TWI419824B - Cartridge transport device - Google Patents

Cartridge transport device Download PDF

Info

Publication number
TWI419824B
TWI419824B TW099119271A TW99119271A TWI419824B TW I419824 B TWI419824 B TW I419824B TW 099119271 A TW099119271 A TW 099119271A TW 99119271 A TW99119271 A TW 99119271A TW I419824 B TWI419824 B TW I419824B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
cassette
substrate
cover
opening
closed
Prior art date
Application number
TW099119271A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201109259A (en
Inventor
kazuhiro Torimoto
Original Assignee
Daifuku Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Kk filed Critical Daifuku Kk
Publication of TW201109259A publication Critical patent/TW201109259A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI419824B publication Critical patent/TWI419824B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H01L21/67265—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection of substrates stored in a container, a magazine, a carrier, a boat or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)

Description

卡匣搬送裝置
本發明，係有關於一種卡匣，將被使用於電視顯示器之玻璃基板等加以收納，且特別有關於一種被稱做潔淨卡匣之搬送裝置。
收納有如上述玻璃基板之卡匣，係暫時被保管在自動倉庫之架體上，當對於玻璃基板實施各種處理時，藉由該自動倉庫具有之行走天車，自架體被搬送到處理裝置附近之玻璃基板搬出作業部，在此，玻璃基板，係自卡匣內，藉由玻璃基板取出用機器人被取出，再供給到處理裝置。而且，被收納在卡匣內之玻璃基板，係必須避免接觸到被污染過之之環境氣體，因此，使用在其內部空間能維持潔淨環境之自動倉庫，但是，當係大規模之自動倉庫時，欲使很大之內部空間全部皆維持潔淨環境，需要很大之設備成本及維持成本，所以，開始活用被稱做潔淨卡匣之物件，前述潔淨卡匣，係具有在卡匣本身，能使其內部空間維持潔淨之功能。
亦即，潔淨卡匣，係僅一側面係被當作基板出入用開口部而成開放之矩形箱型，在該開口部之相反側之側壁上，組裝有風扇‧過濾器‧單元(FFU)，前述風扇‧過濾器‧單元(FFU)，係取入外部氣體而經由過濾器送入到卡匣內，當被收納在自動倉庫之架體內時，通電到FFU而能使卡匣內部維持潔淨之環境氣體。但是，當藉由行走天車，使前述潔淨卡匣在架體與玻璃基板搬出作業部或玻璃基板搬入作業部之間搬送時，即使假設自該行走天車之升降運輸器側，能通電到潔淨卡匣之FFU，在卡匣之搬送途中，倉庫內之環境氣體會自開放較大之基板出入用開口部進入，卡匣內部空間之潔淨度會降低。其係與卡匣是否裝備有FFU，或者，倉庫是否被維持潔淨之環境氣體無關地被關心，最好倉庫內之環境氣體，係在卡匣之搬送中，不進入該卡匣內。
先前，例如如專利文獻1記載所述，係考慮到在卡匣搬送裝置之卡匣支撐部處，事先設置將被搬送之卡匣加以收納之潔淨盒。
【先行技術文獻】 【專利文獻】
【專利文獻1】日本特開2003-174073號公報
在上述專利文獻1記載之構成中，被設於卡匣搬送裝置之卡匣支撐部上之潔淨盒，係能收納卡匣之大型物件，其係具有與先前潔淨卡匣之FFU同樣之機構，因此，卡匣搬送裝置係成為大型且高價之物件。而且，潔淨卡匣本身，係存在有卡匣出入之較大開口部，所以，在搬送途中，無法完全防止外部氣體，進入潔淨盒內，進而進入被收納在該潔淨盒內之卡匣內。
本發明，係能消除如上述之先前問題點而提案者，記載於專利申請範圍第1項之本發明卡匣搬送裝置，當賦予下述實施形態之參照編號而表示時，係在升降運輸器15上，於該升降運輸器15上之退入位置，與進出橫向側邊之進出位置之間，設有水平出退移動自如之卡匣移載用支撐座20，其特徵在於：在升降運輸器15上，將卡匣移載用支撐座20加以水平出退移動自如地加以支撐之支撐部(轉台16)處，設有蓋體22，前述蓋體22，係將在前述卡匣移載用支撐座20上被支撐，而被移載到升降運輸器15上之一定位置之卡匣6之基板出入用開口部6a加以關閉，前述蓋體22之構成，係設有基板位置檢出裝置30，前述基板位置檢出裝置30，係自該蓋體22關閉之基板出入用開口部6a，將卡匣6內之基板10之收納位置加以檢出。
當實施上述本發明時，如申請專利範圍第2項所示，在前述蓋體22係安裝有基板位置檢出裝置30，前述基板位置檢出裝置30，係自該蓋體22關閉之基板出入用開口部6a，將卡匣6內之基板10之收納位置加以檢出。
又，當卡匣6，係在藉由卡匣移載用支撐座20，被往升降運輸器15上移載時之移動方向後端側，具有基板出入用開口部6a時，如申請專利範圍第3項所述，前述蓋體22之構成，係在卡匣移載路徑外側之退避位置，與卡匣移載路徑內之關閉作用位置之間，移動自如。在此情形下，如申請專利範圍第4項所述，蓋體22，係由左右一對之蓋單體23A,23B所構成，前述左右一對之蓋單體23A,23B，係在卡匣移載路徑兩側之退避位置，與卡匣移載路徑內之關閉作用位置之間，移動自如，在關閉作用位置上之左右一對蓋單體23A,23B之構成，係相互鄰接而關閉卡匣6之基板出入用開口部6a，前述基板位置檢出裝置30，係可被安裝在單側之蓋單體23A。而且在此情形下，如申請專利範圍第5項所述，左右一對之蓋單體23A,23B，係在前述支撐部(轉台16)上，於垂直支軸25a,25b之周圍，在退避位置與關閉作用位置之間，水平擺動自如地被軸支，自關閉作用位置往退避位置開動之各蓋單體23A,23B之構成，係位於被移載到升降運輸器15上之一定位置之卡匣6之兩側相當位置。
又，如申請專利範圍第2項所示地，當使基板位置檢出裝置30安裝在蓋體22時，如申請專利範圍第6項之記載所示，基板位置檢出裝置30，係在當蓋體22於退避位置與關閉作用位置之間移動時，在與被移載到升降運輸器15上之卡匣6不相干涉之後退位置，與當蓋體22在關閉作用位置時，接近卡匣6之基板出入用開口部6a或進入其中之前進位置之間，前進後退自如地被安裝在蓋體22上，但是，如申請專利範圍第7項所示，基板位置檢出裝置30，係也可以在當蓋體40於退避位置與關閉作用位置之間移動時，在與被移載到升降運輸器15上之卡匣6不相干涉之位置上，而且在蓋體40位於關閉作用位置時，係在自卡匣6之基板出入用開口部6a，能檢出卡匣6內之基板10之位置中，被固定於蓋體40。
而且，卡匣6，係當在藉由卡匣移載用支撐座20，往升降運輸器15上被移載時之移動方向前端側，具有基板出入用開口部6a之情形下，如申請專利範圍第8項所示，前述蓋體49，係被固定在被移載至升降運輸器15上時，與卡匣6之基板出入用開口部6a相向之位置。又，如申請專利範圍第9項所示，前述支撐部之構成，係以在垂直軸心周圍旋轉自如之轉台16所構成，藉由前述轉台16之180度旋轉，使卡匣移載用支撐座20相對於前述卡匣搬送裝置之行走路徑左右任意側，也能水平出退移動。
當使用申請專利範圍第1項所述之本發明之構成時，處理之卡匣，係基板出入用開口部以外之各側面係以壁材關閉，而且即使是具有如上所述FFU之所謂潔淨卡匣，也係在將藉由卡匣移載用支撐座，被移載到升降運輸器上之一定位置之該卡匣之基板出入用開口部，以蓋體加以關閉之狀態下可搬運，所以，即使係並非在搬送前述卡匣時，可稼動FFU之構成，在搬送途中，能防止被污染之外部氣體，自基板出入用開口部進入卡匣內，而且，在與在升降運輸器上之一定位置處，設置卡匣收納用之潔淨盒之先前構成相比較下，在升降運輸器側僅設置蓋體，所以，假設即使並用將蓋體加以開閉之驅動機構時，升降運輸器側之構成係比較簡單，升降運輸器側變得大型化之程度較小，能比較便宜地實施。
又，當使用申請專利範圍第2項所述之構成時，在以前述蓋體將基板出入用開口部加以關閉之狀態下，搬送卡匣時，藉由被安裝在前述蓋體之基板位置檢出裝置(地圖偵知器)，可取得被收納於卡匣內之基板之收納位置資訊(地圖資訊)，在與於搬出到基板搬出作業部後，藉由基板位置檢出裝置來取得基板位置資訊之情形相比較下，在該基板搬出作業部中，藉由基板取出用機器人，能縮短將基板自卡匣內取出為止之循環時間。而且，在將卡匣之基板出入用開口部加以關閉之蓋體處，安裝有基板位置檢出裝置，所以，基板出入用開口部與將基板出入用開口部加以開閉之蓋體之外，係另外設置地圖偵知器用開口及將地圖偵知器用開口加以開閉之蓋體，而且，當與對於地圖偵知器用開口，必須設置將地圖偵知器加以出入之機構之情形相比較下，能使裝置整體之構造及控制系統簡單化，而能便宜地實施。
又，當使用申請專利範圍第3項所述之構成時，前述卡匣搬送裝置係對於將卡匣加以送出入之之架體卡匣收納艙，能使卡匣之基板出入用開口部，係在與卡匣搬送裝置之具有行走通路之側相反之卡匣收納艙深處側開口之方向，將卡匣加以收納，所以，與基板出入用開口部係在卡匣搬送裝置之具有行走通路側開口之方向下被收納之情形相比較下，能比較容易使卡匣內保持潔淨之環境氣體。而且，當使該卡匣藉由卡匣移載用支撐座，移載到卡匣搬送裝置側之升降運輸器上時，能以蓋體將該卡匣之基板出入用開口部加以關閉，能達成期望之目的。
在此情形下，當使用申請專利範圍第4項所述之構成時，與以由1個蓋單體所構成蓋體，將卡匣之較大基板出入用開口部加以開閉之情形相比較下，在退避位置與關閉作用位置之間移動之蓋單體可以變小，移動蓋單體之機構構成可以變容易，同時，開閉蓋體所需時間可以減半，能縮短循環時間。而且，當使用申請專利範圍第5項所述之構成時，只要使左右一對蓋單體，單純地在1軸周圍水平擺動自如地被軸支即可，所以，蓋單體之支撐構造或其驅動機構也變得簡單。又，可以使在退避位置之蓋單體，於被移載到升降運輸器上一定位置之卡匣兩側相當位置上，轉向到沿著卡匣移載路徑之方向，所以，能使蓋體開閉空間整體之寬度變窄。
又，當使用申請專利範圍第6項所述之構成時，在以蓋體將卡匣之基板出入用開口部加以關閉之狀態下，當藉由基板位置檢出裝置來檢出基板位置時，能使該基板位置檢出裝置之位置，往卡匣內伸入至必要深度。因此，基板位置檢出裝置，可以利用自上下方向將水平收納在卡匣內之基板之水平板面加以檢出之型式之偵知器，而能確實實施基板位置之檢出。
另外，當使用申請專利範圍第7項所述之構成時，無須使基板位置檢出裝置相對於蓋體移動之機構或其控制系統，能容易且便宜地實施本發明。在此情形下，只要是若干量時，可以使基板位置檢出裝置，自基板出入用開口部進入到卡匣內，所以，可以利用自上下方向將上述基板之水平板面加以檢出之型式之偵知器，即使假設基板位置檢出裝置，係位於該種型式之偵知器無法利用之位置之情形下，只要利用將基板周緣之垂直端面加以檢出之型式之偵知器即可。
當卡匣搬送裝置，係相對於使卡匣出入之架體之卡匣收納艙，使卡匣之基板出入用開口部在卡匣搬送裝置具有行走通路之側上開口之方向，將卡匣加以收納之情形下，能以申請專利範圍第8項所述之構成來實施本發明，無須使蓋體在退避位置與關閉作用位置之間移動之機構或其控制系統，能非常便宜地實施本發明。
而且，當使用申請專利範圍第9項所述之構成時，可以在卡匣搬送裝置之行走路徑左右兩側配設卡匣收納架體，或者，在該行走路徑單側配設卡匣收納架體，同時在相反側配設卸下卡匣而搬出基板之基板搬出作業部。在此情形下，蓋體係與卡匣移載用支撐座一體旋轉，所以，在卡匣移載用支撐座係自行走路徑之左右任意側接受卡匣之情形下，也能藉由該蓋體將前述卡匣之基板出入用開口部加以關閉，同時藉由將申請專利範圍第2項所述之構成加以組合，藉由設於該蓋體之基板位置檢出裝置，將卡匣內之基板之位置加以檢出。
當依據第1圖～第11圖來說明本發明之第1實施例時，如第1圖所示，本發明之卡匣搬送裝置1，係在2列並設之架體2A,2B間之行走通路3中，被鋪設於地面上之支撐用導軌4支撐，沿著兩架體2A,2B自走。在兩架體2A,2B立體配設有卡匣收納艙7，卡匣收納艙7係收納潔淨卡匣6，在單側之架體2A處，分別設有利用1個卡匣收納艙7來構成之基板搬出作業部8及基板搬入作業部9，基板取出用機器人裝置12係與基板收納用機器人裝置13並設，基板取出用機器人裝置12，係自被搬出到基板搬出作業部8之潔淨卡匣6內，將基板10一塊一塊地取出，而搬入到處理裝置11，基板收納用機器人裝置13，係使被處理裝置11處理過之已處理基板10，一塊一塊地收納到在基板搬入作業部9處待機之潔淨卡匣6內。而且，基板取出用機器人裝置12及基板收納用機器人裝置13，係眾所周知之物件，在圖面中，機器人裝置之圖示予以省略。
卡匣搬送裝置1，係具有在行走方向前後一對之支柱14間升降之升降運輸器15，在升降運輸器15上，搭載有於垂直軸心周圍正反轉自如之轉台16，在前述轉台16上設有卡匣移載機構17，卡匣移載機構17，係用於使潔淨卡匣6在架體2A,2B之卡匣收納艙7或基板搬出作業部8及基板搬入作業部9間移載。
前述卡匣移載機構17，如第3圖、第4圖、第6圖及第8圖所示，係由固定滑軌座18、中段滑軌座19、及卡匣移載用支撐座20所構成，固定滑軌座18，係在在轉台16上，相對於卡匣搬送裝置1之行走方向，成直角橫向地被固定，中段滑軌座19，係在前述固定滑軌座18上，相對於卡匣搬送裝置1之行走方向，成直角橫向且僅能往單側出退移動自如地被支撐，卡匣移載用支撐座20，係在前述中段滑軌座19上，與該中段滑軌座19之出退移動方向同方向且出退移動自如地被支撐，藉由與設於先前自動倉庫採用之貨物搬入搬出用堆垛機升降運輸器上之行走叉子相同之驅動機構，與相對於固定滑軌座18之中段滑軌座19出退移動相連動，而卡匣移載用支撐座20係相對於中段滑軌座19出退移動，卡匣移載用支撐座20，係能在平面觀看中，卡匣移載用支撐座20係與固定滑軌座18重疊之退入位置，與卡匣移載用支撐座20係自固定滑軌座18往橫向完全離去之進出位置之間，水平出退移動。又，藉由使轉台16做180度旋轉，能使相對於卡匣搬送裝置1行走方向之卡匣移載用支撐座20出退移動方向，往左右相反方向做改變。
上述構成之三段叉子形式之卡匣移載機構17只不過係一實例，其構成也可以係例如如先前引用過之專利文獻1中之記載，藉由在轉台16與卡匣移載用支撐座20之間，中介安裝之鏈接機構，使卡匣移載用支撐座20相對於轉台16出退移動自如地被支撐。主要是只要其構成係與下述蓋體之開閉支撐機構不相干涉，卡匣移載用支撐座20之出退移動機構係可為任意構成。
當使用上述構成之卡匣搬送裝置1時，藉由前述卡匣搬送裝置1之行走、升降運輸器15之升降、及轉台16之旋轉，能使卡匣移載機構17與具有架體2A,2B之卡匣收納艙7內之任意卡匣收納艙7、及相對於基板搬出作業部8或基板搬入作業部9之卡匣移載位置相對應。另外，在各卡匣收納艙7、基板搬出作業部8及基板搬入作業部9處，係配設有將潔淨卡匣6底部左右兩側邊加以支撐之左右一對之卡匣支撐件21。而且，當將被收納於卡匣收納艙7之潔淨卡匣6加以出庫時，如第8圖所示，係以比出庫對象之卡匣收納艙7之卡匣支撐水平高度略低之水平高度，使卡匣移載機構17對該出庫對象之卡匣收納艙7對應停止後，如先前眾所周知地，藉由實施將卡匣移載用支撐座20之出退運動與升降運輸器15單位量之上昇運動，加以組合所構成之卡匣取出動作，能使被收納在卡匣收納艙7內之潔淨卡匣6，移載到卡匣搬送裝置1之升降運輸器15上。將被基板搬出作業部8或基板搬入作業部9支撐之潔淨卡匣6，往卡匣搬送裝置1側移載，也是以與上述同樣之順序來實施。
與上述相反地，當自卡匣搬送裝置1之升降運輸器15上，使潔淨卡匣6入庫到空的卡匣收納艙7內時，係使支撐潔淨卡匣6之卡匣移載機構17，以比出庫對象之卡匣收納艙7之卡匣支撐水平高度略高之水平高度，使卡匣移載機構17對該入庫對象之卡匣收納艙7對應停止後，如先前眾所周知地，藉由實施將卡匣移載用支撐座20之出退運動與升降運輸器15單位量之下降運動，加以組合所構成之卡匣卸下動作，能使卡匣移載用支撐座20上之潔淨卡匣6左右兩側邊，移載到入庫對象之卡匣收納艙7卡匣支撐件21上。使潔淨卡匣6自卡匣搬送裝置1往被基板搬出作業部8或基板搬入作業部9移載之作業，也是以與上述同樣之順序來實施。
潔淨卡匣6，如第11圖所示，係使玻璃基板10在水平狀態下，成上下複數段地收納之箱型物件，正面之基板出入用開口部6a以外之各面，係被壁材關閉，在背面側處，係設有將外部氣體取入而經由過濾器送至卡匣內之風扇．過濾器．單元(FFU)6b。前述潔淨卡匣6，係在其基板出入用開口部6a面向與架體2A,2B間之卡匣搬送裝置1之具有行走通路3側相反之側之方向，亦即，FFU6b係以面向具有行走通路3之側之方向，被收納在各架體2A,2B之卡匣收納艙7內。
在能使前述潔淨卡匣6，如上所述地在架體2A,2B之卡匣收納艙7或基板搬出作業部8或基板搬入作業部9之間移載之卡匣搬送裝置1，係設有蓋體，前述蓋體，係將在升降運輸器15上被支撐搬送之潔淨卡匣6之前述基板出入用開口部6a加以關閉。亦即，以卡匣移載用支撐座20移載到升降運輸器15上一定位置(卡匣移載用支撐座20到達退入位置時之位置)之潔淨卡匣6之基板出入用開口部6a，係由相對於先前說明過之架體2A,2B卡匣收納艙7之收納方向可知，在被移載到升降運輸器15上之一定位置時之卡匣移動方向後側，係往後方開口，但是，當該潔淨卡匣6被移載到升降運輸器15上之一定位置時，將前述基板出入用開口部6a加以關閉之蓋體22，如第2圖~第4圖所示，係設於在升降運輸器15上支撐卡匣移載機構17之轉台16上。
前述蓋體22，係由左右一對之蓋單體23A,23B、及與兩蓋單體23A,23B同時連動而開閉運動之驅動機構24所構成。各蓋單體23A,23B，係分別藉由垂直支軸25a,25b，一端被轉台16軸支之水平擺動臂26a,26b之游動端處，固著有外端底部，其係由將前述垂直支軸25a,25b當作中心之圓弧形垂直板部23a、及自該圓弧形垂直板部23a上下兩側緣，往具有垂直支軸25a,25b之側水平連設之上下兩水平板部23b,23c所構成。前述左右一對之水平擺動臂26a,26b，係自形成於轉台16與卡匣移載機構17固定滑軌座18之間之空間內，延伸至外側。
驅動機構24之構成，係內建於轉台16，其係由透過前述垂直支軸25a,25b分別與水平擺動臂26a,26b連動，而且相互咬合之一對平齒輪27a,27b、及使與一邊平齒輪27a相咬合之平齒輪28具備於輸出軸之馬達29所構成，藉由稼動前述馬達29，能使兩水平擺動臂26a,26b相互連動，而可在需要角度範圍內，正逆轉驅動。而且，藉由在前述兩水平擺動臂26a,26b需要角度範圍內之正逆轉，被固著支撐在，前述兩水平擺動臂26a,26b尖端之左右一對蓋單體23A,23B，如第2圖、第6圖及第10A圖所示，係在卡匣移載機構17之打開到左右兩外側而退避之退避位置，與如第7圖及第10B圖所示之關閉作用位置之間，對稱性地同步水平擺動運動，前述關閉作用位置，係兩蓋單體23A,23B圓弧形垂直板部23a之垂直內端邊相互鄰接，同時，上下兩水平板部23b,23c之水平內側邊係相互鄰接。
而且當更詳細說明時，當左右一對之蓋單體23A,23B係位於第2圖、第6圖及第10A圖所示之退避位置時，前述圓弧形垂直板部23a，如上所述，係位於卡匣移載機構17之卡匣移載用支撐座20，自進出位置在與升降運輸器15上之退入位置之間出退移動時，在該卡匣移載用支撐座20上被支撐之潔淨卡匣6之移動軌跡，亦即，位於卡匣移載路徑之外側，而且兩蓋單體23A,23B之上下兩水平板部23b,23c，係在平面觀看中，位於卡匣移載機構17卡匣移載用支撐座20之出退移動路徑外側，而且如第4圖假想線及第11圖所示，係位於比被該卡匣移載用支撐座20支撐之潔淨卡匣6之上下兩面水平高度，少許離開上下兩外側之位置。因此，以上述之順序，當潔淨卡匣6自架體2A,2B卡匣收納艙7內，移載到升降運輸器15上時，使左右一對之蓋單體23A,23B往左右打開，事先移動到第2圖、第6圖及第10A圖所示之退避位置，藉此，卡匣移載機構17之出退移動卡匣移載用支撐座20，或在其上被支撐之潔淨卡匣6，係與退避位置之蓋單體23A,23B沒有干涉。
當支撐潔淨卡匣6之卡匣移載用支撐座20到達升降運輸器15上之退入位置，而其上被支撐之潔淨卡匣6係到達升降運輸器15上之一定位置時，使驅動機構24之馬達29正轉驅動，透過水平擺動臂26a,26b，使左右一對之單蓋體23A,23B自退避位置至前述關閉作用位置關閉作動。結果，如上所述，如第7圖及第10B圖所示，兩蓋單體23A,23B圓弧形垂直板部23a之垂直內端邊係相互鄰接，同時，上下兩水平板部23b,23c之水平內側邊係相互鄰接。而兩蓋單體23A,23B圓弧形垂直板部23a與上下兩水平板部23b,23c，係形成關閉潔淨卡匣6之基板出入用開口部6a之蓋體空間。此時，兩蓋單體23A,23B圓弧形垂直板部23a之垂直外端邊、及上下兩水平板部23b,23c之相互一直線狀連續之水平側邊，係隔著間隙而外嵌在潔淨卡匣6之基板出入用開口部6a外側。
在可如上作用之蓋體22處，係於前述單側之蓋單體23A內側，安裝有基板位置檢出裝置30，基板位置檢出裝置30，係將潔淨卡匣6內之玻璃基板10收納位置加以檢出。前述基板位置檢出裝置30，係在垂直支柱構件31上，於上下方向上間隔需要之間隔，安裝有檢出玻璃基板10之偵知器32，該垂直支柱構件31之構成，係如第10B圖及第11圖之實線所示，能在前進位置F與後退位置R之間移動，前述前進位置F，係各偵知器32之尖端感知部，進入至在潔淨卡匣6內之各段玻璃基板10周邊部處，間隔適當間隙而重疊之位置，前述後退位置R，係接近蓋單體23A之圓弧形垂直板部23a。具體說來，如第5A圖所示，例如在蓋單體23A之下側水平板部23c上，在接近與蓋單體23B下側水平板部23c相鄰接之水平內側邊之位置處，於與該水平內側邊平行鋪設之滑動導軌33處，使基板位置檢出裝置30(垂直支柱構件31)之下端，前後移動自如地被支撐，沿著前述滑動導軌33使基板位置檢出裝置30(垂直支柱構件31)前後往復移動之驅動機構，有使螺合貫穿到垂直支柱構件31側母螺絲體34之螺桿35，與滑動導軌33僅能平行自轉地支承，使前述螺桿35設於正逆轉驅動之馬達26上之螺桿式驅動機構，雖然省略圖示，也可以利用液壓缸之驅動機構等。
而且，在使基板位置檢出裝置30於前進位置F與後退位置R之間往復移動之構成中，前述滑動導軌33並非必須者。例如如第5B圖所示，也可以使基板位置檢出裝置30(垂直支柱構件31)之下端，固著在尖端，而且另一端部係利用被垂直支軸37支承之水平擺動臂38。在此情形下，使該水平擺動臂38前後往復擺動之驅動機構，有在使前述垂直支軸37正逆轉驅動之馬達39之外，雖然省略圖示，但是，也可以利用螺桿式驅動機構或使用液壓缸之驅動機構等。又，滑動導軌33或水平擺動臂38，係也可以利用蓋單體23A之上下兩水平板部23b,23c而上下一對設置，以使支撐基板位置檢出裝置30(垂直支柱構件31)之上下兩端。
如上所述，被安裝在單側之蓋單體23A內側之基板位置檢出裝置30之後退位置R，係被設定成當蓋單體23A在退避位置與關閉作用位置間，開閉運動時，被移載到升降運輸器15上一定位置之潔淨卡匣6，與位於後退位置R上之基板位置檢出裝置30係不相互干涉，同時，當蓋單體23A在退避位置時，位於後退位置R上之基板位置檢出裝置30，係被設定成位於伴隨卡匣移載機構17卡匣移載用支撐座20之出退移動之卡匣移載路徑外側上。
當使用以上構成時，在使蓋體22兩蓋單體23A,23B打開而在退避位置待機之狀態下，當藉由卡匣移載機構17，使潔淨卡匣6自架體2A,2B卡匣收納艙7，取出至升降運輸器15上之一定位置時，藉由蓋體22將該潔淨卡匣6之基板出入用開口部6a加以關閉，同時，藉由具有該蓋體22之基板位置檢出裝置30，能將被收納於潔淨卡匣6內之玻璃基板10之收納位置資訊加以取得。亦即，當兩蓋單體23A,23B在退避位置待機時，具有單側蓋單體23A之基板位置檢出裝置30係在後退位置待機，當藉由驅動機構24使前述兩蓋單體23A,23B關閉動作到關閉作用位置，而相對於被移載到升降運輸器15上一定位置之潔淨卡匣6之移載方向，使在後側往後方開口之基板出入用開口部6a以兩蓋單體23A,23B關閉時，使在後退位置R上待機之基板位置檢出裝置30移動至前進位置F為止。結果，基板位置檢出裝置30各偵知器32之尖端感知部，係以需要量進入到潔淨卡匣6內之各段基板收納艙內，各偵知器32之中，僅與被收納於基板收納艙之玻璃基板10周邊部板面相向之偵知器32，係輸出具有玻璃基板之ON訊號，所以，自基板位置檢出裝置30各偵知器32之ON/OFF之資訊，可以取得前述潔淨卡匣6中之玻璃基板10之收納位置資訊(地圖數據)。
由前述基板位置檢出裝置30所致之潔淨卡匣6內之玻璃基板10收納位置資訊之取得，係在藉由蓋體22將潔淨卡匣6基板出入用開口部6a加以關閉後，基板位置檢出裝置30自後退位置R切換到前進位置F剛結束不久時加以實施，當取得必要資訊結束後，最好立刻使基板位置檢出裝置30，自前進位置F回到後退位置R。被取得之玻璃基板10之收納位置資訊，係被傳送到基板取出用機器人裝置12，前述基板取出用機器人裝置12，係自被移載到基板搬出作業部8之潔淨卡匣6內，將玻璃基板10一塊一塊地取出，而送入處理裝置11。另外，藉由卡匣移載機構17而被移載到升降運輸器15上一定位置，而且，藉由蓋體22關閉基板出入用開口部6a之潔淨卡匣6，係藉由升降運輸器15之升降運動與卡匣搬送裝置1之行走，被搬送至相對於基板搬出作業部8之移載位置。此時之潔淨卡匣6，當係自具有基板搬出作業部8之架體2A相反側之架體2B被搬出之物件時，前述基板出入用開口部6a之開口方向，係朝向與具有基板搬出作業部8之側相反之方向，所以，在搬送途中等，使轉台16做180度旋轉，事先使該潔淨卡匣6之基板出入用開口部6a轉向具有基板搬出作業部8之側。此時，蓋體22及開閉蓋體22之驅動機構24係設於轉台16上，所以，潔淨卡匣6及關閉其基板出入用開口部6a之蓋體22，係一體做180度轉向。
當藉由卡匣搬送裝置1，將潔淨卡匣6搬送至相對於基板搬出作業部8之移載位置時，將關閉該潔淨卡匣6基板出入用開口部6a之蓋體22加以打開動作。亦即，將藉由驅動機構24而位於關閉作用位置之兩蓋單體23A,23B，以驅動機構24打開動作，而移動到卡匣移載路徑左右兩側之退避位置。直到此時，基板位置檢出裝置30係正回到後退位置R，所以，在蓋體22打開作動時，基板位置檢出裝置30係與潔淨卡匣6不相干涉。當蓋體22之打開結束時，如上所述，將由卡匣移載機構17卡匣移載用支撐座20之出退運動與升降運輸器15單位量之下降運動，所組合成之卡匣卸下動作加以實施，只要使在升降運輸器15上一定位置被支撐之潔淨卡匣6，搬出移載到基板搬出作業部8即可。之後，如上所述，基板取出用機器人裝置12，係依據之前被給予之基板收納位置資訊(地圖數據)，而被自動控制，玻璃基板10，係自被移載到基板搬出作業部8之潔淨卡匣6內，一塊一塊地被取出，而被送入下一段之處理裝置11。
在處理裝置11處理完畢之玻璃基板10，係藉由基板收納用機器人裝置13，自動被收納到在基板搬入作業部9處待機之潔淨卡匣6內。當在該潔淨卡匣6內收納有既定塊數之玻璃基板10時，該潔淨卡匣6，係藉由卡匣搬送裝置1，回到架體2A,2B之空的卡匣收納艙7內，或者，被送出到其他搬送線。
接著，當參照第12圖～第14圖來說明本發明之第2實施例時，構成此實施例蓋體40之左右一對蓋單體41A,41B，係在轉台16上，於離開左右外側之位置處，藉由垂直支軸42a,42b，一端係水平擺動自如地被軸支之左右一對水平擺動臂43a,43b尖端部處，固著有該蓋單體41A,41B之外端部底面，藉此，在前述垂直支軸42a,42b周圍，能水平開閉運動地被支撐。使前述兩蓋單體41A,41B同時連動而開閉運動之驅動機構44，係內建於轉台16之物件，其係由一對平齒輪46a,46b及馬達48所構成，前述一對平齒輪46a,46b，係透過前述垂直支軸42a,42b及鏈條傳動機構42a,45b，分別與水平擺動臂43a,43b連動且相互咬合，前述馬達48，係使與一邊之平齒輪46a相咬合之平齒輪47具備在輸出軸，藉由稼動前述馬達48，使兩水平擺動臂43a,43b相互連動，而在需要角度範圍內可正逆轉驅動。而且，藉由在前述兩水平擺動臂43a,43b之需要角度範圍內之正逆轉，被固著支撐在前述兩水平擺動臂43a,43b尖端之左右一對蓋單體41A,41B，係在如第12圖及第13圖所示之退避位置，與如第14圖所示之關閉作用位置之間，對稱性地同步水平擺動運動。前述退避位置，係往與卡匣移載機構17卡匣移載用支撐座20之出退移動相伴隨之卡匣移載路徑左右兩外側打開而退避。前述關閉作用位置，係兩蓋單體41A,41B在橫斷前述卡匣移載路徑之方向上相互鄰接，而將被移載到升降運輸器15上一定位置之潔淨卡匣6基板出入用開口部6a加以關閉。
此第2實施例之特徵，係使成為水平擺動臂43a,43b旋轉中心之垂直支軸42a,42b之位置，比第1實施例中之成為水平擺動臂26a,26b旋轉中心之垂直支軸25a,25b之位置，還要靠近卡匣移載路徑之左右外側，而且靠近前方(卡匣移載用支撐座20之進出移動方向)，藉此，能使構成蓋單體41A,41B之上下兩水平板部41b,41c間之垂直板部41a之往前方之擴出可以減小，也能使基板位置檢出裝置30固定在單側之蓋單體41A內端部內側。
亦即，固定在單側之蓋單體41A內端部內側之基板位置檢出裝置30，係當被切換到關閉作用位置之兩蓋單體41A,41B，將被移載到升降運輸器15上一定位置之潔淨卡匣6基板出入用開口部6a加以關閉時，偵知器32尖端感知部係進入基板出入用開口部6a內，而能將被收納於潔淨卡匣6內之玻璃基板6之周邊部板面加以檢出，但是，使蓋單體41A,41B自關閉作用位置，切換到卡匣移載路徑左右兩側之退避位置時，基板位置檢出裝置30垂直支軸42a,42b周圍之轉動軌跡，係通過被移載到升降運輸器15上一定位置之潔淨卡匣6外側，被固定位置之基板位置檢出之裝置30係與潔淨卡匣6不相干涉。又，被切換到卡匣移載路徑左右兩側之退避位置之兩蓋單體41A,41B，係其整體在卡匣移載路徑外側，而且其方向係與該卡匣移載路徑約略平行。
接著，當參照第15圖～第17圖來說明本發明第3實施例時，在本實施例中，潔淨卡匣6，係朝向第1A圖所示之卡匣搬送裝置1行走通路3，而在基板出入用開口部6a開口之方向，亦即，在與上述實施例相反之方向，被收納在架體2A,2B之卡匣收納艙7。因此，當升降運輸器15上之卡匣移載機構17卡匣移載用支撐座20，係自架體2A,2B之卡匣收納艙7，搬出潔淨卡匣而移載到升降運輸器15上一定位置時，基板出入用開口部6a係以位於移動方向前端之方向，潔淨卡匣6移動到升降運輸器15上，所以，當前述潔淨卡匣6到達升降運輸器15上一定位置時，在關閉前述基板出入用開口部6a之位置處，蓋體49係在相對於轉台16位置被固定之狀態下被配設。
亦即，透過支撐構件50被安裝在被固定於轉台16上之卡匣移載機構17固定滑軌座18後端部(與卡匣移載用支撐座20會進出移動之側相反之側)之蓋體49，係具有能關閉潔淨卡匣6之基板出入用開口部6a整體之尺寸之1塊板狀物，在將前述潔淨卡匣6之基板出入用開口部6a加以關閉之側上，基板位置檢出裝置30係被直接固定。因此，被卡匣移載用支撐座20支撐而被搬送到升降運輸器15側之潔淨卡匣6，當到達該升降運輸器15上一定位置時，蓋體49係將該潔淨卡匣6之基板出入用開口部6a加以關閉，同時，基板位置檢出裝置30之各偵知器32，係進入到潔淨卡匣6內之各段基板收納艙內，成為能將該基板收納艙內被支撐之玻璃基板10周邊部板面加以檢出之狀態。
而且，在上述各實施例中，基板位置檢出裝置30之偵知器32，雖然有使用自上下方向與在潔淨卡匣6內各段基板收納艙內被支撐之玻璃基板10周邊部的水平板面相向，能將該玻璃基板10之周邊部板面加以檢出之偵知器32，但是，也可以利用將玻璃基板10周緣之垂直端面加以檢出之偵知器。在此情形下，當蓋體22,40,49將潔淨卡匣6之基板出入用開口部6a加以關閉時，基板位置檢出裝置30偵知器之尖端感知部，係無須進入到與潔淨卡匣6內玻璃基板10之周邊部板面相重疊之位置，藉由偵知器之能力，即使自不進入潔淨卡匣6內之位置，也能取得內部之玻璃基板10之收納位置資訊。
而且，在第1實施例或第2實施例中，藉由卡匣移載機構17之卡匣移載用支撐座20，使潔淨卡匣6拉入至少許超過升降運輸器15上一定位置之退入極限位置，之後，當藉由卡匣移載用支撐座20之前進移動，使潔淨卡匣6移動到原來之一定位置，基板出入用開口部6a能在位於移動方向前端之方向下移動時，在將潔淨卡匣6拉入前述退入極限位置後之狀態下，使蓋體22,40關閉動作到關閉作用位置為止，之後，藉由使前述退入極限位置上之潔淨卡匣6回到一定位置，相對於在關閉作用位置待機之蓋體22,40，接近移動之潔淨卡匣6基板出入用開口部6a，係被該蓋體22,40所關閉。
當使用上述構成時，在蓋體22,40關閉時，該蓋體22,40或被安裝於該蓋體22,40之基板位置檢出裝置30之構成，係能很容易不與潔淨卡匣6相干涉，又，即使不使基板位置檢出裝置30相對於蓋體22,40移動，結果，能相對容易地使基板位置檢出裝置30偵知器32之尖端感知部，進入潔淨卡匣6內之必要深度。
【產業上可利用性】
本發明之卡匣搬送裝置，係能活用作為將收納被使用於電視顯示器之玻璃基板之潔淨卡匣，自保管用架體取出，用於使前述潔淨卡匣往基板搬出作業部搬送之卡匣搬送裝置，前述基板搬出作業部，係用於將玻璃基板往處理裝置送入，尤其能活用作為在搬送中，能取得潔淨卡匣內玻璃基板之收納位置資訊之卡匣搬送裝置。
1．．．卡匣搬送裝置
2A,2B．．．架體
3．．．行走通路
6．．．潔淨卡匣
6a．．．基板出入用開口部
6b．．．風扇‧過濾器‧單元(FFU)
7．．．卡匣收納艙
8．．．基板搬出作業部
9．．．基板搬入作業部
10．．．玻璃基板
11．．．處理裝置
12．．．基板取出用機器人裝置
13．．．基板收納用機器人裝置
15．．．升降運輸器
16．．．轉台(卡匣移載用支撐座之支撐部)
17．．．卡匣移載機構
20．．．卡匣移載用支撐座
21．．．卡匣支撐件
22,40,49．．．蓋體
23A,23B,41A,41B．．．蓋單體
23a,41a．．．垂直板部
23b,23c,41b,41c．．．上下兩水平板部
24,44．．．驅動機構
26a,26b,38,43a,43b．．．水平擺動臂
29,36,39,48．．．馬達
30．．．基板位置檢出裝置
31．．．垂直支柱構件
32．．．偵知器
33．．．滑動導軌
35．．．螺桿
第1圖～第11圖係表示本發明第1實施例之圖面。
第1圖之A係表示利用卡匣搬送裝置之設備重要部位之俯視圖；B係表示卡匣搬送裝置整體概略之側視圖。
第2圖係表示上述卡匣搬送裝置中之升降運輸器上之構成之橫剖面圖。
第3圖係表示上述升降運輸器上之構成之側視圖，其省略前側之蓋體。
第4圖係表示上述升降運輸器上之蓋體成打開狀態之正視圖。
第5圖之A及B係表示使基板位置檢出裝置相對於蓋體前後移動之機構實例之俯視圖。
第6圖係表示上述卡匣搬送裝置自單側架體取出卡匣時之狀態之橫剖面圖。
第7圖係表示上述卡匣搬送裝置係以蓋體將自單側架體取出之卡匣之基板出入用開口部加以關閉之狀態之俯視圖。
第8圖係第6圖之局部剖開側視圖。
第9圖係第7圖之側視圖。
第10圖之A係表示卡匣被移載到升降運輸器上一定位置上之狀態之放大局部橫剖面圖；B係在關閉蓋體之狀態下之重要部位橫剖面圖。
第11圖係將第9圖之狀態自相反側觀得之重要部位之放大局部縱剖面圖。
第12圖～第14圖係表示本發明第2實施例之圖面。
第12圖係卡匣移載用支撐座接受卡匣之狀態之俯視圖。
第13圖係表示蓋體打開狀態之重要部位之局部橫剖面圖。
第14圖係表示以蓋體將被移載到升降運輸器上之卡匣之基板出入用開口部加以關閉之狀態之重要部位局部橫剖面圖。
第15圖～第17圖係表示本發明第3實施例之圖面。
第15圖係卡匣移載用支撐座接受卡匣之狀態之俯視圖。
第16圖係卡匣移載用支撐座將卡匣拉入升降運輸器上之狀態之重要部位側視圖。
第17圖係表示藉由卡匣移載用支撐座，卡匣被移載到升降運輸器上之一定位置後之狀態之重要部位局部縱剖面圖。
6．．．潔淨卡匣
6a．．．基板出入用開口部
6b．．．風扇‧過濾器‧單元(FFU)
10．．．玻璃基板
15．．．升降運輸器
16．．．轉台(卡匣移載用支撐座之支撐部)
17．．．卡匣移載機構
19．．．中段滑軌座
20．．．卡匣移載用支撐座
22．．．蓋體
23a．．．垂直板部
23A．．．蓋單體
23B．．．蓋單體
23c．．．上下兩水平板部
26a．．．水平擺動臂
26b．．．水平擺動臂
30．．．基板位置檢出裝置
31．．．垂直支柱構件
32．．．偵知器

Claims (9)

  1. 一種卡匣搬送裝置，在升降運輸器上，於該升降運輸器上之退入位置，與進出橫向側邊之進出位置之間，設有水平出退移動自如之卡匣移載用支撐座，其中，在升降運輸器上，將卡匣移載用支撐座加以水平出退移動自如地加以支撐之支撐部處，設有蓋體，前述蓋體係將在前述卡匣移載用支撐座上被支撐，而被移載到升降運輸器上之一定位置之卡匣之基板出入用開口部加以關閉。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之卡匣搬送裝置，其中，前述蓋體係設有基板位置檢出裝置，前述基板位置檢出裝置係自該蓋體關閉之基板出入用開口部，將卡匣內之基板之收納位置加以檢出。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述之卡匣搬送裝置，其中，卡匣係在藉由卡匣移載用支撐座，被往升降運輸器上移載時之移動方向後端側，具有基板出入用開口部，前述蓋體之構成係在卡匣移載路徑外側之退避位置，與卡匣移載路徑內之關閉作用位置之間，移動自如。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之卡匣搬送裝置，其中，蓋體係由左右一對之蓋單體所構成，前述左右一對之蓋單體係在卡匣移載路徑兩側之退避位置，與卡匣移載路徑內之關閉作用位置之間，移動自如，在關閉作用位置上之左右一對蓋單體之構成係相互鄰接而關閉卡匣之基板出入用開口部。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之卡匣搬送裝置，其中，左右一對之蓋單體係在前述支撐部上，於垂直支軸之周圍，在退避位置與關閉作用位置之間，水平擺動自如地被軸支，自關閉作用位置往退避位置開動之各蓋單體之構成係位於被移載到升降運輸器上之一定位置之卡匣之兩側相當位置。
  6. 如申請專利範圍第2項所述之卡匣搬送裝置，其中，基板位置檢出裝置係在當前述蓋體於退避位置與關閉作用位置之間移動時，在與被移載到升降運輸器上之卡匣不相干涉之後退位置，與當蓋體在關閉作用位置時，接近卡匣之基板出入用開口部或進入其中之前進位置之間，前進後退自如地被安裝在前述蓋體上。
  7. 如申請專利範圍第2項所述之卡匣搬送裝置，其中，基板位置檢出裝置係在當前述蓋體於退避位置與關閉作用位置之間移動時，在與被移載到升降運輸器上之卡匣不相干涉之位置上，而且在蓋體位於關閉作用位置時，係在自卡匣之基板出入用開口部，能檢出卡匣內之基板之位置中，被固定於前述蓋體。
  8. 如申請專利範圍第1或2項所述之卡匣搬送裝置，其中，卡匣係在藉由卡匣移載用支撐座，往升降運輸器上被移載時之移動方向前端側，具有基板出入用開口部，前述蓋體係被固定在被移載至升降運輸器上時，與卡匣之基板出入用開口部相向之位置。
  9. 如申請專利範圍第1或2項所述之卡匣搬送裝置， 其中，前述支撐部之構成係以在垂直軸心周圍旋轉自如之轉台所構成，藉由前述轉台之180度旋轉，使卡匣移載用支撐座相對於前述卡匣搬送裝置之行走路徑左右任意側，也能水平出退移動。
TW099119271A 2009-09-04 2010-06-14 Cartridge transport device TWI419824B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009204223A JP5278698B2 (ja) 2009-09-04 2009-09-04 カセット搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201109259A TW201109259A (en) 2011-03-16
TWI419824B true TWI419824B (zh) 2013-12-21

Family

ID=43840184

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW099119271A TWI419824B (zh) 2009-09-04 2010-06-14 Cartridge transport device

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5278698B2 (zh)
KR (1) KR101351701B1 (zh)
CN (1) CN102009812B (zh)
TW (1) TWI419824B (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5901978B2 (ja) * 2011-04-11 2016-04-13 株式会社日立国際電気 基板処理装置、基板処理装置制御プログラム、及び半導体装置の製造方法
ITMI20121352A1 (it) 2012-08-01 2014-02-02 Martegani Piermarco Fattori Apparato e metodo di allerta a diffusione diretta
CN102887318B (zh) * 2012-10-24 2015-03-11 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板搬运系统及其卡匣和堆垛机
KR101421573B1 (ko) * 2013-02-15 2014-07-22 주식회사 신성에프에이 카세트 크레인의 맵핑 모듈
ES2938037T3 (es) * 2016-02-18 2023-04-04 Daifuku Kk Aparato de transporte de artículos
CN110718492B (zh) * 2019-09-23 2022-11-29 苏州均华精密机械有限公司 盘体收集模块及其方法
JP7366499B2 (ja) * 2019-11-20 2023-10-23 株式会社ディスコ 搬送車
CN114287753A (zh) * 2021-12-13 2022-04-08 山东华楷微电子装备有限公司 一种光刻机掩膜版的智能存取方法
CN114408572B (zh) * 2021-12-20 2024-04-26 江苏长欣车辆装备有限公司 一种玻璃生产车间使用的转运装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW471008B (en) * 1999-07-09 2002-01-01 Tokyo Electron Ltd Substrate transport device
JP2009038074A (ja) * 2007-07-31 2009-02-19 Tdk Corp 被収容物の処理方法及び当該方法に用いられる蓋開閉システム

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07101503A (ja) * 1993-10-01 1995-04-18 Daifuku Co Ltd クリーン装置付き台車
DE59611078D1 (de) * 1995-03-28 2004-10-14 Brooks Automation Gmbh Be- und Entladestation für Halbleiterbearbeitungsanlagen
US5674039A (en) * 1996-07-12 1997-10-07 Fusion Systems Corporation System for transferring articles between controlled environments
JPH1050802A (ja) * 1996-08-05 1998-02-20 Kokusai Electric Co Ltd 基板処理装置
JPH10139159A (ja) * 1996-11-13 1998-05-26 Tokyo Electron Ltd カセットチャンバ及びカセット搬入搬出機構
US6390754B2 (en) 1997-05-21 2002-05-21 Tokyo Electron Limited Wafer processing apparatus, method of operating the same and wafer detecting system
JP3528589B2 (ja) * 1998-04-22 2004-05-17 株式会社豊田自動織機 搬送車
JP2002083854A (ja) * 1999-07-09 2002-03-22 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置
US6318953B1 (en) * 1999-07-12 2001-11-20 Asyst Technologies, Inc. SMIF-compatible open cassette enclosure
JP2001168165A (ja) * 1999-12-06 2001-06-22 Murata Mach Ltd 無人搬送車
JP4320936B2 (ja) * 2000-07-28 2009-08-26 株式会社豊田自動織機 搬送車
KR100745969B1 (ko) * 2001-05-18 2007-08-02 동부일렉트로닉스 주식회사 반도체 웨이퍼 수납용 캐리어의 보관용기
JP4253150B2 (ja) * 2001-11-26 2009-04-08 シャープ株式会社 搬送システムと搬送方法
TWI282139B (en) * 2002-07-01 2007-06-01 Advanced Display Kabushiki Kai Carrying vehicle, manufacturing apparatus, and carrying system
JP2004087781A (ja) * 2002-08-27 2004-03-18 Ulvac Japan Ltd 真空処理装置及び真空処理方法
JP2007197164A (ja) * 2006-01-27 2007-08-09 Asyst Shinko Inc 垂直搬送装置
JP2010067700A (ja) * 2008-09-09 2010-03-25 Sharp Corp 基板カセット搬送装置および基板カセット搬入出装置
JP5136860B2 (ja) * 2008-09-12 2013-02-06 株式会社ダイフク 基板搬送設備

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW471008B (en) * 1999-07-09 2002-01-01 Tokyo Electron Ltd Substrate transport device
JP2009038074A (ja) * 2007-07-31 2009-02-19 Tdk Corp 被収容物の処理方法及び当該方法に用いられる蓋開閉システム

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110025601A (ko) 2011-03-10
CN102009812A (zh) 2011-04-13
TW201109259A (en) 2011-03-16
CN102009812B (zh) 2014-01-22
KR101351701B1 (ko) 2014-01-16
JP2011051770A (ja) 2011-03-17
JP5278698B2 (ja) 2013-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI419824B (zh) Cartridge transport device
KR100918348B1 (ko) 카세트 보관 및 피처리판의 처리설비
JP4953010B2 (ja) 基板収納用の収納容器
TWI388479B (zh) Warehousing
JP4215079B2 (ja) クリーンストッカと物品の保管方法
CN111942787A (zh) 一种自助杂货存取的终端及其内移动杂货箱的装置
KR20160084420A (ko) 물품 수납 설비
KR102277209B1 (ko) 스토커
JP7060940B2 (ja) 物品取出および／または投入装置、物品取出装置、並びに物品搬送システム
JP2021084728A (ja) 物品収納体移載システム
CN211392612U (zh) 一种存取系统
TWI465359B (zh) Transport system
JP2004217379A (ja) 処理及び保管設備
CN113044453A (zh) 一种存取系统
TWI733940B (zh) 檢查裝置
CN112850228A (zh) 一种机械自动化搬运装置
JP4065997B2 (ja) 台車式搬送装置
CN111573091A (zh) 物品保管设备
JP5332191B2 (ja) 移載装置
JP2003309163A (ja) 無人搬送車システム
JP7296853B2 (ja) 扉装置及び搬送システム
CN215400956U (zh) 一种流水线立体仓库
CN220300294U (zh) 一种物料运输装置
JP2003300608A (ja) 自動倉庫又は自動搬送設備
TWI606963B (zh) 物品收納設備