に収納する作業について説明する。自動倉庫1内の不図示の物品搬入搬出ステーションの台上に、無人搬送車や人手等によって物品Wが載置されると、ステーションに向けて走行台車32が走行するとともに、昇降台34が所定レベルに昇降して、停止する。その間に、ターンテーブル35が旋回し、フォーク36の自由端が物品Wに向くようにマスト33ごと旋回させる。その後、フォーク36が物品Wに向かって伸長し、物品Wの下方に位置する。その後、昇降台34が少しだけ上昇して、物品Wをすくい取り、フォーク36が縮んで物品Wを昇降台34上に引き込む。そして、走行台車32が左右に走行し、昇降台34が昇降して、フォーク36の自由端が物品Wを収納すべき物品収納棚21に対向するように移動する。その際、物品Wと物品収納棚21が対向するようにターンテーブル35が必要に応じて旋回する。そしてフォーク36が伸長し、昇降台34が少しだけ下降し、物品Wを物品収納棚21に移載する。
走行台車32への給電は、トロリ41から集電子31を介して行われ、走行台車32が移動すると、ブラケット37で固定されている集電子31もスリット43に沿って移動する。
【0022】
なお、この発明は以下のようにして具体化しても良い。
本実施の形態のダクト40は、箱体で、その内部にトロリ41取付け用の固定レール47を配置したが、固定レール47がダクト40の一部を構成するようにしても良い。
【0023】
また、本実施の形態では、ダクト40の発塵を吸引するファン22を自動倉庫1内の粉塵を吸引するファンとして兼用しているが、ダクト40内の発塵のみを吸引する専用のファンを設けるようにしても良い。
【0024】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【0025】
請求項1に記載の発明によれば、移載装置の移動に伴い、集電子がトロリに沿って摺接した状態で移動するため、従来のケーブル部材のように、移載装置の移動に伴い、屈曲および伸張する部材がなく、移載装置の高速化および移動距離の増大に対応させることができる。そして、トロリと集電子の摺接部分からの発塵を、ダクト内で発生させ、それをファンで吸引させることで、発塵をダクトの外に漏れ出さないようにすることもできる。この結果、移載装置の給電にトロリと集電子を用いても、自動倉庫内のクリーン度を保つことができる。
また、ダクト内の発塵を吸引するファンで、倉庫内の発塵を吸引することで、倉庫内の粉塵を吸引するためだけのファンが不要になる。
さらに、ダクトおよびファンを物品収納棚の下方に存在するデッドスペース内に配置することで、ダクトおよびファンを設けることによる、物品収納スペースの減少を防ぐことができる。
【0026】
請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明の効果に加えて、ファンでは吸引できない大きく重い粉塵を粘着手段にて回収することができるため、自動倉庫内のクリーン度をより高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態のクリーン用自動倉庫の全体図である。
【図2】本実施の形態のクリーン用自動倉庫の平面図である。
【図3】本実施の形態のトロリと集電子とを示す要部拡大図である。
【符号の説明】
1 自動倉庫
2 ラック
3 クレーン(移載装置)
21 物品収納棚
22 ファン
31 集電子
40 ダクト
41 トロリ
Claims (2)
- 多数の物品収納棚を有するラックと、ラックの前方を走行し、物品を物品収納棚に移載するための移載装置とを備えたクリーンルーム用自動倉庫において、
移載装置に給電するためのトロリと、トロリに摺接する移載装置の集電子の移動を許容するスリットを有し、トロリを収納するダクトと、ダクト内の発塵を吸引するファンとを備え、
前記ダクト内の発塵を吸引するファンは、倉庫内の発塵を吸引するためのファンを兼ね、
前記最下段の物品収納棚の下方に、前記ダクトと前記ファンと前記移載装置の集電子を配設したことを特徴とするクリーンルーム用自動倉庫。 - ダクト内であってトロリの下方に粘着手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のクリーンルーム用自動倉庫。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15089998A JP3882340B2 (ja) | 1998-06-01 | 1998-06-01 | クリーンルーム用自動倉庫 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15089998A JP3882340B2 (ja) | 1998-06-01 | 1998-06-01 | クリーンルーム用自動倉庫 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11334813A JPH11334813A (ja) | 1999-12-07 |
JP3882340B2 true JP3882340B2 (ja) | 2007-02-14 |
Family
ID=15506823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15089998A Expired - Fee Related JP3882340B2 (ja) | 1998-06-01 | 1998-06-01 | クリーンルーム用自動倉庫 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3882340B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005311260A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-11-04 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 液晶基板の保管倉庫室 |
JP6555091B2 (ja) * | 2015-11-10 | 2019-08-07 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロボット搬送装置 |
-
1998
- 1998-06-01 JP JP15089998A patent/JP3882340B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11334813A (ja) | 1999-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5720954B2 (ja) | 天井搬送車の清掃装置 | |
JP2013216446A (ja) | 清掃装置 | |
CN101145504A (zh) | 基板处理方法 | |
JP5136860B2 (ja) | 基板搬送設備 | |
JP2006327773A (ja) | 自動倉庫 | |
JP3882340B2 (ja) | クリーンルーム用自動倉庫 | |
JPH0215443B2 (ja) | ||
JP7400666B2 (ja) | 清掃システム | |
JP2000016518A (ja) | 自動倉庫 | |
JP2914003B2 (ja) | スタッカークレーンにおける塵埃飛散防止装置 | |
JP4029695B2 (ja) | 移動体の給電設備 | |
JP3978290B2 (ja) | コークス炉炉上の軌条脇掃除用クリーナ | |
JPH027392Y2 (ja) | ||
JP2623190B2 (ja) | クリーン倉庫 | |
JPH04350008A (ja) | クリーン倉庫内で使用される物品搬入搬出装置 | |
JPH0649523B2 (ja) | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 | |
JPH0564105U (ja) | スタッカクレーンの防塵装置 | |
JPS6238963Y2 (ja) | ||
JPH04350007A (ja) | クリーン倉庫内で使用される物品搬入搬出装置 | |
JPH0114565Y2 (ja) | ||
JP2555685Y2 (ja) | クリーンルーム内の物品保管設備 | |
JPH09150912A (ja) | クリーン装置付き荷保管設備 | |
CN210682394U (zh) | 一种料盒端拾器及厨房用料盒取放装置 | |
CN114054389A (zh) | 半导体存储架清理系统 | |
JP3262072B2 (ja) | クリーンルーム用自動倉庫 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040407 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060613 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060811 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061024 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101124 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101124 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111124 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121124 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131124 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |