JP4208931B2 - 板状体の反転機構 - Google Patents
板状体の反転機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4208931B2 JP4208931B2 JP2007072181A JP2007072181A JP4208931B2 JP 4208931 B2 JP4208931 B2 JP 4208931B2 JP 2007072181 A JP2007072181 A JP 2007072181A JP 2007072181 A JP2007072181 A JP 2007072181A JP 4208931 B2 JP4208931 B2 JP 4208931B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- chuck
- unit
- suction
- reversing mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
前記吸着面に平行な回転軸を中心として前記チャック部を回転させる回転部と、
水平姿勢で板状体を保持する板状体保持部分を有し、前記板状体保持部分を前記チャック部の吸着面の間の位置と、前記回転部による前記チャック部の回転に支障がない位置との間で、前記チャック部に対して相対的に移動可能に構成されている板状体搬送部と、を備え、
前記チャック部は、反転動作時において前記一対のチャックの離間距離が固定されており、前記上側に位置するチャックの吸着面に保持されている板状体を前記下側のチャックへ受け渡しする動作を、前記上側に位置するチャックの吸引力を解除して、下側に位置する前記チャックの吸着面へ落下させることによって行うことを特徴とする、板状体の反転機構を提供する。
本発明の第2態様によれば、前記板状体搬送部は、上面に前記板状体を保持可能であり、
前記板状体保持部分を前記チャック部の吸着面の間の位置に移動させた状態で前記上側に位置するチャックの吸引力を作用させて前記板状体を上側に位置するチャックに保持させた後、前記回転部による前記チャック部の回転に支障がない位置へ退避して、前記下側のチャックへ受け渡しを可能とするように動作することを特徴とする、第1態様の板状体の反転機構を提供する。
前記板状体搬送部は、前記回転部による回転に伴い移動するチャック部の位置に応じて、前記チャック部の吸着面の間の位置を変更可能に構成されていることを特徴とする、第1から第5態様のいずれか1つの板状体の反転機構を提供する。
第1から第8態様のいずれか1つの板状体の反転機構を搭載したことを特徴とする、基板の検査装置を提供する。
(実施例)
2 チャック部
3 回転部
4、5 チャック
6 板状体搬送部
8、9、18、19 吸着面
10 第1チャック
11 第2チャック
12 第3チャック
13 供給コンベア
14 搬出コンベア
100 板状体(基板)
Claims (9)
- 遠隔的に吸引力が作用して板状体を吸脱着可能な一対のチャックを互いの吸着面が対向するように離間して配置したチャック部と、
前記吸着面に平行な回転軸を中心として前記チャック部を回転させる回転部と、
水平姿勢で板状体を保持する板状体保持部分を有し、前記板状体保持部分を前記チャック部の吸着面の間の位置と、前記回転部による前記チャック部の回転に支障がない位置との間で、前記チャック部に対して相対的に移動可能に構成されている板状体搬送部と、を備え、
前記チャック部は、反転動作時において前記一対のチャックの離間距離が固定されており、前記上側に位置するチャックの吸着面に保持されている板状体を前記下側のチャックへ受け渡しする動作を、前記上側に位置するチャックの吸引力を解除して、下側に位置する前記チャックの吸着面へ落下させることによって行うことを特徴とする、板状体の反転機構。 - 前記板状体搬送部は、上面に前記板状体を保持可能であり、
前記板状体保持部分を前記チャック部の吸着面の間の位置に移動させた状態で前記上側に位置するチャックの吸引力を作用させて前記板状体を上側に位置するチャックに保持させた後、前記回転部による前記チャック部の回転に支障がない位置へ退避して、前記下側のチャックへ受け渡しを可能とするように動作することを特徴とする、請求項1に記載の板状体の反転機構。 - 前記チャック部は、互いの吸着面の離間距離を変更可能に構成されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の板状体の反転機構。
- 前記チャック部に用いられるチャックは、ベルヌーイチャックであることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1つに記載の板状体の反転機構。
- 前記チャック部は、前記回転軸に対して対向する2箇所に前記板状体を保持可能に構成されていることを特徴とする、請求項1から4のいずれか1つに記載の板状体の反転機構。
- 前記回転部は、前記回転軸が、前記チャックの吸着面の離間距離の中間位置に設けられていることを特徴とする、請求項1から5のいずれか1つに記載の板状体の反転機構。
- 前記回転部は、前記回転軸が、前記チャックの吸着面の離間距離の中間位置からずれた位置に設けられており、
前記板状体搬送部は、前記回転部による回転に伴い移動するチャック部の位置に応じて、前記チャック部の吸着面の間の位置を変更可能に構成されていることを特徴とする、請求項1から5のいずれか1つに記載の板状体の反転機構。 - 前記板状体搬送部は、2つのコンベアで構成されており、それぞれのコンベアは、前記回転部による回転に伴い移動するチャック部の位置に対応した位置に、それぞれの板状体保持部分を配置可能に構成されていることを特徴とする、請求項7に記載の板状体の反転機構。
- 前記板状体は、プリント配線基板であって、
請求項1から8のいずれか1つに記載の板状体の反転機構を搭載したことを特徴とする、基板の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007072181A JP4208931B2 (ja) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | 板状体の反転機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007072181A JP4208931B2 (ja) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | 板状体の反転機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008230756A JP2008230756A (ja) | 2008-10-02 |
JP4208931B2 true JP4208931B2 (ja) | 2009-01-14 |
Family
ID=39904020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007072181A Expired - Fee Related JP4208931B2 (ja) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | 板状体の反転機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4208931B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3110240B1 (en) * | 2014-02-21 | 2019-04-17 | FUJI Corporation | Component mounting machine including a component transfer device |
JP6322064B2 (ja) * | 2014-06-18 | 2018-05-09 | 山崎金属産業株式会社 | コイル反転装置及び製造ライン |
CN114273683B (zh) * | 2021-12-30 | 2023-04-25 | 珠海格力智能装备有限公司 | 法兰盘翻面装置 |
-
2007
- 2007-03-20 JP JP2007072181A patent/JP4208931B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008230756A (ja) | 2008-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6365705B2 (ja) | 基板分断装置及び基板分断装置における基板搬送方法 | |
CN101512747B (zh) | 基板运送装置以及基板运送方法 | |
JP2004284698A (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP2006182560A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP4957133B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
WO2006129385A1 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP5858628B2 (ja) | ボール供給装置、ボール供給方法、ベアリング組立装置 | |
JP5446403B2 (ja) | 搬送方向転換装置及び浮上搬送システム | |
JP4208931B2 (ja) | 板状体の反転機構 | |
JP2006140380A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2011258682A (ja) | 基板入替装置 | |
WO2019003782A1 (ja) | ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置 | |
KR20160111601A (ko) | 스크라이빙 장치 | |
KR20150124375A (ko) | 취성 재료 기판의 반전 장치 | |
JP2001233452A (ja) | 薄板状材の定点搬送装置 | |
JP2007281285A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP5037379B2 (ja) | 板状物の搬送装置 | |
JP6975953B2 (ja) | 異物除去装置及び異物除去方法 | |
KR100636302B1 (ko) | 기판의 반송 장치 및 반송 방법 | |
WO2014098115A1 (ja) | ワーク搬送装置およびワーク搬送方法 | |
JP2010064893A (ja) | 基板搬送装置、基板搬送方法、及び、クリーニング方法 | |
JP4830339B2 (ja) | 搬送装置 | |
TWI615255B (zh) | 支持機構及搬送裝置 | |
KR100913582B1 (ko) | 기판 절단시스템 | |
KR102304578B1 (ko) | 스크라이빙 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080715 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20080715 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20080801 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080805 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20081003 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081007 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081021 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4208931 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111031 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111031 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121031 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131031 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |