TWI381982B - 基板處理方法 - Google Patents

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Yoshiteru Ikehata
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Daifuku Kk
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Description

基板處理方法
本發明係有關於一種基板處理方法，具體來說，即裝設有：多數基板處理裝置，其係用於處理基板；收納架，其具有多數個收納有收納容器的收納部，且前述收納容器以於上下方向間隔排列之狀態固持多數片前述基板；基板出入部，其分別對應多數前述基板處理裝置；基板搬送裝置，其係由位於前述基板出入部之前述收納容器中每次取出一片基板供給至前述基板處理裝置，且將由前述基板處理裝置搬出之基板收納至位於前述基板出入部之前述收納容器；及收納容器搬送裝置，其係將前述收納容器搬送至分別對應前述多數基板處理裝置之前述基板出入部與前述收納架之前述收納部，且該方法係將前述收納容器保管於前述收納架，藉由將所保管之前述收納容器依序搬送至分別對應前述多數基板處理裝置之前述基板出入部，使前述基板依序經多數前述基板處理裝置處理，製造處理完畢基板者。
如此之基板處理方法係一面將以於上下方向間隔排列之狀態固持有多數片於液晶顯示器或電漿顯示器中所使用之玻璃基板等基板的收納容器保管於收納架內，一面藉由將所保管之收納容器藉收納容器搬送裝置依序搬送分別對應基板處理裝置之基板出入部，使收納於收納容器內之基板經多數基板處理裝置依序處理塗佈、曝光及顯影等預定 之處理，而製造處理完畢之基板，搬送至對應基板處理裝置之基板出入部時，因基板處理裝置之處理量之差別而致產生等待基板處理的情況時，將該基板以收納於收納容器之狀態暫時保管於收納架。
且，如此基板處理方法，以往為維持藉基板搬送裝置於基板出入部與基板處理裝置之間搬送基板之基板搬送區域的清潔度，會裝設通風淨化空氣之搬送區域用淨化空氣通風機構，使收納容器形成橫倒狀態之四角筒狀，且以該收納容器之一端側之開口作為基板出入用之出入口，將由收納容器另一端側開口朝出入口通風之風扇過濾單元裝設於收納容器之另一端側開口，因此當藉收納容器搬送裝置搬送時，可藉風扇過濾單元通風維持基板之清潔度，當於基板出入部藉基板搬送裝置搬送基板時，可使風扇過濾單元停止(例如參照日本專利公開公報第2001-308169號)。
即使於收納架保管時，仍可藉風扇過濾單元使收納容器內通風維持基板之清潔度。又，藉搬送區域用淨化空氣通風機構維持基板搬送區域之清潔度，亦維持了由收納容器取出而於基板搬送區域搬送之基板的清潔度。
上述習知基板處理方法中，於收納架保管時及藉收納容器搬送裝置搬送時，藉風扇過濾單元將淨化空氣由收納容器之另一端側之開口通風至出入口且由出入口排出，可防止存在於收納容器內之塵埃附著於基板上，同時縱使因收納容器搬送裝置之作動導致收納容器周圍氣流混亂，亦 可防止外氣進入收納容器內，如此來維持收納容器內基板之清潔度。
然而，於收納架保管時及藉收納容器搬送裝置搬送時，藉風扇過濾單元通風時，雖然收納容器內風速可比達到防止存在於收納容器內之塵埃附著於基板上之程度慢，但由收納容器排出時，為防止外氣由出入口逆流，風速必須較快。因此就風扇過濾單元之通風量而言，為使由收納容器排出時之風速較快，其通風量要較多，並且該風扇過濾單元之通風係進行於收納架保管的時間加上藉收納容器搬送裝置搬送的時間如此長的時間，故風扇過濾單元運作成本變高，製造處理完畢基板時的成本也會變高。
又，因於基板出入部藉基板搬送裝置搬送基板時，風扇過濾單元會停止，故基板搬送區域內之淨化空氣會進入收納容器內，隨著該進入之淨化空氣，基板搬送裝置所產生之塵埃會由收納容器之出入口進入，因該進入之塵埃，收納容器內之基板容易被污染。
本發明係有鑑於上述實際情形而作成者，其目的在於提供一種可降低製造處理完畢基板時之成本，並且使基板不易被污染之基板處理方法。
為達成前述目的，本發明基板處理方法之第1特徵構成為：其裝設有多數基板處理裝置，其係用於處理基板；收納架，其具有多數個收納有收納容器的收納部，且前述收納容器以於上下方向間隔排列之狀態固持多數片前 述基板；基板出入部，其分別對應多數前述基板處理裝置；基板搬送裝置，其係由位於前述基板出入部之前述收納容器中每次取出一片基板供給至前述基板處理裝置，且將由前述基板處理裝置搬出之基板收納至位於前述基板出入部之前述收納容器；及收納容器搬送裝置，其係將前述收納容器搬送至分別對應前述多數基板處理裝置之前述基板出入部與前述收納架之前述收納部，且該方法係將前述收納容器保管於前述收納架，藉由將所保管之前述收納容器依序搬送至分別對應前述多數基板處理裝置之前述基板出入部，使前述基板依序經多數前述基板處理裝置處理，製造處理完畢基板者，該方法之特徵在於：該基板處理方法係使前述收納容器形成為全體呈四角形斷面之筒狀，其一端側具有第1開口且與前述第1開口間於水平方向上空出一間隔之另一端側具有第2開口，且前述第1開口係構造成供前述基板出入用之出入口，於前述收納容器之前述第2開口區域裝設一由前述第2開口朝前述第1開口通風之風扇過濾單元，於前述收納容器之出入口部裝設一開關前述收納容器之前述出入口的蓋，使其於關閉狀態時有形成一部份開口，且，於開啟狀態時可容許前述基板搬送裝置搬送前述基板， 於前述收納架保管時及藉前述收納容器搬送裝置搬送時，使前述收納容器之前述蓋呈關閉狀態且藉前述風扇過濾單元通風，在前述基板出入部藉前述基板搬送裝置搬送前述基板時，使前述收納容器之前述蓋呈開啟狀態且藉前述風扇過濾單元通風。
即，於收納架保管時及藉收納容器搬送裝置搬送時，收納容器之蓋呈關閉狀態且藉風扇過濾單元通風，將淨化空氣由收納容器之另一端側之開口朝出入口通風，且由出入口之一部份開口排出，抑制存在於收納容器內之塵埃附著於基板上，同時也可防止外氣進入收納容器內，可維持基板之清潔度，又，於基板出入部藉基板搬送裝置搬送基板時，收納容器之蓋呈開啟狀態且藉風扇過濾單元通風，將淨化空氣由收納容器之另一端側之開口朝出入口通風且由出入口排出，抑制存在於收納容器內之塵埃附著於基板上，同時也可防止外氣進入收納容器內，可一面容許基板搬送裝置搬送基板，一面維持基板之清潔度。
且，於收納架保管時及藉收納容器搬送裝置搬送時，因收納容器之蓋呈關閉狀態，因藉風扇過濾單元將淨化空氣由收納容器之另一端側之開口通風至出入口且由出入口之一部份開口排出，在出入口因蓋而風路變的狹小，排出之淨化空氣之風速變快，即使風扇過濾單元之通風量較少，排出之淨化空氣之風速快，故可防止外氣由收納容器之出入口進入收納容器內。又，因該風扇過濾單元通風之時間係於前述收納架保管之時間加上藉前述收納容器搬送裝置搬送之時間的長時間，風扇過濾單元之運作成本降低，因此，可減低製造處理完畢基板時之成本。
此外，於基板出入部藉基板搬送裝置搬送基板時，因使收納容器之蓋呈開啟狀態，且藉風扇過濾單元將淨化空氣由收納容器之另一端側之開口通風至出入口且由出入口排出，故可一面容許基板搬送裝置搬送基板，一面防止外氣由出入口逆流，即，因防止由基板搬送區域之淨化空氣流入，故基板搬送裝置產生之塵埃不易進入收納容器，收納容器內之基板就不易被污染。
因此，於收納架保管時及藉收納容器搬送裝置搬送時，使蓋呈關閉狀態藉風扇過濾單元通風時，即使長時間使風扇過濾單元之通風量較小，仍可維持基板之清潔度，可降低製造處理完畢基板時之成本，又，於基板出入部藉基板搬送裝置搬送基板時，使蓋呈開啟狀態藉風扇過濾單元通風時，一面容許基板搬送裝置搬送基板，一面使收納容器內之基板不易被污染，而可實現提供一種一面降低製造處理完畢基板時之成本，一面使基板不易被污染之基板處理方法。
本發明基板處理方法之第2特徵構成為：裝設通風藉前述基板搬送裝置於前述基板出入部與前述基板處理裝置之間搬送前述基板之基板搬送區域的搬送區域用淨化空氣通風機構，至少於前述基板出入部藉前述基板搬送裝置搬送前述基板時，使前述基板搬送區域用淨化空氣通風機構作動。
即，於基板出入部藉基板搬送裝置搬送基板時，因藉搬送區域用淨化空氣通風機構維持基板搬送區域之清潔度，且於基板搬送區域搬送基板時可抑制該基板被污染，故可維持由收納容器取出於基板搬送區域搬送之基板的清潔度，而可實現提供一種維持由收納容器取出於基板搬送區域搬送之基板之清潔度的基板處理方法。
本發明基板處理方法之第3特徵構成為：當前述蓋呈開啟狀態時，使前述風扇過濾單元之通風量增大。
即，蓋呈開啟狀態時，藉由增大風扇過濾單元之通風量，使收納容器之蓋即使呈開啟狀態，因加快由出入口排出之淨化空氣之風速而可防止外氣從出入口進入，故可更加維持蓋呈開啟狀態時之基板之清潔度，而可實現提供一種可更加維持基板之清潔度之基板處理方法。
本發明基板處理方法之第4特徵構成為：將前述收納架以對應多數前述基板處理裝置之狀態裝設多數個，且將前述收納架具有之多數收納部之中之一部份作為前述基板出入部，
且，前述收納容器搬送裝置設有對應前述收納架裝設之收納架用收納容器搬送部、及於分別位於多數前述收納架之多數出入庫部之間搬送前述收納容器的架間用收納容器搬送部。
即，藉收納架用收納容器搬送部於收納架之多數收納部之間搬送收納容器，藉架間用收納容器搬送部於多數收納架之間搬送收納容器。藉收納架用收納容器搬送部與架間用收納容器搬送部分擔搬送收納容器，可有效率的搬送收納容器。又，因將多數收納容器之中之一部份作為基板出入部使用，故可追求節省空間化，而可實現提供一種可有效率的搬送收納容器且可追求節省設備空間之基板處理方法。
本發明基板處理方法之第5特徵構成為：於第1~第4特徵構成之任一個之中，在淨化空氣由頂部朝底部通風垂直層流之清潔區域內裝設前述多數基板處理裝置、前述收納架、前述基板搬送裝置及前述收納容器搬送裝置，前述基板出入部係設置於較前述底部高之位置。
即，藉由使多數基板處理裝置、收納架、基板搬送裝置及收納容器搬送裝置裝設於垂直層流之清潔區域內，即使外氣進入收納容器內或基板搬送區域內，基板也不易被污染。又，因清潔區域內產生之塵埃藉垂直層流而落定於底部側，而基板出入部設置於較底部高之位置，故可使於基板出入部之基板不易被污染，而可實現提供一種基板不易被污染之基板處理方法。
又，為第6特徵構成之前述風扇過濾單元宜具有一藉框體支持之風機、過濾器與受電部。又，前述風扇過濾單元宜具有供電給前述風機之電池。
以下，依圖式說明本發明實施態樣。
如第2圖及第6圖所示，基板處理設備包含例如：多數基板處理裝置3，係處理矩形狀之基板1者；收納架5，係具有多數個收納有收納容器2之收納部4者，且前述收納容器2以於上下方向上間隔排列之狀態固持有多數片前述基板1；基板搬送裝置7，係於分別對應多數前述基板處理裝置3之基板出入部6，且由前述收納容器2中每次取出一片基板1供給至前述基板處理裝置3，並且將由前述基板處理裝置3搬出之基板1收納至位於前述基板出入部6之前述收納容器2；及收納容器搬送裝置8，係將前述收納容器2搬送至分別對應前述多數基板處理裝置3之前述基板出入部6及前述收納架5之前述收納部4。
即，如第1圖所示，基板處理設備中裝設有多數基板收納設備A與處理程序設備B，如第2圖所示，基板收納設備A分別具有收納架5及作為前述收納容器搬送裝置8之堆高式起重機10；如第6圖所示，處理程序設備B分別具有基板處理裝置3與基板搬送裝置7。
且，前述基板處理設備係一面將前述收納容器2保管於前述收納架5中，一面將所保管之前述收納容器2依序搬送至分別對應前述多數基板處理裝置3之前述基板出入部6，藉此，前述基板1依序經多數前述基板處理裝置3處理，採用如此製造處理完畢基板的基板處理方法。
即，基板搬送裝置7及收納容器搬送裝置8藉圖外之控制裝置而控制其作動，藉收納容器搬送裝置8，收納容器2依序搬送至分別對應多數基板處理裝置3之基板出入部6，每次搬送至基板出入部6時，藉基板搬送裝置7，由收納容器2中每次取出一片基板1供給至基板處理裝置3、及收納由基板處理裝置3搬送來之基板1，藉控制裝置控制基板搬送裝置7及收納容器搬送裝置8之作動。該控制裝置包含微處理器、通信部、記憶體、及記憶於記憶體之處理順序等，具有可進行本說明書中記載之所有機能的部分。又，該控制裝置可配置於設備之底部、收納容器搬送部、或收納架5皆可。
又，於多數基板處理裝置3中，塗佈、曝光及顯像等預定之處理係個別進行，因此，處理基板1之處理量上會產生差別，依序搬送至基板出入部6時，產生基板1等待處理之情況時，為將收納有該等待處理之基板1之收納容器2暫時保管於收納架5，藉控制裝置而控制收納容器搬送裝置8之作動。
前述收納容器搬送裝置8設有對應前述收納架5裝設作為收納架用收納容器搬送部之堆高式起重機10、及於分別位於多數前述收納架5之多數出入庫部9之間搬送前述收納容器2之架間用收納容器搬送部之來回移動搬送車11及環繞移動搬送車12。
如第1圖所示，前述來回移動搬送車11及環繞移動搬送車12係構造成於基板收納設備A外搬送收納容器2者，來回移動搬送車11係構造成來回移動於2個鄰接之基板收納設備A之間搬送收納容器2，環繞移動搬運車12係構造成環繞移動經過多數基板收納設備A於多數基板收納設備A之間搬送收納容器2。
又，如第2圖所示，堆高式起重機10係構造成於基板收納設備A內搬送收納容器2者，沿著設成相互對向狀態之一對收納架5之間形成之移動空間來回移動，且於對向之一對收納架5之多數收納部4之間搬送收納容器2。
即，藉收納容器搬送裝置8，由搬送起點之收納部4或基板出入部6搬送收納容器2至搬送終點之收納部4或基板出入部6時，當搬送起點與搬送終點位於不同之基板收納設備A時，依搬送起點之基板收納設備A之堆高式起重機10、來回移動搬送車11或環繞移動搬送車12、搬送終點之基板收納設備之堆高式起重機10之順序，依序交接搬送收納容器2；當搬送起點與搬送終點位於相同之基板收納設備A時，藉該基板收納設備A之堆高式起重機10搬送收納容器2。
如第4圖所示，物品處理設備係構造成於清潔區域13中設有使淨化空氣由頂部通風至底部之垂直層流式淨化空氣通風機構23，該垂直層流之清潔區域13內裝設有前述多數基板處理裝置3、前述收納架5、前述基板搬送裝置7、及前述收納容器搬送裝置8，將前述基板收納設備A周圍裝設成開放狀態，使基板收納設備A內外之淨化空氣可流通。
更加詳細說明淨化空氣通風機構23，如第4圖所示，淨化空氣通風機構23係構造成：清潔區域13之底部由多孔狀之分層底14形成，清潔區域13之頂部由高效率過濾器等構成之空氣過濾器15形成，同時，形成於分層底14下方側之吸氣室16與形成於空氣過濾器15上方側之腔室17藉具有通風機18及前過濾器21之循環路19連通，藉通風機18清潔區域13之空氣通過分層底14及吸氣室16經循環路19吸氣，同時，使該吸入之空氣通過前過濾器21、腔室17及空氣過濾器15作為淨化空氣，於清潔區域13內朝下噴出，將清潔區域13內之空氣藉前過濾器21與空氣過濾器15一面清潔化一面循環，使淨化空氣由頂部通至底部。且，於循環路19中，較通風機18上游側連接有取入外氣通路20，較通風機18下游側連接有排氣通路22，藉淨化空氣通風機構23循環之清潔區域13內之空氣之一部份與外氣交換。
如第6圖所示，物品處理設備設有維持藉前述基板搬送裝置7於前述基板出入部6與前述基板處理裝置3之間搬送前述基板1之基板搬送區域24的清潔度而通風淨化空氣之搬送區域用淨化空氣通風機構25。
即，處理工程設備B之基板搬送區域24中，基板搬送裝置7之基板搬送作用空間於收納架5側之端部為開放，且基板處理裝置3側之端部與基板處理裝置3連通且設有一覆蓋之區隔壁26，此區隔壁26之頂部設有作為搬送區域用淨化空氣通風機構25的多數區域用風扇過濾單元27，藉由多數區域用風扇過濾單元27，使清潔區域13之淨化空氣以更加清潔化之淨化空氣由基板搬送區域24之頂部通至底部，區隔壁26覆蓋之空間作成垂直層流空間。
如第2~4圖所示，前述收納架5係構造成設於分層底14上，由於架橫向間隔排列直立設置前後一對之支柱31、及架設成穿過前後一對之支柱31且於架上下方向間隔排列設置之載置支持部32所構成。
且，收納架5中設有多數縱橫排列之前述收納部4，前述收納部4由前後一對之支柱31及左右一對之載置支持部32形成。各收納部4與架橫向鄰接者及於架上下方向鄰接者係連接成空氣可流動之狀態。
又，最下段之收納部4由分層底14之上方側隔開間隔設置，使其最下段之收納部4之下方形成淨化空氣流動之流動用空間。
前述收納架5具有之多數收納部4之中之一部份作為前述基板出入部6，又，收納架5具有之收納部4之中之一部份作為前述出入庫部9。
進一步說明，如第5圖所示，收納架5具有最下段之多數收納部4之中對應基板處理裝置3之收納部4為基板出入部6，其構造成藉基板搬送裝置7，由位於基板出入部6之收納容器2中，通過收納架5背面側，每次取出一片基板1或每次收納一片。且，因最下段之收納部如上述所示由分層底14之上方側隔開間隔設置，基板出入部6設置於較底部高之位置。
又，如第7圖所示，收納架5具有中段之多數收納部4之中對應來回移動搬送車11及環繞移動搬送車12之收納部4為出入庫部9，其構造成對應來回移動搬送車11之出入庫部9且可藉來回移動搬送車11通過收納架5背面側搬送收納容器2，且，對應環繞移動搬送車12之出入庫部9可藉環繞移動搬送車12通過收納架5側面側搬送收納容器2。
如第2圖、第3圖及第8圖所示，堆高式起重機10係構造成包含2條藉沿著收納架5前方移動路徑之較長方向設置之移動軌道34移動的移動台車35、藉直立設於移動台車35之一對升降桅杆36指引支持而可自由升降之升降台37、及藉升降台37支持且可於收納部4與自己間移載收納容器2之叉子式物品移載裝置38，藉移動台車35之水平移動、升降台37之升降移動及物品移載裝置38之作動，可於收納架5前方移動空間在架橫向上自由移動，且，可將前述收納容器2搬送至前述基板出入部6、前述出入庫部9及這些以外位於前述收納架5之前述收納部4。
前述移動台車35係構造成對應2條移動軌道34分別各設有前後2輪共4輪之移動車輪39，移動車輪39分別藉移動用馬達40旋轉驅動，使移動台車35沿移動路徑移動。
且，一對升降桅杆36，其上端部藉上部框架41連結。
如第8圖所示，前述升降台37前後方向之兩端部係構造成分別連結有一對升降用鏈45之一端部，該一對升降用鏈45之中一條係卷掛於設於升降桅杆36上端部的指引扣鏈齒輪46，其另一端部連結於平衡錘47，一對升降用鏈45之中另一條係卷掛於設於升降桅杆36下端部的驅動扣鏈齒輪48，其另一端部連結於平衡錘47，藉升降用馬達49旋轉驅動驅動扣鏈齒輪48，使升降台37升降移動。
如第9圖所示，前述物品移載裝置38係構造成包含：於上下軸心P1周圍可自由旋轉之旋轉台50、及設於該旋轉台50上支持載置部51使其可自由進退移動之連結機構52。且，物品移載裝置38藉旋轉台50之旋轉可使載置部51旋轉移動，且，藉連結機構52之伸縮可使物品移載裝置38呈退下於升降台37上之狀態(參照第5圖)，或切換成物品移載裝置38突出於收納部4側之狀態。又，物品移載裝置38相當於使所支持之收納容器2旋轉之旋轉機構。
如第3圖所示，基板收納設備A具有控制堆高式起重機10作動的控制機構H。
該控制機構H係構造成由根據管理收納容器搬送裝置8運轉之上位控制裝置的指令，藉由控制移動用馬達40、升降用馬達49及物品移載裝置38之作動，而控制在多數收納部4之間搬送收納容器2之堆高式起重機10的作動。
且，前述控制機構H係構造成可控制前述收納容器搬送裝置8之作動，俾於成對之前述收納架5之任一者中，均以使前述收納容器2裝設有前述風扇過濾單元64側位於前述移動空間側且前述收納容器2之前述出入口72側位於遠離前述移動空間側之狀態，將前述收納容器2收納於前述收納部4。風扇過濾單元64(亦稱為FFU)含有一藉FFU框體90支持之風機、驅動該風機之電動馬達、過濾器、電池71、或傳送電力至電動馬達之受電部70a。該風機依水平方向圍繞軸旋轉。
即，控制機構H係構造成可控制堆高式起重機10之作動，使於對向之一對收納架5之間搬送收納容器2時，當搬送起點之收納部4與搬送終點之收納部4為同一收納架5時，由搬送起點之收納部4將收納容器2取出，該收納容器2藉物品移載裝置38不旋轉而收納於搬送終點之收納部4，使收納容器2即使於搬送終點之收納部4時，也與搬送起點之收納部4相同，以收納容器2之裝設有風扇過濾單元64側位於移動空間側，且收納容器2之前述出入口側裝設有蓋65之側位於遠離移動空間側之狀態收納於收納部4，又，當搬送起點之收納部4與搬送終點之收納部4於不同之收納架5時，由搬送起點之收納部4將收納容器2取出，將該收納容器2藉物品移載裝置38旋轉180度後收納於搬送終點之收納部4，使收納容器2即使於搬送終點之收納部4時，也與搬送起點之收納部4相同，以收納容器2之裝設有風扇過濾單元64側位於移動空間側，且收納容器2之裝設有蓋65之側位於遠離移動空間之狀態收納於收納部4。
如第5圖及第6圖所示，基板搬送裝置7係構造成具有於基板處理裝置3與收納架5附近之間載置搬送基板1之基板搬送輸送帶54、及於位於基板出入部6之收納容器2與基板搬送輸送帶54之收納架端側部之間載置搬送基板1之基板搬送自動機55。
基板搬送自動機55係構造成具有沿著收納架5背面側在架橫向上移動的移動台車56、支持該移動台車56使其可自由升降及旋轉的升降部57、及藉連結機構58與該升降部57連結之叉子狀支持部59，藉升降部57之升降與旋轉及連結機構58之伸縮，將位於基板出入部6之收納容器2之基板1每次1片搬送至基板搬送輸送帶54之收納架端側部，且，將基板搬送輸送帶54之收納端側部之基板1每次一片的搬送至位於基板出入部6之收納容器2。
如第6圖所示，基板搬送輸送帶54係構造成於基板1之寬方向之兩端部藉旋轉滾子61支持，藉旋轉驅動該旋轉滾子61而搬送基板1。如第5圖所示，基板搬送輸送帶54具有將由基板搬送自動機55接收之基板1朝基板處理裝置3搬送的未處理用基板搬送輸送帶54、及將由基板處理裝置3搬出之基板1朝收納架5側搬送的處理完畢用基板搬送輸送帶54。
如第11圖及第12圖所示，前述收納容器2呈橫倒狀態之四角筒狀，該收納容器2之一端側之開口(第1開口)作為供前述基板1出入之出入口72，由前述收納容器2之另一端側之開口(第2開口)通風至前述出入口7之風扇過濾單元64裝設於位於前述收納容器2之另一端側之開口部(即第2開口區域)。開關前述收納容器2之前述出入口72之蓋65，於關閉狀態時形成一部份開口，且，於開啟狀態時呈容許藉前述基板搬送裝置7搬送前述基板1之狀態裝設於前述收納容器2之出入口部。
換而言之，呈橫倒狀態之四角筒狀的容器本體66之一端側之開口係構造成供前述基板1每次1片出入用之出入口72，由前述容器本體66之另一端側之開口朝前述出入口72通風之風扇過濾單元64裝設於位於前述容器本體66之另一端側之開口部。開關前述容器本體66之前述出入口72的蓋65於關閉狀態時，一部份形成作為通氣口75之開口，且，於開啟狀態時，以容許前述基板搬送裝置7搬送基板1之狀態裝設於前述容器本體66之出入口部。
如第10圖所示，容器本體66呈矩形，且由形成容器本體66之一端側開口的一端側矩形框93、同樣呈矩形且形成容器66之另一端側開口之另一端側矩形框94、一端側框體與另一端側框體於角部相互連結之角框材95、及於除去容器本體66之一端側部的另一端側部、左右橫側部、上側部及下側部適宜架設之連結框材96而形成格柵狀之框架；於兩橫側部，使形成於其兩橫側部之開口呈封閉形態，而具有使矩形框或框材與外面側裝設成一面狀態之外面構件97、及使矩形框或框材與內面側裝設成一面狀態之內面構件98；於上側部及下側部，使形成於其上側部及下側部之開口呈封閉形態，而設有前述內面構件98，而呈橫倒狀態之四角筒狀。
且，於一端側矩形框93、另一端側矩形框94及位於下側之各框材95，設有收納於收納架5之收納部4時載置支持之收納用支持部82；於一端側矩形框93及另一端側矩形框94，設有藉堆高式起重機10等收納容器搬送裝置8搬送時載置支持之搬送用支持部83。
如第13圖及第17圖所示，容器本體66中架設有穿過左右兩側壁部之支持體67。該支持體67為支持1片基板1而於前後方向上設有多數個，且，對應收納於收納容器2之基板1之片數於上下方向上設定間隔設有多數段。
且，如第13圖所示，支持體67係構造成分別由架設於穿過容器本體66左右兩側壁部之連結框材96的本體架69、及直立設於該本體架69的多數栓構件68所構成。栓構件68係於藉基板搬送自動機55使基板1出入收納容器裝置2時，為不干涉基板搬送自動機55之支持部59，而直立設於本體架69之設定位置，藉該多數栓構件68支持基板1，本體架69與藉此支持之基板1間形成基板搬送自動機55之支持部59可插通之間隙。
如第11圖所示，容器本體66裝設有3個風扇過濾單元64，該3個風扇過濾單元以於寬方向上3個並排之狀態安裝於連結支持於容器本體66之另一端側開口部的FFU用框體90。
且，FFU用框體90具有非接觸供電裝置70之受電部70a，收納部4分別構造成由以藉載置支持部32支持之狀態裝設之非接觸供電裝置70的供電部70b(參照圖2)供給之電力而使3個風扇過濾單元64作動。
又，FFU用框體90係構造成亦具有儲蓄供給受電部70a之電力的電池71，當收納容器2藉堆高式起重機10搬送，受電部70a離開供電部70b，沒有電力供應至收納容器2之狀態時，藉由儲蓄於電池71之電力使3個風扇過濾單元64作動。
接著，說明蓋65。
如第16圖所示，前述蓋65之前述通風口75呈跨越與前述出入口72橫寬大約相同之橫寬的細縫狀，且，以分別對應固持於前述容器本體66之多數前述基板1的狀態於上下方向上形成多數個。
且，如第16(B)圖所示，前述蓋65呈容許前述基板1出入之開啟狀態時，使跨越與前述出入口72橫寬大約相同橫寬之細縫狀的基板出入用口76形成對應固持於前述容器本體66之多數前述基板1之位置的形態，且，以鄰接之基板出入用口76之間呈關閉形態使前述出入口72開啟。
進一步說明前述蓋65，如第16圖所示，其係構造成具有與前述出入口72之橫寬大約相同之橫寬的多數蓋形成構件77，在前述關閉狀態時，於鄰接之兩者之間形成前述通風口75，且，呈沿前述出入口72之寬方向於軸心周圍旋轉之前述開啟狀態時，於鄰接之兩者之間使前述基板出入用口76呈開啟狀態，而使前述出入口72開啟以上下方向排列。
多數蓋形成構件77於橫側面看係分別由形成中空薄板狀之板狀體而構成，於其中心部藉蓋用框體78支持成可於橫軸心周圍自由旋轉之狀態。且，蓋65，如第16(A)圖所示，其係構造成藉多數蓋形成構件77分別於橫軸心周圍旋轉且沿上下方向排列，使蓋形成構件77彼此之間形成較小之開口作為通風口75，呈關閉狀態，又，如第16(B)圖所示，藉多數蓋形成構件77分別於橫軸心周圍旋轉且沿前後方向排列，使蓋形成構件77彼此之間形成較大之開口作為基板出入用口76，呈開啟狀態。
即，如第16(A)圖及第17(A)圖所示，蓋65於關閉狀態時，因多數蓋形成構件77彼此之間之通風口75呈開口狀態，藉風扇過濾單元64，可將淨化空氣由收納容器另一端側開口通至出入口72且由位於出入口72之通風口75排出，該通風口75藉沿上下方向(與通風方向交叉之方向)排列之多數蓋形成構件77而形成得較小，因此由該通風口75排出之淨化空氣風速會變得較快，藉此可防止外氣由收納容器2之出入口72侵入收納容器2內。
且，如第16(B)圖及第17(B)圖所示，蓋65於開啟狀態時，多數蓋形成構件77彼此之間之較通風口75大之基板出入口76呈開啟狀態，可使基板1於淨化空氣範圍內由基板出入用口76出入，由該基板出入用口76排出之淨化空氣，因存在有未呈關閉狀態之沿前後方向(通風方向)排列的多數蓋形成構件77，故風路變得較狹窄，而風速變得較快，藉此可防止外氣由收納容器2之出入口72侵入收納容器2內。
又，多數蓋形成構件77之鄰接之兩者間，如上述，於關閉狀態時形成通風口75，於開啟狀態時形成基板出入用口76，蓋65呈關閉狀態或開啟狀態、及蓋65在切換這些狀態時，因多數蓋形成構件77互相不會接觸，故不會因蓋形成構件77互相接觸而產生塵埃，可抑制蓋65所產生之塵埃。
前述蓋65係構造成可賦予前述關閉狀態側恢復勢能，連結棒80為藉向上方移動而操作前述蓋65使呈開啟狀態之操作部，裝設成由前述容器本體66之底面部朝下方突出之狀態。
進一步說明，如第16(A)圖所示，連結構件79之基端部分別以延伸設於沿上下方向排列之蓋形成構件77之後下方的形態且以可一起旋轉之狀態連結，此連結構件79之遊端部分別沿上下方向排列以可自由旋轉之狀態連結於連結棒80，蓋形成構件77呈分別沿上下方向排列之關閉狀態時，藉使連結棒80上升移動，使蓋形成構件77分別沿前後方向排列呈開啟狀態，又，蓋形成構件77呈分別沿前後方向排列之開啟狀態時，藉使連結棒80下降移動，使蓋形成構件77分別沿上下方向排列呈關閉狀態。
且，連結棒80藉自身重量賦予下降側勢能，連結棒80呈由容器本體66之底面部朝下方突出之狀態時，蓋65會呈關閉狀態，以此狀態將收納容器2載置於基板出入部6之同時，藉由將設於基板出入部6之載置支持部32的蓋用突起部81上推連結棒80，透過連結構件79旋轉操作蓋形成構件77，蓋形成構件77變成分別沿前後方向排列，蓋65呈開啟狀態。又，收納容器2自基板出入部6被抬起時，連結棒80藉自身重量下壓，透過連結構件79旋轉操作蓋形成構件77，蓋形成構件77變成沿上下方向排列，蓋65呈關閉狀態。又，連結棒80之下降移動係藉圖中未示之控制構件控制，使連結棒80之下端部呈由容器本體66之底面部朝下方突出之狀態。
於基板出入部以外之收納部4、及堆高式起重機10等收納容器搬送裝置8中沒有設置如基板出入部6之蓋用突起部81上推連結棒80的操作部分，除了位於基板出入部6時，其餘設成沒有將連結棒80上推之操作，收納於基板出入部6之外之收納部4時、或藉堆高式起重機10等搬送時，收納容器2之蓋65維持關閉狀態。
即，基板處理裝置採用之基板處理方法為：於前述收納架5保管時或藉前述收納容器搬送裝置8搬送時，前述收納容器2之前述蓋65呈關閉狀態，藉前述風扇過濾單元64通風，而維持前述基板1之清潔度，且，於前述基板出入部6藉前述基板搬送裝置7搬送前述基板1時，前述收納容器2之前述蓋65呈開啟狀態，藉前述風扇過濾單元64通風，並且藉前述搬送區域用淨化空氣通風機構25維持前述基板搬送區域24之清潔度，而維持前述基板1之清潔度。
且，收納容器2係構造成於蓋65呈開啟狀態時，為使3個風扇過濾單元64之通風量增大設有控制3個風扇過濾單元64作動之控制部109。
即，如第11圖及第18圖所示，FFU用框體90具有：檢測片107，係於收納容器2載置於基板出入部6的同時藉設於基板出入部6之載置支持部32的FFU用突起部10上推而上升移動，且，於收納容器2自基板出入部6被抬起時，藉自身重量下降移動之可升降移動者；檢測開關108，係由可將檢測檢測片107之升降移動之該檢測情報發送至前述控制部109之限位開關而構成者；及控制部109，係依來自檢測開關108之檢測資訊控制風扇過濾單元64之作動者，而控制部109係構造成依檢測開關108之檢測資訊控制風扇過濾單元64之作動，俾於檢測片107呈上升移動狀態時，使風扇過濾單元64之通風量增大，於檢測片107呈下降移動狀態時，使風扇過濾單元64之通風量減少。
且，FFU用突起部106與蓋用突起部81相同，沒有裝設於基板出入部6之外之收納部4及堆高式起重機10等收納容器搬送裝置8中。
因此，收納容器2位於基板出入部6且蓋65呈開啟狀態時，風扇過濾單元之通風量會增大，收納容器2位於基板出入部6之外且蓋65呈關閉狀態時，風扇過濾單元之通風量會減少。
即，蓋65在切換成開啟狀態之前，風扇過濾單元64之通風量增大，蓋切換成關閉狀態之後，風扇過濾單元之通風量會減少，宜於蓋65在切換成開啟狀態時或切換成關閉狀態時防止由蓋65產生之塵埃污染收納容器2內之基板1，如此切換蓋65成開啟狀態或關閉狀態與風扇過濾單元64之通風量增減的關係，可藉蓋用突起部81及FFU用突起部106之高度調節。
如第11圖所示，前述風扇過濾單元64及前述蓋65係構造成於前述容器本體66以可自由裝卸之狀態裝著，由收納容器2取下風扇過濾單元64與蓋65，可容易洗淨收納容器2。
即，如第14圖所示，蓋用框體78之上端部設有由上方卡合容器本體66一端側矩形框93之上部的蓋用卡合構件99，又，一端側矩形框93之下端部設有蓋用卡合支持板100，其係卡合於以載置支持蓋用框體78之狀態形成於蓋用框體78之下端部的被卡合溝78a，蓋用卡合構件99可裝卸於一端側矩形框93之上部，且，蓋用卡合支持板100可裝卸於蓋用框體78之被卡合溝78a，蓋65係構造成可對容器本體66裝卸。
又，如第15圖所示，FFU用框體90之上端部設有由上方卡合容器本體66之另一端側矩形框94之上部的FFU用卡合構件88，又，另一端側矩形框94之下端部設有FFU用卡合支持板89，其係卡合於以載置支持FFU用框體90之狀態形成於FFU用框體90之下端部的被卡合溝90a，FFU用卡合構件88可裝卸於另一端側矩形框94之上部，且，FFU用卡合支持板89可裝卸於FFU用框體90之被卡合溝90a，風扇過濾單元64包含供電部70b或電池71係構造成可一起對容器本體66裝卸。
且，如第2圖所示，收納架5具有最下段之多數收納部4之中之一部份係構造成作為手推台車用出入庫部9，其係藉通過收納架5之背面側之手推台車85而可讓收納容器2出入者，藉手推台車85由手推台車用出入庫部9取出收納容器2後，由收納容器2拆下風扇過濾單元64與蓋65後，可藉容器洗淨裝置86洗淨收納容器2。又，手推台車用出入庫部9之背面側設有關閉該出入庫部9背面側的活動遮板84，前述控制構件H，於活動遮板84操作成開啟狀態時，控制堆高式起重機10之作動使對應手推台車用出入庫部9之堆高式起重機10不搬送收納容器2。
[其他實施態樣]
(1)上述實施態樣中，於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板1時，雖使收納容器2之風扇過濾單元64之通風量增大，於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板1時，亦可不使風扇過濾單元64之通風量增大。
即，於收納架5保管時，藉收納容器搬送裝置8搬送時，及，於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板1時，亦可使收納容器2之風扇過濾單元64之通風量維持一定。
又，收納容器2之風扇過濾單元64的通風量於藉收納容器搬送裝置8搬送時較於收納架5保管時增大，亦可使風扇過濾單元64的通風量於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板時較藉收納容器搬送裝置8搬送時增大，於收納架5保管時、藉收納容器搬送裝置8搬送時、及於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板1時，可改變收納容器2之風扇過濾單元64之通風量。即，藉收納容器搬送裝置8搬送時，亦可使收納容器2之風扇過濾單元64之通風量增大。又，藉收納容器搬送裝置8搬送時之通風量亦可與於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板時相同，或較大亦可。
(2)上述實施態樣中，收納架5具有之多數收納部4之中之一部份係作為基板出入部6，亦可於收納架5之較長方向之一側方使用其他方法設置，將基板出入部6與收納部4設於不同處。
又，收納架5具有之多數收納部4之中之一部份係作為出入庫部9，亦可於收納架5之較長方向之一側方使用其他方法設置，將出入庫部9與收納部4設於不同處。
(3)上述實施態樣中，收納容器搬送裝置8設有對應收納架5裝設之收納架用收納容器搬送裝置10、及分別於多數收納架5之多數出入庫部9之間搬送收納容器2之架間用收納容器搬送部11、12，亦可將收納容器搬送裝置8設成只有對應收納架5裝設之收納架用收納容器搬送裝置10。
又，上述實施態樣中，收納架用收納容器搬送部之堆高式起重機10對應對向之一對收納架5裝設1台，亦可將堆高式起重機10對應對向之一對收納架5裝設多數台。
(4)上述實施態樣中，裝設有淨化空氣通風機構23，使裝設有多數基板處理裝置3、收納架5、基板搬送裝置7、及收納容器搬送裝置8之空間為有淨化空氣由頂部通至底部之垂直層流的清潔區域，亦可不裝設淨化空氣通風機構23，使裝設有多數基板處理裝置3、收納架5、基板搬送裝置7、及收納容器搬送裝置8之空間不為清潔區域。
(5)上述實施態樣中，基板出入部6設置於較底部高之位置，亦可於堆高式起重機10在較底部低處移動時等，將基板出入部6設置於與底部相同高度之位置或較底部低之位置。
又，上述實施態樣中，收納架5係設置於清潔區域13之底部(分層底14)上，亦可設置於較底部低之吸氣室16之底部上。
(6)上述實施態樣中，清潔區域13之頂部係由空氣過濾器形成，清潔區域13之頂部亦可由頂部用風扇過濾單元形成。
(7)上述實施態樣中，容器本體66之兩橫側部為具有外面構件98及內面構件99之2層構造，亦可只裝設內面構件，與上側部或下側部同樣為1層構造。
(8)上述實施態樣中，連結棒80係將連結構件79之基端部分別以延伸設於沿上下方向排列之蓋形成構件77之後下方之形態且以可一起旋轉之狀態連結，且以可自由旋轉之狀態連結連結構件79分別之遊端部，使連結棒80位於蓋形成構件77之旋轉軸心之後方側(容器本體側)，亦可使連結棒80將連結構件79之基端部分別以延伸設於沿上下方向排列之蓋形成構件77之前下方之形態且以可一起旋轉之狀態連結，且以可自由旋轉之狀態連結連結構件79分別之遊端部，使連結棒80位於蓋形成構件77之旋轉軸心之前方側(與容器本體存在側相反之側)。
(9)上述實施態樣中，於基板出入部6藉收納容器搬送裝置8上下移動收納容器2，而操作操作部80，使蓋65可切換成開啟狀態或關閉狀態，亦可使蓋65設有操作操作部80之電動馬達等驅動機構，藉驅動機構操作操作部80，可將蓋65切換成開啟狀態或關閉狀態。
(10)上述實施態樣中，多數蓋形成構件77係構造成全部一體旋轉操作，亦可於蓋65呈開啟狀態時，使一部份之蓋形成構件77沿前後排列，剩餘之蓋形成構件77沿上下方向排列，使其即使於開啟狀態時，沿上下方向排列之蓋形成構件77亦存在，為使排出之淨化空氣的風速更快，將多數蓋形成構件77以個別或多數片一組的單位旋轉操作。
即，例如，多數蓋形成構件77構造成以多數片一組的單位旋轉操作時，多數蓋形成構件77之上半部之蓋形成構件77於寬方向一端側部藉連結構件79連結一側之連結棒80，多數蓋形成構件77之下半部之蓋形成構件77於寬方向另一端側部藉連結構件79連結另一側之連結棒80，藉操作一側之連結棒80使上半部之蓋形成構件77沿前後方向排列，於收納容器2之上半部進行基板1之出入，藉操作另一側之連結棒80使下半部之蓋形成構件77沿前後方向排列，而於收納容器2之下半部進行基板1之出入。
(11)上述實施態樣中，依FFU用突起部106之檢測片107的升降移動而變更風扇過濾單元64之通風量，亦可依蓋用突起部81之連結棒80的升降移動而變更風扇過濾單元64之通風量。
即，亦可於蓋用框體78裝設檢測連結棒80之升降移動且將該檢測信號發送至控制部109之檢測機構，控制部109在蓋65呈開啟狀態而連結棒80呈已上升移動之狀態時，增大風扇過濾單元64之通風量，在蓋65呈關閉狀態而連結棒80呈已下降移動之狀態時，減少風扇過濾單元64之通風量，依檢測構件之檢測資訊控制風扇過濾單元64之作動。
又，由檢測機構至控制部109之檢測資訊的發送可採用將蓋用框體78側與FFU用框體90側連接成可分離之電線設於容器本體66透過有線方式進行，亦可於蓋用框體78裝設發送機，於FFU用框體90裝設接收機透過無線方式進行。
1．．．基板
2．．．收納容器
3．．．基板處理裝置
4．．．收納部
5．．．收納架
6．．．基板出入部
7．．．基板搬送裝置
8．．．收納容器搬送裝置
9．．．出入庫部
10．．．堆高式起重機
11．．．來回移動搬送車
12．．．環繞移動搬送車
13．．．清潔區域
14．．．分層底
15．．．空氣過濾器
16．．．吸氣室
17．．．腔室
18．．．通風機
19．．．循環路
20．．．取入外氣通路
21．．．前過濾器
22．．．排氣通路
23．．．淨化空氣通風機構
24．．．基板搬送區域
25．．．搬送區域用淨化空氣通風機構
26．．．區隔壁
27．．．區域用風扇過濾單元
31．．．支柱
32．．．載置支持部
34．．．移動軌道
35．．．移動台車
36．．．升降桅杆
37．．．升降台
38．．．叉子式物品移載裝置
39．．．移動車輪
40．．．移動用馬達
41．．．上部框架
45．．．升降用鏈
46．．．指引扣鏈齒輪
47．．．平衡錘
48．．．驅動扣鏈齒輪
49．．．升降用馬達
50．．．旋轉台
51．．．載置部
52．．．連結機構
54．．．基板搬送輸送帶
55．．．基板搬送自動機
56．．．移動台車
57．．．升降部
58．．．連結機構
59．．．叉子狀支持部
61．．．旋轉滾子
64．．．風扇過濾單元
65．．．蓋
66．．．容器本體
67．．．支持體
68．．．栓構件
69．．．本體架
70．．．非接觸供電裝置
70a．．．受電部
70b．．．供電部
71．．．電池
72．．．出入口
75．．．通氣口
76．．．基板出入用口
77．．．蓋形成構件
78．．．蓋用框體
78a．．．被卡合溝
79．．．連結構件
80．．．連結棒
81．．．蓋用突起部
82．．．收納用支持部
83．．．搬送用支持部
84．．．活動遮板
85．．．手推台車
86．．．容器洗淨裝置
88．．．FFU用卡合構件
89．．．FFU用卡合支持板
90．．．FFU框體
90a．．．被卡合溝
93．．．一端側矩形框
94．．．另一端側矩形框
95．．．角框材
96．．．連結框材
97．．．外面構件
98．．．內面構件
99．．．蓋用卡合構件
100．．．蓋用卡合支持板
106．．．FFU用突起部
107．．．檢測片
108．．．檢測開關
109．．．控制部
A．．．基板收納設備
B．．．處理程序設備
H．．．控制機構
P1．．．軸心
第1圖係物品處理設備之立體圖。
第2圖係基板收納設備之前視圖。
第3圖係基板收納設備之側視圖。
第4圖係顯示淨化空氣通風機構之圖。
第5圖係顯示位於物品收納架之第一層之收納部之圖。
第6圖係顯示基板搬送區域之側視圖。
第7圖係顯示位於物品收納架之第三層之收納部之圖。
第8圖係堆高式起重機之側視圖。
第9圖係物品移載裝置之平面圖。
第10圖係容器本體之分解立體圖。
第11圖係收納容器之分解立體圖。
第12圖係收納容器之立體圖。
第13圖係收納容器之剖面前視圖。
第14(A)、(B)圖係顯示蓋之裝卸之側視圖。
第15(A)、(B)圖係顯示風扇過濾單元之裝卸之側視圖。
第16(A)、(B)圖係顯示蓋之關閉狀態與開啟狀態之側視圖。
第17(A)、(B)圖係顯示蓋之關閉狀態與開啟狀態之側視圖。
第18圖係顯示風扇過濾單元之控制部之側視圖。
1．．．基板
34．．．移動軌道
2．．．收納容器
35．．．移動台車
4．．．收納部
36．．．升降桅杆
5．．．收納架
37．．．升降台
6．．．基板出入部
38．．．叉子式物品移載裝置
7．．．基板搬送裝置
55．．．基板搬送自動機
8．．．收納容器搬送裝置
64．．．風扇過濾單元
9．．．出入庫部
65．．．蓋
10．．．堆高式起重機
66．．．容器本體
14．．．分層底
70．．．非接觸供電裝置
13．．．清潔區域
70b．．．供電部
15．．．空氣過濾器
84．．．活動遮板
16．．．吸氣室
85．．．手推台車
26．．．區隔壁
86．．．容器洗淨裝置
31．．．支柱
A．．．基板收納設備
32．．．載置支持部
B．．．處理程序設備

Claims (7)

  1. 一種基板處理方法，其裝設有：多數基板處理裝置，其係用於處理基板；收納架，其具有多數個收納有收納容器的收納部，且前述收納容器以於上下方向間隔排列之狀態固持多數片前述基板；基板出入部，其分別對應多數前述基板處理裝置；基板搬送裝置，其係由位於前述基板出入部之前述收納容器中每次取出一片基板供給至前述基板處理裝置，且將由前述基板處理裝置搬出之基板收納至位於前述基板出入部之前述收納容器；及收納容器搬送裝置，其係將前述收納容器搬送至分別對應前述多數基板處理裝置之前述基板出入部與前述收納架之前述收納部，且該方法係將前述收納容器保管於前述收納架，藉由將所保管之前述收納容器依序搬送至分別對應前述多數基板處理裝置之前述基板出入部，使前述基板依序經多數前述基板處理裝置處理，製造處理完畢基板者，該方法之特徵在於：使前述收納容器形成為全體呈四角形斷面之筒狀，其一端側具有第1開口且與前述第1開口間於水平方向上空出一間隔之另一端側具有第2開口，且前述第1開口係構造成供前述基板出入用之出入口，於前述收納容器之前述第2開口區域裝設一由前述 第2開口朝前述第1開口通風之風扇過濾單元，於前述收納容器之出入口部裝設一開關前述收納容器之前述出入口的蓋，使其於關閉狀態時有一部份形成開口，且，於開啟狀態時可容許前述基板搬送裝置搬送前述基板，於前述收納架保管時及藉前述收納容器搬送裝置搬送時，使前述收納容器之前述蓋呈關閉狀態且藉前述風扇過濾單元通風，在前述基板出入部藉前述基板搬送裝置搬送前述基板時，使前述收納容器之前述蓋呈開啟狀態且藉前述風扇過濾單元通風。
  2. 如申請專利範圍第1項之基板處理方法，係裝設搬送區域用淨化空氣通風機構，使淨化空氣通入藉前述基板搬送裝置於前述基板出入部與前述基板處理裝置之間搬送前述基板的基板搬送區域，且，至少在前述基板出入部藉前述基板搬送裝置搬送前述基板時，使前述基板搬送區域用淨化空氣通風機構作動。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之基板處理方法，係於前述蓋呈開啟狀態時，使前述風扇過濾單元之通風量增大。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之基板處理方法，係以對應多數前述基板處理裝置之狀態裝設多數個前述收納架，且以該等多數收納架具有之多數收納部之中一部份作為基板出入部， 且，設置對應前述收納架裝設之收納架用收納容器搬送部、及在分別位於多數前述收納架之多數出入庫部間搬送前述收納容器之架間用收納容器搬送部，作為前述收納容器搬送裝置。
  5. 如申請專利範圍第1或2項之基板處理方法，係將前述多數基板處理裝置、前述收納架、前述基板搬送裝置、及前述收納容器搬送裝置裝設於淨化空氣由頂部通至底部通風之垂直層流的清潔區域內，且，將前述基板出入部設置於較前述底部高之位置。
  6. 如申請專利範圍第1或2項之基板處理方法，係使前述風扇過濾單元具有藉一框體支持之風機、過濾器與受電部。
  7. 如申請專利範圍第6項之基板處理方法，係使前述風扇過濾單元具有供電給前述風機之電池。
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