JP2003163250A

JP2003163250A - 搬送システムと搬送方法

Info

Publication number: JP2003163250A
Application number: JP2001359480A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Watanabe; 和廣渡辺; Kuniaki Furukawa; 訓朗古川; Yuichiro Ota; 雄一郎太田; Hideo Ishii; 英夫石井; Isao Takebayashi; 勲竹林; Hiroshi Sawai; 浩史澤井
Original assignee: Fujitsu Display Technologies Corp
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2001-11-26
Filing date: 2001-11-26
Publication date: 2003-06-06
Anticipated expiration: 2021-11-26
Also published as: JP4253150B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】複数のクリーンルーム間で電子部品を遣り取り
する場合の搬送効率アップによる生産性向上を図る。【解決手段】複数のクリーンルームの少なくとも１つ
に設けられるクレーン付のストッカー 21 と、該ストッ
カーの受渡領域に載置されるコンテナ 22 と、クリーン
ルーム内で移動する第一の搬送車 23 と、一般通路用の
カバー付の第二の搬送車とを含んで構成し、ストッカー
21 と第一の搬送車 23 と第二の搬送車のそれぞれに、
ストッカーと第一の搬送車間及び第一と第二の搬送車間
で前記コンテナ 22 が自動的に受渡しできる移載手段 2
11,231 を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は複数のクリーンルー
ム間でカセットやウェーハ等の電子部品を遣り取りする
場合の搬送システムと搬送方法に係わり、特に部材倉庫
としてのストッカーとクリーンルーム内の第一の搬送車
間や該第一の搬送車と一般通路用の第二の搬送車間の電
子部品の遣り取りを自動化し、または単線の主線路上の
複数の第二の搬送車を同一時間帯・同一方向に移動させ
ることで複数のクリーンルーム間での搬送効率アップに
よる生産性向上を図った搬送システムと搬送方法に関す
る。

【０００２】最近の電子装置の生産工程では技術の進展
と特性確保及び生産性向上に対応させるため、ストッカ
ーや各種製造装置の殆ど総てを高度の防塵対策を備えた
クリーンルーム内に配置すると共に工程途中の電子部品
のストッカーと各製造装置間の一般通路を介する移動搬
送に防塵対策を施した自動搬送車を利用するようになっ
てきているが、搬送の効率化による生産性向上が強く求
められている。

【０００３】なお本発明では、上記工程途中の電子部品
（以下搬送部品とする）がほぼ立方体状の外形を持つ電
子機器用のカセットである場合を例として説明する。

【０００４】

【従来の技術】図１４は技術的背景として搬送システム
の適用場所を例示説明する図、図１５は従来の搬送シス
テムの構成を説明する図、図１６は図１５のストッカー
を説明する図、図１７は図１５のストッカーでのカセッ
ト取り出し状態を説明する図、図１８は図１５のクリー
ンルーム内の第一の搬送車を説明する図、図１９は図１
５の一般通路用の第二の搬送車を説明する図、図２０は
各搬送車間でのカセットの遣り取り状態を説明する図、
図２１は従来の搬送方法を説明する図である。

【０００５】搬送システムの適用場所を平面視して説明
する図１４で、通常空間に位置する一般通路Ｒには隔壁
Ｗ₁を介して第一のクリーンルームＣＲ_-1と第二のクリ
ーンルームＣＲ_-2とが面しており、更に該各クリーンル
ーム間は上記隔壁Ｗ₁に繋がる隔壁Ｗ₂で隔てられてい
る。そして上記各クリーンルームＣＲ_-1とＣＲ_-2のそれ
ぞれには、一般通路側と反対側との双方に位置する二重
の開閉ドアＤ₁，Ｄ₂で仕切られた通常のエアシャワー
付パスボックスＰＢ_-1，ＰＢ_-2が設けられており、該各
開閉扉の開閉とエアシャワーのタイミングを適当に設定
することで上記一般通路Ｒとそれに繋がるクリーンルー
ム間の塵埃の行き来が遮断できるようになっている。

【０００６】なお以下図１４を除く他の図面では、上記
各開閉扉の設置が一般的なることもあってその図示や説
明を省略する。また上記一般通路Ｒの床面には該通路に
沿って磁気テープからなる主線路Ｔ_-1，Ｔ_-2が複線とし
て並行に設けられ、更に該各主線路のそれぞれから分岐
し上記各エアシャワー付パスボックス（以下単にパスボ
ックスとする）を経由して上記各クリーンルーム内の所
定位置に伸びる支線路Ｔ_-3，Ｔ_-4が設けられている。

【０００７】そして上記主線路や支線路からの磁気で誘
導されて自走し得る自走搬送車ＡＧＶ（Automatic Guid
ed Vehicle) を点線の如く主線路や支線路上に配置する
ことで、該各自走搬送車ＡＧＶが自由に移動できるよう
になっている。かかる適用場所に対応する搬送システム
の構成を説明する図１５で、（ａ）は図１４の当該場所
を平面視した図、（ｂ）は（ａ）を側面視した図であ
る。

【０００８】なお図では、図１４における第一のクリー
ンルームＣＲ_-1を倉庫としまた第二のクリーンルームＣ
Ｒ_-2を処理室として使用すると共に、クリーンルーム内
に配する上記自走搬送車を第一の搬送車とし一般通路に
配する自走搬送車を第二の搬送車とした場合を例として
説明する。図１５で搬送システム１は、上記第一のクリ
ーンルームＣＲ_-1に配設されるストッカー１１と、該ス
トッカー内のカセットＡの受渡領域１１ｃ近傍の床面に
立設されているロボット１２と、該クリーンルーム内の
支線路に配される第一の搬送車１３と、前記主線路
Ｔ_-1，Ｔ_-2上で移動して上記クリーンルームＣＲ_-1のパ
スボックスＰＢ_-1に進入し得る第二の搬送車１４と、上
記第二のクリーンルームＣＲ_-2に配置される机１５と、
該クリーンルーム内の支線路Ｔ_-4に配される第一の搬送
車１３′と、上記机近傍の床面に立設されるロボット１
２の諸設備を少なくとも含んで構成されているもので
ある。

【０００９】ここで理解し易くするため先に図１６乃至
図１９で上記各設備を説明する。ストッカーを説明する
図１６で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は（ａ）を矢印
ａ〜ａ′で断面視した正面図、（ｃ）は側壁を一部断面
視した側面図、（ｄ）は天井側を一部断面視した平面図
である。図で、左右それぞれ二段重ねの前記カセットＡ
が十分な余裕を持って収容し得る断面積を持つ角形トン
ネル状のストッカー１１は、片側の開口側に長手方向に
沿った中央域の床面１１ａとほぼ同じ高さで開口側端面
１１ｂから突出する前記受渡領域１１ｃが前記カセット
Ａを載置するに足る面積を備えて形成されていると共
に、上記床面１１ａの巾方向中心線上には断面角形で該
床面から突出するクレーンガイド１１ｄが設けられてい
るものである。

【００１０】そして該ガイド両サイドの中心振り分け所
定巾“ｂ”を越える位置から両側の側壁１１ｅまでの前
記カセットＡの辺長を超える領域は上記床面に対する凸
の段差面１１ｆがカセット載置面として形成され、且つ
該凸の段差面には上記クレーンガイド側の壁面１１ｆ′
から側壁１１ｅまで伸びる凹溝１１ｇが該カセットＡの
辺長を越えるピッチで形成されているが、この場合の各
凹溝１１ｇは前記開口側端面１１ｂから上記カセットＡ
の辺長の半分程度離れた位置を始点として等間隔に設け
られているものである。

【００１１】また上記両側壁１１ｅの高さ方向中間域に
は、上記凸の段差面１１ｆとほぼ同様の棚板１１ｈが上
記凹溝１１ｇと同じ凹溝１１ｇを有して形成されてお
り、該棚板１１ｈにも前記カセットＡが載置できるよう
になっている。なお、前記受渡領域１１ｃの上面には高
さが上記凸の段差面１１ｆの形成高さとほぼ等しい２本
の直方体が前記カセットＡ用のカセット載置台１１ｊと
して固定されている。

【００１２】更に該ストッカー１１には上記クレーンガ
イド１１ｄを跨ぐロボット状のクレーン１１１が装着さ
れているが、このクレーン１１１は図示されない制御部
からの信号によって上記ガイドに沿って自在に往復動で
きると共に上記凹溝１１ｇに入り得る大きさのブレード
１１１ａが該ストッカー巾方向への往復動と上下動・回
転動作等が自在にできるように構成されている。

【００１３】例えば図（ｂ）で、降下させた状態の上記
ブレード１１１ａを矢印ａ₁のようにストッカー巾方向
左側に移動させると該ブレード１１１ａが凸の段差面１
１ｆにおける凹溝１１ｇに入り込むことから該凸の段差
面に載置されているカセットを持ち上げられるようにな
り、また上記棚板１１ｈと対応する位置まで上昇させた
状態のブレード１１１ａを矢印ａ₂のようにストッカー
巾方向右側に移動させると該ブレード１１１ａが上記棚
板１１ｈの凹溝１１ｇに入り込むことから該棚に載置さ
れているカセットを持ち上げられるようになっている。

【００１４】従って、上記カセット載置台１１ｊに位置
するカセットやストッカーに収容されているカセットを
自由に出し入れすることができる。図１７で、（ａ）は
カセット収容時のストッカー斜視図、（ｂ）はクレーン
によるカセットの把持状態を示す平面図、（ｃ）はカセ
ットの受渡領域への載置状態を示す平面図である。

【００１５】図の（ａ）で、ストッカー１１における凸
の段差面１１ｆと棚板１１ｈそれぞれの所定位置には、
上記カセットＡが載置されている。そこで（ｂ）に示す
如く、前述したクレーン１１１を開口側端部のカセット
Ａ ₁と対応する位置まで移動させた後、該クレーンのブ
レード領域を降下させてブレード１１１ａを下段のカセ
ットＡ₁下側の凹溝１１ｇに対応させる。

【００１６】次いで該ブレードをそのまま上記凹溝１１
ｇに挿入してから該ブレードを僅かに上昇させると該カ
セットＡ₁が持ち上げられるので、例えば該ブレード領
域をそのまま前述した受渡領域１１ｃのカセット載置台
１１ｊまで回動して降下させることで、カセットＡ₁が
カセット載置台１１ｊに置かれた（ｃ）に示す状態にす
ることができる。

【００１７】なお上記回動の代わりに、持ち上げられた
カセットＡ₁をクレーン軸上に戻してから該クレーンを
移動させても（ｃ）の状態にすることができる。また上
記クレーン１１１のブレード領域を上昇させてブレード
１１１ａを上段のカセットＡ₂下側の凹溝１１ｇに対応
させた後、該ブレードを該凹溝１１ｇに挿入し、以下上
記同様の手順を踏むことでカセットＡ₂をカセット載置
台１１ｊに載置することができる。

【００１８】一方図示されない制御部からの信号で動作
する図１５で示したロボット１２は、その上部に伸縮自
在で且つ三次元方向に移動し得るアームを備えていると
共に該アームの先端には図示されない真空ポンプに繋が
る真空吸着機構を備えているものであり、該真空吸着機
構部を上記カセットＡ₁の上面に当接させることで該カ
セットＡ₁が自在に移動できるようになっている。

【００１９】従って、前記ストッカー１１の受渡領域１
１ｃに位置するカセットＡを後述する第一の搬送車１３
に容易に移載することができる。図１８で前記ＡＧＶと
しての第一の搬送車１３は、積載しているバッテリーを
電源とし前記主線路Ｔ₁，Ｔ₂や支線路Ｔ₃，Ｔ₄を構
成する磁気テープからの信号で該各線路に沿って前後進
可能に誘導される機能を備えた通常公知のものであり、
その上面１３ａには前記カセット載置台１１ｊと同様の
カセット載置台１３ｂが装着されている。

【００２０】また図１９で前記ＡＧＶとしての第二の搬
送車１４は、上記第一の搬送車１３と該搬送車の上面１
３ａを余裕を持って覆い得るカバー１４１とで構成され
るものである。そして上記第一の搬送車１３の上面近傍
の側面で該第一の搬送車に固定されるこの場合の上記該
カバー１４１には、搬送車としての進行方向前後の壁面
１４１ａのほぼ全面に外気を遮断し得る開閉扉１４２が
設けられているが、該開閉扉１４２の下端辺は上記カセ
ットＡの移載に便なるように上記上面１３ａより低く位
置するように設定されている。

【００２１】また図１５で示した机１５は所要の製造装
置や試験装置等を含めた通常のものであり、その所定位
置にカセットＡを位置せしめることで爾後の処理作業や
検査が容易に実現し得るようになっているものである。
図２０は上記第一の搬送車と第二の搬送車間のカセット
受渡状態を時系列的に説明する図であり、（ａ）は受渡
前の状態を、（ｂ）は受渡直前の状態を、（ｃ）は受渡
時の状態をそれぞれ示している。

【００２２】すなわちカセット受渡前の（ａ）の状態で
は、前記ストッカー１１の近傍の支線路Ｔ_-3上に位置す
る第一の搬送車１３には複数（図では２個）のカセット
Ａが前述したロボット１２の動作によって載置されてお
り、また主線路Ｔ_-1上には空の第二の搬送車１４が位置
している。そこで上記第一の搬送車１３を前記パスボッ
クスＰＢ_-1近傍まで移動させると共に、支線路Ｔ_-3に分
岐させた上記第二の搬送車１４をパスボックスＰＢ_-1に
入れると該搬送車１４の車輪領域を含む外面の全部がエ
アシャワーで清掃されて（ｂ）で示す状態になる。

【００２３】次いで第二の搬送車１４のクリーンルーム
側の開閉扉１４２を開けた（ｃ）で示す状態で、第一の
搬送車上の各カセットＡをマニュアル手段で第二の搬送
車に移載することで、清浄雰囲気中での搬送車間のカセ
ットの受渡しを実現することができる。従って図１５に
示す如く、ストッカー１１に保管されているカセットＡ
を順次上記ロボット１２で第一の搬送車１３に載置した
後、該搬送車１３を前記パスボックスＰＢ_-1の近傍まで
移動せしめると共に上記主線路Ｔ_-1上の第二の搬送車１
４を上記パスボックスＰＢ_-1内に位置せしめる。

【００２４】次いで、上記第一の搬送車上のカセットＡ
を上述したように第二の搬送車１４に移載した後、該第
二の搬送車１４を主線路Ｔ_-1を経由して第二のクリーン
ルームＣＲ_-2のパスボックスＰＢ_-2内に移動せしめ、該
クリーンルーム内の第一の搬送車１３′に上記カセット
Ａを上記同様の方法で移載した後、該第一の搬送車１
３′を上記作業机１５近傍まで移動させ更に前記ロボッ
ト１２を使用することで該カセットＡを作業机上に移載
することができる。

【００２５】一方従来の搬送方法では上述したように主
線路を複線化しているが、この場合には該主線路が一般
通路Ｒを塞いで他の物流や人の往来に支障を来たし易い
ことから、主線路を単線化させて第二の搬送車１４をシ
ャトル的に往復動させることがある。図２１は主線路を
単線化させた上で３個のクリーンルーム間のカセットＡ
の搬送を１台の第二の搬送車１４で実現する搬送方法を
例示したものである。

【００２６】すなわち図で、主線路Ｔ_-1の一端には上記
第二の搬送車充電用の電池室Ｃが設けられ、該主線路Ｔ
_-1からは３個のクリーンルームＣＲ_-1，ＣＲ_-2，ＣＲ_-3
のそれぞれに支線路Ｔ_-3，Ｔ_-4，Ｔ_-5が分岐している。
そして１台の第二の搬送車１４を主線路Ｔ_-1上で適宜往
復動させて各支線路Ｔ _-3，Ｔ_-4，Ｔ_-5へ分岐せしめ、そ
れぞれのクリーンルーム内に配した第一の搬送車１３と
の間でカセットを遣り取りすることで、各クリーンルー
ム間のカセットＡの搬送を実現するようにしている。

【００２７】例えばクリーンルームＣＲ_-1内のカセット
Ａを２個のクリーンルームＣＲ_-2とＣＲ_-3のそれぞれに
搬送する場合には、充電済の第二の搬送車１４を一旦ク
リーンルームＣＲ_-1のパスボックスＰＢ_-1に進入せしめ
てカセットＡを受取った後クリーンルームＣＲ_-2のパス
ボックスＰＢ_-2に１４′の如く進入させてカセットＡを
移載せしめ、更にクリーンルームＣＲ_-1のパスボックス
ＰＢ_-1でカセットＡを受取った後クリーンルームＣＲ_-3
のパスボックスＰＢ_-3に１４″の如く進入させてカセッ
トＡを移載せしめる、等の方法を採るようにしている。

【００２８】

【発明が解決しようとする課題】従来の搬送システムで
は、ストッカーと第一の搬送車間のカセットの遣り取り
にロボットを使用するため特に複数のカセットを移載す
るときにはロボットアームを昇降させたり上記第一の搬
送車を前後進させる等複雑な機構や制御が必要となるば
かりでなく移載に長時間を要すると言う問題があり、ま
た第一の搬送車と第二の搬送車間のカセットの遣り取り
にマニュアル等特別な移載手段が必要になると言う問題
があった。

【００２９】また従来の搬送方法では、主線路上を往復
動する１台の第二の搬送車１４で複数のクリーンルーム
間のカセット搬送で実現させているため、搬送カセット
数の増加につれて第二の搬送車の搬送頻度が増えること
となり、結果的に一般通路Ｒでの物流や人の往来との共
用が難しくなると言う問題があった。

【００３０】

【課題を解決するための手段】上記課題は、搬送部品の
受渡領域を有して通路に面するパスボックス付のクリー
ンルーム相互間を、床面に設けられた線路に沿って移動
する搬送車で搬送部品を搬送する搬送システムであっ
て、前記クリーンルームの少なくとも１つに設けられる
ストッカーと、複数の前記搬送部品を収容する大きさを
有して前記ストッカーの前記受渡領域に載置されるコン
テナと、前記各クリーンルーム内で移動する第一の搬送
車と、前記クリーンルーム間を移動する第二の搬送車と
を含んで構成され、前記ストッカーの前記受渡領域と第
一及び第二の搬送車のそれぞれが、ストッカーと第一の
搬送車間及び第一の搬送車と第二の搬送車間で前記コン
テナを自動的に受渡しし得る移載手段を備えている搬送
システムによって解決される。

【００３１】また、搬送部品の受渡領域を有して通路に
面するパスボックス付のクリーンルーム相互間を、床面
に設けられた線路に沿って移動する搬送車で搬送部品を
搬送する搬送方法であって、前記クリーンルーム間を繋
ぐ単線化された主線路の一端に処理作業用のクリーンル
ームに対応する数の第二の搬送車を配する工程と、前記
各第二の搬送車を同一時間帯に同一方向に同時移動させ
て、該各第二の搬送車のそれぞれを対応するクリーンル
ームのパスボックス内に分岐移動させる工程と、前記各
クリーンルーム内のそれぞれに設ける支線路に沿って移
動する第一の搬送車を前記パスボックス近傍に移動させ
る工程と、複数の前記搬送部品を収容するコンテナを第
一の搬送車と第二の搬送車間の自動的な受渡しで移載せ
しめる工程と、移載終了後の前記各第二の搬送車を、同
一時間帯に逆の方向に同時移動させて前記主線路に戻す
工程と、を含む搬送方法によって解決される。

【００３２】ストッカーと第一の搬送車間のカセットの
遣り取りや第一の搬送車と第二の搬送車間のカセットの
遣り取りが自動的に実現できるように搬送システムを構
成すると、従来の搬送システムで必要とするロボットや
マニュアル等による移載手段をなくすことができる。ま
た単線化された主線路上に複数の第二の搬送車を配置し
た上で一定時間内全て同じ方向に移動させる搬送方法に
すると、１度に多くのカセットを搬送することができ
る。

【００３３】そこで本発明では、搬送システムについて
は、ストッカーでのカセット収容状態と同様に複数のカ
セットが収容できる棚板付のコンテナを搬送単位とした
上で、ストッカーの開口側端部と第一及び第二の各搬送
車上面とにコンテナ遣り取り用のベルトコンベアを設け
て搬送システムを構成するようにしている。このこと
は、上記コンテナへの複数のカセット収容に関しては該
ストッカー内に設置されている従来のクレーンがそのま
ま使用できると共に、前述したロボットが削減できると
同時にマニュアルによる移載手段がなくなってストッカ
ー〜第一の搬送車〜第二の搬送車間のコンテナひいては
カセットの相互移載がすべて自動化できることを意味す
る。

【００３４】また搬送方法については、単線化させた主
線路上に複数の第二の搬送車を配した上で該各第二の搬
送車を一定時間同一方向に一斉に移動できるように搬送
方法を構成している。このことは、一般通路での物流や
人の往来を妨げることなくコンテナひいてはカセットの
搬送の効率化と搬送量増加とが容易に実現できることを
意味する。

【００３５】従って、搬送工程での生産性向上を期待す
ることができる。

【００３６】

【発明の実施の形態】図１は本発明の搬送システムの全
体構成を示す図であり、図２は図１におけるストッカー
を説明する図、図３は図１におけるコンテナを説明する
図、図４は図２のストッカーへのコンテナの収容手段を
説明する図、図５は図１における第一の搬送車を説明す
る図、図６はストッカーと第一の搬送車間の移載手段を
説明する図、図７は図１における第二の搬送車を説明す
る図、図８は第一の搬送車と第二の搬送車間の移載手段
を説明する図、図９は図１における作業机を説明する
図、図１０は本発明の搬送方法を時系列的に説明する図
である。

【００３７】また、図１１は第一の搬送車と第二の搬送
車間の他の移載手段を説明する図、図１２は他の第二の
搬送車を説明する図、図１３は図１２における第二の搬
送車の搬送状態を説明する図、である。なお図では、い
ずれも図１４で説明した適用場所や設備に本発明を適用
させる場合を例としているので、図１５乃至図２１と同
じ対象部材や部位には同一の記号を付して表わすと共に
重複する説明についてはそれを省略する。

【００３８】本発明になる搬送システムを説明する図１
で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。図１で搬
送システム２は、前記第一のクリーンルームＣＲ_-1に配
設されるストッカー２１と、該ストッカー２１内に配置
されるコンテナ２２と、上記クリーンルーム内の支線路
Ｔ_-3に配される第一の搬送車２３と、前記主線路Ｔ_-1上
で移動し得る第二の搬送車２４と、前記第二のクリーン
ルームＣＲ_-2に配置される作業机２６と、該クリーンル
ーム内の支線路Ｔ_-4に配される第一の搬送車２３の諸
設備を少なくとも含んで構成されている。

【００３９】なお上記クリーンルームＣＲ_-1，ＣＲ_-2の
それぞれが、一般通路Ｒ側にパスボックスＰＢ_-1，ＰＢ
_-2を備えていることは前述した通りである。ここで前記
同様に理解し易くするため、先に図２乃至図１０で上記
各設備をその動作を含めて説明する。図１で示した本発
明に関わるストッカーを説明する図２で、（ａ）は全体
斜視図、（ｂ）は（ａ）を開口側から見た正面図、
（ｃ）は（ｂ）を矢印ａ〜ａ′で断面視した側面図、
（ｄ）は天井側を一部断面視した平面図である。

【００４０】図２でストッカー２１は、前記ストッカー
１１における受渡領域１１ｃを削除すると共に、該スト
ッカー１１の両側壁内に設けた前記凸の段差面１１ｆと
棚板１１ｈの形成領域のみを開口側端面１１ｂから所定
距離（例えば図示の如くストッカー長手方向で隣接する
２個のカセット載置長さ）だけ後退させた上でその後退
領域のみを前記床面１１ａに対する凹の段差面２１ａに
形成し、更に該凹の段差面２１ａの領域にストッカー長
手方向で往復動するベルトコンベア２１１を配設したも
のである。

【００４１】なお、上記床面１１ａに設けたクレーンガ
イド１１ｄをガイドとする前記クレーン１１１が設けら
れていることは上記ストッカー１１と同様である。従っ
て上記クレーン１１１で前記カセットＡを該ストッカー
２１に収容すると、上記ベルトコンベア２１１の配設領
域を除く凸の段差面１１ｆ上と棚板１１ｈ上とに図
（ｂ），（ｃ）の破線Ｂで示す如く載置することができ
る。

【００４２】また図１におけるコンテナを説明する図３
で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は（ａ）を一部断面視
した側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は（ｃ）を矢印ａ
〜ａ′で断面視した平面図である。図３でコンテナ２２
は、前記ストッカー２１の棚板１１ｈに対応する仕切板
２２ａを備えた枠形で該ストッカーの棚としての機能を
有すると同時に、前記クレーン１１１の動作で複数の前
記カセットＡを収容しまたは取り出せるように構成され
ているものである。

【００４３】すなわち平面視サイズが上記ストッカー２
１におけるベルトコンベア２１１の平面視サイズにほぼ
対応する大きさで側面視高さが該ストッカー２１におけ
る凸の段差面１１ｆから天井面までの高さを超えない正
面視枠形で、且つ上記ストッカー２１における棚板１１
ｈと対応する位置に該棚板と同様の仕切板２２ａが設け
られているものである。

【００４４】そして底板２２ｂの上面には上記凸の段差
面１１ｆにおける凹溝１１ｇと同じ大きさの凹溝２２ｃ
が該凹溝１１ｇと対応する位置に設けられていると共
に、上記仕切板２２ａ上面の該凹溝２２ｃと対応する位
置にも該凹溝２２ｃひいては上記凹溝１１ｇと同じ大き
さの凹溝２２ｄが設けられている。従って、前記カセッ
トＡを該コンテナ２２に収容することで図（ｃ）の破線
Ｂで示す状態にすることができるが、この場合の該コン
テナへのカセットＡの収容は上記凹溝２２ｃと２２ｄを
ストッカー２１における凹溝１１ｇに合わせているので
該ストッカー２１の前記クレーン１１１で実現できるよ
うになっている。

【００４５】ストッカーへのコンテナの収容手段を説明
する図４で、（ａ）はコンテナ未収容状態を示し、
（ｂ）はコンテナ収容時の状態を、（ｃ）はカセット収
容時の状態をそれぞれ示している。すなわち図の（ａ）
で、図２で説明した前記ストッカー２１のベルトコンベ
ア２１１を除く領域に位置する前記凸の段差面１１ｆと
棚板１１ｈそれぞれの所定位置には、該ストッカー２１
に装着されている前記クレーン１１１によって前記カセ
ットＡが載置収容されている。

【００４６】そこで、図３で説明したコンテナ２２を上
記ストッカー２１のベルトコンベア領域にセットする
が、この場合のセットは上記ベルトコンベア２１１を矢
印ａ₁方向に移動させながらカセット未収容の空のコン
テナの下面端部を該ベルトコンベアの端部に載せること
で実現できるので、該ベルトコンベアの動作時間を設定
するだけで容易に（ｂ）に示す状態にすることができ
る。

【００４７】次いで、前述したクレーン１１１の動作で
該コンテナ近傍のカセットＡを順次該コンテナの底板２
２ｂと仕切２２ａに移載することで、図（ｃ）に示すよ
うにカセットＡをコンテナに収容することができる。一
方図５で上記第一の搬送車２３は、図１８で説明した第
一の搬送車１３と同様にバッテリーを電源とし前記主線
路Ｔ_-1，Ｔ_-2や支線路Ｔ_-3，Ｔ_-4を構成する磁気テープ
からの信号で該各線路に沿って前後進可能に誘導される
機能を備えているものであり、その上面に進行方向に対
して前後進し得るコンテナ２３１を備えて構成されてい
るものである。

【００４８】そして搬送車としての床面から上記ベルト
コンベア２３１の上面までの高さ“ｈ₁”は、上記スト
ッカー２１における基盤面からベルトコンベア２１１の
上面までの高さ“ｈ₂”にほぼ対応するようになってい
る。従ってストッカー２１と上記第一の搬送車２３間の
コンテナすなわちカセットＡの移載状態を断面視した図
６の（ａ）で示す如く、ストッカー２１におけるベルト
コンベア上面と該第一の搬送車２３のベルトコンベア上
面とがほぼ同一面になるので、この状態で該ストッカー
２１のベルトコンベア２１１と第一の搬送車２３のベル
トコンベア２３１とを共に図示ａ₂方向に動作させるこ
とで、図（ｂ）のようにストッカー側ベルトコンベア２
３１上のカセットＡ収容済のコンテナ２２をそのまま第
一の搬送車２３のベルトコンベア２３１上に破線の如く
移載することができてコンテナひいてはカセットＡとし
ての移載を実現することができる。

【００４９】なお上記ベルトコンベア２１１は、例えば
磁気テープからなる前記線路Ｔ_-1，Ｔ_-3等からの磁気信
号によって自動的に動作させまた該動作を停止させられ
るようになっている。また図７で上記第二の搬送車２４
は、上記第一の搬送車２３とその上面をベルトコンベア
と上記コンテナとを含めて余裕を持って覆い得るカバー
２４１とで構成されるものである。

【００５０】そして上記第一の搬送車２３のベルトコン
ベア近傍の側面で該第一の搬送車に固定されるこの場合
の上記該カバー２４１には、搬送車としての進行方向前
後の壁面２４１ａのほぼ全面に外気を遮断し得る開閉扉
２４２が設けられているが、該開閉扉１４２の下端辺が
上記ベルトコンベア２３１より低く位置するように設定
されていることは前記第二の搬送車１４の場合と同様で
ある。

【００５１】第一の搬送車と第二の搬送車間のコンテナ
の移載手段を説明する図８の（ａ）で、クリーンルーム
ＣＲ_-1内の支線路Ｔ_-3上にはカセット収容済のコンテナ
２２を載置した第一の搬送車２３が、また主線路Ｔ_-1上
には空の第二の搬送車２４がそれぞれ位置している。そ
こで先ず、上記第一の搬送車２３を上記クリーンルーム
のパスボックスＰＢ _-1の直前まで移動させると共に上記
第二の搬送車２４を前述したように該パスボックスＰＢ
_-1内に移動させて（ｂ）に示す状態にする。

【００５２】なおこの時点で、該第二の搬送車２４はそ
の車輪を含む外面が清掃されることは前述した通りであ
る。次いで、（ｃ）に示す如く前記開閉扉２４２を開け
た第二の搬送車２４に上記第一の搬送車２３を接するよ
うに接近させた状態で該各搬送車のベルトコンベア２３
１を矢印ａ₂方向に移動させると、円内図に示すように
第一の搬送車２３上のコンテナ２２を第二の搬送車２４
に移載することができる。

【００５３】従って、以後（ｄ）に示す如く第一の搬送
車２３を所定の位置まで後退させると共に上記開閉扉２
４２を閉じた状態の第二の搬送車２４を主線路Ｔ_-1に戻
すことで、搬送車間のコンテナ移載を実現することがで
きる。図９で本発明に関わる作業机２６は、各種の処理
作業等に必要とする機器装置や試験検査器具等を設置す
るものであるが、その受渡領域の部分が凹の段差面２６
ａに形成されていると共に、該凹の段差面領域に例えば
前記ストッカー２１におけるベルトコンベア２１１と同
様のベルトコンベア２６１を設置したものであり、該作
業机２６の基盤面から上記ベルトコンベア２６１の上面
までの高さ“ｈ ₃”が前記第一の搬送車２３の高さ“ｈ
₁”と合致するように設定されているものである。

【００５４】従って、上記第一の搬送車２３のベルトコ
ンベア２３１と上記作業机２６のベルトコンベア２６１
を同じ方向に動作させることで、該作業机２６と第一の
搬送車２３間のコンテナ２２の受渡し遣り取りを図６で
説明したように実現することができる。従って以下図１
の（ｂ）に示す如く、空になった第一の搬送車に例えば
前述した如くストッカー２１から次のコンテナ２２を移
載する。

【００５５】一方、主線路Ｔ_-1上の第二の搬送車２４を
例えば処理作業用の第二のクリーンルームＣＲ_-2のパス
ボックスＰＢ_-2内に導き、更に該パスボックス近傍まで
移動させたクリーンルーム内の第一の搬送車２３に上述
した移載手段で上記コンテナ２２を移載し、更に該第一
の搬送車２３を作業机２６の近傍まで移動させて該第一
の搬送車のベルトコンベア２３１と該作業机のベルトコ
ンベア２６１の動作で上記コンテナ２２を該作業机上に
移載することで、所要のコンテナひいてはカセットＡの
作業机までの搬送が容易に実現できる搬送システム２を
構成することができる。

【００５６】かかる搬送システムでは、ストッカーや作
業机と第一の搬送車間の積替用ロボットや第一の搬送車
と第二の搬送車間の特別なマニュアル積み替え作業等を
要することなく、複数のカセットＡを任意のクリーンル
ーム間で容易且つ効率的に搬送することができて生産性
の向上を実現することができる。本発明の搬送方法を時
系列的に説明する図１０で、（ａ）は適用場所を例示し
た平面図、（ｂ）は搬送時のシーケンスダイアグラムを
示す図である。

【００５７】なお図（ａ）では図２１の場合と同様に、
主線路Ｔ_-1の一端に上記第二の搬送車充電用の電池室Ｃ
が設けられ、該主線路Ｔ_-1から倉庫としてのクリーンル
ームＣＲ_-1を含む３個のクリーンルームＣＲ_-1，Ｃ
Ｒ_-2，ＣＲ_-3のそれぞれに支線路Ｔ_-3，Ｔ_-4，Ｔ_-5を分
岐している場合とし、また処理作業用としての上記二つ
のクリーンルームＣＲ_-2，ＣＲ_-3のそれぞれに対応する
ように２台の第二の搬送車２４_-1，２４_-2を主線路Ｔ_-1
に配置する場合を例としている。

【００５８】そして倉庫としての上記クリーンルームＣ
Ｒ_-1で２台の第二の搬送車２４_-1，２４_-2に移載された
コンテナを処理作業用の上記クリーンルームＣＲ_-2，Ｃ
Ｒ_-3のそれぞれに搬送し、また該各クリーンルームＣＲ
_-2，ＣＲ_-3のそれぞれで移載された作業済カセットを収
容したコンテナを倉庫としてのクリーンルームＣＲ_-1に
搬送する場合について説明する。

【００５９】また図（ｂ）では、縦軸を上記クリーンル
ームＣＲ_-1からの距離Ｌとし横軸を該クリーンルームＣ
Ｒ_-1対応位置からの経過時間Ｔとして示している。すな
わち図の（ａ），（ｂ）で、倉庫としてのクリーンルー
ムＣＲ_-1でカセット収容済のコンテナ２２を積載した状
態で充電室Ｂで充電した２台の第二の搬送車２４_-1，２
４_-2を同時に発進させると、主線路Ｔ_-1を共に矢印Ａ₁
方向に進む先頭の第二の搬送車２４_-1が先ずクリーンル
ームＣＲ_-2への分岐点ｐ₁で主線路から分岐して該クリ
ーンルームのパスボックスＰＢ_-2に進入するが、続く第
二の搬送車２４_-2はそのまま進行しクリーンルームＣＲ
_-3への分岐点ｐ₂で主線路から分岐して該クリーンルー
ムのパスボックスＰＢ_-3に進入する。

【００６０】そして該各パスボックスＰＢ_-2，ＰＢ_-3で
前述した如くそれぞれのクリーンルーム側の第一の搬送
車２３に上記コンテナを移載すると同時に、必要に応じ
て作業済カセットを収容したコンテナ２２を移載する。
そこで上記各第二の搬送車２４_-1と２４_-2を逆方向に発
進させるが、上記各クリーンルームＣＲ_-2，ＣＲ_-3のク
リーンルームＣＲ_-1からの距離（Ｌ）の違いによって搬
送車２４_-2が搬送車２４_-1よりも時間“ｔ”だけ遅れて
主線路Ｔ_-1に戻るので、該主線路Ｔ_-1上で相互に干渉す
ることなく共に矢印Ａ₂方向に進行して倉庫としての上
記クリーンルームＣＲ_-1のパスボックスＰＢ_-1に進入さ
せることができる。

【００６１】かかる搬送方法では、例えば処理作業用の
クリーンルームが５個の場合には上記主線路Ｔ_-1上に５
台の第二の搬送車２４を配する等、処理作業用のクリー
ンルーム数に合わせて第二の搬送車２４を主線路Ｔ_-1上
に配することで、同一時間帯・同一方向への各搬送車の
往復移動が可能になって効率的な搬送が実現できるメリ
ットがある。

【００６２】更に、上記各パスボックスＰＢ_-1〜ＰＢ_-3
での第一の搬送車と第二の搬送車間でのコンテナの遣り
取りには、マニュアル作業等を必要とせずすべて前述し
たベルトコンベア２１１を使用するので該遣り取りに要
する時間が各パスボックスごとでほぼ同一となり、結果
的にｐ₁とｐ₂間の時間差“ｔ₁”とほぼ同じ時間差
“ｔ₂”の点ｐ₁′とｐ₂′で共に作業が終了すること
から、以後の搬送時の時間設定が極めて容易にできるメ
リットがある。

【００６３】搬送システムとしての応用例を本発明に関
わる主要部を抽出して示した図１１で、（ａ）はクリー
ンルーム内のパスボックスを示した平面図、（ｂ）はコ
ンテナ移載時の状態を、（ｃ）は搬送時の状態をそれぞ
れ示したものである。図でこの場合の搬送システム３
は、図１の搬送システム２の各クリーンルームにおける
パスボックスＰＢ_-1とＰＢ_-2のみを、図（ａ）に示す如
くその平面視サイズが前記第一の搬送車２３と第二の搬
送車２４とが縦列状態で入り得る大きさのパスボックス
ＰＢ_-6に変えて構成したものである。

【００６４】そして、クリーンルームＣＲ_-1内のカセッ
ト収容済の上記コンテナ２２が積載された第一の搬送車
２３と、主線路Ｔ_-1上に位置する空の第二の搬送車２４
とを共に該パスボックスＰＢ_-6に移動させると、該各搬
送車２３，２４のそとめんを清掃することができる。次
いで図（ｂ）に示す如く、開閉扉２４２を開けた第二の
搬送車に第一の搬送車２３を接するように接近させ、両
車それぞれのベルトコンベア２３１を前記ａ ₂方向に動
作させて上記コンテナ２２を第二の搬送車２４に移載さ
せる。

【００６５】その後、図（ｃ）のように第一の搬送車２
３を所定の位置まで後退させると共に上記第二の搬送車
２４を主線路Ｔ_-1に戻すことで、搬送車間のコンテナ移
載を実現することができる。かかるパスボックスＰＢ_-6
を備えた搬送システム３では、搬送車間のコンテナ移載
がエアシャワーからなる清掃手段を備えたパスボックス
内で実現できることから、コンテナ移載時に発生し易い
塵埃が除去できるメリットがある。

【００６６】なお、第二の搬送車２４に積載された上記
コンテナを他のクリーンルーム内に搬送するときでも、
該クリーンルームに上記パスボックスＰＢ_-6を設けるこ
とで同様のメリットを得ることができる。第二の搬送車
の応用例を説明する図１２で、（ａ）は全体斜視図であ
り、（ｂ）は進行方向に直行する面での断面図である。

【００６７】図で第二の搬送車２５は、前述した第二の
搬送車２４におけるカバー２４１のみを本発明に関わる
カバー２５１に変えたものである。すなわちこの場合の
カバー２５１は、上記カバー２４１と同様に第一の搬送
車２３のベルトコンベア近傍の側面で該第一の搬送車に
固定されるものであり、その進行方向前後の壁面２５１
ａのほぼ全面に外気を遮断し得るように前記開閉扉２４
２が設けられていることも上記カバー２４１と同様であ
る。

【００６８】更に該カバー２５１には、その天井域に該
カバー内部に送風し得る送風手段２５２が設けられてい
ると共に進行方向と並行する片側の壁面２５１ｂに複数
の排気孔２５１ｃが設けられ、上記送風手段２５２から
の気流が上記壁面２５１ｂとの対向壁面２５１ｄ側に設
けた開口孔２５１ｅを通ってカバー内部に流入するよう
に構成されている。

【００６９】このことは上記送風手段２５２からの気流
が、上記開口孔２５１ｅを通った後に該第二の搬送車２
５に載置されているコンテナ２２のカセット収容域を通
って上記排気孔２５１ｃから排出される矢印ａ₃の流路
を経ることを示している。従ってコンテナとカセットの
表面やベルトコンベア近傍等に付着している塵埃等を常
時清掃することができて更なるクリーンアップが実現で
きるメリットがある。

【００７０】上記第二の搬送車の搬送状態を説明する図
１３の（ａ）で、クリーンルームＣＲ_-1内の支線路Ｔ_-3
にはコンテナ２２を載置した前記第一の搬送車２３が、
また主線路Ｔ_-1上には空の上記第二の搬送車２５がそれ
ぞれ位置しており、該第二の搬送車２５の内部は上記送
風手段２５２からの気流によって清掃されている。そこ
で、上記第一の搬送車２３を上記クリーンルームのパス
ボックスＰＢ_-6内に移動させると共に上記送風手段２５
２を停止させた第二の搬送車２５を該パスボックス内に
移動させて（ｂ）に示す状態にするが、この時点で該第
二の搬送車２５の車輪を含む外面が清掃されることは前
述した通りである。

【００７１】そしてこの時点で、前述した如く開閉扉２
４２を開けた第二の搬送車２５に第一の搬送車２３を上
記同様に接近させ、両車それぞれのベルトコンベア２３
１を動作させて上記コンテナ２２を第二の搬送車２５に
移載させる。以後（ｃ）に示す如く、第一の搬送車２３
を後退させると共に上記開閉扉を閉じた第二の搬送車２
５を主線路Ｔ_-1に戻して上記送風手段２５２を動作させ
ながら移動させると、コンテナとカセットの表面やその
近傍及びベルトコンベア近傍等に付着している塵埃等が
除去できるので、更なるクリーンアップ状態で所要のコ
ンテナひいてはカセットＡを搬送することができる。

【００７２】なお、第二の搬送車２５に積載された上記
コンテナを他のクリーンルーム内に搬送するときでも該
第二の搬送車２５を該クリーンルームのパスボックスＰ
Ｂ_-6内に移動させてその車輪を含む外面を清掃すること
で、該第二の搬送車の内外共の清浄状態を保ったままコ
ンテナひいてはカセットＡの移載と搬送が実現できるメ
リットがある。

【００７３】また上記第二の搬送車２５を図１で説明し
た搬送システム２における第二の搬送車２４に代えて搬
送システムを構成しても同等の効果を得ることができ
る。（付記１）搬送部品の受渡領域を有して通路に面するパ
スボックス付のクリーンルーム相互間を、床面に設けら
れた線路に沿って移動する搬送車で搬送部品を搬送する
搬送システムであって、前記クリーンルームの少なくと
も１つに設けられるストッカーと、複数の前記搬送部品
を収容する大きさを有して前記ストッカーの前記受渡領
域に載置されるコンテナと、前記各クリーンルーム内で
移動する第一の搬送車と、前記クリーンルーム間を移動
する第二の搬送車とを含んで構成され、前記ストッカー
の前記受渡領域と第一及び第二の搬送車のそれぞれが、
ストッカーと第一の搬送車間及び第一の搬送車と第二の
搬送車間で前記コンテナを自動的に受渡しし得る移載手
段を備えていることを特徴とする搬送システム。

【００７４】（付記２）前記コンテナが、前記ストッカ
ーに設けられた棚板に対応する仕切板を備えた枠形で該
ストッカーの搬送部品収容部としての機能を有すると共
に、前記ストッカーに設けられたクレーンの動作で複数
の前記搬送部品が収容されまたは取り出せるように構成
されていることを特徴とする付記１記載の搬送システ
ム。

【００７５】（付記３）前記コンテナの移載手段が、該
コンテナの受渡し方向に往復動可能なベルトコンベアで
構成されていることを特徴とする搬送システム。（付記４）前記パスボックスが、前記第一の搬送車と第
二の搬送車とを縦列駐車し得る大きさを備えていること
を特徴とする付記１記載の搬送システム。（付記５）前記第二の搬送車が、該第二の搬送車の内部
を横切る方向に流れて片側の壁面から流出排気させる送
風手段を備えていることを特徴とする付記１記載の搬送
システム。

【００７６】（付記６）搬送部品の受渡領域を有して通
路に面するパスボックス付のクリーンルーム相互間を、
床面に設けられた線路に沿って移動する搬送車で搬送部
品を搬送する搬送方法であって、前記クリーンルーム間
を繋ぐ単線化された主線路の一端に処理作業用のクリー
ンルームに対応する数の第二の搬送車を配する工程と、
前記各第二の搬送車を同一時間帯に同一方向に同時移動
させて、該各第二の搬送車のそれぞれを対応するクリー
ンルームのパスボックス内に分岐移動させる工程と、前
記各クリーンルーム内のそれぞれに設ける支線路に沿っ
て移動する第一の搬送車を前記パスボックス近傍に移動
させる工程と、複数の前記搬送部品を収容するコンテナ
を第一の搬送車と第二の搬送車間の自動的な受渡しで移
載せしめる工程と、移載終了後の前記各第二の搬送車
を、同一時間帯に逆の方向に同時移動させて前記主線路
に戻す工程と、を含むことを特徴とする搬送方法。

【００７７】（付記７）前記第一の搬送車と第二の搬送
車間での搬送部品の自動的な受渡しを，前記パスボック
ス内で行わしめることを特徴とする搬送方法。

【００７８】

【発明の効果】上述の如く本発明により、ストッカーと
クリーンルーム内の第一の搬送車間や該第一の搬送車と
一般通路用の第二の搬送車間の電子部品の遣り取りを自
動化し、または単線の主線路上の複数の第二の搬送車を
同一時間帯・同一方向に移動させることで複数のクリー
ンルーム間での搬送効率アップによる生産性向上を図っ
た搬送システムと搬送車及び搬送方法を提供することが
できる。

【００７９】なお本発明では、ストッカーが各側壁面二
段宛カセットを収容する大きさでありまたコンテナが４
個のカセットを収容する大きさである場合を例としてい
るが、特にこれに限定されるものでなく如何なる大きさ
のストッカーでもまた如何なる数のカセットを収容する
コンテナでも、本発明を適用することで同様の降下が得
られることは明らかである。

【００８０】また本発明ではコンテナの移載手段にベル
トコンベアを使用しているが、該ベルトコンベアを例え
ばローラコンベアやころコンベア等に代えても同等の効
果が得られることは明らかである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送システムの全体構成を示す図。

【図２】図１におけるストッカーを説明する図。

【図３】図１におけるコンテナを説明する図。

【図４】図２のストッカーへのコンテナの収容手段を
説明する図。

【図５】図１における第一の搬送車を説明する図。

【図６】ストッカーと第一の搬送車間の移載手段を説
明する図。

【図７】図１における第二の搬送車を説明する図。

【図８】第一の搬送車と第二の搬送車間の移載手段を
説明する図。

【図９】図１における作業机を説明する図。

【図１０】本発明の搬送方法を時系列的に説明する
図。

【図１１】第一の搬送車と第二の搬送車間の他の移載
手段を説明する図。

【図１２】他の第二の搬送車を説明する図。

【図１３】図１２における第二の搬送車の搬送状態を
説明する図。

【図１４】技術的背景として搬送システムの適用場所
を例示説明する図。

【図１５】従来の搬送システムの構成を説明する図。

【図１６】図１５のストッカーを説明する図。

【図１７】図１５のストッカーでのカセット取り出し
状態を説明する図。

【図１８】図１５のクリーンルーム内の第一の搬送車
を説明する図。

【図１９】図１５の一般通路用の第二の搬送車を説明
する図。

【図２０】各搬送車間でのカセットの遣り取り状態を
説明する図。

【図２１】従来の搬送方法を説明する図。である。

【符号の説明】

Ｃ電池室ＣＲ_-1，ＣＲ_-2，ＣＲ_-3，クリーンルームＰＢ_-1，ＰＢ_-2，ＰＢ_-5 エアシャワー付パスボックスＴ_-1，Ｔ_-2 主線路Ｔ_-3，Ｔ_-4，Ｔ_-5 支線路Ｒ一般通路２搬送システム１１ａ底面１１ｂ開口側端面１１ｄクレーンガイド１１ｆ凸の段差面１１ｈ棚板１１１クレーン２１ストッカー２１ａ凹の段差面２１１ベルトコンベア２２コンテナ２２ａ仕切り板２２ｂ底板２２ｃ凹溝２２ｄ凹溝２３第一の搬送車２３１ベルトコンベア２４，２４_-1,２４_-2，第二の搬送車２４１カバー２４２開閉扉２５第二の搬送車２５１カバー２５１ａ壁面２５１ｂ壁面２５１ｃ排気孔２５１ｄ開口孔２５２送風手段２６作業机２６ａ凹の段差面２６１ベルトコンベア

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｌ (72)発明者古川訓朗神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者太田雄一郎鳥取県米子市石州府字大塚ノ弐650番地株式会社米子富士通内 (72)発明者石井英夫神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者竹林勲鳥取県米子市石州府字大塚ノ弐650番地株式会社米子富士通内 (72)発明者澤井浩史鳥取県米子市石州府字大塚ノ弐650番地株式会社米子富士通内Ｆターム(参考） 3F022 AA08 BB09 EE05 EE09 FF01 HH13 JJ07 LL12 MM13 5F031 CA02 DA01 DA09 DA17 DA19 FA03 FA11 FA13 GA02 GA47 GA49 GA51 GA58 GA59 NA02 NA16 PA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送部品の受渡領域を有して通路に面す
るパスボックス付のクリーンルーム相互間を、床面に設
けられた線路に沿って移動する搬送車で搬送部品を搬送
する搬送システムであって、前記クリーンルームの少なくとも１つに設けられるスト
ッカーと、複数の前記搬送部品を収容する大きさを有し
て前記ストッカーの前記受渡領域に載置されるコンテナ
と、前記各クリーンルーム内で移動する第一の搬送車
と、前記クリーンルーム間を移動する第二の搬送車とを
含んで構成され、前記ストッカーの前記受渡領域と第一及び第二の搬送車
のそれぞれが、ストッカーと第一の搬送車間及び第一の
搬送車と第二の搬送車間で前記コンテナを自動的に受渡
しし得る移載手段を備えていることを特徴とする搬送シ
ステム。
【請求項２】前記コンテナが、前記ストッカーに設け
られた棚板に対応する仕切板を備えた枠形で該ストッカ
ーの搬送部品収容部としての機能を有すると共に、前記
ストッカーに設けられたクレーンの動作で複数の前記搬
送部品が収容されまたは取り出せるように構成されてい
ることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】前記パスボックスが、前記第一の搬送車
と第二の搬送車とを縦列駐車し得る大きさを備えている
ことを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項４】前記第二の搬送車が、該第二の搬送車の
内部を横切る方向に流れて片側の壁面から流出排気させ
る送風手段を備えていることを特徴とする請求項１記載
の搬送システム。
【請求項５】搬送部品の受渡領域を有して通路に面す
るパスボックス付のクリーンルーム相互間を、床面に設
けられた線路に沿って移動する搬送車で搬送部品を搬送
する搬送方法であって、前記クリーンルーム間を繋ぐ単線化された主線路の一端
に処理作業用のクリーンルームに対応する数の第二の搬
送車を配する工程と、前記各第二の搬送車を同一時間帯に同一方向に同時移動
させて、該各第二の搬送車のそれぞれを対応するクリー
ンルームのパスボックス内に分岐移動させる工程と、前記各クリーンルーム内のそれぞれに設ける支線路に沿
って移動する第一の搬送車を前記パスボックス近傍に移
動させる工程と、複数の前記搬送部品を収容するコンテナを第一の搬送車
と第二の搬送車間の自動的な受渡しで移載せしめる工程
と、移載終了後の前記各第二の搬送車を、同一時間帯に逆の
方向に同時移動させて前記主線路に戻す工程と、を含む
ことを特徴とする搬送方法。