CN103357614A

CN103357614A - 清扫装置

Info

Publication number: CN103357614A
Application number: CN2013101188757A
Authority: CN
Inventors: 中尾多通夫
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2012-04-09
Filing date: 2013-04-08
Publication date: 2013-10-23
Also published as: US20130291332A1; KR20130114614A; SG194289A1; TW201345624A; JP2013216446A

Abstract

提供一种能够防止尘埃向周围飞散的清扫装置。该清扫装置构成为包括：覆盖物品支承台的清扫对象部位的罩体；在由罩体包围的区域内朝向清扫对象部位送出空气的送风装置；以及回收通过送风装置的送风而扬起的尘埃的尘埃回收装置。

Description

清扫装置

技术领域

本发明涉及一种清扫装置，该清扫装置包括由物品输送车的支承体支承的被支承部，所述物品输送车构成为，通过物品支承用的上述支承体的下降动作将由上述支承体支承的物品载置于物品支承台，清扫装置在上述被支承部由上述支承体支承的状态下通过上述支承体的下降动作而移动到上述物品支承台上，在该状态下，所述清扫装置对上述物品支承台的上表面的清扫对象部位进行清扫。

背景技术

清扫装置用于对物品支承台的上表面的清扫对象部位进行清扫，其中物品由物品输送车输送到物品支承台，清扫装置包括由物品输送车的支承体支承的被支承部，利用用于输送物品的物品输送车被输送至清扫对象部位。

另外，作为这种清扫装置的一例，有的清扫装置构成为，包括用于将存在于清扫对象部位的尘埃扫出的扫出部，扫出部在与清扫对象部位接触的状态下通过配备于物品输送车的移载装置的进退动作沿水平方向移动，由此将尘埃从清扫对象部位扫出从而对清扫对象部位进行清扫（例如参照日本实开平06-061814号公报（专利文献1））。

但是，上述清扫装置由于构成为利用扫出部从清扫对象部位扫出尘埃，从清扫对象部位扫出的尘埃向周围飞散，因此存在飞散的尘埃下落到地面上等由于飞散的尘埃而污损清扫对象部位的周围的问题。

发明内容

鉴于上述背景，期望实现一宗能够防止尘埃向周围飞散的清扫装置。

本发明的清扫装置包括由物品输送车的支承体支承的被支承部，所述物品输送车构成为，通过物品支承用的上述支承体的下降将由上述支承体支承的物品载置于物品支承台，清扫装置在上述被支承部由上述支承体支承的状态下，通过上述支承体的下降而移动到上述物品支承台上，在该状态下，所述清扫装置对上述物品支承台的上表面的清扫对象部位进行清扫，该清扫装置包括：

覆盖上述物品支承台的上述清扫对象部位的罩体；

送风装置，在由上述罩体覆盖上述清扫对象部位的状态下，在由上述罩体包围的区域内，朝向上述清扫对象部位送出空气；以及

尘埃回收装置，回收因上述送风装置的送风而扬起的尘埃。

即，进行物品支承台的清扫的清扫装置在由物品输送车的支承体支承的状态下，通过支承体下降而被交接到物品支承台，完成了物品支承台的清扫的清扫装置在由物品输送车的支承体支承的状态下，通过支承体上升动作而被从物品支承台接受。这样，清扫装置由输送物品的物品输送车输送至物品支承台。

另外，在将清扫装置交接至物品支承台并由罩体覆盖清扫对象部位的状态下，由送风装置朝向清扫对象部位送风，由此，存在于物品支承体的上表面的清扫对象部位的尘埃在罩体内扬起，该扬起的尘埃由尘埃回收装置回收，因此能够防止尘埃向周围飞散。

以下，对本发明的优选实施方式的例子进行说明。

在本发明的清扫装置的实施方式中，上述尘埃回收装置配备于形成在上述送风装置的上方的集尘用空间，上述送风装置构成为，抽吸上述集尘用空间的空气并使其通过上述尘埃回收装置，从而朝向位于比上述送风装置靠下方的位置的上述清扫对象部位送出空气，该清扫装置构成为包括空气引导路径，该空气引导路径将朝向上述清扫对象部位送出的空气通过上述送风装置的横侧方而引导到上述集尘用空间。

即，由送风装置朝向清扫对象部位送出的空气在通过送风装置的横侧方被引导到集尘用空间后，被清扫装置抽吸而朝向清扫对象部位送出。即，由送风装置朝向清扫对象部位送出并含有扬起的尘埃的空气通过集尘用空间中的尘埃回收装置，由此尘埃被回收，并再次借助送风装置朝向清扫对象部位送出。这样构成为使空气在罩体内循环来收集尘埃，因此，在罩体中不需要包括用于从外部空间向内部空间供给空气的供气部、及从内部空间向外部空间排出空气的排气部，因此能够实现罩体的结构的简化。

在本发明的清扫装置的实施方式中优选的是，上述罩体的下端部构成为沿着上述物品支承台的上表面的形状变形自如，以便遮挡上述罩体的内部空间和外部空间。

即，虽然有时在物品支承台的上表面形成有凹凸，但由于罩体的下端部能够沿着物品支承台的上表面的形状变形，因此，防止了载置于物品支承台的清扫装置由于碰到形成于物品支承台的上表面的凹凸而以倾斜的姿势被载置。因此，即便在物品支承台的上表面形成有凹凸，也能够将清扫装置以适于清扫的姿势载置于物品支承台，从而容易对清扫对象部位适当地进行清扫。

在本发明的清扫装置的实施方式中优选的是，上述送风装置由风机过滤机组构成，在该风机过滤机组中一体地组装有除去尘埃的除尘过滤器、和通过该除尘过滤器朝向上述清扫对象部位送出空气的送风风机。

即，由于通过除尘过滤器朝向清扫对象部位送出空气，因此，能够利用除尘过滤器除去未能由尘埃回收装置回收的尘埃，能够向清扫对象部位供给清洁的空气，因此能够对清扫对象部位适当地进行清扫。

另外，作为送风装置，由于仅包括一体地组装有除尘过滤器和送风风机的风机过滤机组即可，因此，包括尘埃过滤器和送风风机的送风装置的设置简单。

在本发明的清扫装置的实施方式中优选的是，上述送风装置包括绕纵向轴心旋转的送风风机，并且设置于在上述清扫装置载置于上述物品支承台的状态下从上述清扫对象部位向上方隔开间隔的部位，上述送风装置的下端面由多孔状的板状体覆盖。

即，送风装置的下端面由多孔状的板状体覆盖，在送风装置和板状体之间形成贮存空气的腔室。因此，即便在清扫对象部位的面积相对于送风风机较大的情况下，通过腔室的功能，也能够遍及清扫对象部位的大范围供给均匀的空气。

在本发明的清扫装置的实施方式中优选的是，该清扫装置包括：控制上述送风装置的动作的控制装置；对上述送风装置供给电力的蓄电池；以及对上述清扫装置已移动到上述物品支承台上进行检测的移动检测装置，上述控制装置控制上述送风装置的动作，使得伴随由上述移动检测装置检测到上述清扫装置已移动到上述物品支承台上，使上述送风装置动作，在从上述送风装置的动作开始经过了设定时间后，使上述送风装置的动作停止。

即，由于包括蓄电池，所以不需要设置例如用于从物品输送车向清扫装置进行供电的供电线等，从而容易处理清扫装置。

另外，当由移动检测装置检测到清扫装置移动到物品支承台上时，送风装置动作，在从该送风装置的动作开始经过了设定时间后，送风装置的动作停止。由此，送风装置在移动到物品支承台上之前、以及移动到物品支承台上并经过了对清扫对象部位进行清扫所需的设定时间后，停止动作，因此能够实现节省电力化。

附图说明

图1是物品输送设备的横向侧视图。

图2是物品输送设备的横向侧视图。

图3是将物品收纳容器支承于输送用位置的天花板输送车的侧视图。

图4是使物品收纳容器从输送用位置下降的天花板输送车的侧视图。

图5是将清扫装置支承于输送用位置的天花板输送车的侧视图。

图6是清扫装置的局部剖开侧视图。

图7是控制框图。

图8是清扫处理的作用图。

图9是清扫处理的作用图。

图10是清扫处理的作用图。

图11是另一实施方式的清扫装置的局部剖开侧视图。

附图标记说明

1物品输送车；2行进轨道；5物品支承台；6物品；14支承体；21被支承部；22罩体；23送风装置；24尘埃回收装置；28除尘过滤器；29送风风机；30集尘用空间；33板状体；35蓄电池；36移载检测装置；E清扫对象部位；F风机过滤机组；H2控制装置；S0外部空间；S1内部空间。

具体实施方式

下面，基于附图对包括本发明的清扫装置的物品输送设备的实施方式进行说明。

如图1～图5所示，在物品输送设备中设置有：作为物品输送车的天花板输送车1，在由配设于天花板侧的行进轨道2引导支承的状态下沿着行进路径行进自如；物品支承台4，以与对基板进行处理的处理装置3相邻的状态设置在地面侧；以及对物品支承台4上进行清扫的清扫装置5（参照图5）。

收纳有多张基板的基板收纳容器6作为物品由天花板输送车1输送，具体而言，输送收纳有半导体晶片的FOUP（front opening unified pod）。

在基板收纳容器6的上表面形成有顶部凸缘7，该顶部凸缘7由天花板输送车1的作为支承体的支承机构14支承，在基板收纳容器6的底面配备有容器凹入部，该容器凹入部与配备于物品支承台4的凸起部卡合。

[天花板输送车]

如图3和图4所示，天花板输送车1构成为包括：在行进轨道2上沿着行进路径行进的行进部11；和主体部12，以位于行进轨道2的下方的方式悬吊支承于行进部11并且将基板收纳容器6支承为升降移动自如。

主体部12构成为包括：支承基板收纳容器6的支承机构14；使支承机构14升降移动的升降操作机构15；罩部16，覆盖位于输送用位置的基板收纳容器6的上方侧和行进路径纵长方向的两侧；下落防止体17，防止由支承机构14支承的基板收纳容器6的下落；以及晃动防止体18，防止由支承机构14支承的基板收纳容器6的晃动。

在支承机构14配备有绕横向轴心摆动自如的一对把持爪14a。该一对把持爪14a构成为姿势在把持姿势与解除姿势之间变更自如，把持姿势是以相互接近的方式摆动而把持基板收纳容器6的顶部凸缘7的姿势；解除姿势是以相互分离的方式摆动而解除对顶部凸缘7的把持的姿势。

升降操作机构15构成为自如地卷绕和放出卷绕带15a，该卷绕带15a在前端部连接支承着支承机构14，升降操作机构15构成为通过对卷绕带15a进行卷绕和放出操作，来使支承机构14升降移动。如图1所示，在卷绕着卷绕带15a的状态下，支承于支承机构14的基板收纳容器6位于罩部16内。设该基板收纳容器6收纳于罩部16内的位置为输送用位置。

下落防止体17构成为其位置在接住位置与退避位置之间变更自如，接住位置是位于处于输送用位置的基板收纳容器6的正下方的位置（参照图3），退避位置是从基于支承机构14的升降的基板收纳容器6的升降路径退避的位置（参照图4）。另外，通过使下落防止体17位于接住位置，使得即便支承机构14的支承在天花板输送车1的行进中脱开，也能够利用下落防止体17接住基板收纳容器6。由此能够防止基板收纳容器6的下落。另一方面，通过使下落防止体17位于退避位置，从而能够使支承机构14升降移动而将基板收纳容器6交接至物品支承台4，或从物品支承台4接受基板收纳容器6。

晃动防止体18构成为其位置在接抵位置与离开位置之间变更自如，接抵位置是从行进路径纵长方向的两侧与位于输送用位置的基板收纳容器6接抵的位置（参照图3）；离开位置是在行进路径纵长方向上相对于位于输送用位置的基板收纳容器6离开的位置（参照图4）。另外，通过使晃动防止体18位于接抵位置，能够防止基板收纳容器6在天花板输送车1的行进中晃动。并且，通过使晃动防止体18位于离开位置，从而能够使支承机构14升降移动而将基板收纳容器6交接至物品支承台4，或从物品支承台4接受基板收纳容器6。

天花板输送车1在由支承机构14支承着基板收纳容器6的状态下行进移动时，卷绕着卷绕带15a，并且把持爪14a处于把持姿势以把持基板收纳容器6，下落防止体17位于接住位置，并且晃动防止体18位于接抵位置。此时，基板收纳容器6位于输送用位置。

并且，天花板输送车1在支承机构14未支承基板收纳容器6的状态下行进移动时，卷绕着卷绕带15a，并且把持爪14a处于解除姿势，下落防止体17位于退避位置，并且晃动防止体18位于离开位置。

另外，在天花板输送车1将基板收纳容器6交接到物品支承体4时，在使天花板输送车1停止于与物品支承台4对应的停止位置的状态下，使下落防止体17移动到退避位置并且使晃动防止体18移动到离开位置。然后，放出卷绕带15a，使支承基板收纳容器6的支承机构14下降移动，将基板收纳容器6放下至物品支承台4，将把持爪14a切换至把持解除姿势，从而解除对基板收纳容器6的把持。之后，对卷绕带15a进行卷绕，使未支承基板收纳容器6的支承机构14上升移动，由此将基板收纳容器6交接到物品支承台4。

此外，在天花板输送车1从物品支承台4接受基板收纳容器6时，在使天花板输送车1停止于物品支承体4的正上方的状态下，放出卷绕带15a，使未支承基板收纳容器6的支承机构14下降移动，然后，将把持爪14a切换到把持姿势，从而对载置于物品支承台4的基板收纳容器6进行把持。然后，对卷绕带15a进行卷绕，使支承基板收纳容器6的支承机构14上升移动，使下落防止体7移动到接住位置，并且使晃动防止体18移动到接抵位置，由此从物品支承台4接受基板收纳容器4。

这样，天花板输送车1构成为，通过支承机构14的下降将基板收纳容器6交接至物品支承台4，并且通过支承机构14的上升从物品支承台4接受基板收纳容器6。并且，天花板输送车1在交接基板收纳容器6时，通过物品支承用的支承机构14的下降，将由支承机构14支承的基板收纳容器6以载置于物品支承台4的方式进行交接。

另外，在物品支承台4的上表面设定有由清扫装置5清扫的清扫对象部位E。具体而言，清扫对象部位E设定为，使得与基板收纳容器6卡合的3个部位的凸起部位于该清扫对象部位E内。换言之，3个部位的凸起部配备于物品支承台4的上表面的清扫对象部位E。

[清扫装置]

如图6所示，清扫装置5构成为包括由天花板输送车1的支承机构14支承的被支承部21，并构成为在被支承部21由支承机构14支承的状态下通过支承机构14的下降在物品支承台4上移动自如。另外，清扫装置5构成为，在位于物品支承台4上的状态下对物品支承台4的上表面的清扫对象部位E进行清扫。

并且，清扫装置5的外形形成为收纳于天花板输送车1的罩部16内的大小，清扫装置5构成为与基板收纳容器6同样地由天花板输送车1输送。即，在被支承部21由支承机构14支承并且清扫装置5位于输送用位置的状态下，天花板输送车1行进移动，在被支承部21由支承机构14支承的状态下，通过支承机构14的下降被交接至物品支承台4，在被支承部21由支承机构14支承的状态下，通过支承机构14的上升从物品支承台4被接受。

清扫装置5构成为包括：覆盖物品支承台4的清扫对象部位E的罩体22；送风装置23，在由罩体22覆盖清扫对象部位E的状态下，在由罩体22包围的区域内，朝向清扫对象部位E送出空气；以及尘埃回收装置24，回收因送风装置23的送风而扬起的尘埃。

罩体22构成为包括形成有内部空间S1的下部部分22a、和设置有蓄电池35等的上部部分22b。下部部分22a形成为侧面（所有侧面）和上表面封闭并且下表面开放的形状，在内部形成有内部空间S1。此外，下部部分22a的下部形成为四方筒状，上部形成为越靠上方侧内部空间S1的横截面积越小的渐细形状。

另外，罩体22以在清扫装置5载置于物品支承台4的状态下从上方覆盖清扫对象部位E的方式设置于清扫装置5，在天花板25的上表面的中央连结着由天花板输送车1的支承机构14支承的被支承部21。

在下部部分22a的周壁的下表面跨越其整周设置有沿上下方向变形自如的变形部件26，该变形部件26由弹性变形自如的海绵橡胶构成。这样，罩体22的下端部构成为沿着物品支承台4的上表面变形自如，以遮挡罩体22的内部空间S1和外部空间S0（罩体22的外侧的空间）。

送风装置23由风机过滤机组F构成，在该风机过滤机组F中一体地组装有除去尘埃的除尘过滤器28、和通过该除尘过滤器28向清扫对象部位E送出空气的送风风机29。

该风机过滤机组F以成为如下状态的方式设置于罩体22的内部空间S1：从罩体22的天花板25向下方隔开间隔，并且从罩体22的周壁向横侧方（从各周壁向内侧）隔开间隔，并且在清扫装置5载置于物品支承台4的状态下从清扫对象部位E向上方隔开间隔。另外，在内部空间S1中的风机过滤机组F的上方形成有集尘用空间30，在内部空间S1中的风机过滤机组F的横侧方（风机过滤机组F与内周壁面之间）形成有空气引导路径31，该空气引导路径31使朝向清扫对象部位E送出的空气通过风机过滤机组F的横侧方而引导到集尘用空间30。

尘埃回收装置24配备于集尘用空间30，以覆盖风机过滤机组F的上表面侧的状态设置。该尘埃回收装置24利用纸等透气自如的材质形成为空气的流动方向的上游侧开口的袋状，从透过尘埃回收装置24的空气中将尘埃收集到尘埃回收装置24内。附带说一下，尘埃回收装置24构成为拆装自如，从而能够更换。

此外，风机过滤机组F的下端面由多孔状的板状体33覆盖，该板状体33以覆盖风机过滤机组F的下表面侧的状态设置，形成为从风机过滤机组F向下方鼓出的形状。因此，在风机过滤机组F的除尘过滤器28与板状体33之间形成有腔室C。

风机过滤机组F以使得送风风机29绕纵向轴心旋转的方式支承于罩体22。另外风机过滤机组F构成为，通过使送风风机29旋转，来抽吸位于风机过滤机组F的上方的集尘用空间30的空气，并朝向风机过滤机组F的下方的清扫对象部位E送风。

由送风风机29朝向下方的清扫对象部位E供给的空气中的未由尘埃回收装置24回收的细小尘埃被除尘过滤器28除去，从而将空气清洁化。此外，即便在从送风风机29供给的空气中产生脉动，通过腔室C的功能也抑制该脉动，从而遍及清扫对象部位E的大范围供给均匀的空气。

另外，借助风机过滤机组F的送风作用，使得在风机过滤机组F的上方的集尘用空间30中成为负压，而在风机过滤机组F的下方的送风用空间32（清扫对象部位E的上方的空间）中成为正压。因此，送风用空间32的空气通过空气引导路径31流动到集尘用空间30。由于风机过滤机组F对清扫对象部位E的空气的供给以及从送风用空间32向集尘用空间30的空气的流动，使得存在于清扫对象部位E的尘埃被扬起而送到集尘用空间30，该被送到集尘用空间30的尘埃由尘埃回收装置24回收。

这样，借助风机过滤机组F的送风作用，使空气在罩体22内循环，使清扫对象部位E的尘埃在罩体22内扬起并由尘埃回收装置24回收尘埃。

[控制装置]

如图7所示，在物品输送设备设置有控制天花板输送车1的动作的作为控制装置的输送控制装置H1。

输送控制装置H1构成为控制天花板输送车1的动作，以执行如下处理：将基板收纳容器6交接至物品支承台4的交接处理；从物品支承台4接受基板收纳容器6的接受处理；以及在将清扫装置5交接到物品支承台4后经过了预先设定的清扫用待机时间后，从物品支承台4接受清扫装置5的清扫处理。

在交接处理中，在使支承基板收纳容器6的天花板输送车1停止于与物品支承台4对应的停止位置的状态下，使下落防止体17移动到退避位置，并且使晃动防止体18移动到离开位置，在放出卷绕带15a后，使姿势变更至把持爪14a的解除姿势，将基板收纳容器6交接至物品支承台4，然后对卷绕带15a进行卷绕。

此外，在接受处理中，在使未支承基板收纳容器6的天花板输送车1停止于与物品支承台4对应的停止位置的状态下，在放出卷绕带15a后，使把持爪14a姿势变更至把持姿势，从物品支承台4接受基板收纳容器6，然后对卷绕带15a进行卷绕，使下落防止体17移动到接住位置，并且使晃动防止体18移动到接抵位置。

另外，在交接处理中，将交接至物品支承台4的清扫装置5从收纳基板收纳容器6的收纳部或保管清扫装置5的专用的保管部进行输送，在接受处理中，将从物品支承台4接受的清扫装置5输送到收纳部或保管部。

在清扫处理中，如图8所示，在使支承清扫装置5的天花板输送车1停止于与物品支承台4对应的停止位置的状态下，使下落防止体17移动到退避位置，并且使晃动防止体18移动到离开位置，放出卷绕带15a，而使清扫装置5载置于物品支承台4。然后，伴随将清扫装置5交接至物品支承台4，将表示已将清扫装置5交接至物品支承台4的交接完成信息从发送装置34发送至清扫装置5。

此外，在清扫处理中，如图10所示，在将交接完成信息发送至清扫装置5后经过了清扫用待机时间以上后，为了从物品支承台4接受该清扫装置5，在使未支承基板收纳容器6的天花板输送车1停止于与物品支承台4对应的停止位置的状态下，放出卷绕带15a。然后，使把持爪14a姿势变更至把持姿势，从物品支承台4接受清扫装置5，然后对卷绕带15a进行卷绕，使下落防止体17移动到接住位置，并且使晃动防止体18移动到接抵位置。

在清扫装置5中设置有：控制风机过滤机组F（送风风机29）的动作的作为控制装置的清扫控制装置H2；对风机过滤机组F（驱动送风风机29旋转的电动马达）供给电力的蓄电池35；以及接收从发送装置34 发送的交接完成信息的接收装置36。

如图9所示，清扫控制装置H2构成为控制风机过滤机组F的动作，以便伴随由接收装置36接收到来自输送控制装置H1的交接完成信息，使风机过滤机组F动作，在从风机过滤机组F的动作开始经过了设定时间后，使风机过滤机组F的动作停止。

因此，清扫装置5在由天花板输送车1交接到物品支承台4后，使风机过滤机组F动作，以对清扫对象部位E进行清扫，在从风机过滤机组F的动作开始经过了设定时间后，停止风机过滤机组F的动作。这样，在风机过滤机组F的动作停止后，由与将该清扫装置5交接到物品支承台4的天花板输送车1不同的天花板输送车1接受清扫装置5。

另外，设定时间设定为比清扫用待机时间短的时间。

此外，接收装置36是用于接收伴随清扫装置5移动到物品支承台4上而发送的交接完成信息的装置，相当于对清扫装置5已移动到物品支承台4上的情况进行检测的移动检测装置。

这样，由输送基板收纳容器6的天花板输送车1将清扫装置5交接至物品支承台4上。然后，使风机过滤机组F动作，由此使存在于物品支承台4的清扫对象部位E的尘埃在罩体22内扬起，并由尘埃回收装置24回收。因此，在利用清扫装置5清扫了清扫对象部位E时，尘埃不会向周围飞散。

[其它实施方式]

（1）在上述实施方式中，尘埃回收装置24与风机过滤机组F的除尘过滤器28分开设置，但也可以如图11所示，将风机过滤机组F中的除尘过滤器28作为尘埃回收装置24。

此外从正上方对清扫对象部位E送出空气，但也可以如图11所示，从横侧方对清扫对象部位E送出空气。

（2）在上述实施方式中构成为空气在罩体22内循环，但也可以构成为，在罩体22中设置使空气从内部空间S1向外部空间S0流动自如的透气部，并在罩体22中设置送风装置23以将外部空间S0的空气送至内部空间S1，从而使空气不在罩体22内循环。附带说一下，在该情况下，尘埃回收装置24设置于透气部。

（3）在上述实施方式中，送风风机29以绕纵向轴心旋转的状态配备于送风装置23，但也可以如图11所示，将送风风机29以绕横向轴心旋转的状态配备于送风装置23。

此外，在上述实施方式中，送风装置23由一体地组装有送风风机29和除尘过滤器28的风机过滤机组F构成，但送风装置23也可以仅由送风风机29构成。此外，在送风装置23构成为包括送风风机29和除尘过滤器28的情况下，也可以构成为将这些送风风机29和除尘过滤器28分别地安装于罩体22。

（4）在上述实施方式中，利用海绵橡胶构成变形部件26，并且罩体22的下端部构成为沿着物品支承台4的上表面变形自如，但可以适当地变更使罩体22的下端部变形自如的结构，例如也可以在罩体22的下端部沿着周壁排列设置多个棒状或板状的封闭体，将该多个封闭体分别以被限制向下方移动而向上方移动自如的状态，设置为从罩体22的下端向下方突出，多个封闭体分别与物品支承台4的上表面接触，由此向上方抬起，从而将罩体22的下端部构成为变形自如。

此外，在物品支承台4的上表面平坦的情况下，也可以在罩体22的下端部不设置变形部件26，而将罩体22的下端部构成为不能沿上下方向变形。

（5）在上述实施方式中，以覆盖送风装置23的下端面的状态设置多孔状的板状体33，但也可以不设置该多孔状的板状体33。

此外，板状体33的孔的形状可以适当变更，可以利用冲压金属构成而包括多个圆孔，也可以包括多个狭缝状的孔。

（6）在上述实施方式中，作为移动检测装置，设置有接收来自输送控制装置H1的交接完成信息的接收装置36，但作为移动检测装置，也可以设置伴随清扫装置5移载到物品支承台4上而被接通操作的接触式传感器等位置检测传感器，该位置检测传感器用于检测清扫装置5相对于物品支承台4的位置。

（7）在上述实施方式中，在从风机过滤机组F的动作开始经过了预先设定的设定时间后，使风机过滤机组F的动作停止，但也可以在清扫装置5设置颗粒计数器等尘埃浓度测量装置，在风机过滤机组F的动作开始后，由尘埃浓度测量装置测量的罩体内的尘埃浓度成为阈值以下时，使风机过滤机组F的动作停止。

（8）在上述实施方式中，使物品输送车为沿着配设于天花板侧的行进轨道2行进移动的天花板输送车1，利用卷绕带15a的放出和卷绕使支承体升降，但也可以使物品输送车为配设于地面侧的塔式起重机，利用升降台的升降移动使支承体升降。

（9）在上述实施方式中，利用与将清扫装置5交接到物品支承台4的物品输送车不同的物品输送车，从物品支承台4接受清扫装置5，但也可以利用将清扫装置5交接到物品支承台4的物品输送车，从物品支承台4接受清扫装置5。

附带说一下，在物品输送设备上可以仅设置一台清扫装置5，也可以设置多台清扫装置5。

Claims

1.一种清扫装置，该清扫装置包括由物品输送车的支承体支承的被支承部，所述物品输送车构成为，通过物品支承用的上述支承体的下降将由上述支承体支承的物品载置于物品支承台，清扫装置在上述被支承部由上述支承体支承的状态下通过上述支承体的下降而移动到上述物品支承台上，在该状态下，所述清扫装置对上述物品支承台的上表面的清扫对象部位进行清扫，其特征在于，

该清扫装置包括：

覆盖上述物品支承台的上述清扫对象部位的罩体；

尘埃回收装置，回收因上述送风装置的送风而扬起的尘埃。

2.根据权利要求1所述的清扫装置，其特征在于，

上述尘埃回收装置配备于形成在上述送风装置的上方的集尘用空间，

上述送风装置构成为，抽吸上述集尘用空间的空气并使其通过上述尘埃回收装置，从而朝向位于比上述送风装置靠下方的位置的上述清扫对象部位送出空气，

该清扫装置构成为包括空气引导路径，该空气引导路径使朝向上述清扫对象部位送出的空气通过上述送风装置的横侧方而引导到上述集尘用空间。

3.根据权利要求1或2所述的清扫装置，其特征在于，

上述罩体的下端部构成为，沿着上述物品支承台的上表面的形状变形自如，以便遮挡上述罩体的内部空间和外部空间。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的清扫装置，其特征在于，

上述送风装置由风机过滤机组构成，在该风机过滤机组中一体地组装有除去尘埃的除尘过滤器、和通过该除尘过滤器朝向上述清扫对象部位送出空气的送风风机。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的清扫装置，其特征在于，

上述送风装置包括绕纵向轴心旋转的送风风机，并且设置于在上述清扫装置载置于上述物品支承台的状态下从上述清扫对象部位向上方隔开间隔的部位，

上述送风装置的下端面由多孔状的板状体覆盖。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的清扫装置，其特征在于，

该清扫装置包括：控制上述送风装置的动作的控制装置；对上述送风装置供给电力的蓄电池；以及对上述清扫装置已移动到上述物品支承台上进行检测的移动检测装置，

上述控制装置控制上述送风装置，使得伴随由上述移动检测装置检测到上述清扫装置已移动到上述物品支承台上，使上述送风装置动作，在从上述送风装置的动作开始经过了设定时间后，使上述送风装置的动作停止。