JP4244389B2 - クリーンルーム内装置 - Google Patents

Description

この発明は、クリーンルーム内で物品の受け渡しに使用する装置に関し、特に開口を通しての物品の受け渡しを迅速に行うことに関する。

クリーンルーム内での処理装置間の物品の搬送には、無人搬送車や有軌道台車などが用いられている。処理装置とこれらの搬送台車の間で物品を受け渡しする前に、処理装置側のロードポートの開口と搬送台車の開口とを開いて、クリーンエアで処理装置と搬送台車の間の空気を置換する必要がある。

図６に、従来例での処理装置２と搬送台車の間の空気の置換を示す。４は無人搬送車で搬送台車の例で、８，１０はシャッタでこれらを同期して徐々に開くことにより、クリーンエアで処理装置と搬送台車の間の空気を置換する。しかしながら図６のようにクリーンエアを吹き出させると、空気の置換に時間がかかり、受け渡しが遅くなる。なお特許文献１は、無人搬送車の車体から処理装置などの側へ、常時空気を吹き出すことを開示している。
特開２００４−２９９８９５号公報

この発明の課題は、搬送台車と処理装置の間の空気をクリーンなガスで速やかに置換し、物品の受け渡し前の待ち時間を短縮することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、搬送台車と処理装置間の空気をクリーンなガスで押し出し、より短時間で物品の受け渡しができるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、搬送台車と処理装置間に多量のクリーンなガスを供給できるようにすることにある。

この発明は、物品の受け渡し用の開口と、開口を開閉するシャッタと、開口の内部にクリーンなガスを供給するための手段とを備えたクリーンルーム内装置であって、クリーンなガスを外部へ吹き出させるための吹出口をシャッタに設けたことを特徴とする。クリーンなガスはクリーンエアやクリーンな窒素ガスなどとする。

好ましくは、吹出口を前記シャッタが開口を覆う面の中心部付近に設ける。なお吹出口の位置はシャッタが前記開口を覆う面の中心部付近に有れば良く、正確に中心に有る必要は無く、例えば面の上下方向の幅と水平方向の幅との１０％程度、面の中心からシフトしていても良い。

好ましくは、クリーンルーム内装置がクリーンルーム内に固定の装置で、搬送台車との間で物品を受け渡しする。

この発明では、シャッタと物品の受け渡し相手との間の空気を、吹出口からのクリーンなガスで置換するので、物品の受け渡し前の待ち時間を短縮できる。

請求項２の発明では、シャッタのほぼ中央部からクリーンなガスを供給して、物品の受け渡し相手との間の空気を追い出すので、効率的にクリーンなガスで雰囲気を置換でき、待ち時間をより短縮できる。

請求項３の発明では、クリーンルーム内に固定の装置からクリーンなガスを供給するので、搬送台車などからクリーンなガスを供給する場合に比べ、より簡単に大流量のクリーンなガスを供給できる。

以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。

図１〜図５に、実施例とその変形とを示す。各図において、２はクリーンルーム内の処理装置で、４は無人搬送車であり、有軌道台車などでも良く、処理装置２には無人搬送車４との間で物品１６を受け渡すためのロードポート６が設けてある。無人搬送車４には、物品１６を受け渡しするための開口が走行方向の左右に設けられ、シャッタ１０をローラ１２で巻き取り／繰り出すことにより開口を開閉する。１４はファンフィルタユニットで、無人搬送車４内にクリーンエアを供給し、１６は受け渡し対象の物品で、例えば液晶基板や半導体，レチクルなどのカセットである。１８はスカラアームなどの移載装置である。

ロードポート６内にはファンフィルタユニット２０からクリーンエアが供給され、クリーンエアに代えて、クリーンな窒素などのガスを供給しても良い。ロードポート６の開口面はシャッタ２２で覆われ、開口面の中央部の例えば１箇所に吹出口２４が設けられ、開閉装置２６によりシャッタ２２が上方に移動すると、ロードポート６が開く。なお無人搬送車４がロードポート６に到着した際にのみ吹出口２４を開くように、吹出口２４を開閉するシャッタなどを設けても良い。また処理装置２に代えて検査装置やストッカなどでも良く、無人搬送車４に代えて有軌道台車などでも良い。

図２はシャッタ２２を正面から見た姿を示し、点線内の領域はシャッタ２２が開閉装置２６内にあるため、ロードポート６の開口面から外れた領域を示している。そして吹出口２４は、シャッタ２２内で、ロードポート６の開口面のほぼ中央部に有るが、厳密に中央部に有る必要はない。

図３に変形例のシャッタ３２を示し、ロードポートの開口面のほぼ中央部で、シャッタ３２に吹出口３４を設け、その周囲に複数個の吹出口３５を設けている。中央の吹出口３４の開口面積は周囲の吹出口３５の個々の開口面積よりも大きくしてある。

図４に、第２の変形例のシャッタ４２を示す。シャッタ４２では、ロードポートの開口面のほぼ全面に、例えば碁盤目状に多数個の吹出口４４を設けてある。

図１，図５により、実施例での吹出口２４の動作を説明する。ロードポート６内にはファンフィルタユニット２０から常時クリーンエアが供給されており、吹出口２４から常時クリーンエアが吹き出している。無人搬送車４が到着すると、シャッタ２２の中央部の吹出口２４からのクリーンエアは、無人搬送車４のシャッタ１０側に噴出して上下左右に分かれ、ロードポート６と無人搬送車４との間の空気をクリーンエアで押し出すようにして置換する。

吹出口２４はロードポート６の開口面の中央部にあり、ここからクリーンエアが上下左右に拡がると、最も効率的にシャッタ１０，２２間の空気をクリーンエアで置換できる。これに対して図３のシャッタ３２の場合、中央部の吹出口３４以外に周囲の吹出口３５が有るので、吹出口３４からのクリーンエアが上下左右に拡がり難くなり、シャッタ３２，１０間の空気を置換するのに要する時間がやや長くなる。図４の変形例の場合、シャッタ４２に碁盤目上に配置した周辺の開口からのクリーンエアは、無人搬送車４側に達して上下左右に拡がりやすいが、シャッタ４２の中央部の吹出口からのクリーンエアは、周辺の吹出口からのクリーンエアの気流のため吹き出し難くなり、シャッタ４２の中央部付近の空気の置換が遅れる。

吹出口２４等からのクリーンエアにより、処理装置２と無人搬送車４間の空気をクリーンエアで置換できると、例えばシャッタ２２，１０の開閉速度を増して、より短時間で物品１６を受け渡しできる。このため物品の受け渡しまでの待ち時間を短縮できる。また処理装置２側からクリーンエアを吹き出させるので、無人搬送車４側から吹き出せる場合に比べより大流量のクリーンエアを吹き出すことができる。

実施例のクリーンルーム内装置と無人搬送車とを模式的に示す側面図 実施例のクリーンルーム内装置で用いたシャッタの正面図 変形例のシャッタの正面図 第２の変形例のシャッタを模式的に示す側面図 実施例のクリーンルーム内装置と無人搬送車とを模式的に示す正面図 従来例でのシャッタを模式的に示す側面図

符号の説明

２ 処理装置
４ 無人搬送車
６ ロードポート
８，１０ シャッタ
１２ ローラ
１４，２０ ファンフィルタユニット
１６ 物品
１８ 移載装置
２２，３２，４２ シャッタ
２４，３４，３５，４４ 吹出口
２６ 開閉装置

Claims (3)

1. 物品の受け渡し用の開口と、該開口を開閉するシャッタと、前記開口の内部にクリーンなガスを供給するための手段とを備えたクリーンルーム内装置であって、
   クリーンなガスを外部へ吹き出させるための吹出口を前記シャッタに設けたことを特徴とする、クリーンルーム内装置。
2. 前記吹出口を前記シャッタが前記開口を覆う面の中心部付近に設けたことを特徴とする、請求項１のクリーンルーム内装置。
3. 前記クリーンルーム内装置がクリーンルーム内に固定の装置であることを特徴とする、請求項１または２のクリーンルーム内装置。
   

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