JP6861949B2 - ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置 - Google Patents

ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置 Download PDF

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    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments

Description

本発明は、ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置に関するものである。
近年、例えば液晶表示装置や有機EL表示装置などのフラットパネルディスプレイに用いられるガラス板(ガラス基板)においては、顧客からの要求仕様が増々厳しくなり、様々な品質管理を行うことが不可欠となっている。
また、その一方において、ガラス板の外形サイズは、コスト低減等の理由からより高い製造効率を実現するべく、例えば1000mm×1000mm以上の大型サイズのものが主流となってきている。
このような状況のもと、ガラス板の製造工程においては、例えば各工程の終了後、加工されたガラス板に対して抜取検査を行うことで、最終製品としてのガラス基板の品質向上が図られていた。
そして、この抜取検査を行うために、例えばベルトコンベヤ等からなる搬送機構からガラス板を抜き取るための装置が提案されている(例えば特許文献1参照)。
中国実用新案公告第205771976号明細書
ところで、ガラス板の端面加工工程は液体を供給しながら実施するために、端面加工工程を経たガラス板には、液体が付着している。板厚が薄くかつ表面積が広いガラス板の場合、ガラス板に付着した液体の重みによってガラス板が撓み、破損しやすい。そのため、端面加工の後にガラス板を抜き取る場合には、ガラス板に付着する液体量を減少させることが望まれる。なお、端面加工工程で供給される液体には、例えば、洗浄液や研削液、研磨液等がある。洗浄液は、端面加工でガラス板を保持する定盤等を洗浄するために供給され、洗浄液には、例えば水や水に洗剤を添加した液体等が用いられる。研削液及び研磨液は、砥石の冷却や切り粉の除去を主な目的として供給され、研削液及び研磨液には、例えば水や水に潤滑剤を添加した液体等が用いられる。
本発明は、上記事情に鑑み、ガラス板の製造工程において、端面加工工程の後に抜き取ったガラス板に付着する液体量を減少させることを技術的課題とする。
上記課題を解決するために創案された本発明に係るガラス板の製造方法は、液体を供給しながら水平姿勢のガラス板の端面を加工する端面加工工程、水平姿勢のガラス板を傾斜姿勢に姿勢変更する姿勢変更工程、及び傾斜姿勢のガラス板を洗浄する洗浄工程の順に、ガラス板を搬送機構で搬送するガラス板の製造方法であって、姿勢変更工程と洗浄工程との間に、抜取機構でガラス板を傾斜姿勢で保持し、搬送機構から所定の載置面に移載する抜取工程を備えることを特徴とする。
この構成では、抜取機構によってガラス板を傾斜姿勢で保持して、搬送機構から載置面に移載する。ガラス板の傾斜姿勢は、水平面に対する傾斜角度が水平姿勢より大きいので、ガラス板に付着した液体は、抜取機構でガラス板を移載する過程でガラス板から落下し易い。従って、抜き取ったガラス板に付着する液体量を減少させることができる。
上記の構成において、搬送機構の傾斜姿勢の傾斜上方となる側に、載置面を配置してもよい。
この構成であれば、ガラス板を搬送機構上から載置面上に移動させる際に、ガラス板が傾斜姿勢の傾斜上方となる側に移動することになる。従って、ガラス板の上に付着した液体が傾斜姿勢の傾斜下方側に移動するように液体に対して慣性力が作用し、ガラス板の上から液体が脱離しやすくなる。
上記の構成において、搬送機構の傾斜姿勢の傾斜下方となる側に、載置面を配置してもよい。
この構成であれば、ガラス板を搬送機構上から載置面上に移動させる際に、搬送機構の傾斜上方側の部位をガラス板が越える必要が無くなるので、ガラス板を上下動させる量を少なくすることができる。
上記の構成において、抜取機構が、複数の吸着パッドでガラス板を吸着してもよい。
この構成であれば、大きなサイズのガラス板を抜取機構で安定して保持することが可能になる。また、ガラス板の保持及びその解除が容易になる。
上記の構成において、複数の吸着パッドのそれぞれが、弁部を介して真空系に接続され、弁部は、自動で、吸着パッドがガラス板に接触した状態で開くと共に、吸着パッドがガラス板に接触していない状態で閉じてもよい。
この構成であれば、一部が欠けたガラス板(割れたガラス板)や小さいサイズのガラス板に吸着パッドを吸着させようとした際、ガラス板が存在しない場所に位置する吸着パッドに接続する弁部が閉じて真空系の真空度が維持される。そして、ガラス板が存在する場所に位置する吸着パッドに接続する弁部が開くので、ガラス板に吸着パッドが確実に吸着する。従って、一部が欠けたガラス板や小さいサイズのガラス板を、確実に、吸着パッドで吸着して保持することができる。また、小さいサイズのガラス板に吸着パッドを吸着させる場合、ガラス板が存在しない場所に位置する吸着パッドに接続する弁部を事前に手動で閉じる操作が不要となる。
上記の構成において、複数の吸着パッドが、複数種類のサイズのガラス板の周縁部に吸着するように配置されていてもよい。
この構成であれば、複数種類のサイズのガラス板のいずれを吸着する場合でも、ガラス板の周縁部が吸着されるので、複数種類のサイズのガラス板を、確実に保持することができる。しかも、吸着パッドが吸着する場所は、ガラス板の周縁部なので、少ない数の吸着パッドでガラス板を安定して吸着保持できる。
上記の構成において、載置面が、ガラス板を傾斜姿勢で載置可能な傾斜面であってもよい。
この構成であれば、載置面上で、ガラス板に付着した液体をガラス板から脱離し易くできる。
上記の構成において、載置面が台車に設けられており、台車は、載置面の角度を変更可能に構成され、センサにより、台車の有無及び載置面の傾斜角度の適否を検知してもよい。
この構成であれば、台車の存在をセンサで検知してから、ガラス板を台車の載置面に載置できる。また、台車の載置面の傾斜角度が適切であることをセンサで検知してから、ガラス板を台車の載置面に載置できる。従って、ガラス板を確実に台車の載置面に載置できる。また、台車が存在しない状態や載置面の傾斜角度が不適切な状態で抜取工程が実行され、抜き取ったガラス板が破損したり、装置が損傷したりするのを防止できる。
上記の構成において、ガラス板の端面を支持する受け皿が載置面の傾斜下方となる側に設けられると共に、樋が受け皿の真下に配置されてもよい。この場合、ガラス板から脱離する液体を、受け皿が有する複数の貫通孔から排出して落下させることによって樋に供給してもよい。
この構成であれば、残存する液体をガラス板から除去できると共に、除去した液体を樋で収集することができる。
上記の構成において、ガラス板の端面を支持する受け皿が載置面の傾斜下方となる側に設けられると共に、液体を排出するための排出口が配置されてもよい。この場合、ガラス板から脱離する液体を、受け皿に沿って流して排出口に導いてもよい。
この構成であれば、残存する液体を受け皿によって収集しながら、排出口によって除去できる。
また、上記課題を解決するために創案された本発明に係るガラス板の製造装置は、液体を供給しながら水平姿勢のガラス板の端面を加工する端面加工工程、水平姿勢のガラス板を傾斜姿勢に姿勢変更する姿勢変更工程、及び傾斜姿勢のガラス板を洗浄する洗浄工程の順に、ガラス板を搬送する搬送機構を備えたガラス板の製造装置であって、姿勢変更工程と洗浄工程との間で、ガラス板を傾斜姿勢で保持し、搬送機構から所定の載置面に移載する抜取機構を備えることを特徴とする。
この構成によれば、ガラス板の製造方法の一番目の構成と実質的に同様の作用及び効果を得ることができる。
以上のように、本発明によれば、ガラス板の製造工程において、端面加工工程の後に抜き取ったガラス板に付着する液体量を減少させることができる。
本発明の実施形態に係るガラス板の製造装置の要部を示す概略平面図である。 (A)が図1のX−X線矢視断面図、(B)が図1のY−Y線矢視断面図、(C)が図1のZ−Z線矢視断面図である。 ガラス板の抜取機構を示す概略側面図である。 吸着パッドの配置を示す概略図である。 吸着パッドに関する配管を説明する模式図である。 ガラス板の抜取機構の動作を説明するための概略側面図である。 ガラス板の抜取機構の動作を説明するための概略側面図である。 ガラス板の抜取機構の動作を説明するための概略側面図である。 ガラス板の抜取機構の動作を説明するための概略側面図である。 ガラス板の抜取機構の動作を説明するための概略側面図である。 ガラス板の抜取機構の動作を説明するための概略側面図である。 ガラス板の抜取機構の動作を説明するための概略側面図である。 ガラス板の抜取機構の動作を説明するための概略側面図である。 ガラス板の抜取機構の動作を説明するための概略側面図である。 ガラス板の抜取機構の第1変形例の概略側面図である。 ガラス板の抜取機構の第2変形例の概略側面図である。 第2変形例の載置部の概略平面図である。
以下、本発明を実施するための形態について図面に基づき説明する。
図1に示すように、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法で使用されるガラス板の製造装置1は、ガラス板Gを所定の搬送方向に搬送する搬送機構2を備える。搬送機構2は、例えばベルトコンベヤやローラコンベヤ等で構成される。搬送機構2は、第1搬送機構2aと、第2搬送機構2bと、第3搬送機構2cとを有する。白矢印で示すように、ガラス板Gは、第1搬送機構2a、第2搬送機構2b、第3搬送機構2cの順に搬送される。ガラス板Gは矩形状の平板であり、その辺(例えば、長辺)が搬送方向に沿った状態で搬送される。
第1搬送機構2aの搬送経路の途中で、液体を供給しながらガラス板Gの端面を加工する端面加工工程S1が実施される。第3搬送機構2cの搬送経路の途中でガラス板Gに対して、洗浄液を用いてガラス板Gを洗浄する洗浄工程S3が実施される。端面加工及び洗浄は、ガラス板Gを搬送しながら行ってもよく、搬送を停止した状態で行ってもよい。
図2(A)に示すように、ガラス板Gは、第1搬送機構2aでは水平姿勢P1で搬送される。一方、図2(C)に示すように、ガラス板Gは、第3搬送機構2cでは傾斜姿勢P2で搬送される。そして、図2(B)に示すように、ガラス板Gの姿勢は、第2搬送機構2bにおいて、第1搬送機構2aでの水平姿勢P1から第3搬送機構2cでの傾斜姿勢P2に変更される。つまり、第2搬送機構2bによって搬送されるガラス板Gに対して、水平姿勢P1から傾斜姿勢P2にガラス板Gを姿勢変更する姿勢変更工程S2が実施される。なお、第3搬送機構2cでは、ガラス板Gが傾斜姿勢P2であるため、洗浄工程S3で用いられた洗浄液が迅速にガラス板Gから落下する。
第1搬送機構2a、第2搬送機構2b及び第3搬送機構2cでは、ガラス板Gの搬送方向が水平方向に沿っている。第2搬送機構2b及び第3搬送機構2cにおいて、傾斜姿勢P2のガラス板Gは、搬送方向と平行な軸線回りに回転することによって水平面Hに対して傾斜している。この傾斜角度αは、例えば、4°〜6°である。なお、図面の記載は、理解し易いように、傾斜角度αが大きめとなっている(以下の図面も同様)。なお、第1搬送機構2a及び第2搬送機構2bにおいて、水平姿勢P1のガラス板Gの傾斜角度αは0°である。
更に、製造装置1は、図3に示すように、姿勢変更工程S2と洗浄工程S3との間で、第2搬送機構2bからガラス板Gを抜き取る抜取機構3と、抜取機構3によって抜き取られたガラス板Gが載置される台車4とを備える。換言すれば、姿勢変更工程S2と洗浄工程S3との間に、抜取機構3でガラス板Gを保持し、第2搬送機構2bから台車4に移載する抜取工程が設けられている。なお、図3は、図1のY−Y線の矢印と同じ向きで見た側面図である。また、便宜上、第2搬送機構2bの側を前側、台車4の側を後側とする。
第2搬送機構2bは、支持機構2dに支持されている。そして、第2搬送機構2b自体が水平姿勢から傾斜姿勢となることにより、水平姿勢P1から傾斜姿勢P2にガラス板Gを姿勢変更する。第2搬送機構2bの姿勢を変更する機構は、公知技術によって製造できる(例えば、特開平9−226916号公報参照)。
抜取機構3は、架台5と、前後動部6と、上下動部7と、吸着パッド8とを有する。架台5には、前後方向(横方向)に延びるレール部5aが設けられ、レール部5aに沿って、前後動部6が、前進及び後退を行うように構成されている。上下動部7は、支持部7aを介して前後動部6に支持されており、支持部7aが前後動部6に対して上下動することにより、上下動部7が上下動するように構成されている。
上下動部7の下側に、吸着パッド8が複数配設されている。吸着パッド8は、ガラス板Gに吸着して、ガラス板Gを吸着保持するためのものである。上下動部7は、下降した状態で、吸着パッド8が傾斜姿勢P2のガラス板Gを吸着できるように傾斜姿勢となっている。前後動部6及び上下動部7は、吸着パッド8に吸着されたガラス板Gを、傾斜姿勢P2の状態で移動させるためのものである。
図4に示すように、複数の吸着パッド8は、複数種類のサイズのガラス板G,G1,G2の周縁部に吸着するように上下動部7に配置されている。図4において、複数の吸着パッド8は、縦方向に列を成すと共に、横方向に列を成している。
図5に示すように、複数の吸着パッド8は、第1弁部9aを介して配管10に接続されている。配管10には、第2弁部9bを介して負圧発生源11が接続されている。負圧発生源11は、例えば真空ポンプで構成することができ、必要に応じて、真空ポンプと第2弁部9bの間に内部が負圧で維持されるリザーバタンクを配置してもよい。また、配管10には、第3弁部9cを介して圧縮空気源12が接続されている。圧縮空気源12は例えばコンプレッサーで構成することができ、必要に応じて、コンプレッサーと第3弁部9cの間に内部が正圧で維持されるリザーバタンクを配置してもよい。第3弁部9cを閉じて、第2弁部9bを開くと、負圧発生源11と配管10で真空系が構成される。一方、第2弁部9bを閉じて、第3弁部9cを開くと、圧縮空気源12から配管10内に高圧の空気が流入する。
第1弁部9aは、自動で、吸着パッド8の吸着側の開口端部8aがガラス板Gに接触した状態で開くと共に、吸着パッド8の吸着側の開口端部8aがガラス板Gに接触していない状態で閉じる。このような第1弁部9aは、例えば、SMC社製のサクションアシストバルブ等で構成することができる。
図3に示すように、台車4には、前後動部6及び上下動部7によって移動させられたガラス板Gが載置される載置面4aが設けられている。載置面4aは、載置部4bに設けられている。載置面4aは、ガラス板Gを傾斜姿勢P2の状態で載置可能な傾斜面である。傾斜姿勢P2のガラス板Gが載置される載置面4aは、傾斜姿勢P2のガラス板Gが支持される搬送機構2の搬送面2eより低位置にある。傾斜姿勢P2のガラス板Gが載置される載置面4aと、傾斜姿勢P2のガラス板Gが支持される搬送面2eは、傾斜姿勢P2のガラス板Gと同様に傾斜している。載置面4aからガラス板Gが落下するのを防止するため、載置面4aの傾斜下方となる側には、板状の受け皿4cが設けられている。載置面4aの傾斜角度は変更可能に構成されている。これにより、ガラス板G及び載置面4aの傾斜角度を例えば50〜85°とすることにより、図3に破線で示すように、載置部4b(ガラス板G)を縦置き姿勢にすることができる。また、図示を省略するが、載置部4b(ガラス板G)を水平姿勢にすることもできる。なお、載置面4aの傾斜角度は変更不能に構成してもよい。
抜取機構3には、不図示の支持部材に支持されたセンサ13が設けられている。センサ13は、例えば近接センサ等で構成される。センサ13により、台車4の載置部4bの有無を検知することができる。また、センサ13により、更に、載置面4aの傾斜角度の適否を検知することができる。つまり、載置面4aの傾斜角度が、傾斜姿勢P2のガラス板Gの傾斜角度と同一か否かを検知することができる。これらの検知は、例えば、載置面4aの傾斜角度が、傾斜姿勢P2のガラス板Gの傾斜角度と同一である場合にのみ、載置部4bを検知できる位置にセンサ13を設けることによって可能となる。
載置部4bが傾斜姿勢である状態で、ガラス板Gに残存する液体を除去して回収するため、受け皿4cは複数の貫通孔(図示なし)を有すると共に、樋4d及びタンク4eが配置される。載置部4bが傾斜姿勢である場合、樋4dは受け皿4cの真下に位置する。また、樋4dとタンク4eは配管(例えばホース)によって接続される。このような構成では、ガラス板Gに残存する液体は、流下に伴って受け皿4cが有する複数の貫通孔から排出される。その貫通孔から排出された液体は、落下によって樋4dに供給される。樋4dに供給された液体は、収集されてタンク4eに回収される。
載置部4bが縦置き姿勢である状態で、ガラス板Gに残存する液体を除去して回収するため、トレイ4fが配置される。載置部4bが縦置き姿勢である場合、トレイ4fは受け皿4cの真下に位置する。このような構成では、ガラス板Gに残存する液体は、流下に伴って受け皿4cが有する複数の貫通孔から排出される。その貫通孔から排出された液体は、トレイ4fに落下して回収される。
次に、図6〜図14を参照しつつ、製造装置1の要部の動作について説明する。なお、樋4d及びタンク4eは、製造装置1の要部の動作に関係しないので、図6〜図14では、図示を省略している。
図6に示すように、最初は、台車4は存在せず、抜取機構3は、待機状態である。前後動部6は、後退位置Lbにあり、上下動部7は上昇位置Luにある。そして、第2搬送機構2bは、通常の動作を行っている。つまり、第2搬送機構2bは、第2搬送機構2b上に搬入されたガラス板Gを水平姿勢P1から傾斜姿勢P2に姿勢変更した後、第2搬送機構2b上から第3搬送機構2cに搬出するという動作を繰り返している。なお、図示例は、第2搬送機構2b上のガラス板Gが、姿勢変更される前であり、水平姿勢P1である。
次に、図7に示すように、台車4を所定の位置に配置する。そして、抜取機構3を稼働状態にする。すると、第2搬送機構2bが、ガラス板Gを水平姿勢P1から傾斜姿勢P2に姿勢変更した後の姿勢を維持する。また、第2弁部9bを開くと共に第3弁部9cを閉じ、配管10と負圧発生源11で真空系を構成する。
そして、センサ13が、台車4の載置部4bの存在を検知すると共に、載置面4aの傾斜角度が、傾斜姿勢P2のガラス板Gの傾斜角度と同一であることを検知すると、図8に示すように、前後動部6が、前進位置Lfに前進する。一方、載置部4bの存在、又は、載置面4aの傾斜角度が傾斜姿勢P2のガラス板Gの傾斜角度と同一であることをセンサ13によって検知できない場合、抜き取りの動作を停止する。必要に応じ、回転灯やランプによって異常停止の警報を行う。
ここで、抜取機構3が、第2搬送機構2bがガラス板Gを姿勢変更した後の姿勢を維持していることを確認する。そして、この確認が完了すると、図9に示すように、上下動部7が第1下降位置Ld1に下降し、吸着パッド8が傾斜姿勢P2のガラス板Gを吸着保持する。抜取機構3は、吸着パッド8によるガラス板Gの吸着保持を確認するために、真空系の真空度が所定値に達していることを確認する。
真空系の真空度の確認が完了すると、図10に示すように、上下動部7が上昇位置Luに上昇する。そして、図11に示すように、前後動部6が、後退位置Lbに後退する。その後、図12に示すように、上下動部7が、第2下降位置Ld2に下降する。この間も、吸着パッド8に吸着保持されたガラス板Gは傾斜姿勢P2の状態である。
図12の状態(上下動部7が、第2下降位置Ld2に下降した状態)では、吸着パッド8に吸着保持された傾斜姿勢P2のガラス板Gと、台車4の載置部4bの載置面4aとの間に微小な隙間がある。
ここで、第2弁部9bを閉じると共に第3弁部9cを開き、圧縮空気源12から配管10に高圧の空気を流入させ、所定時間経過後、第3弁部9cを閉じる。これにより、吸着パッド8によるガラス板Gの吸着保持が解除される。すると、吸着パッド8からガラス板Gが離隔し、傾斜姿勢P2の状態で台車4の載置部4bの載置面4aに載置される。なお、吸着パッド8によるガラス板Gの吸着保持を解除する前に、再度、センサ13によって、台車4の載置部4bの存在を検知すると共に、載置面4aの傾斜角度が傾斜姿勢P2のガラス板Gの傾斜角度と同一であることを検知してもよい。この場合、初期(図7に示す状態)のセンサ13による検知を省略してもよい。
それから、図13に示すように、上下動部7が上昇位置Luに上昇する。これで、抜取機構3は待機状態となる。すると、図14に示すように、第2搬送機構2bの姿勢維持が解除され、第2搬送機構2bは、通常動作に復帰する。また、ガラス板Gを載置した台車4を、別の場所にある検査装置まで移動して、そこで、検査装置でガラス板Gを検査する。なお、第2搬送機構2bの通常動作への復帰は、抜取機構3がガラス板Gを保持した後で上下動部7が第2搬送機構2bに対して退避した状態で行えばよく、例えば、図10に示す状態で第2搬送機構2bを通常動作させてもよい。
以上のように構成された製造装置1では、以下の効果を享受できる。
抜取機構3によって、端面加工された複数のガラス板Gの中から任意のガラス板Gを傾斜姿勢P2で保持して、搬送機構2から載置面4aに移載する。ガラス板Gの傾斜姿勢P2は、水平面Hに対する傾斜角度αが水平姿勢P1より大きいので、ガラス板Gに付着した液体は、抜取機構3でガラス板Gを移載する過程でガラス板Gから効率よく落下する。従って、抜き取ったガラス板Gに付着する液体量を減少させることができる。すなわち、本実施形態に係るガラス板の製造装置1によれば、ガラス板の製造工程において、端面加工工程S1の後に抜き取ったガラス板Gに付着する液体量を減少させることができる。
本発明は、上記実施形態に限定されるものでは無く、その技術的思想の範囲内で、様々な変形が可能である。例えば、上記実施形態では、搬送機構2のガラス板Gの傾斜姿勢P2の傾斜上方となる側に、載置面4aが配置されていたが、図15に示すように、搬送機構2のガラス板Gの傾斜姿勢P2の傾斜下方となる側に、載置面4aが配置されていてもよい。
また、上記実施形態では、第2搬送機構2b上のガラス板Gを移動させていたが、図15に示すように、洗浄工程S3を実施する前の第3搬送機構2c上のガラス板Gを移動させてもよい。
また、上記実施形態では、第2搬送機構2bの搬送面2eの高さと、載置部4bの載置面4aの高さが異なっていたが、これらの高さは同一であってもよい。なお、図15の図示例では、第3搬送機構2cの搬送面2fの高さと、載置部4bの載置面4aの高さが同一である。
また、上記実施形態では、搬送面2e上のガラス板Gを抜き取るための上下動部7の第1下降位置Ld1の高さと、載置面4aにガラス板Gを載置するための上下動部7の第2下降位置Ld2の高さが異なっていたが、第1下降位置Ld1の高さと、第2下降位置Ld2の高さが同一であってもよい。
また、上記実施形態では、抜取機構3に吸着保持されている間は、ガラス板Gが傾斜姿勢P2のままであったが、抜取機構3に吸着保持されている間の少なくとも一時期に、ガラス板Gが傾斜姿勢P2になっていればよく、ガラス板Gが傾斜姿勢P2と傾斜角度が異なる傾斜姿勢や水平姿勢P1になる時期があってもよい。
また、上記実施形態では、載置面4aは、傾斜姿勢P2のガラス板Gと同様に傾斜していたが、傾斜姿勢P2のガラス板Gと異なる傾斜角度で傾斜していてもよく、また、水平面であってもよい。
また、上記実施形態では、抜取機構3は、吸着パッド8で、ガラス板Gを吸着保持していたが、抜取機構3は、ガラス板Gを保持できればよく、例えば、挟持部でガラス板Gを挟持して保持してもよい。
また、上記実施形態では、ガラス板Gの載置面として、台車4の載置部4bの載置面4aを使用していたが、これに限定されず、例えば、載置台の上面、あるいはベルトコンベヤ等の搬送機構の搬送面等を、載置面として使用してもよい。
また、上記実施形態では、ガラス板Gは矩形状であったが、これに限定されず、例えば円形状のガラス板等であってもよい。ガラス板Gの厚みは、例えば0.05mm〜10mmとすることができ、0.05mm〜0.7mmであることが好ましい。ガラス板Gが矩形状である場合、ガラス板のサイズ(縦×横)は、例えば1000mm×1000mm以上とすることができ、1500mm×1500mm以上であることが好ましく、2000mm×2000mm以上であることがより好ましい。一方、ガラス板のサイズの上限は、例えば3000×3000mm以下とすることができる。
また、上記実施形態では、載置部4bが傾斜姿勢である状態で、ガラス板Gに残存する液体を除去して回収するため、受け皿4cに複数の貫通孔を設けると共に、樋4d等を配置したが、ガラス板Gに残存する液体の除去及び回収を行わなくてもよい。あるいは、別の構成によってガラス板Gに残存する液体の除去及び回収を行ってもよく、例えば、図16及び図17に示すような構成を採用してもよい。なお、図17は、図16に示す載置部4bの概略平面図である。
図16及び図17に示す抜取機構3の基本構成は、図3に示す抜取機構3と同じであり、ガラス板Gに残存する液体を除去して回収するための構成を変更すると共に、載置面4aの傾斜角度を変更不能に構成したものである。具体的には、図16及び図17に示す抜取機構3では、複数の貫通孔を有さない板状の受け皿4gが、載置面4aの傾斜下方となる側に配置される。この受け皿4gは、載置されたガラス板Gの端面を支持すると共に、ガラス板Gから脱離する液体を受け皿4gの長手方向に沿って案内して流動させる。その受け皿4gの長手方向の一端には、受け皿4gに案内された液体を排出するための排出部4hが配置される。排出部4hは、板状のベース部4iと、そのベース部4iに設けられる排出口4jと、液体の流出を阻止するための側壁4kを有する。一方、受け皿4gの長手方向の他端には、液体の流出を阻止するための側壁4lが配置される。また、排出口4jには、配管4m(例えばホース)の上端と接続される。その配管4mの下端は、上面が開口するタンク4nの真上に配置される。
このような構成によれば、ガラス板Gから脱離する液体を、受け皿4gに沿って流すことによって排出口4jに導くことができる。これに伴い、ガラス板Gから脱離する液体は収集され、収集された液体は、排出口4jに接続された配管4mを流れて落下し、タンク4nに到達する。
なお、排出口4jは、載置面4aの余剰領域(ガラス板Gが載置されない領域)に設けてもよい。また、受け皿4gの長手方向の両端に、排出口4jをそれぞれ設けてもよい。複数種類のサイズのガラス板に対応するため、受け皿4gの長手方向の中間に排出口4jを設けてもよい。また、排出口4jから配管4mの下端までの経路に開閉弁を設けてもよい。この場合、台車4が適切な位置に停車している間に開閉弁を開ければ、液体をタンク4nに回収できると共に、台車4の走行中に開閉弁を閉じれば、液体の落下を防止できる。
1 ガラス板の製造装置
2 搬送機構
2a 第1搬送機構
2b 第2搬送機構
2c 第3搬送機構
3 抜取機構
4 台車
4a 載置面
4b 載置部
4c,4g 受け皿
4d 樋
4j 排出口
8 吸着パッド
9a 第1弁部
10 配管(真空系)
11 負圧発生源(真空系)
13 センサ
G,G1,G2 ガラス板
H 水平面
P1 水平姿勢
P2 傾斜姿勢
S1 端面加工工程
S2 姿勢変更工程
S3 洗浄工程
α 傾斜角度

Claims (11)

  1. 液体を供給しながら水平姿勢のガラス板の端面を加工する端面加工工程、前記水平姿勢の前記ガラス板を傾斜姿勢に姿勢変更する姿勢変更工程、及び前記傾斜姿勢の前記ガラス板を洗浄する洗浄工程の順に、前記ガラス板を搬送機構で搬送するガラス板の製造方法であって、
    前記姿勢変更工程と前記洗浄工程との間に、抜取機構で前記ガラス板を前記傾斜姿勢で保持し、前記搬送機構から所定の載置面に移載する抜取工程を備えることを特徴とするガラス板の製造方法。
  2. 前記搬送機構の前記傾斜姿勢の傾斜上方となる側に、前記載置面を配置したことを特徴とする請求項1に記載のガラス板の製造方法。
  3. 前記搬送機構の前記傾斜姿勢の傾斜下方となる側に、前記載置面を配置したことを特徴とする請求項1に記載のガラス板の製造方法。
  4. 前記抜取機構が、複数の吸着パッドで前記ガラス板を吸着することを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のガラス板の製造方法。
  5. 前記複数の吸着パッドのそれぞれが、弁部を介して真空系に接続され、
    前記弁部は、自動で、前記吸着パッドが前記ガラス板に接触した状態で開くと共に、前記吸着パッドが前記ガラス板に接触していない状態で閉じることを特徴とする請求項4に記載のガラス板の製造方法。
  6. 前記複数の吸着パッドが、複数種類のサイズの前記ガラス板の周縁部に吸着するように配置されていることを特徴とする請求項4又は5に記載のガラス板の製造方法。
  7. 前記載置面が、前記ガラス板を前記傾斜姿勢で載置可能な傾斜面であることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載のガラス板の製造方法。
  8. 前記載置面が台車に設けられており、
    前記台車は、前記載置面の角度を変更可能に構成され、
    センサにより、前記台車の有無及び前記載置面の傾斜角度の適否を検知することを特徴とする請求項7に記載のガラス板の製造方法。
  9. 前記ガラス板の端面を支持する受け皿が前記載置面の傾斜下方となる側に設けられると共に、樋が前記受け皿の真下に配置され、
    前記ガラス板から脱離する液体を、前記受け皿が有する複数の貫通孔から排出して落下させることによって前記樋に供給することを特徴とする請求項7又は8に記載のガラス板の製造方法。
  10. 前記ガラス板の端面を支持する受け皿が前記載置面の傾斜下方となる側に設けられると共に、前記液体を排出するための排出口が配置され、
    前記ガラス板から脱離する液体を、前記受け皿に沿って流して前記排出口に導くことを特徴とする請求項7又は8に記載のガラス板の製造方法。
  11. 液体を供給しながら水平姿勢のガラス板の端面を加工する端面加工工程、前記水平姿勢の前記ガラス板を傾斜姿勢に姿勢変更する姿勢変更工程、及び前記傾斜姿勢の前記ガラス板を洗浄する洗浄工程の順に、前記ガラス板を搬送する搬送機構を備えたガラス板の製造装置であって、
    前記姿勢変更工程と前記洗浄工程との間で、前記ガラス板を前記傾斜姿勢で保持し、前記搬送機構から所定の載置面に移載する抜取機構を備えることを特徴とするガラス板の製造装置。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110567505A (zh) * 2019-09-25 2019-12-13 王艺锦 一种应用于智能制造的自动抽检机构
JP2022149835A (ja) * 2021-03-25 2022-10-07 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法
JP2023165241A (ja) * 2022-05-02 2023-11-15 日本電気硝子株式会社 ガラス製品の製造方法及び製造装置
CN115231237A (zh) * 2022-06-16 2022-10-25 苏州镁伽科技有限公司 面板复检辅助系统和巡边检设备

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3685223B2 (ja) * 1996-05-14 2005-08-17 旭硝子株式会社 ガラス製品の検査装置
JP3832922B2 (ja) * 1997-03-24 2006-10-11 オリンパス株式会社 大型基板検査装置
JP4408694B2 (ja) * 2003-12-22 2010-02-03 エスペックテクノ株式会社 吸着装置
JP4339722B2 (ja) * 2004-03-03 2009-10-07 大日本印刷株式会社 基板搬送システム
CN101615576B (zh) * 2004-07-19 2012-07-04 三星电子株式会社 基板处理设备及使用其的基板处理方法
CN205771976U (zh) * 2016-05-31 2016-12-07 日本电气硝子株式会社 板玻璃的制造装置

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