JP2004349517A - 台車式搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定経路を走行する搬送用台車1上に、一横側面が開放した荷室4が、垂直軸心Vの周りの回転と台車走行方向FRに往復移動自在に支持され、前記荷室4が、往復移動経路の一端にあって且つその横向き開口部4aが当該往復移動経路の一端側に向いているとき、当該荷室4の横向き開口部4aを閉じる荷室カバー6が搬送用台車1上に設けられ、前記荷室4には、当該荷室4が前記荷室カバー6から離間移動し且つ台車走行方向FRに対し横向き開口部4aが左右横向きになる回転状態において当該荷室4内と台車走行経路脇の荷受け台との間で被搬送物(カセットケースK)を移載する移載手段7が併設された構成。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状物品を収納するカセットケースの搬送に特に好適な台車式搬送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶用ガラス基板やウェハなどの板状物品を収納するカセットケースの搬送に利用される台車式搬送装置として、例えば特許文献1に記載のものが知られている。この特許文献1に記載された台車式搬送装置は、所定経路を走行する搬送用台車上に、左右横側面に開口部を備えた固定の外側収納室を設けると共に、この固定の外側収納室内に、一横側面が開放した内側収納室を垂直軸心の周りに回転可能に内装し、この内側収納室の横向き開口部が外側収納室の開口部にある状態において当該内側収納室内と台車走行経路脇の荷受け台との間で被搬送物、即ち、板状物品を収納するカセットケースを移載する移載手段を前記内側収納室内に配設して成るものである。
【0003】
【特許文献1】
特開2002−37063号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成の従来の台車式搬送装置では、収納室が内外二重構造となるだけでなく、固定の外側収納室として、被搬送物を収納した内側収納室の全体が支障なく回転できるだけの大きな内部空間を備えたものが必要であり、装置全体が大型で大重量物となる問題点があった。又、内側収納室内に配設される移載手段は、その移載側端部を内側収納室外に突出させる必要があることから、内側収納室の回転を許すための外側収納室の開口部と内側収納室との間の隙間が広くなり、内側収納室内を外界よりも高気圧にして内側収納室内を清浄に保つ場合に併用されるファンフィルタユニットの送気圧力を高くしなければならなかった。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記のような従来の問題点を解消し得る台車式搬送装置を提供することを目的とするものであって、その手段を後述する実施形態の参照符号を付して示すと、所定経路を走行する搬送用台車1上に、一横側面が開放した荷室4が、垂直軸心Vの周りの回転と台車走行方向FRに往復移動自在に支持され、前記荷室4が、往復移動経路の一端にあって且つその横向き開口部4aが当該往復移動経路の一端側に向いているとき、当該荷室4の横向き開口部4aを閉じる荷室カバー6が搬送用台車1上に設けられ、前記荷室4には、当該荷室4が前記荷室カバー6から離間移動し且つ台車走行方向FRに対し横向き開口部4aが左右横向きになる回転状態において当該荷室4内と台車走行経路脇の荷受け台32との間で被搬送物(カセットケースK)を移載する移載手段7が併設された構成となっている。
【0006】
上記構成の本発明を実施する場合、前記搬送用台車1には、台車走行方向FRに往復移動可能に支持された往復動台9と、この往復動台9上に垂直軸心Vの周りに回転可能に支持された回転台10とを設け、前記荷室4は前記回転台10上に支持し、前記移載手段7は、前記荷室4内の被搬送物支持レベルに対する上位置と下位置との間で昇降可能に前記回転台10上に支持され且つ前記荷室4の横向き開口部4aを出退移動するランニングフォーク13から構成することができる。
【0007】
又、前記荷室4は、定位置に支持した被搬送物(カセットケースK)の端部が横向き開口部4aから突出する奥行きの浅いものとし、前記荷室カバー6には、前記荷室4の横向き開口部4aから突出する被搬送物(カセットケースK)の端部が遊嵌する凹入空間28bを形成することができる。
【0008】
前記被搬送物が、板状物品(ガラス基板W)を上下複数段に支持するカセットケースKであって、その板状物品出し入れ用開口部(ガラス基板出し入れ用開口部Wa)が前記荷室4の横向き開口部4a側に位置するように当該荷室4内に収納されるものであるときは、当該荷室4内には、前記カセットケースKをその板状物品出し入れ用開口部(ガラス基板出し入れ用開口部Wa)が斜め上向きになるように傾斜させて支持するカセットケース位置決め支持部12を設け、前記荷室カバー6内には、当該荷室カバー6が前記荷室4の横向き開口部4aを閉じた状態において前記カセットケースKの板状物品出し入れ用開口部(ガラス基板出し入れ用開口部Wa)に隣接する板状物品飛び出し防止具(ガラス基板飛び出し防止具31a,31b)を配設することができる。
【0009】
又、前記荷室4の横向き開口部4aの周縁と、当該周縁に隣接する前記荷室カバー6の周縁6aとの内、少なくとも一方に、弾性材から成るシール材30を付設することができる。
【0010】
前記のように前記被搬送物が、板状物品(ガラス基板W)を上下複数段に支持するカセットケースKであって、その板状物品出し入れ用開口部(ガラス基板出し入れ用開口部Wa)が前記荷室4の横向き開口部4a側に位置するように当該荷室4内に収納されるものであるときは、前記荷室カバー6には、取り入れた外気をフイルターに通した状態で当該荷室カバー6内に送入する送気装置29を併設することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の好適実施形態を添付図に基づいて説明すると、図1において、1はモーター駆動の駆動輪2と自在車輪3とを備えた搬送用台車であって、床面上に設定された所定経路上を自動操縦されて自走する従来周知のものである。4は、搬送用台車1上に垂直軸心Vの周りの回転と台車走行方向FRに往復移動自在に支持された、一横側面が開放した荷室であって、囲い5によって形成されている。6は、前記荷室4が往復移動経路の一端にあって且つその横向き開口部4aが当該往復移動経路の一端側に向いているとき、当該荷室4の横向き開口部4aを閉じるように搬送用台車1上に設けられた荷室カバーである。7は前記荷室4内に配設された移載手段である。
【0012】
以下、詳細に説明すると、搬送用台車1内にはガイドレール8によって台車走行方向FRに往復移動自在に支持された往復動台9と、この往復動台9上に垂直軸心Vの周りに回転可能に支持された回転台10とが設けられ、前記荷室4を形成する囲い5は、前記回転台10上に支持された左右一対のフレーム11に取り付けられている。荷室4(囲い5)内には、前記左右一対のフレーム11に支持されたカセットケース位置決め支持台12が配設され、前記移載手段7は、前記カセットケース位置決め支持台12によって決まるカセットケース支持レベルに対する上位置と下位置との間で昇降可能に前記回転台10上に支持され且つ前記荷室4の横向き開口部4aを出退移動するランニングフォーク13から構成されている。
【0013】
往復動台9の往復駆動手段は、例えば図2に示すように、搬送用台車1側に軸支された一対の案内輪14a,14bによって往復動台9の往復移動経路に沿って掛張されたタイミングベルト15と、このタイミングベルト15の一部を往復動台9に結合する結合手段16と、一方の案内輪14aを正逆回転駆動するモーター17とから構成されたものを使用できるが、その他、如何なる構成のものでも良い。回転台10の回転駆動手段としては、例えば回転台10の回転中心軸を減速機付きモーターで直接に正逆回転駆動するようなものが使用できるが、これも他の如何なる構成の回転駆動手段であっても良い。
【0014】
ランニングフォーク13は、固定の第一フォーク18と当該第一フォーク18に対して出退移動自在な第二フォーク19、及びこの第二フォーク19に対して出退移動自在な第三フォーク20から構成されたもので、その駆動手段は従来周知のものであるから図示及び説明は省略する。このランニングフォーク13(第一フォーク18)の昇降駆動手段21の一例を説明すると、図1及び図3に示すように、回転台10には複数本の垂直ガイドレール22が固定されると共に1本の垂直な螺軸23が自転可能に支承され、第一フォーク18の底部フレーム18aには、各垂直ガイドレール22に係合するスライドガイド24と螺軸23に螺嵌するナット部材25とが取り付けられ、前記螺軸23には、チエンやタイミングベルトなどの巻き掛け伝動手段26を介してモーター27が連動連結されている。従って、モーター27で螺軸23を正逆回転駆動することにより、第一フォーク18、即ち、ランニングフォーク13を垂直ガイドレール22に沿って昇降駆動させることができる。このランニングフォーク13の昇降駆動手段21も図示の構成のものに限定されるわけではない。
【0015】
図1は、荷室4がホームポジションにある状態を示している。荷室4のホームポジションは、荷室4の横向き開口部4aが台車走行方向FRの一方(F方向)に向いている状態で往復動台9が往復動行程のF方向端まで移動した状態である。而して、荷室カバー6は、ホームポジションにある荷室4の横向き開口部4aを閉じた状態で当該荷室4の内部空間28aと共に荷収納空間28を形成する凹入空間28bと、取り入れた外気をフイルターに通した状態でこの荷室カバー6の凹入空間28b内に送入する送気装置29とを備えている。又、荷室4の横向き開口部4aの周縁には、この荷室4がホームポジションにあるときに荷室カバー6の開口部周縁6aとの間の隙間(好ましくは指先が入る程度の大きさ)を埋める軟質弾性材製の帯状シール材30が付設されている。このシール材30は、荷室カバー6の開口部周縁6aに付設しても良いし、荷室4と荷室カバー6の両方に取り付けても良い。
【0016】
この実施形態で取り扱われる被搬送物は、板状物品の一例である液晶用ガラス基板Wを上下複数段に支持するカセットケースKであって、横一側面にはガラス基板出し入れ用開口部Waが設けられている。而して、このカセットケースKは、そのガラス基板出し入れ用開口部Waが荷室4の横向き開口部4aと同一側になるように当該荷室4内に収納されると共に、カセットケース位置決め支持台12によって所定レベルに支持されるが、このときカセットケースKのガラス基板出し入れ用開口部Wa側の端部が荷室4の横向き開口部4aから所定長さだけ突出するように荷室4の奥行きが設定されると共に、当該ガラス基板出し入れ用開口部Waが斜め上向きに開口するように所定角度(1〜3度程度)だけ傾斜した状態でカセットケースKが支持されるようにカセットケース位置決め支持台12が構成されている。
【0017】
図1に示すように荷室4がホームポジションにあるとき、当該荷室4内に収納支持されたカセットケースKは、当該荷室4から突出するガラス基板出し入れ用開口部Wa側の端部が荷室カバー6の凹入空間28b内に納まることになる。換言すれば、カセットケースKは、荷室4と荷室カバー6とで形成される荷収納空間28内に収納されることになる。この状態において、カセットケースKのガラス基板出し入れ用開口部Waの左右両側辺に隣接する左右一対のガラス基板飛び出し防止具31a,31bが荷室カバー6内に配設されている。このガラス基板飛び出し防止具31a,31bは、カセットケースKのガラス基板出し入れ用開口部Waの上下方向全域をカバーする長さを有する棒状のもので、搬送用台車1の停止時などの反動でカセットケースK内からガラス基板Wが飛び出すのを、カセットケースK自体の傾斜と共に阻止する。又、搬送用台車1によるカセットケースKの搬送中などには、荷室カバー6が備える送気装置29を稼働させておくことにより、荷室4と荷室カバー6とで形成される荷収納空間28内の気圧が外部より若干高くなり、従って、荷室4と荷室カバー6との間の隙間や荷室4の底部の隙間などから外気が侵入することはなく、収納されたカセットケースKの内外は清浄に保たれる。
【0018】
図4及び図8に示されるように、搬送用台車1の走行経路中の適当箇所には、当該台車走行経路脇に、搬送用台車1との間でカセットケースKを受け渡しするための荷受け台32が設置される。この荷受け台32は、搬送用台車1側のランニングフォーク13が水平出退移動及び垂直昇降移動可能に遊嵌するランニングフォーク動作凹部33の左右両側にカセットケースKの底部左右両側辺を支持する受け台部34a,34bを備えたものである。
【0019】
カセットケースKを搬送用台車1側から荷受け台32側へ下ろす作業について説明すると、カセットケースKを荷室4と荷室カバー6とで形成される荷収納空間28内で収納支持した搬送用台車1が、図4に示す荷受け台32脇の定位置で自動停止せしめられる。この搬送用台車1の停止の後、図5及び図6に示すようにホームポジションにあって、カセットケースKを支持している荷室4が、図1及び図2に示す往復動台9の台車走行方向FRの一方(F方向)の行程限から他方(R方向)の行程限への移動により、ランニングフォーク13などと共に後退限位置まで後退移動せしめられる。この結果、図5に示すように荷室4と荷室カバー6との間が開かれる。
【0020】
次にカセットケースKを支持している荷室4が、回転台10の正回転により、横向き開口部4aが荷受け台32側に向くように垂直軸心Vの周りで90度だけ正回転せしめられる。換言すれば、この荷室4の回転が、荷室カバー6と囲い5、カセットケースK、ランニングフォーク13などとが干渉することなく行われるように、ホームポジションからの荷室4の後退移動量が設定されている。荷室カバー6から離れた後退限位置で荷室4が90度回転したとき、図6に示すように当該荷室4は、荷受け台32のセンターから台車走行方向FRの一方(R方向)にずれた位置にあるので、次に図7に示すように荷室4が、台車走行方向FRの他方(R方向)の行程限にある往復動台9を所定量だけ台車走行方向FRの一方(F方向)へ前進移動させることにより、荷受け台32のセンターに対応する荷移載位置に移動せしめられる。
【0021】
上記のように一旦後退限位置まで後退移動させた荷室4を荷受け台32のセンターに対応する荷移載位置に前進移動させるのは、次に行われるランニングフォーク13による荷移載作業を搬送用台車1のセンター又はこれに近い安定性の高い位置で行わせるためである。換言すれば、後退限位置まで後退移動させた荷室4の重心位置が搬送用台車1の前後の車輪間の中央位置から台車走行方向の一方(R方向)に大きくずれ、場合によっては当該荷室4が搬送用台車1の端部からはみ出るような構成を採用しても、実際のランニングフォーク13による荷移載作業は、安定的に行わせることができる。従って、搬送用台車1の全長を短くして小型化するのにも役立つ。勿論、状況によっては、後退限位置まで後退移動させた荷室4が荷受け台32のセンターと対応するように搬送用台車1の停止位置を設定し、後退限位置からの荷室4の前進移動を行わないで直ちに荷移載作業を行えるしても良い。即ち、荷室4の後退限位置が荷移載位置となるようにしても良い。
【0022】
何れにしても荷移載位置にある荷室4内から荷受け台32へのカセットケースKの下ろし作業は、従来周知のランニングフォーク13による荷下ろし動作で行われる。即ち、図8に示すように、ランニングフォーク13は荷室4と一体に回転するため、当該ランニングフォーク13の出退移動方向と荷室4内で支持されているカセットケースKの荷室4に対する出し入れ方向とは平行である。而して、ホームポジションにあるランニングフォーク13の昇降駆動手段21による上昇限位置までの上昇動作、ランニングフォーク13の伸長動作、昇降駆動手段21によるランニングフォーク13の下降限位置までの下降動作、及びランニングフォーク13の縮小動作をこの順に行わせることにより、荷室4内でカセットケース位置決め支持台12により支持されるカセットケースKを荷受け台32の左右一対の受け台部34a,34b上に搬出移載させることができる。
【0023】
上記作業とは逆に、荷受け台32上のカセットケースKを搬送用台車1上の荷室4内に取り込む作業を行うときは、上記の荷下ろし作業時と同様に搬送用台車1を荷受け台32に対する定位置に停止させた状態で、荷室4の後退移動、荷室4の90度正回転、及び荷室4の荷移載位置への前進移動を行わせ、空の荷室4を荷受け台32に対向させた後、ランニングフォーク13を上記荷下ろし動作時とは逆の行程で動作させることにより、荷受け台32上のカセットケースKをランニングフォーク13で荷室4内に取り込むと共に、当該カセットケースKを荷室4内のカセットケース位置決め支持台12により支持させることができる。
【0024】
荷室4内にカセットケースKが収納支持されたならば、先に説明した荷下ろし作業時とは逆に荷室4が回転移動せしめられてホームポジションに戻される。即ち、図7に示す荷移載位置にある荷室4は、図6に示す後退限位置(荷室4を回転させることができる位置)まで往復動台9により一旦後退移動せしめられた後、回転台10の逆回転により、横向き開口部4aが荷室カバー6に対向する向きまで垂直軸心Vの周りで90度だけ逆回転せしめられ、続いて往復動台9により前進限位置まで前進移動せしめられて、荷室4の横向き開口部4aが荷室カバー6で閉じられると共に当該荷室4と荷室カバー6とで形成される荷収納空間28内にカセットケースKを収納するホームポジションに復帰せしめられる。
【0025】
尚、横向き開口部4aが台車走行経路脇の荷受け台32の方に向いた状態の荷室4内と当該荷受け台32との間でカセットケースKなどの荷(被搬送物)を受け渡しする移載手段7として、荷室4と一体に移動及び回転するランニングフォーク13を利用したが、荷受け台32側に配設された移載用コンベヤと接続する移載用コンベヤなど、他の移載手段を利用することもできる。又、利用する移載手段の構成にもよるが、移載手段は、荷室4とは一体に移動及び回転させないで、搬送用台車1側の定位置に配設することも可能である。
【0026】
【発明の効果】
本発明は以上のように実施し且つ使用することが出来るものであって、係る本発明の台車式搬送装置によれば、従来のように被搬送物を収納した荷室全体が支障なく回転できるだけの大きな内部空間を備えた外側収納室が不要であり、この外側収納室に相当するものとして、荷室の横向き開口部を塞ぐことができる荷室カバーを設ければ良いので、装置全体を小型軽量に構成することができる。又、荷室は、固定の荷室カバーから一旦離間移動させた後に回転させて台車走行経路脇の荷受け台に対応させるものであるから、この荷室に併設される移載手段が荷室から突出するものであっても、荷室がホームポジションにあるときには、当該荷室と荷室カバーとを両者間の隙間が十分に小さくなる状態に隣接させることができ、荷室内を外界よりも高気圧にして荷室内を清浄に保つためにファンフィルタユニット(実施形態での送気装置29)を併用する場合でも、その送気圧力を低くすることができる。
【0027】
尚、請求項2に記載の構成によれば、本発明を容易に実施することができる。又、請求項3に記載の構成によれば、回転する荷室を被搬送物の大きさよりも大巾に小型化することができる。更に、請求項4に記載の構成によれば、板状物品を上下複数段に支持するカセットケースの搬送に使用する場合に、搬送用台車の停止時の反動などでカセットケース内からの板状物品の飛び出しを効果的に防止することができる。又、請求項5に記載の構成によれば、荷室と固定の荷室カバーとで形成される被搬送物収納空間の密閉性を一層高めることができる。又、請求項6に記載の構成によれば、前記のように板状物品を上下複数段に支持するカセットケースの搬送に使用する場合に、荷室と固定の荷室カバーとで形成される被搬送物収納空間の清浄性を効果的に高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】A図は荷室がホームポジションにある状態での一部縦断側面図であり、B図は同一部縦断正面図である。
【図2】往復動台の駆動手段を説明する一部切り欠き平面図である。
【図3】移載手段としてのランニングフォークの昇降駆動手段を説明する一部横断平面図である。
【図4】荷受け台に対する定位置に搬送用台車が停止した状態を示す一部横断平面図である。
【図5】荷室を後退移動させた状態を示す一部縦断側面図である。
【図6】荷室を90度正回転させた状態を示す一部横断平面図である。
【図7】荷室を荷移載位置に移動させた状態を示す一部横断平面図である。
【図8】荷受け台に対するカセットケースの移載作業を説明する一部縦断正面図である。
【符号の説明】
1 搬送用台車
4 荷室
4a 横向き開口部
5 荷室形成囲い
6 荷室カバー
7 移載手段
9 往復動台
10 回転台
12 カセットケース位置決め支持台
13 ランニングフォーク
28 荷収納空間
28a 荷室の内部空間
28b 荷室カバーの凹入空間
29 送気装置
30 軟質弾性材製の帯状シール材
31a,31b ガラス基板飛び出し防止具
32 荷受け台
K カセットケース
W ガラス基板
Wa カセットケースのガラス基板出し入れ用開口部
FR 台車走行方向
V 荷室の回転垂直軸心
Claims (6)
- 所定経路を走行する搬送用台車上に、一横側面が開放した荷室が、垂直軸心の周りの回転と台車走行方向に往復移動自在に支持され、前記荷室が、往復移動経路の一端にあって且つその横向き開口部が当該往復移動経路の一端側に向いているとき、当該荷室の横向き開口部を閉じる荷室カバーが搬送用台車上に設けられ、前記荷室には、当該荷室が前記荷室カバーから離間移動し且つ台車走行方向に対し横向き開口部が左右横向きになる回転状態において当該荷室内と台車走行経路脇の荷受け台との間で被搬送物を移載する移載手段が併設されている、台車式搬送装置。
- 前記搬送用台車には、台車走行方向に往復移動可能に支持された往復動台と、この往復動台上に垂直軸心の周りに回転可能に支持された回転台とが設けられ、前記荷室は前記回転台上に支持され、前記移載手段は、前記荷室内の被搬送物支持レベルに対する上位置と下位置との間で昇降可能に前記回転台上に支持され且つ前記荷室の横向き開口部を出退移動するランニングフォークから構成されている、請求項1に記載の台車式搬送装置。
- 前記荷室は、定位置に支持した被搬送物の端部が横向き開口部から突出する奥行きのものであり、前記荷室カバーには、前記荷室の横向き開口部から突出する被搬送物の端部が遊嵌する凹入空間が形成されている、請求項1又は2に記載の台車式搬送装置。
- 前記被搬送物は、板状物品を上下複数段に支持するカセットケースであって、その板状物品出し入れ用開口部が前記荷室の横向き開口部側に位置するように当該荷室内に収納され、当該荷室内には、前記カセットケースをその板状物品出し入れ用開口部が斜め上向きになるように傾斜させて支持するカセットケース位置決め支持部を備え、前記荷室カバー内には、当該荷室カバーが前記荷室の横向き開口部を閉じた状態において前記カセットケースの板状物品出し入れ用開口部に隣接する板状物品飛び出し防止具が配設されている、請求項1〜3の何れかに記載の台車式搬送装置。
- 前記荷室の横向き開口部の周縁と、当該周縁に隣接する前記荷室カバーの周縁との内、少なくとも一方に、弾性材から成るシール材が付設されている、請求項1〜4の何れかに記載の台車式搬送装置。
- 前記被搬送物は、板状物品を上下複数段に支持するカセットケースであって、その板状物品出し入れ用開口部が前記荷室の横向き開口部側に位置するように当該荷室内に収納され、前記荷室カバーには、取り入れた外気をフイルターに通した状態で当該荷室カバー内に送入する送気装置が併設されている、請求項1〜5の何れかに記載の台車式搬送装置。
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