JP2000142876A - 基板収納カセット - Google Patents
基板収納カセットInfo
- Publication number
- JP2000142876A JP2000142876A JP11327808A JP32780899A JP2000142876A JP 2000142876 A JP2000142876 A JP 2000142876A JP 11327808 A JP11327808 A JP 11327808A JP 32780899 A JP32780899 A JP 32780899A JP 2000142876 A JP2000142876 A JP 2000142876A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- base
- cassette
- plastic
- supporting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プラスチック基板を収納してもたわまず、ま
た基板にほこり等が付きにくく、さらにロボット等の基
板移載用ホークによる基板搬出入が可能な基板収納カセ
ットを提供する。 【解決手段】 基板５を出し入れするため開口した前面
と、孔部を設けた上面、下面、左右の側面および背面を
備え、前記両側面から内方に向かって突出した基板５の
左右両端を支持する基板端部支持部２と、前記背面から
内方に向かって突出した基板５の中央部を支持する基板
中央部支持部３と、が設けられていることにより、プラ
スチック基板を収納してもたわみを問題のないレベルま
で抑えることができるとともに、液晶表示素子の製造工
程等で加熱した基板を収納したとしても、カセット内部
に蓄熱されることがなくすべての方向に放熱されるの
で、短時間かつ均一にカセット内の基板を冷ますことが
できる。
た基板にほこり等が付きにくく、さらにロボット等の基
板移載用ホークによる基板搬出入が可能な基板収納カセ
ットを提供する。 【解決手段】 基板５を出し入れするため開口した前面
と、孔部を設けた上面、下面、左右の側面および背面を
備え、前記両側面から内方に向かって突出した基板５の
左右両端を支持する基板端部支持部２と、前記背面から
内方に向かって突出した基板５の中央部を支持する基板
中央部支持部３と、が設けられていることにより、プラ
スチック基板を収納してもたわみを問題のないレベルま
で抑えることができるとともに、液晶表示素子の製造工
程等で加熱した基板を収納したとしても、カセット内部
に蓄熱されることがなくすべての方向に放熱されるの
で、短時間かつ均一にカセット内の基板を冷ますことが
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばプラスチッ
ク基板を用いる液晶表示素子の製造工程においてプラス
チック基板の収納に使用される基板収納カセットに関す
るものである。
ク基板を用いる液晶表示素子の製造工程においてプラス
チック基板の収納に使用される基板収納カセットに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】以下、液晶表示素子を例に従来技術につ
いて説明する。
いて説明する。
【０００３】従来の液晶表示素子は、液晶表示素子用基
板の一方の面に絵素電極、配線等のパターンを形成し、
その上に塗布または付着加工により配向膜を形成し、配
向面に対して液晶分子が規則正しく配列されるように該
配向膜をラビング処理し、続いて前記液晶表示素子用基
板の絵素電極、配線等を形成した面が均一な間隔で対向
するように二つの液晶表示素子用基板をシール材を介し
て貼り合わせ、その後基板間に形成される空間に液晶を
封入して製造されていた。
板の一方の面に絵素電極、配線等のパターンを形成し、
その上に塗布または付着加工により配向膜を形成し、配
向面に対して液晶分子が規則正しく配列されるように該
配向膜をラビング処理し、続いて前記液晶表示素子用基
板の絵素電極、配線等を形成した面が均一な間隔で対向
するように二つの液晶表示素子用基板をシール材を介し
て貼り合わせ、その後基板間に形成される空間に液晶を
封入して製造されていた。
【０００４】このような液晶表示素子の製造工程では、
絵素電極等の形成に用いられるスパッタ処理装置、化学
蒸着装置、配向膜を塗布するスピンコーター、配向膜の
ラビングを行うラビング装置等、複数の処理装置が使用
されていた。
絵素電極等の形成に用いられるスパッタ処理装置、化学
蒸着装置、配向膜を塗布するスピンコーター、配向膜の
ラビングを行うラビング装置等、複数の処理装置が使用
されていた。
【０００５】そのため、基板を一つの処理装置での処理
が終った後、別の処理装置に移動させて処理するために
一時的に収納しておく必要があり、その収納用に箱型の
カセットが使用されていた。
が終った後、別の処理装置に移動させて処理するために
一時的に収納しておく必要があり、その収納用に箱型の
カセットが使用されていた。
【０００６】一方、液晶表示素子用基板としてはガラス
基板或いはプラスチック基板が用いられていた。
基板或いはプラスチック基板が用いられていた。
【０００７】ガラス基板を収納するカセットは、ガラス
基板が硬いものであるため、基板両端部分のみを支持す
る構造のもので支持部が複数段設けられたものであった
（以下ガラス基板収納カセットと称す）。
基板が硬いものであるため、基板両端部分のみを支持す
る構造のもので支持部が複数段設けられたものであった
（以下ガラス基板収納カセットと称す）。
【０００８】また、プラスチック基板を収納するカセッ
トは、プラスチック基板が軟らかいことによって発生す
るたわみを防ぐために、基板全面を支持する支持板を複
数段備えたカセットが使用されていた（以下プラスチッ
ク基板収納カセットと称す）。
トは、プラスチック基板が軟らかいことによって発生す
るたわみを防ぐために、基板全面を支持する支持板を複
数段備えたカセットが使用されていた（以下プラスチッ
ク基板収納カセットと称す）。
【０００９】また、基板のカセットへの搬出入は、ガラ
ス基板の場合はロボット等を使用した基板移載用ホーク
により行われ、プラスチック基板の場合には手作業で行
われていた。
ス基板の場合はロボット等を使用した基板移載用ホーク
により行われ、プラスチック基板の場合には手作業で行
われていた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ガ
ラス基板収納カセットは、図４に示したように基板両端
部分のみを支持する構造であるために、該ガラス基板収
納カセットにプラスチック基板のような軟らかい基板を
収納した場合、基板の中心部が大きくたわんでしまう。
ラス基板収納カセットは、図４に示したように基板両端
部分のみを支持する構造であるために、該ガラス基板収
納カセットにプラスチック基板のような軟らかい基板を
収納した場合、基板の中心部が大きくたわんでしまう。
【００１１】従って、基板の搬出入をロボット等の基板
移載用ホークによって行う場合には、基板移載用ホーク
上のプラスチック基板が、直上に収納されたプラスチッ
ク基板のたわんだ部分と接触して搬入がスムーズに行え
ないとか、基板に傷をつけてしまうという問題があっ
た。
移載用ホークによって行う場合には、基板移載用ホーク
上のプラスチック基板が、直上に収納されたプラスチッ
ク基板のたわんだ部分と接触して搬入がスムーズに行え
ないとか、基板に傷をつけてしまうという問題があっ
た。
【００１２】また、基板のたわみ部分との接触を避ける
ために支持部のピッチを広く設定すると、１つのカセッ
トに収納される基板の数量が大幅に減少して多くのカセ
ットが必要になり作業効率が悪くなるという問題があっ
た。
ために支持部のピッチを広く設定すると、１つのカセッ
トに収納される基板の数量が大幅に減少して多くのカセ
ットが必要になり作業効率が悪くなるという問題があっ
た。
【００１３】さらに、プラスチック基板は可塑性を持つ
ためたわみが大きい場合は、そのまま変形してしまうと
いう問題もあった。
ためたわみが大きい場合は、そのまま変形してしまうと
いう問題もあった。
【００１４】一方、前記プラスチック基板収納カセット
は、カセットに収納される基板の全面が支持面に接する
ため、ほこり等が基板に付きやすく、搬出入の際に基板
に傷が付き易いという問題があった。
は、カセットに収納される基板の全面が支持面に接する
ため、ほこり等が基板に付きやすく、搬出入の際に基板
に傷が付き易いという問題があった。
【００１５】また、プラスチック基板収納カセットの場
合、支持板が基板全面を支持するように形成されている
ために、ロボット等の基板移載用ホークによって搬出入
を行おうとした場合にホークの先がぶつかってしまうの
で、このような搬出入法が取れず、手作業により行わな
ければならないという問題があった。
合、支持板が基板全面を支持するように形成されている
ために、ロボット等の基板移載用ホークによって搬出入
を行おうとした場合にホークの先がぶつかってしまうの
で、このような搬出入法が取れず、手作業により行わな
ければならないという問題があった。
【００１６】本発明の目的は、前記問題点を解決し、プ
ラスチック基板を収納してもたわまず、また基板にほこ
り等が付きにくく、さらにロボット等の基板移載用ホー
クによる基板搬出入が可能な基板収納カセットを提供す
ることにある。
ラスチック基板を収納してもたわまず、また基板にほこ
り等が付きにくく、さらにロボット等の基板移載用ホー
クによる基板搬出入が可能な基板収納カセットを提供す
ることにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の基板収納カセットは、基板を出し入れ
するため開口した前面と、孔部を設けた上面、下面、左
右の側面および背面を備え、前記両側面から内方に向か
って突出した前記基板の左右両端を支持する基板端部支
持部と、前記背面から内方に向かって突出した前記基板
の中央部を支持する基板中央部支持部と、が設けられて
いることを特徴としている。
ために、本発明の基板収納カセットは、基板を出し入れ
するため開口した前面と、孔部を設けた上面、下面、左
右の側面および背面を備え、前記両側面から内方に向か
って突出した前記基板の左右両端を支持する基板端部支
持部と、前記背面から内方に向かって突出した前記基板
の中央部を支持する基板中央部支持部と、が設けられて
いることを特徴としている。
【００１８】本発明の基板収納カセットによれば、基板
中央部支持部を備えているので、プラスチック基板を収
納してもたわみを問題のないレベルまで抑えることがで
きる。
中央部支持部を備えているので、プラスチック基板を収
納してもたわみを問題のないレベルまで抑えることがで
きる。
【００１９】また、孔部を設けた上面、下面、左右の側
面および背面を備えることにより、液晶表示素子の製造
工程等で加熱した基板を収納したとしても、カセット内
部に蓄熱されることがなくすべての方向に放熱されるの
で、前面の開口付近だけ速く冷えて基板面内の温度分布
が偏ることが低減される。したがって、冷却（加熱）履
歴が基板面内で均一化されることになり、これに起因す
る基板の歪等を抑えることができる。特に、加熱された
空気は上昇するため、これを上面の孔部により効率的に
カセット内部から排出し、前面の開口、並びに下面、左
右の側面および背面の孔部から周囲の空気をカセット内
部に取り込むように対流ができるため、短時間かつ均一
にカセット内の基板を冷ますことができる。
面および背面を備えることにより、液晶表示素子の製造
工程等で加熱した基板を収納したとしても、カセット内
部に蓄熱されることがなくすべての方向に放熱されるの
で、前面の開口付近だけ速く冷えて基板面内の温度分布
が偏ることが低減される。したがって、冷却（加熱）履
歴が基板面内で均一化されることになり、これに起因す
る基板の歪等を抑えることができる。特に、加熱された
空気は上昇するため、これを上面の孔部により効率的に
カセット内部から排出し、前面の開口、並びに下面、左
右の側面および背面の孔部から周囲の空気をカセット内
部に取り込むように対流ができるため、短時間かつ均一
にカセット内の基板を冷ますことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の一
実施例について説明する。
実施例について説明する。
【００２１】図１は、本発明に係る基板収納カセットの
一実施例を示す斜視図である。
一実施例を示す斜視図である。
【００２２】図１において、収納カセット７はフレーム
１によって矩形状に形成され、該フレーム１の少なくと
も前面部には基板を出し入れするための開口が設けられ
ている。
１によって矩形状に形成され、該フレーム１の少なくと
も前面部には基板を出し入れするための開口が設けられ
ている。
【００２３】２は基板端部支持プレートであって、カセ
ット７の左右両側のフレーム内側面の左右対称位置から
内方に向かって突出形成されている。
ット７の左右両側のフレーム内側面の左右対称位置から
内方に向かって突出形成されている。
【００２４】前記基板端部支持プレート２は左右各１カ
所に限らず、収納される基板の枚数に応じてカセット７
の上下方向に複数段設けられる。
所に限らず、収納される基板の枚数に応じてカセット７
の上下方向に複数段設けられる。
【００２５】３は基板中央部支持プレートであって、カ
セット７の背面内側の前記基板端部支持プレート２と同
じ高さ位置から前方に向かって延出形成されている。該
基板中央部支持プレート３は前記基板端部支持プレート
２と同じ数だけ設けられる。前記基板中央部支持プレー
ト３の延出量及び幅は、収納されたプラスチック基板の
たわみ量が可塑性を示す値を越えないように設定する必
要がある。
セット７の背面内側の前記基板端部支持プレート２と同
じ高さ位置から前方に向かって延出形成されている。該
基板中央部支持プレート３は前記基板端部支持プレート
２と同じ数だけ設けられる。前記基板中央部支持プレー
ト３の延出量及び幅は、収納されたプラスチック基板の
たわみ量が可塑性を示す値を越えないように設定する必
要がある。
【００２６】具体的には、前記基板端部支持プレート２
の突出量は、幅３００ｍｍ×長さ４００ｍｍ×厚さ０．
４ｍｍのアクリル製の基板を使用した場合に１７〜３０
ｍｍとした。
の突出量は、幅３００ｍｍ×長さ４００ｍｍ×厚さ０．
４ｍｍのアクリル製の基板を使用した場合に１７〜３０
ｍｍとした。
【００２７】また、前記基板中央部支持プレート３の寸
法は、収納されるプラスチック基板のサイズに応じて決
められ、例えばプラスチック基板の幅と長さの比が３対
４であった場合は、このプラスチック基板の長さに対し
て少なくとも５分の４以上の長さにし、幅は前記基板の
短辺に対して１０分の１程度の幅とするとよい。本実施
例では長さ３７０mm、幅３０mmとした。このときのたわ
みは、図３に示すように、カセット開口部付近における
基板中央部支持プレート３がない部分での最大たわみ
（Ａ）と、基板中央部支持プレート３と基板端部支持プ
レート２の間の最大たわみ（Ｂ）が等しくなり、いずれ
も基板に塑性変形を起こさないたわみ量である０．５mm
以下となる。
法は、収納されるプラスチック基板のサイズに応じて決
められ、例えばプラスチック基板の幅と長さの比が３対
４であった場合は、このプラスチック基板の長さに対し
て少なくとも５分の４以上の長さにし、幅は前記基板の
短辺に対して１０分の１程度の幅とするとよい。本実施
例では長さ３７０mm、幅３０mmとした。このときのたわ
みは、図３に示すように、カセット開口部付近における
基板中央部支持プレート３がない部分での最大たわみ
（Ａ）と、基板中央部支持プレート３と基板端部支持プ
レート２の間の最大たわみ（Ｂ）が等しくなり、いずれ
も基板に塑性変形を起こさないたわみ量である０．５mm
以下となる。
【００２８】また表１には、前記寸法の基板中央部支持
プレートを設けた基板収納カセットと従来のガラス基板
収納カセットに、それぞれ幅３００ｍｍ×長さ４００ｍ
ｍ×厚さ０．４ｍｍの寸法のプラスチック基板を収納し
た場合のたわみ量を示す。
プレートを設けた基板収納カセットと従来のガラス基板
収納カセットに、それぞれ幅３００ｍｍ×長さ４００ｍ
ｍ×厚さ０．４ｍｍの寸法のプラスチック基板を収納し
た場合のたわみ量を示す。
【００２９】
【表１】
【００３０】次にロボット等の基板移載用ホーク４によ
るカセット７への基板搬出入について図３に従って説明
する。基板５を載せたホーク４を、カセット７内の基板
支持プレート面より若干高い位置から入れ、その後ホー
ク４を基板支持プレート面の高さ位置より下げることに
より、ホーク４上の基板５をカセット７の基板支持プレ
ート上に載せ替え、その後ホーク４のみをカセット７か
ら引き出すという一連の動作により行われる。一方、カ
セット７からの基板搬出は、前記基板搬入の場合の逆の
動作により行われる。尚、これらホーク４の動作はロボ
ット等により制御される。
るカセット７への基板搬出入について図３に従って説明
する。基板５を載せたホーク４を、カセット７内の基板
支持プレート面より若干高い位置から入れ、その後ホー
ク４を基板支持プレート面の高さ位置より下げることに
より、ホーク４上の基板５をカセット７の基板支持プレ
ート上に載せ替え、その後ホーク４のみをカセット７か
ら引き出すという一連の動作により行われる。一方、カ
セット７からの基板搬出は、前記基板搬入の場合の逆の
動作により行われる。尚、これらホーク４の動作はロボ
ット等により制御される。
【００３１】また図５は、本発明の実施例に用いられる
ロボット等の基板移載用ホーク４の斜視図である。ホー
ク４の形状は、カセット搬出入時、基板中心支持プレー
ト３がホーク４に接触しないように、基板中心支持プレ
ート３に対応する部分６が切り取られている。
ロボット等の基板移載用ホーク４の斜視図である。ホー
ク４の形状は、カセット搬出入時、基板中心支持プレー
ト３がホーク４に接触しないように、基板中心支持プレ
ート３に対応する部分６が切り取られている。
【００３２】本発明のカセットの支持プレートの平面配
置は図２に示される。プラスチック基板５は、図２に示
したようにその端部と中央部が基板端部支持プレート２
と基板中央部支持プレート３によって支持される。従っ
て、プラスチック基板５は支持されていない面積が広い
ことから、ほこり等が基板に付きにくく、さらにロボッ
ト等の基板移載用ホークが出入りする空間をプラスチッ
ク基板の下に十分設けることができる。一方基板中央部
支持プレート３によって基板５の最大たわみ量が減少し
上下段の基板間の干渉を防ぐことができる。また本発明
による基板収納カセットはガラス基板を収納することも
可能である。
置は図２に示される。プラスチック基板５は、図２に示
したようにその端部と中央部が基板端部支持プレート２
と基板中央部支持プレート３によって支持される。従っ
て、プラスチック基板５は支持されていない面積が広い
ことから、ほこり等が基板に付きにくく、さらにロボッ
ト等の基板移載用ホークが出入りする空間をプラスチッ
ク基板の下に十分設けることができる。一方基板中央部
支持プレート３によって基板５の最大たわみ量が減少し
上下段の基板間の干渉を防ぐことができる。また本発明
による基板収納カセットはガラス基板を収納することも
可能である。
【００３３】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の基板収納
カセットによれば、基板中央部支持部を備えているの
で、プラスチック基板を収納してもたわみを問題のない
レベルまで抑えることができる。
カセットによれば、基板中央部支持部を備えているの
で、プラスチック基板を収納してもたわみを問題のない
レベルまで抑えることができる。
【００３４】また、孔部を設けた上面、下面、左右の側
面および背面を備えることにより、液晶表示素子の製造
工程等で加熱した基板を収納したとしても、カセット内
部に蓄熱されることがなくすべての方向に放熱されるの
で、短時間かつ均一にカセット内の基板を冷ますことが
できる。
面および背面を備えることにより、液晶表示素子の製造
工程等で加熱した基板を収納したとしても、カセット内
部に蓄熱されることがなくすべての方向に放熱されるの
で、短時間かつ均一にカセット内の基板を冷ますことが
できる。
【図１】本発明のカセットの一実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明の基板端部支持プレートと基板中央部支
持プレートを示す平面図である。
持プレートを示す平面図である。
【図３】本発明のカセットにプラスチック基板を支持し
た状態を示す要部断面図である。
た状態を示す要部断面図である。
【図４】ガラス基板用カセットにプラスチック基板を収
納した状態を示す要部断面図である。
納した状態を示す要部断面図である。
【図５】基板移載用ホークの一実施例を示す斜視図であ
る。
る。
１ フレーム ２ 基板端部支持プレート ３ 基板中央部支持プレート ４ 基板移載用ホーク ５ プラスチック基板 ６ 基板移載ホークの切り込み部 ７ カセット
Claims (1)
- 【請求項１】 基板を出し入れするため開口した前面
と、 孔部を設けた上面、下面、左右の側面および背面を備
え、 前記両側面から内方に向かって突出した前記基板の左右
両端を支持する基板端部支持部と、 前記背面から内方に向かって突出した前記基板の中央部
を支持する基板中央部支持部と、 が設けられていることを特徴とする基板収納カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11327808A JP2000142876A (ja) | 1999-01-01 | 1999-11-18 | 基板収納カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11327808A JP2000142876A (ja) | 1999-01-01 | 1999-11-18 | 基板収納カセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000142876A true JP2000142876A (ja) | 2000-05-23 |
Family
ID=18203229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11327808A Pending JP2000142876A (ja) | 1999-01-01 | 1999-11-18 | 基板収納カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000142876A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002217274A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-08-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
| JP2003205991A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-07-22 | Yodogawa Hu-Tech Kk | 板状物搬送容器 |
| KR20040046872A (ko) * | 2002-11-28 | 2004-06-05 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의 기판을 수납하는 카세트 |
| KR100507274B1 (ko) * | 2000-12-30 | 2005-08-10 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 글라스 적재용 카세트 |
| WO2005117100A1 (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Nippon Oil Corporation | 基板カセット用サポートバー及び基板カセット |
| US7232037B2 (en) | 2002-11-21 | 2007-06-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | LCD glass cassette |
| JP2008244500A (ja) * | 2001-06-26 | 2008-10-09 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 枚葉基板の移載装置並びにそれに用いる収納装置及びハンド |
| KR100875847B1 (ko) | 2007-12-05 | 2008-12-26 | 내일시스템주식회사 | 액정 패널용 유리기판 운반용 트레이의 써포트 바 처짐량보정장치 |
| US8322542B2 (en) | 2002-03-15 | 2012-12-04 | Lg Display Co., Ltd. | Cassette for receiving substrates |
| CN105353542A (zh) * | 2015-10-16 | 2016-02-24 | 苏州尚牙电子有限公司 | 一种支撑杆和具备支撑杆的基板装载盒 |
| CN113424304A (zh) * | 2019-03-12 | 2021-09-21 | Skc株式会社 | 包含玻璃的基板的装载盒及适用其的基板的装载方法 |
| KR20220076218A (ko) * | 2020-11-30 | 2022-06-08 | 주식회사 네패스라웨 | 패널 수납용기의 트레이 결합구조 |
| US11967542B2 (en) | 2019-03-12 | 2024-04-23 | Absolics Inc. | Packaging substrate, and semiconductor device comprising same |
| US11981501B2 (en) | 2020-03-12 | 2024-05-14 | Absolics Inc. | Loading cassette for substrate including glass and substrate loading method to which same is applied |
-
1999
- 1999-11-18 JP JP11327808A patent/JP2000142876A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100507274B1 (ko) * | 2000-12-30 | 2005-08-10 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 글라스 적재용 카세트 |
| JP2002217274A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-08-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
| JP4681029B2 (ja) * | 2001-06-26 | 2011-05-11 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 枚葉基板の移載装置及びそれに用いるハンド |
| JP2008244500A (ja) * | 2001-06-26 | 2008-10-09 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 枚葉基板の移載装置並びにそれに用いる収納装置及びハンド |
| JP2003205991A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-07-22 | Yodogawa Hu-Tech Kk | 板状物搬送容器 |
| US8322542B2 (en) | 2002-03-15 | 2012-12-04 | Lg Display Co., Ltd. | Cassette for receiving substrates |
| US7232037B2 (en) | 2002-11-21 | 2007-06-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | LCD glass cassette |
| KR20040046872A (ko) * | 2002-11-28 | 2004-06-05 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의 기판을 수납하는 카세트 |
| WO2005117100A1 (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Nippon Oil Corporation | 基板カセット用サポートバー及び基板カセット |
| KR100875847B1 (ko) | 2007-12-05 | 2008-12-26 | 내일시스템주식회사 | 액정 패널용 유리기판 운반용 트레이의 써포트 바 처짐량보정장치 |
| CN105353542A (zh) * | 2015-10-16 | 2016-02-24 | 苏州尚牙电子有限公司 | 一种支撑杆和具备支撑杆的基板装载盒 |
| CN113424304A (zh) * | 2019-03-12 | 2021-09-21 | Skc株式会社 | 包含玻璃的基板的装载盒及适用其的基板的装载方法 |
| CN113424304B (zh) * | 2019-03-12 | 2024-04-12 | 爱玻索立克公司 | 装载盒及对象基板的装载方法 |
| US11967542B2 (en) | 2019-03-12 | 2024-04-23 | Absolics Inc. | Packaging substrate, and semiconductor device comprising same |
| US11981501B2 (en) | 2020-03-12 | 2024-05-14 | Absolics Inc. | Loading cassette for substrate including glass and substrate loading method to which same is applied |
| KR20220076218A (ko) * | 2020-11-30 | 2022-06-08 | 주식회사 네패스라웨 | 패널 수납용기의 트레이 결합구조 |
| KR102498995B1 (ko) | 2020-11-30 | 2023-02-13 | 주식회사 삼에스코리아 | 패널 수납용기의 트레이 결합구조 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000142876A (ja) | 基板収納カセット | |
| US20140231370A1 (en) | Substrate loading device | |
| JPH11165813A (ja) | ガラス基板の積載用カセット | |
| JP4210136B2 (ja) | 基板収納用カセット | |
| JP2006293257A (ja) | 表示パネル用ガラスを積載するためのガラスカセット | |
| US7978279B2 (en) | Panel receiving device | |
| US7039303B2 (en) | Heating method, heating apparatus, and production method of image display apparatus | |
| US7423703B2 (en) | Cassette for liquid crystal panel inspection and method of inspecting liquid crystal panel | |
| JPH09217173A (ja) | 基板保持装置およびそれへの基板装着方法 | |
| JP2000277587A (ja) | 基板搬送システム | |
| JP2005105328A (ja) | マスク構造体の製造方法およびマスク構造体ならびに蒸着装置 | |
| KR100781942B1 (ko) | 평판표시장치 제조시스템의 배치식 보트 | |
| US6283355B1 (en) | End effector for substrate handling | |
| JP2000012655A (ja) | 基板の保持装置 | |
| JPH072308U (ja) | プラスチック基板収納カセット | |
| JPH11131212A (ja) | 枚葉式スパッタ装置、枚葉式スパッタ方法及びスパッタ膜 | |
| JPH07176595A (ja) | 基板搬送装置 | |
| KR20190074651A (ko) | 기판 얼라인 장치 및 이를 포함하는 증착장치 | |
| KR20070121297A (ko) | 박막 처리 장치 | |
| JP3145844B2 (ja) | 薄板部材移載装置および方法 | |
| US20030172544A1 (en) | Apparatus for hardening sealant | |
| JPH11102952A (ja) | 半導体製造方法及びその装置 | |
| JP4118166B2 (ja) | 強誘電性液晶表示パネル加熱装置 | |
| JPH10261691A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2003276787A (ja) | 液晶パネル用基板収納カセット |