JPH10279011A - 基板用カセット - Google Patents
基板用カセットInfo
- Publication number
- JPH10279011A JPH10279011A JP9098056A JP9805697A JPH10279011A JP H10279011 A JPH10279011 A JP H10279011A JP 9098056 A JP9098056 A JP 9098056A JP 9805697 A JP9805697 A JP 9805697A JP H10279011 A JPH10279011 A JP H10279011A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- cassette
- support portion
- center
- peripheral edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶表示装置のガラス基板等の、寸法が大き
くて、かつ自重により撓む可能性の大きい基板を収納し
て加工工程に使用する基板用カセットにおいて基板が撓
まないように載置し、かつ基板の搬送がし易い基板用カ
セットを実現することを課題とする。 【解決手段】 載置棚２は周縁支持部３と、連設する窪
み部４と、中央部に周縁支持部３と高さ位置が等しい中
央支持部５を設けて基板６を支持し、前記窪み部４によ
って形成される間隙７に自動搬送装置の保持体を挿入
し、基板６の中央部が撓むことなく、保持体によって搬
送入が円滑に行うことができる基板用カセットを実現す
る。
くて、かつ自重により撓む可能性の大きい基板を収納し
て加工工程に使用する基板用カセットにおいて基板が撓
まないように載置し、かつ基板の搬送がし易い基板用カ
セットを実現することを課題とする。 【解決手段】 載置棚２は周縁支持部３と、連設する窪
み部４と、中央部に周縁支持部３と高さ位置が等しい中
央支持部５を設けて基板６を支持し、前記窪み部４によ
って形成される間隙７に自動搬送装置の保持体を挿入
し、基板６の中央部が撓むことなく、保持体によって搬
送入が円滑に行うことができる基板用カセットを実現す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
製造において使用されるガラス基板を収納する基板用カ
セット等、基板そのものの自重により撓むような大きさ
の各種の基板を収納する基板用カセットに関するもので
ある。
製造において使用されるガラス基板を収納する基板用カ
セット等、基板そのものの自重により撓むような大きさ
の各種の基板を収納する基板用カセットに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置を製造する際に使用される
基板はソーダライム、または無アルカリ耐熱性ガラスが
主として使用され、そのガラス基板は、洗浄工程，半導
体形成工程，フォトリゾ工程，パネル組立工程，ＬＳＩ
実装工程等を経過するものである。そして、各工程にお
いては、ガラス基板が多数段の棚を有する基板用カセッ
トに収納されていて、自動搬送装置によって一枚ずつ前
記基板用カセットから取り出しては前記する各工程の装
置に供給されて加工を受け、また各工程の加工を施した
ガラス基板は自動搬送装置によって基板用カセットに収
納されるようになっていた。
基板はソーダライム、または無アルカリ耐熱性ガラスが
主として使用され、そのガラス基板は、洗浄工程，半導
体形成工程，フォトリゾ工程，パネル組立工程，ＬＳＩ
実装工程等を経過するものである。そして、各工程にお
いては、ガラス基板が多数段の棚を有する基板用カセッ
トに収納されていて、自動搬送装置によって一枚ずつ前
記基板用カセットから取り出しては前記する各工程の装
置に供給されて加工を受け、また各工程の加工を施した
ガラス基板は自動搬送装置によって基板用カセットに収
納されるようになっていた。
【０００３】そして、最近の液晶表示パネルに使用され
るガラス基板のサイズは、例えば５５０ミリメートル×
６５０ミリメートル，厚さが０．７ミリメートル等と大
きく、従来使用されている図２に示す基板用カセットに
収納した場合は、ガラス基板自身の重みにより中央部が
下方に撓んでしまう問題点があった。即ち、図２におい
て、カセット本体２１の内壁には、横幅が例えば５ない
し１０ミリメートル等と狭くて長い台２２が取り付けら
れていて、その台２２にガラス基板２３が載置されてい
る。そして、カセット本体２１よりガラス基板２３を出
し入れする際には、図３に示すように自動搬送装置の保
持体２４がガラス基板間に存在する間隙２５に挿入され
てガラス基板２３を支持し、カセット本体２１に出し入
れするものである。
るガラス基板のサイズは、例えば５５０ミリメートル×
６５０ミリメートル，厚さが０．７ミリメートル等と大
きく、従来使用されている図２に示す基板用カセットに
収納した場合は、ガラス基板自身の重みにより中央部が
下方に撓んでしまう問題点があった。即ち、図２におい
て、カセット本体２１の内壁には、横幅が例えば５ない
し１０ミリメートル等と狭くて長い台２２が取り付けら
れていて、その台２２にガラス基板２３が載置されてい
る。そして、カセット本体２１よりガラス基板２３を出
し入れする際には、図３に示すように自動搬送装置の保
持体２４がガラス基板間に存在する間隙２５に挿入され
てガラス基板２３を支持し、カセット本体２１に出し入
れするものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ガラス基板
２３は大きな寸法であるとそれ自身の重みによって、図
３に示すように撓んでしまい、液晶パネルの製造工程に
おいて自動搬送装置の保持体２４がガラス基板２３間の
間隙２５に挿入する際に、撓んだガラス基板にぶつかり
損傷したり、また損傷しないまでも基板用カセットへの
自動搬送装置の保持体２４の挿入操作がし難く、搬送能
率が悪い欠点があった。
２３は大きな寸法であるとそれ自身の重みによって、図
３に示すように撓んでしまい、液晶パネルの製造工程に
おいて自動搬送装置の保持体２４がガラス基板２３間の
間隙２５に挿入する際に、撓んだガラス基板にぶつかり
損傷したり、また損傷しないまでも基板用カセットへの
自動搬送装置の保持体２４の挿入操作がし難く、搬送能
率が悪い欠点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記する従来
の問題点を解消することを課題とするもので、カセット
本体内に、多数段にわたって相互に間隔をあけて横設し
た載置棚には、周縁支持部より下方に窪んだ窪み部を設
け、その窪み部の中央部には上方に突出して、前記周縁
支持部と高さ位置が等しくなる中央支持部を設けてい
る。
の問題点を解消することを課題とするもので、カセット
本体内に、多数段にわたって相互に間隔をあけて横設し
た載置棚には、周縁支持部より下方に窪んだ窪み部を設
け、その窪み部の中央部には上方に突出して、前記周縁
支持部と高さ位置が等しくなる中央支持部を設けてい
る。
【０００６】そして、基板は載置棚の上において、周縁
支持部と中央支持部により支持され、基板の中央部は前
記中央支持部による支持によって撓むことがない。ま
た、基板は撓みがないため基板間の間隙は所定の寸法に
保持できる。従って、自動搬送装置の保持体が前記の間
隙に容易に挿脱し得て、基板の保持または基板のカセッ
ト内への収納がし易いことになる。
支持部と中央支持部により支持され、基板の中央部は前
記中央支持部による支持によって撓むことがない。ま
た、基板は撓みがないため基板間の間隙は所定の寸法に
保持できる。従って、自動搬送装置の保持体が前記の間
隙に容易に挿脱し得て、基板の保持または基板のカセッ
ト内への収納がし易いことになる。
【０００７】また、本発明の基板用カセットは液晶表示
パネルの製造に使用されるガラス基板を各種加工工程に
搬送したり、各工程から収納したりする基板用カセット
とすることにより、液晶表示パネルの製造に使用して便
利なものである。
パネルの製造に使用されるガラス基板を各種加工工程に
搬送したり、各工程から収納したりする基板用カセット
とすることにより、液晶表示パネルの製造に使用して便
利なものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明は、カセット本体内に、多
数段にわたって相互に間隔をあけて横設した載置棚を設
け、その載置棚は、カセット本体の内壁にそれ自身を取
り付けるか、またはカセット本体の内壁に固着した台に
載置されるようにする。そして、前記載置棚には周縁支
持部があり、その周縁支持部より下方に窪んだ窪み部を
周縁支持部と連設して形成し、しかも窪み部には載置棚
の中央部において上方に突設して、前記する周縁支持部
と高さ位置が等しくなる中央支持部を設けたものであ
る。従って、載置棚のように載置される基板はその周縁
支持部と中央部とが載置棚の周縁支持部と中央支持部と
により支持されることになり、自重によって中央部が下
方に撓むことがない。また、基板間に存在する間隙に変
化がないので基板を搬送する自動搬送装置の保持体は支
障なく前記する間隙に挿入でき基板の保持またはカセッ
ト本体内への基板の収納がし易く、基板に当ってこれを
損傷したり、挿脱の能率が悪いようなことはない。
数段にわたって相互に間隔をあけて横設した載置棚を設
け、その載置棚は、カセット本体の内壁にそれ自身を取
り付けるか、またはカセット本体の内壁に固着した台に
載置されるようにする。そして、前記載置棚には周縁支
持部があり、その周縁支持部より下方に窪んだ窪み部を
周縁支持部と連設して形成し、しかも窪み部には載置棚
の中央部において上方に突設して、前記する周縁支持部
と高さ位置が等しくなる中央支持部を設けたものであ
る。従って、載置棚のように載置される基板はその周縁
支持部と中央部とが載置棚の周縁支持部と中央支持部と
により支持されることになり、自重によって中央部が下
方に撓むことがない。また、基板間に存在する間隙に変
化がないので基板を搬送する自動搬送装置の保持体は支
障なく前記する間隙に挿入でき基板の保持またはカセッ
ト本体内への基板の収納がし易く、基板に当ってこれを
損傷したり、挿脱の能率が悪いようなことはない。
【０００９】なお、基板はガラスのみならず、各種金属
板，木材基板，プラスチック基板の場合であっても本発
明は実施できるものであり、また、本基板用カセットは
液晶表示パネルにおける各製造工程において有用である
のみでなく、各種の金属加工，プラスチック加工，木材
加工等の加工工程に利用して便利なものである。
板，木材基板，プラスチック基板の場合であっても本発
明は実施できるものであり、また、本基板用カセットは
液晶表示パネルにおける各製造工程において有用である
のみでなく、各種の金属加工，プラスチック加工，木材
加工等の加工工程に利用して便利なものである。
【００１０】
【実施例】図１において、１はカセット本体で、内部に
載置棚２が複数段にわたって横設されている。なお、図
１には載置棚２は２段のみを示したが、勿論２段のみで
なく、多数段にわたって横設するのが普通である。３は
前記載置棚２の側面周縁に形成した周縁支持部であり、
周縁支持部３に連設して中央に窪み部４が形成される。
窪み部４には載置棚２の中央に位置して上方に向かって
突出し周縁支持部３と高さ位置が等しくなる中央支持部
５が形成される。６は基板で、前記載置棚２上に載置さ
れていて、かつ載置棚２の周縁支持部３により周縁が支
持され、中央部は載置棚２の中央支持部５により支持さ
れている。そして、基板６と載置棚２とは載置棚２に設
けた窪み部４の部分で間隙７が形成されることになる。
従って、図３に示したような自動搬送装置の保持体を前
記間隙７に挿入することによってカセット本体１内の基
板６を保持してカセット本体１の外に搬送し基板６を加
工することができる。また、加工が終わった基板６をカ
セット本体１内に間隙７を利用して保持体を挿入し保持
体によって保持された基板６を載置棚上に載置すること
ができる。前記するように基板６は載置棚２の周縁支持
部３によって周縁が支持され、しかも自重により撓れ下
がる可能性の強い中央部が載置棚２の中央支持部５によ
って支持されるので従来のように撓れ下がることがな
い。従って、基板６は変形するようなこともなく、また
従来のように、撓みによって自動搬送装置の保持体に当
ることもなく、加工においても、搬送においても支障な
く作業が行い得るものである。
載置棚２が複数段にわたって横設されている。なお、図
１には載置棚２は２段のみを示したが、勿論２段のみで
なく、多数段にわたって横設するのが普通である。３は
前記載置棚２の側面周縁に形成した周縁支持部であり、
周縁支持部３に連設して中央に窪み部４が形成される。
窪み部４には載置棚２の中央に位置して上方に向かって
突出し周縁支持部３と高さ位置が等しくなる中央支持部
５が形成される。６は基板で、前記載置棚２上に載置さ
れていて、かつ載置棚２の周縁支持部３により周縁が支
持され、中央部は載置棚２の中央支持部５により支持さ
れている。そして、基板６と載置棚２とは載置棚２に設
けた窪み部４の部分で間隙７が形成されることになる。
従って、図３に示したような自動搬送装置の保持体を前
記間隙７に挿入することによってカセット本体１内の基
板６を保持してカセット本体１の外に搬送し基板６を加
工することができる。また、加工が終わった基板６をカ
セット本体１内に間隙７を利用して保持体を挿入し保持
体によって保持された基板６を載置棚上に載置すること
ができる。前記するように基板６は載置棚２の周縁支持
部３によって周縁が支持され、しかも自重により撓れ下
がる可能性の強い中央部が載置棚２の中央支持部５によ
って支持されるので従来のように撓れ下がることがな
い。従って、基板６は変形するようなこともなく、また
従来のように、撓みによって自動搬送装置の保持体に当
ることもなく、加工においても、搬送においても支障な
く作業が行い得るものである。
【００１１】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明はカセッ
ト本体内に間隔をあけて横設した載置棚は周縁支持部と
連設して窪み部が形成され、しかも中央部には周縁支持
部と高さ位置が等しい中央支持部が形成されているた
め、基板は周縁支持部と中央支持部により支持されて中
央部が下方に撓むことがない。そして、前記載置棚に形
成された窪み部に自動搬送装置の保持体を挿入すること
ができるため、円滑に基板の保持を行って搬送入をする
ことができる。
ト本体内に間隔をあけて横設した載置棚は周縁支持部と
連設して窪み部が形成され、しかも中央部には周縁支持
部と高さ位置が等しい中央支持部が形成されているた
め、基板は周縁支持部と中央支持部により支持されて中
央部が下方に撓むことがない。そして、前記載置棚に形
成された窪み部に自動搬送装置の保持体を挿入すること
ができるため、円滑に基板の保持を行って搬送入をする
ことができる。
【図１】本発明の一実施例における基板用カセットの正
面図
面図
【図２】従来例における基板用カセットの一部の斜視図
【図３】同従来例における基板用カセット内のガラス基
板が撓んだ状態と、自動搬送装置の保持体とを示した斜
面図
板が撓んだ状態と、自動搬送装置の保持体とを示した斜
面図
１，２１ カセット本体 ２ 載置棚 ３ 周縁支持部 ４ 窪み部 ５ 中央支持部 ６ 基板 ７，２５ 間隙 ２４ 保持体
Claims (2)
- 【請求項１】 周縁支持部と、前記周縁支持部と連設し
下方に窪んで形成した窪み部と、前記窪み部の中央部に
おいて上方に突設して前記周縁支持部と高さ位置が等し
くなる中央支持部を有する載置棚を、カセット本体内に
多数段にわたって相互に間隔をあけて横設し、前記載置
棚の周縁支持部と中央支持部とによって基板を支持する
ことにより基板をカセット本体内の載置棚に載置する構
成とした基板用カセット。 - 【請求項２】 請求項１における基板を、液晶表示パネ
ルの製造に使用されるガラス基板とし、基板用カセット
を液晶表示パネルの製造工程におけるガラス基板の洗浄
工程，半導体形成工程，フォトリゾ工程，パネル組立工
程，ＬＳＩ実装工程を含む各加工工程において使用する
ことを特徴とする基板用カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9098056A JPH10279011A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 基板用カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9098056A JPH10279011A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 基板用カセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10279011A true JPH10279011A (ja) | 1998-10-20 |
Family
ID=14209636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9098056A Pending JPH10279011A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 基板用カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10279011A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100874206B1 (ko) * | 2004-12-24 | 2008-12-15 | 무라타 기카이 가부시키가이샤 | 판재 취출시스템 및 취출장치 |
| US7955044B2 (en) | 2006-09-13 | 2011-06-07 | Daifuku Co., Ltd. | Method for processing substrates |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP9098056A patent/JPH10279011A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100874206B1 (ko) * | 2004-12-24 | 2008-12-15 | 무라타 기카이 가부시키가이샤 | 판재 취출시스템 및 취출장치 |
| US7955044B2 (en) | 2006-09-13 | 2011-06-07 | Daifuku Co., Ltd. | Method for processing substrates |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0250990B1 (en) | Wafer transfer apparatus | |
| TW587246B (en) | Disk carrier | |
| JP2006293257A (ja) | 表示パネル用ガラスを積載するためのガラスカセット | |
| US7232037B2 (en) | LCD glass cassette | |
| JP2006036365A (ja) | ガラス基板を収納するカセット | |
| JP2003335390A (ja) | 基板収納用カセット | |
| JP2000142876A (ja) | 基板収納カセット | |
| JPH10279011A (ja) | 基板用カセット | |
| JP3747580B2 (ja) | 基板搬送トレー | |
| JP2000277587A (ja) | 基板搬送システム | |
| JP2004079738A (ja) | ウェハーキャリアおよび搬送アーム | |
| JPH10279070A (ja) | 基板搬送用フィンガ | |
| TW200301533A (en) | Cartridge for accommodating substrate | |
| JP5583516B2 (ja) | ワーク積載装置 | |
| JP2801140B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP2001093969A (ja) | 基板トレイおよび基板収納方法 | |
| JPH072308U (ja) | プラスチック基板収納カセット | |
| JPH1059454A (ja) | 板体収納保持装置 | |
| CN105753308B (zh) | 玻璃基板运送装置及玻璃基板取出方法 | |
| JP6112996B2 (ja) | トレイキャリア | |
| JP2003261221A (ja) | ガラス基板搬送用移載装置及びそれに用いるガラス基板収納用カセット | |
| JPH0547472Y2 (ja) | ||
| JP2002076108A (ja) | ウエハカセットおよびウエハの収納方法 | |
| JPS60214340A (ja) | 両面電極基板のラビング方法及び同方法に使用されるワ−ク台装置 | |
| JP2003276787A (ja) | 液晶パネル用基板収納カセット |