CN106391584A - 一种石英晶片氮气吹净设备 - Google Patents

一种石英晶片氮气吹净设备 Download PDF

Info

Publication number
CN106391584A
CN106391584A CN201611016505.2A CN201611016505A CN106391584A CN 106391584 A CN106391584 A CN 106391584A CN 201611016505 A CN201611016505 A CN 201611016505A CN 106391584 A CN106391584 A CN 106391584A
Authority
CN
China
Prior art keywords
lower box
quartz wafer
equipment
upper box
box body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201611016505.2A
Other languages
English (en)
Inventor
张积武
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ZHENGZHOU YUANCHUANG ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
ZHENGZHOU YUANCHUANG ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ZHENGZHOU YUANCHUANG ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical ZHENGZHOU YUANCHUANG ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201611016505.2A priority Critical patent/CN106391584A/zh
Publication of CN106391584A publication Critical patent/CN106391584A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/04—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area from a small area, e.g. a tool

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

一种石英晶片氮气吹净设备，包括上箱体和下箱体，上箱体一侧设取放口，下箱体封闭；上箱体底部设伸入下箱体的操作区，操作区为由上到下渐小的喇叭口，操作区与下箱体之间设漏灰网，下箱体通过管路与吸尘器连接；吹净设备上还设置氮气喷头。相对于现有技术，本发明首先采用干燥、清洁的高纯氮气将石英晶片表面灰尘吹落，然后灰尘通过漏灰网在下箱体中被吸尘器集中吸收，达到晶片清洁的效果，并可有效避免周围环境污染。

Description

一种石英晶片氮气吹净设备
技术领域
本发明属于石英晶体领域，具体涉及一种石英晶片氮气吹净设备。
背景技术
随着电子技术的发展，与电子产品有关的电性能标准更高，石英晶片的洁净度直接影响产品的电参数特性，其表面的污染问题一直不能良好的解决，与电子技术的发展要求形成了矛盾。目前市场上对石英晶片的清洁设备，多采用夹具进行单个操作，并且在操作过程中容易因摩擦产生碎屑造成二次污染，而且清洁设备一般为开放式的空间，不便于污染物的收集；清洁设备材质多采用有机玻璃等，易释放污染物。
发明内容
本发明的目的就在于为解决上述技术问题而提供一种石英晶片氮气吹净设备，可改善石英晶片的洁净度，提高产品品质。
本发明的目的是以下述方式实现的：
一种石英晶片氮气吹净设备，包括上箱体和下箱体，上箱体一侧设取放口，下箱体封闭；上箱体底部设伸入下箱体的操作区，操作区为由上到下渐小的喇叭口，操作区与下箱体之间设漏灰网，下箱体通过管路与吸尘器连接；吹净设备上还设置氮气喷头。
所述上箱体和下箱体为不锈钢材料。
所述氮气喷头为手持式，上箱体或下箱体上设手持氮气喷头卡扣。
所述上箱体的左侧面和右侧面为开口向内的曲折面。
所述上箱体顶面为圆心向内的弧形面。
所述吸尘器为储水式。
相对于现有技术，本发明首先采用干燥、清洁的高纯氮气将石英晶片表面灰尘吹落，然后灰尘通过漏灰网在下箱体中被吸尘器集中吸收，达到晶片清洁的效果，并可有效避免周围环境污染。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
一种石英晶片氮气吹净设备，如图1所示，包括上箱体1和下箱体2，上箱体1一侧设取放口3，下箱体2封闭；上箱体1底部设伸入下箱体的操作区4，操作区4为由上到下渐小的喇叭口，操作区4与下箱体2之间设漏灰网5，下箱体2通过管路与吸尘器6连接；吹净设备上还设置氮气喷头8。使用时，可从取放口3向操作区4置入石英晶片，手持氮气喷头8直接吹向石英晶片，使灰尘与石英晶片分离，然后通过漏灰网5落入下箱体2中，被吸尘器6吸取，达到晶片清洁的效果；操作区4设置为喇叭口，并伸入下箱体2，可促进灰尘向下聚拢，更容易被下箱体1和吸尘器6吸收。
上箱体1和下箱体2优选为不锈钢材料，减少其他材质释放的污染；氮气喷头8为手持式，上箱体1或下箱体2上设手持氮气喷头卡扣9，便于氮气喷头8的拿起和置放；上箱体1的左侧面和右侧面7为开口向内的曲折面，顶面为圆心向内的弧形面，便于灰尘向下聚拢，达到更好的清洁效果，吸尘器6可采用大功率储水式，有效避免周围环境污染。
本发明使用时，夹具可以批量操作，可一次性清洗多个晶片，适用于工业化的生产，能有效改善产品质量，提高操作员的积极性。
以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明整体构思前提下，还可以作出若干改变和改进，这些也应该视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种石英晶片氮气吹净设备，其特征在于：包括上箱体和下箱体，上箱体一侧设取放口，下箱体封闭；上箱体底部设伸入下箱体的操作区，操作区为由上到下渐小的喇叭口，操作区与下箱体之间设漏灰网，下箱体通过管路与吸尘器连接；吹净设备上还设置氮气喷头。
2.如权利要求1所述的石英晶片氮气吹净设备，其特征在于：所述上箱体和下箱体为不锈钢材料。
3.如权利要求1所述的石英晶片氮气吹净设备，其特征在于：所述氮气喷头为手持式，上箱体或下箱体上设手持氮气喷头卡扣。
4.如权利要求1所述的石英晶片氮气吹净设备，其特征在于：所述上箱体的左侧面和右侧面为开口向内的曲折面。
5.如权利要求4所述的石英晶片氮气吹净设备，其特征在于：所述上箱体顶面为圆心向内的弧形面。
6.如权利要求1所述的石英晶片氮气吹净设备，其特征在于：所述吸尘器为储水式。
CN201611016505.2A 2016-11-18 2016-11-18 一种石英晶片氮气吹净设备 Pending CN106391584A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611016505.2A CN106391584A (zh) 2016-11-18 2016-11-18 一种石英晶片氮气吹净设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611016505.2A CN106391584A (zh) 2016-11-18 2016-11-18 一种石英晶片氮气吹净设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106391584A true CN106391584A (zh) 2017-02-15

Family

ID=58069026

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611016505.2A Pending CN106391584A (zh) 2016-11-18 2016-11-18 一种石英晶片氮气吹净设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106391584A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109719071A (zh) * 2019-01-22 2019-05-07 上海提牛机电设备有限公司 一种晶片清洗干燥机
CN117862326A (zh) * 2022-12-15 2024-04-12 江苏南科超硬工具有限公司 一种钣金件智能冲孔设备

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS598741U (ja) * 1982-07-06 1984-01-20 ナイルス部品株式会社 工作物の切粉除去装置
US5836044A (en) * 1995-05-26 1998-11-17 Chapman Corporation Surface cleaner and collector system
CN2873333Y (zh) * 2005-12-23 2007-02-28 比亚迪股份有限公司 一种除静电除尘装置
CN201728204U (zh) * 2010-06-30 2011-02-02 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 晶片盒清洁装置
CN202398599U (zh) * 2011-12-21 2012-08-29 上海晨兴希姆通电子科技有限公司 除尘箱
CN102921804A (zh) * 2012-10-29 2013-02-13 昆山市力格自动化设备有限公司 一种废屑吸取装置
CN202962974U (zh) * 2012-12-20 2013-06-05 钱和革 电池卷绕机吸尘机构
CN103357614A (zh) * 2012-04-09 2013-10-23 株式会社大福 清扫装置
CN103567193A (zh) * 2013-11-16 2014-02-12 梁辉 车用空气滤清器清洁机
CN203470408U (zh) * 2013-08-21 2014-03-12 天津韩禾机电设备有限公司 一种新型离子除尘装置
CN206253408U (zh) * 2016-11-18 2017-06-16 郑州原创电子科技有限公司 一种石英晶片氮气吹净设备

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS598741U (ja) * 1982-07-06 1984-01-20 ナイルス部品株式会社 工作物の切粉除去装置
US5836044A (en) * 1995-05-26 1998-11-17 Chapman Corporation Surface cleaner and collector system
CN2873333Y (zh) * 2005-12-23 2007-02-28 比亚迪股份有限公司 一种除静电除尘装置
CN201728204U (zh) * 2010-06-30 2011-02-02 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 晶片盒清洁装置
CN202398599U (zh) * 2011-12-21 2012-08-29 上海晨兴希姆通电子科技有限公司 除尘箱
CN103357614A (zh) * 2012-04-09 2013-10-23 株式会社大福 清扫装置
CN102921804A (zh) * 2012-10-29 2013-02-13 昆山市力格自动化设备有限公司 一种废屑吸取装置
CN202962974U (zh) * 2012-12-20 2013-06-05 钱和革 电池卷绕机吸尘机构
CN203470408U (zh) * 2013-08-21 2014-03-12 天津韩禾机电设备有限公司 一种新型离子除尘装置
CN103567193A (zh) * 2013-11-16 2014-02-12 梁辉 车用空气滤清器清洁机
CN206253408U (zh) * 2016-11-18 2017-06-16 郑州原创电子科技有限公司 一种石英晶片氮气吹净设备

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109719071A (zh) * 2019-01-22 2019-05-07 上海提牛机电设备有限公司 一种晶片清洗干燥机
CN117862326A (zh) * 2022-12-15 2024-04-12 江苏南科超硬工具有限公司 一种钣金件智能冲孔设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106391584A (zh) 一种石英晶片氮气吹净设备
CN207204767U (zh) 一种感应式吹气除尘设备
CN206253408U (zh) 一种石英晶片氮气吹净设备
CN206998610U (zh) 带自清洁功能的打磨真空吸附装置
CN209786449U (zh) 一种便于清理的综合配电柜
CN210787533U (zh) 一种木材废料破碎装置
CN203292132U (zh) 粉尘吸料器
CN103272821A (zh) 一种电极材料的表面除尘工装
CN207551367U (zh) 蚕茧的风力输送装置
CN205851535U (zh) 玻璃基板切割除尘装置
CN206101533U (zh) 一种气泡清洗机
CN209153432U (zh) 多功能充电式吸尘器
CN213524973U (zh) 一种工业用吸尘装置
CN209677752U (zh) 一种酒店管理专业实训用多功能推车
CN113376025A (zh) 一种建筑试块检测装置
CN207501652U (zh) 真空自耗电弧炉的炉室清理装置
CN206944266U (zh) 环保型油烟机
CN206941052U (zh) 一种抓棉机伸缩管的清洁装置
CN204982493U (zh) 全自动刷毛机
CN202966250U (zh) 一种车载吸尘器的集尘盒
CN219309539U (zh) 室内装修用粉尘收集器
CN207707853U (zh) 一种吸尘器
CN214264221U (zh) 一种半导体功率器件生产用点锡装置
CN204974593U (zh) 一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱
CN204820822U (zh) 一种防尘黑板擦

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20170215