JP2009298576A - クリーンルーム用搬送体 - Google Patents

Abstract

【課題】移動に伴って発生する塵埃の側方への巻き上げを防止し、側方の保管棚に保管された保管物に塵埃が付着するのを防止するとともに、このような塵埃の付着防止を、クリーンルームの運転コストを増大させることなく実現することができる、クリーンルーム用搬送体を提供する。
【解決手段】保管棚を備えたクリーンルーム内において保管棚の側方を走行するクリーンルーム用搬送体Ｃである。移動することで風圧を受ける固体物Ｄを有し、移動して風圧を受けた際、固体物Ｄの側方を相対的に流れる空気を、固体物Ｄの移動方向における後ろ側に案内するガイド板８１を有している。
【選択図】図３

Description

本発明は、保管棚を備えたクリーンルーム内において走行する、クリーンルーム用搬送体に関する。

塵埃を嫌う液晶表示装置や半導体製品、さらにはその部品などを保管する保管庫では、内部をクリーンルームとすることで、保管棚に置かれた製品やその部品に塵埃等の異物が付着することを防止している。このようなクリーンルームでは、通常、ファン等によって室内の空気を床面側に吸い込むことで、クリーンルーム内にダウンフローを生じさせ、床面等にある塵埃が巻き上がり、保管棚に置かれた製品等の保管物に付着してしまうのを防止している。

ところで、このようなクリーンルーム（保管庫）では、例えばコンテナなどに収納された製品等の保管物を所定の位置の保管棚に移送して保管し、あるいは保管棚上の保管物を積載して外に搬送するためのスタッカクレーン（搬送体）が備えられている。これによってクリーンルーム（保管庫）は、人の出入を最小限に抑えた状態で、製品等の保管物の保管や、保管物の外への搬送を自動的に行うことのできる、自動倉庫となっている。

このような自動倉庫に用いられるスタッカクレーンは、二列に配列した保管棚の間を往復走行するもので、保管棚間に敷設されたレール上を走行するようになっている。
ところが、このようなスタッカクレーンでは、レール上を走行することで、このレール上を転動するタイヤから塵埃が発生してしまう。このようにして発生した塵埃は、スタッカクレーンが移動することで、相対的にスタッカクレーンの後方に流れて行く。

また、スタッカクレーンは、制御盤や積載したコンテナなどの固体物を有しているので、移動によってこれら固体物が風圧を受け、その裏面側、すなわち移動方向の後ろ側が負圧になる。このようにして負圧が生じると、固体物の移動に伴ってその側方に発生した気流が、前記の負圧になった固体物の裏面側に引き込まれ、ここでうず流を形成する。そして、このうず流は、成長することで上昇しつつ、横に拡がる。

ところが、このようにしてうず流が上昇しつつ横に拡がると、タイヤがレール上を転動することなどで発生した塵埃が、このうず流に同伴されて床面上から巻き上げられ、レールの両側にある保管棚上の保管物などに付着してしまうことがある。
そこで、従来では、例えばレール内に小型のファンからなる吸引手段を設け、この吸引手段によってレール内で発生した塵埃を吸引することで、クリーンルーム内に塵埃が浮遊してしまうのを防止する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０００−１６５１９号公報

しかしながら、前記のレール内に吸引手段を設ける技術では、この吸引手段（ファン）を作動させるためにコストがかかってしまい、自動倉庫（保管庫）の運転コストが増大してしまうといった課題があった。
また、このような吸引手段を用いずに、単に室内の空気を床面側に吸い込むファン等の空調手段のパワーを上げることにより、塵埃の巻き上げによる浮遊を抑え、塵埃が保管物などに付着してしまうのを防止することも考えられる。しかし、その場合にも、空調手段の運転コストが増大することで、結果的に自動倉庫（保管庫）の運転コストが増大してしまうことになる。

本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、移動に伴って発生する塵埃の側方への巻き上げを防止し、側方の保管棚に保管された保管物に塵埃が付着するのを防止するとともに、このような塵埃の付着防止を、クリーンルームの運転コストを増大させることなく実現することができる、クリーンルーム用搬送体を提供することにある。

前記目的を達成するため本発明のクリーンルーム用搬送体は、保管棚を備えたクリーンルーム内において前記保管棚の側方を走行する搬送体であって、移動することで風圧を受ける固体物を有し、移動して風圧を受けた際、前記固体物の側方を相対的に流れる空気を、該固体物の移動方向における後ろ側に案内するガイド板を有したことを特徴とする。

このクリーンルーム用搬送体によれば、移動した際、ガイド板によって固体物の側方を相対的に流れる空気が、該固体物の移動方向における後ろ側に案内されるので、固体物の後ろ側がその側方に比べて相対的に大きな負圧にならず、側方とほぼ同等の圧となる。したがって、気流が固体物の裏面側に引き込まれて特にその側部でうず流を形成し、成長することが抑制される。

また、前記クリーンルーム用搬送体においては、前記ガイド板が、前記固体物の側方からその移動方向における後ろ側に向かって湾曲して形成されているのが好ましい。
このようにすれば、固体物の側方を相対的に流れる空気が、ガイド板の湾曲面に沿って円滑に流れることで固体物の後ろ側の中央部にまで案内される。したがって、ここでうず流を形成、成長しても、固体物の側方にまで拡がることはほとんどない。よって、このうず流に同伴され巻き上げられた塵埃が、搬送体の側方に位置する保管棚上の保管物に付着してしまうことが防止される。

また、前記クリーンルーム用搬送体においては、前記ガイド板は、前記固体物の風圧を受ける面の高さの下側半分に対応して設けられているのが好ましい。
このようにすれば、後述するシミュレーション結果から分かるように、床面上の塵埃の巻き上げをより効果的に抑えることができる。

また、前記クリーンルーム用搬送体においては、前記固体物が、搬送体によって搬送される搬送物であってもよい。
搬送物が、例えばコンテナのように大きなものの場合、移動した際にその裏面側がより負圧になり易く、その分、うず流の形成・成長の度合いも大きくなり、このうず流に巻き上げられる塵埃の量も多くなる。したがって、このようなコンテナ等の搬送体に対して、その裏面側の側部でのうず流の形成・成長を抑制することで、保管物への塵埃の付着をより効果的に防止することができる。

本発明のクリーンルーム用搬送体によれば、ガイド板を設けたことにより、移動した際、気流が固体物の裏面側に引き込まれて特にその側部でうず流を形成し、成長することを抑制することができる。したがって、固体物の裏面側の側部においてうず流が生じても、比較的小さいものとなるため、塵埃がこのうず流に同伴されても、巻き上げられて上昇する度合いが少なくなり、これによって塵埃が保管棚上の保管物に付着してしまうことを防止することができる。よって、単にガイド板を設けるだけで、クリーンルームの運転コストを増大させることなく、保管物への塵埃の付着を防止することができる。

以下、図面を参照して、本発明に係るクリーンルーム用搬送体を詳しく説明する。
まず、本発明のクリーンルーム用搬送体が備えられる、クリーンルーム仕様の自動倉庫について説明する。図１は、本発明に係る自動倉庫Ｓの平面図であり、図２は、自動倉庫Ｓの側面図である。また、これらの図において符号Ｃは、本発明のクリーンルーム用搬送体の一実施形態としての、スタッカクレーンである。

図１、図２に示すように自動倉庫Ｓは、スタッカクレーンＣと、該スタッカクレーンＣの軌道であるレールＲを挟んで対向配置されるラック（保管棚）Ｔ１、Ｔ２とを備えたもので、スタッカクレーンＣによってこれらラックＴ１、Ｔ２に保管物を搬送し、保管するよう構成されたものである。この自動倉庫Ｓには、保管物を入庫するための入庫用コンベヤ（不図示）と、保管物を出庫するための出庫用コンベヤ（不図示）とが備えられており、スタッカクレーンＣは、これら入庫用コンベヤや出庫用コンベヤとの間において、保管物の受け渡しが行えるようになっている。

なお、本実施形態においては、保管物はコンテナＤ内に収容されており、したがってこのコンテナＤの荷姿で入庫用コンベアから受け渡され、そのままラックＴ１（Ｔ２）に保管されるようになっている。また、この自動倉庫Ｓでは、特にラックＴ１、Ｔ２及びスタッカクレーンＣが配置されている場所が、例えばクリーン度１０レベルのクリーンルームＣＬ１となっている。すなわち、このクリーンルームＣＬ１には床面近傍にファン（図示せず）が設けられており、天井側に設けられた換気口からＨＥＰＡフィルタなどを通ってきた清浄空気がダウンフローさせられることにより、クリーンルームＣＬ１内が所望のクリーン度に保持され、床面等にある塵埃の巻き上がりが防止されている。

ラックＴ１、Ｔ２は、水平方向及び上下方向に沿って配列された複数の収納棚Ｔからなるもので、各収納棚ＴにコンテナＤが保管可能になっている。また、ラックＴ１、Ｔ２は、互いに対向する側がコンテナＤの出入口とされている。
なお、以下の説明では、収納棚Ｔの水平方向の配列方向をＸ方向とし、Ｘ方向と直交する水平方向をＹ方向とし、Ｘ−Ｙ面と直交する垂直方向をＺ方向として、説明することがある。

レールＲは、Ｘ方向に延在して、すなわちラックＴ１、Ｔ２に沿って敷設されたもので、クリーンルームＣＬ１の床に所定間隔で平行に敷設されるレールＲ１、Ｒ２と、クリーンルームＣＬ１の天井に敷設されたレールＲ３とにより、構成されたものである。

スタッカクレーンＣは、レールＲ１、Ｒ２によって下方から支持されるとともに、レールＲ１、Ｒ２上において回転（転動）する４つの車輪（タイヤ）１を有したものである。これら車輪１には、それぞれに対応してモータ２が接続されており、モータ２の駆動によって車輪１が回転し、スタッカクレーンＣはレールＲ１、Ｒ２上を走行するようになっている。

なお、車輪１のうちレールＲ２上を回転する車輪１ａには、レールＲ２の両側面に当接するガイドローラ１ｂが設けられており、これらガイドローラ１ｂによって車輪１ａがレールＲ２上に案内されるようになっている。
また、スタッカクレーンＣには、昇降可能に構成されたケージ４０（昇降部）が設けられており、ケージ４０上に設置された移載装置１００（例えば、フォーク装置）により、ケージ４０と収納棚Ｔとの間、ケージ４０と入庫用コンベヤとの間、及びケージ４０と出庫用コンベヤとの間において、コンテナＤの受け渡しができるようになっている。

次に、図３〜図７を参照して、スタッカクレーンＣの詳細について説明する。
図３は、スタッカクレーンＣの斜視図である。また、図４はスタッカクレーンＣの正面図である。なお、図３及び図４では、図面を見易くするために、スタッカクレーンＣが備える車輪１、モータ２、ガイドローラ１ｂ及び移載装置１００を省略している。
これらの図に示すように、スタッカクレーンＣは、下部フレーム１０と、マスト２０と、上部フレーム３０と、ケージ４０と、巻き上げ機５０と、制御盤６０とを備えている。

下部フレーム１０は、前記車輪１が回転自在に取り付けられた車輪取り付け部１１を有する土台となるものである。
図５は、下部フレーム１０を模式的に示した平面図である。この図に示すように、下部フレーム１０は、Ｘ方向に延在するとともに平行に配置される２つのメインフレーム１２と、２つのメインフレームの端部同士を接続する２つのサイドフレーム１３とを備えた、矩形枠状のものである。

メインフレーム１２同士は、後述するケージ４０の幅（Ｙ方向の幅）よりも広く、かつ、図５中二点鎖線で示すコンテナＤの幅（Ｙ方向の幅）よりも狭い幅で平行に配置されており、前記の移載装置１００（図示せず）が設置されるようになっている。また、サイドフレーム１３同士は、ケージ４０の長さ（Ｘ方向の長さ）やコンテナＤの長さよりも広い幅で平行に配置されている。このため、メインフレーム１２及びサイドフレーム１３により、下部フレーム１０の中央部には、上方からケージ４０が入り込むことが可能な領域Ａ（ガイド部移動領域）が形成されている。

また、本実施形態では、メインフレーム１２、１２のそれぞれに、ガイド板取付機構８０によってガイド板８１が取り付けられている。ガイド板取付機構８０は、図６（ａ）に示すように、メインフレーム１２の側部に設けられた細板状の案内レール８２と、この案内レール８２に移動可能に取り付けられた可動板８３と、この可動板８３に取り付けられた伸縮可能なロッド８４と、を備えてなるものである。可動板８３は、例えばステッピングモータ（図示せず）により、案内レール８２上を精度良く移動できるように構成されたもので、後述する制御盤６０によってその移動量、すなわち可動板８３の位置が精度良く制御されるようになっている。ロッド８４は、複数の管体が摺動可能に連結されていることにより、メインフレーム１２の側方（横方）に伸縮可能に構成されたもので、可動板８３に対して回動可能に取り付けられたものである。

ガイド板８１は、その一端側が前記ロッド８４の先端部に取り付けられたもので、横断面が略円弧状の湾曲した板状体である。すなわち、このガイド板８１は、ロッド８４に連結する側の内面（ガイド面）８１ａが凹形状の湾曲面となっており、外面が凸形状の湾曲面となっている。そして、このガイド板８１は、ロッド８４が回動可能になっていることにより、図６（ａ）に示すように水平方向に寝ている状態から、図６（ｂ）に示すように鉛直方向に立った状態に回動するようになっている。また、その逆で、立った状態から寝た状態に回動するようにもなっている。

ここで、このガイド板８１は、本実施形態では図３，図４に示すように、立った状態での上端の高さが、スタッカクレーンＣに載置されたコンテナＤの高さの約半分の高さとなるように、形成されている。なお、このような回動動作、及びロッド８４の伸縮動作については、図示しない公知の自動機構によって自動的に行わせるようにしてもよく、あるいは、手動で行うようにしてもよい。

そして、本実施形態では、図５、図６（ｂ）に示すように凹形状となる内面８１ａが、スタッカクレーンＣが走行（移動）した際、本発明における固体物となるコンテナＤの後ろ側に、空気を案内するガイド面８１ａとなっている。すなわち、ガイド板８１は、スタッカクレーンＣが走行することでこれに搬送されるコンテナＤの、移動方向における後ろ側に配置されるようになっており、その際、湾曲したガイド面（内面）８１ａは、コンテナＤの側方からその移動方向における後ろ側に向かって湾曲している。このような構成によってガイド面８１ａは、コンテナＤの側方を相対的に流れる空気を、コンテナＤの移動方向における後ろ側に案内するようになっている。

図３及び図４に戻り、マスト２０は、下部フレーム１０に対して立てて設置されたもので、下部フレーム１０の一方のサイドフレーム１３ａに設置されるマスト２０ａと、下部フレームの他方のサイドフレーム１３ｂに設置されるマスト２０ｂとによって構成されている。これらマスト２０ａとマスト２０ｂとは、Ｘ方向に配列されている。すなわち、２本のマスト２０ａ、２０ｂは平行な状態で下部フレーム１０に立てられている。
これらマスト２０ａ、マスト２０ｂは、角柱形状を有しており、各側面がＸ方向あるいはＹ方向と平行となるように立設されている。

上部フレーム３０は、マスト２０ａの上端部とマスト２０ｂの上端部とを接続するもので、Ｘ方向に延在して配設されている。この上部フレーム３０の略中央部には、前記レールＲ３を狭持することにより、スタッカクレーンＣがＹ方向に傾くのを防止するためのガイドローラ（不図示）が設けられている。

図７は、ケージ４０の斜視図である。この図に示すように、ケージ４０は、Ｘ方向に延在する２つのメインフレーム４１を有している。メインフレーム４１同士は、補強部材４２によって接続されている。メインフレーム４１の両端部の各々に対してはサイドフレーム４３が接続されている。
サイドフレーム４３は、Ｚ方向に立設される略三角形形状を有しており、その底辺部にて２つのメインフレーム４１を接続している。

各サイドフレーム４３には、Ｚ方向（ケージ４０の昇降方向）に配列されてガイド部７０が二つ固定されている。
ガイド部７０には、マスト２０をＹ方向から狭持するサイドローラ７１及びマスト２０と、Ｘ方向から当接する小型のガイドローラ７２とが設けられている。これらサイドローラ７１及びガイドローラ７２は、マスト２０の側面を摺動することによって移動可能とされており、これらサイドローラ７１及び７２にガイドされることにより、サイドフレーム４３は、マスト２０に沿って上下方向（Ｚ方向）に移動可能となっている。
なお、サイドフレーム４３の頂部に固定されるガイド部７０ａ（７０）には、後述する巻き上げ機５０が備える昇降ワイヤ５１が接続される接続部７３が設置されている。

図３及び図４に戻り、巻き上げ機５０は、昇降ワイヤ５１と、ドラム５２と、モータ５３と、減速器５４とを備えている。
昇降ワイヤ５１は、ケージ４０のサイドフレーム４３が備えるガイド部７０の接続部７３に一端が接続され、ドラム５２に他端が巻回されている。また、昇降ワイヤ５１としては、マスト２０ａ側に位置するサイドフレーム４３１のガイド部７０ａに接続される昇降ワイヤ５１ａと、マスト２０ｂ側に位置するサイドフレーム４３２のガイド部７０ａに接続される昇降ワイヤ５１ｂとが存在するが、いずれの昇降ワイヤ５１ａ、５１ｂも、他端がドラム５２に巻回されている。

なお、マスト２０ａの頂部及びマスト２０ｂの頂部には、昇降ワイヤ５１を案内するためのシーブ５５が設置されている。マスト２０ａの頂部に設置されたシーブ５５ａは、Ｘ−Ｚ平面内にて回転自在とされており、昇降ワイヤ５１ａをサイドフレーム４３１に固定されたガイド部７０ａに案内するとともに、昇降ワイヤ５１ｂをマスト２０ｂの頂部に設置されたシーブ５５ｂに案内するものである。マスト２０ｂの頂部に設置されたシーブ５５ｂは、Ｘ−Ｚ平面内にて回転自在とされており、昇降ワイヤ５１ｂをサイドフレーム４３２に固定されたガイド部７０ａに案内するものである。

ドラム５２は、下部フレーム１０のサイドフレーム１３ａ上に、Ｙ方向を向く回転軸を中心として回転可能に設けられたものである。
モータ５３は、減速器５４を介してドラム５２に接続されたもので、減速器５４を介してドラム５２を回転させるようになっている。なお、モータ５３及び減速器５４は、ドラム５２の両端にそれぞれ配置されている。

制御盤６０は、スタッカクレーンＣ全体の動作を制御するもので、下部フレーム１０のサイドフレーム１３ｂ上に配設されたものである。この制御盤６０は、ケーブル６１を介してスタッカクレーンＣの巻き上げ機５０や移載装置１００を制御するとともに、前述したようにガイド板取付機構８０における可動板８３の位置（移動量）等を制御するようになっている。さらに、自動倉庫Ｓ全体の制御を行う外部の制御装置（図示せず）と電気的に接続されており、この制御装置によって遠隔操作されるようにもなっている。

このような構成のスタッカクレーンＣにあっては、図３、図４に示すように、モータ５３を制御してドラム５２の回転量を調整し、昇降ワイヤ５１の巻回量を変化させることにより、昇降ワイヤ５１に接続されたケージ４０のサイドフレーム４３の高さを調整することができる。つまり、巻き上げ機５０の駆動により、ケージ４０の高さを制御することができる。したがって、スタッカクレーンＣの走行位置やケージ４０の高さを調整することにより、コンテナＤの受け渡し、搬送、保管ができるようになっている。

すなわち、このような構成からなる本実施形態のスタッカクレーンＣでは、入庫用コンベヤの近傍において、移載装置１００により入庫用コンベヤからコンテナＤを受け取り、予め下降させておいたケージ４０上に載置する。その際、ガイド板８１については、図６（ａ）に示すように水平方向に寝かした状態にしておき、これによってケージ４０上へのコンテナＤの受け取りに干渉しないようにしておく。

そして、コンテナＤをケージ４０上に載置した後、図６（ｂ）に示すようにガイド板８１を、コンテナＤの移動方向における後ろ側に位置させ、かつ、鉛直方向に立たせた状態にする。すなわち、案内レール８２上の可動板８３の位置を制御し、これがコンテナＤの移動方向後ろ側に位置するようにする。そして、ロッド８４を伸長させ、さらにガイド板８１を回動することにより、図６（ｂ）に示したようにガイド板８１をコンテナＤの移動方向における後ろ側に立たせる。このようにして立たせると、ガイド板８１は図８（ａ）に示すようにそのガイド面（内面）８１ａが、コンテナＤの側方からコンテナＤの後ろ側に向かって湾曲した状態となる。

したがって、この状態でスタッカクレーンＣを移動させ、搬送物となるコンテナＤ（固体物）を搬送すると、コンテナＤはその前面で風圧を受けつつ前進する。すると、コンテナＤの側方では、図８（ａ）中矢印Ｑで示すように相対的に空気が流れ、気流Ｑを生じる。
ここで、本発明に係るガイド板８１が設けられていない従来では、図８（ｂ）に示すように、コンテナＤが移動することでその後ろ側が負圧になり、その側方を流れる気流Ｑが負圧になったコンテナＤの後ろ側に引き込まれる。すると、このようにして気流Ｑが引き込まれることにより、特にコンテナＤの裏面側における側部、すなわちコンテナＤの裏面と側面とのコーナー部近傍では、うず流Ｕ１を形成する。このうず流Ｕ１は、コンテナＤの裏面側（後ろ側）が大きな負圧となり、側方との圧力差が大きいことから、大きく成長することで上昇しつつ横に大きく拡がり、前述したように、車輪１（タイヤ）がレールＲ上を転動することで発生した塵埃を同伴し、床面上から巻き上げてレールＲの両側にあるラック（保管棚）Ｔ１、Ｔ２上の保管物などに付着してしまう。

一方、本実施形態では、図８（ａ）に示したようにガイド板８１を設けたことにより、コンテナＤの側方を相対的に流れる空気（気流Ｑ）がコンテナＤの後ろ側に案内されるので、コンテナＤの後ろ側がコンテナＤの側方に比べて相対的に大きな負圧にならず、側方とほぼ同等の圧となる。したがって、気流ＱがコンテナＤの裏面側に引き込まれても、従来のように特に裏面側における側部（コーナー部近傍）でうず流Ｕ１を形成し、成長することが抑制される。

すなわち、コンテナＤの裏面側に引き込まれた気流Ｑは、この裏面側の中央部近傍にまで案内されることにより、コーナー部近傍でなく中央部近傍でうず流Ｕ２を生じるようになる。しかし、このうず流Ｕ２は、前記したようにコンテナＤの後ろ側がコンテナＤの側方に比べて相対的に大きな負圧になっていないことから、大きく成長することはなく、比較的小さなうず流のままで上昇する。

このように、うず流Ｕ２は図８（ｂ）に示した従来の場合と異なり、大きく成長することなく上昇するので、横に拡がる度合いが非常に小さく、したがって、車輪１（タイヤ）がレールＲ上を転動することで発生した塵埃を同伴して、床面上から巻き上げても、これをレールＲの両側にあるラック（保管棚）Ｔ１、Ｔ２上にまで運んでしまうことがない。よって、ラック（保管棚）Ｔ１、Ｔ２の保管物（コンテナＤ）などに塵埃が付着してしまうといったことが防止される。
そして、このようにしてコンテナＤを移動したスタッカクレーンＣは、所望のラック（保管棚）Ｔ１、Ｔ２の前に移動した後、従来と同様にしてこのラック（保管棚）Ｔ１（Ｔ２）上にコンテナＤを積みおろし、保管することができる。

以上述べたように本実施形態のスタッカクレーンＣ（クリーンルーム用搬送体）によれば、ガイド板８１を設けたことにより、移動した際、気流がコンテナＤの裏面側に引き込まれて特にその側部でうず流を形成し、成長することを抑制することができる。したがって、コンテナＤの裏面側の側部においてうず流Ｕ２が生じても、比較的小さいものとなるため、塵埃がこのうず流Ｕ２に同伴されても、巻き上げられて上昇する度合いが少なくなり、これによって塵埃が保管棚上の保管物に付着してしまうことを防止することができる。すなわち、単にガイド板８１を設けるだけで、クリーンルームＣＬ１の運転コストを増大させることなく、保管物への塵埃の付着を防止することができる。

（シミュレーション例）
次に、本発明の効果を、シミュレーションによって求めた結果を示す。
この例では、以下の解析条件に基づいてシミュレーションを行った。なお、この解析条件を、図９（ａ）の側面図、図９（ｂ）の背面図に示す。これら図９（ａ）、（ｂ）において符号Ｄはコンテナ、符号８１は前記実施形態で示した湾曲したガイド板であり、符号Ｊは塵埃粒子である。また、これら図９（ａ）、（ｂ）は、コンテナＤを移動させてから４０秒後のシミュレーション結果を示している。

［解析条件］
・クリーンルームの建屋長さ ； １００ｍ
・クリーンルームの建屋高さ ； １０ｍ
・クリーンルームの建屋幅 ； ５ｍ
・コンテナの長さ ； ４ｍ
・コンテナの高さ ； ４ｍ
・コンテナの幅 ； ３ｍ
・コンテナ（搬送体）の走行速度 ； ２ｍ／ｓ
・コンテナ（搬送体）の加速度 ； ０．５ｍ／ｓ^２
・塵埃の粒子径 ； ０．３μｍ
・塵埃の粒子密度 ；８９５０ｋｇ／ｍ^３

そして、シミュレーションとしては、以下の（１）〜（４）の４通りを行った。
（１）ガイド板８１を設けない状態（従来例）
（２）ガイド板８１を、コンテナＤの高さ全体に対応させて設けた状態
（３）ガイド板８１を、コンテナＤの高さの上側半分にのみ対応させて設けた状態
（４）ガイド板８１を、コンテナＤの高さの下側半分にのみ対応させて設けた状態
そして、前記解析条件に基づいてコンテナを走行させた際の、塵埃の巻き上がり方のシミュレーション結果を、図１０〜図１３に示す。なお、図１０（ａ）、（ｂ）は前記（１）のシミュレーション結果を示し、図１１（ａ）、（ｂ）は前記（２）のシミュレーション結果を示し、図１２（ａ）、（ｂ）は前記（３）のシミュレーション結果を示し、図１３（ａ）、（ｂ）は前記（４）のシミュレーション結果を示している。また、これら図１０〜図１３において（ａ）は側面図、（ｂ）は背面図である。さらに、これら図１０〜図１３は、コンテナＤを移動させてから４０．２秒後のシミュレーション結果を示している。

また、解析については、特にその背面図において、図１３（ｂ）に示すようにコンテナＤの幅３ｍに対して、ガイド板８１はコンテナＤの側面から側方に０．５ｍ延出して設けられているものとして、行った。また、解析の範囲については、コンテナＤの幅３ｍに対し、両側に１ｍずつ広げた、合計５ｍの幅で行った。すなわち、図１３（ｂ）において、コンテナＤの幅方向の中心を０とすると、この幅方向の＋側、−側におけるそれぞれの位置を、−０．５〜＋０．５で示し、それぞれの位置での、塵埃の粒子比率を、シミュレーションした。得られたシミュレーション結果を図１４に示す。

図１４に示した結果より、図１０に示した前記の（１）と、図１２に示した前記の（３）では、コンテナＤの両側に存在する粒子数が多いことが分かった。すなわち、塵埃粒子が左右に多く飛散する傾向にあることが分かった。また、図１１に示した前記の（２）では、（１）や（３）に比べ、左右への粒子の飛散が減少していることが分かった。
また、図１３に示した前記の（４）では、（１）〜（３）に比べ、左右への粒子の飛散が減少していることが分かった。したがって、この（４）では、ガイド板８１をコンテナＤの下側半分にのみ対応させて設けたことにより、うず流の成長を良好に抑制することができ、これによって左右への粒子の飛散を抑制し、側方のラック上を汚染してしまうことが少ないことが分かった。また、この（４）では、（２）に比べてガイド板８１の長さがほぼ半分であることから、コストダウンにも有利である。

なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、前記実施形態では、本発明における固体物が搬送物であるコンテナＤとしたが、固体物として、コンテナＤに代えて、スタッカクレーンＣ（クリーンルーム用搬送体）に直接設けられたもの、例えば制御盤６０や巻き上げ機５０としてもよい。その場合に、これら制御盤６０や巻き上げ機５０の側方で、その移動方向における後方に、これら制御盤６０や巻き上げ機５０の側方を相対的に流れる空気を、制御盤６０や巻き上げ機５０の移動方向における後ろ側に案内するガイド板を、設けておく。これら制御盤６０や巻き上げ機５０のように、スタッカクレーンＣに一体的に設けられた固体物に対しては、コンテナＤなどの保管物（搬送物）の積み込みや積みおろしに干渉しないようにガイド板を設けておくことにより、このガイド板についても、スタッカクレーンＣに一体的に、すなわち固定した状態に設けておくことができる。

また、前記実施形態では、ガイド板８１を一対設けているが、スタッカクレーンＣの制御盤６０側にガイド板を一対設け、巻き上げ機５０側に他のガイド板を一対設けるようにしてもよい。このようにガイド板を二対設けることにより、スタッカクレーンＣの前進時と後退時の両方に対応可能に構成することができる。

また、前記実施形態では、ガイド板８１として、そのガイド面８１ａが湾曲したものを用いたが、本発明はこれに限定されることなく、例えば平板状のものをガイド板として用いてもよい。
また、ガイド板の高さについても、固体物の下側半分に対応するものでなく、例えば固体物の下側半分以上で、かつ、固体物の高さの全部以下の範囲対応する高さに形成してもよい。さらに、固体物の下側１／３程度以上に対応する高さとしてもよい。

本発明の一実施形態のスタッカクレーンを備える自動倉庫の平面図である。 本発明の一実施形態のスタッカクレーンを備える自動倉庫の側面図である。 本発明の一実施形態のスタッカクレーンの概略構成を示す斜視図である。 本発明の一実施形態であるスタッカクレーンの概略構成を示す正面図である。 本発明の一実施形態であるスタッカクレーンが備える下部フレームを模式的に示した平面図である。 ガイド板取付機構を説明するための要部斜視図であって、（ａ）はガイド板を寝かした状態を示す図、（ｂ）はガイド板を立てた状態を示す図である。 本発明の一実施形態であるスタッカクレーンが備えるケージの斜視図である。 （ａ）は本発明のスタッカクレーンが移動した際のうず流の発生の説明図、（ｂ）は従来のスタッカクレーンが移動した際のうず流の発生の説明図である。 シミュレーション例における解析条件を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は背面図である。 （１）のシミュレーション結果を示す図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は背面図である。 （２）のシミュレーション結果を示す図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は背面図である。 （３）のシミュレーション結果を示す図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は背面図である。 （４）のシミュレーション結果を示す図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は背面図である。 （１）〜（４）のシミュレーション結果を示すグラフである。

符号の説明

Ｃ…スタッカクレーン（クリーンルーム用搬送体）、５０…巻き上げ機、６０…制御盤、８０…ガイド板取付機構、８１…ガイド板、８１ａ…ガイド面（内面）、Ｔ１、Ｔ２…（保管棚）、Ｓ…自動倉庫、ＣＬ１…クリーンルーム、Ｓ…、Ｄ…コンテナ（固体物、保管物、搬送物）、Ｑ…気流、Ｕ１、Ｕ２…うず流

Claims (4)

1. 保管棚を備えたクリーンルーム内において前記保管棚の側方を走行する搬送体であって、
   移動することで風圧を受ける固体物を有し、移動して風圧を受けた際、前記固体物の側方を相対的に流れる空気を、該固体物の移動方向における後ろ側に案内するガイド板を有したことを特徴とするクリーンルーム用搬送体。
2. 前記ガイド板は、前記固体物の側方からその移動方向における後ろ側に向かって湾曲して形成されていることを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用搬送体。
3. 前記ガイド板は、前記固体物の風圧を受ける面の高さの下側半分に対応して設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のクリーンルーム用搬送体。
4. 前記固体物が、搬送体によって搬送される搬送物であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のクリーンルーム用搬送体。

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