CN102009812B - 卡匣搬送装置 - Google Patents

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Abstract

一种卡匣搬送装置，当将收纳基板的卡匣自架体内搬送到基板搬出作业部时，将该卡匣的基板出入用开口部加以关闭，从而，在搬送途中，也能够使卡匣内的环境气体保持良好。在升降运输器(15)上，在该升降运输器(15)上的退入位置与进出到横向侧的进出位置之间，设有水平出退移动自如的卡匣移载用支撑座20，其特征在于：在升降运输器(15)上，在将卡匣移载用支撑座(20)水平出退移动自如地加以支撑的支撑部(转台16)设有盖体(22)，前述盖体(22)将在前述卡匣移载用支撑座(20)上被支撑而被移载到升降运输器(15)上的一定位置的卡匣(6)的基板出入用开口部(6a)加以关闭。

Description

卡匣搬送装置
技术领域
本发明涉及将被使用于电视显示器的玻璃基板等收纳的卡匣(カセツト)，特别是涉及被称作为洁净卡匣的搬送装置。
背景技术
收纳有如上所述玻璃基板的卡匣暂时被保管在自动仓库的架体上，当对于玻璃基板实施各种处理时，利用该自动仓库具有的行走天车，自架体搬送到处理装置附近的玻璃基板搬出作业部，在此，玻璃基板自卡匣内被玻璃基板取出用机器人取出而供给到处理装置。然而，被收纳在卡匣内的玻璃基板必须避免接触到被污染过的环境气体，因此，使用在其内部空间能够维持洁净环境的自动仓库，但是，若是大规模的自动仓库，由于将其大的内部空间全部维持洁净环境就需要很大的设备成本及维持成本，所以，开始充分利用被称作为洁净卡匣的卡匣，前述洁净卡匣具有将其内部空间维持洁净的功能。
即，洁净卡匣构成为仅一侧面被当作基板出入用开口部开放的矩形箱型，在该开口部的相反侧的侧壁上组装有风扇过滤器单元(FFU)，前述风扇过滤器单元(FFU)取入外部气体并经由过滤器送入到卡匣内，当被收纳在自动仓库的架体内时，通电到FFU而能够使卡匣内部维持洁净的环境气体。但是，当利用行走天车使前述洁净卡匣在架体与玻璃基板搬出作业部或玻璃基板搬入作业部之间搬送时，即使假设自该行走天车的升降运输器侧，能够通电到洁净卡匣的FFU，在卡匣的搬送途中，仓库内的环境气体也会自开放较大的基板出入用开口部进入，使卡匣内部空间的洁净度降低。这与卡匣是否装备有FFU或者仓库是否被维持洁净的环境气体无关地被关心，在卡匣的搬送中，最好使仓库内的环境气体不进入该卡匣内。
以前，例如如专利文献1记载所述，考虑到了在卡匣搬送装置的卡匣支撑部处事先设置将被搬送的卡匣收纳的洁净盒。
专利文献1：日本特开2003-174073号公报
发明内容
在上述专利文献1记载的构成中，被设于卡匣搬送装置的卡匣支撑部上的洁净盒是能够收纳卡匣的大型装置，由于具有与以前洁净卡匣的FFU同样的机构，因此，卡匣搬送装置成为大型且高价的装置。而且，由于洁净卡匣本身存在卡匣出入的较大开口部，所以，在搬送途中无法完全防止外部气体进入洁净盒内，进而进入被收纳在该洁净盒内的卡匣内。
本发明提供能够消除如上所述的现有技术的问题点的卡匣搬送装置，对于记载于第一方面本发明的卡匣搬送装置，当赋予下述实施形态的参照编号而表示时，在升降运输器15上，在该升降运输器15上的退入位置与进出到横向侧的进出位置之间，设有水平出退移动自如的卡匣移载用支撑座20，其特征在于：在升降运输器15上，在将卡匣移载用支撑座20水平出退移动自如地加以支撑的支撑部(转台16)设有盖体22，前述盖体22将在前述卡匣移载用支撑座20上被支撑而被移载到升降运输器15上的一定位置的卡匣6的基板出入用开口部6a加以关闭，在前述盖体22上设有基板位置检测装置30，前述基板位置检测装置30自该盖体22关闭的基板出入用开口部6a检测卡匣6内的基板10的收纳位置。
当实施上述本发明时，如第二方面发明所示，能够在前述盖体22上安装有基板位置检测装置30，前述基板位置检测装置30自该盖体22关闭的基板出入用开口部6a检测卡匣6内的基板10的收纳位置。
而且，当卡匣6在通过卡匣移载用支撑座20朝向升降运输器15上移载时的移动方向后端侧具有基板出入用开口部6a时，如第三方面发明所述，前述盖体22构成在卡匣移载路径外侧的退避位置与卡匣移载路径内的关闭作用位置之间移动自如。在此情况下，如第四方面发明所述，盖体22由左右一对盖单体23A，23B构成，前述左右一对盖单体23A，23B在卡匣移载路径两侧的退避位置与卡匣移载路径内的关闭作用位置之间移动自如，在关闭作用位置上的左右一对盖单体23A，23B构成为相互邻接而关闭卡匣6的基板出入用开口部6a，前述基板位置检测装置30可被安装在单侧的盖单体23A上。而且，在此情况下，如第五方面发明所述，左右一对盖单体23A，23B在垂直支轴25a，25b的周围，在退避位置与关闭作用位置之间水平摆动自如地被轴支撑在前述支撑部(转台16)上，自关闭作用位置向退避位置开动的各盖单体23A，23B构成为位于被移载到升降运输器15上的一定位置的卡匣6的两侧相当位置。
而且，如第二方面发明所示，当使基板位置检测装置30安装在盖体22时，如第六方面发明的记载所示，基板位置检测装置30在当盖体22在退避位置与关闭作用位置之间移动时不与被移载到升降运输器15上的卡匣6相干涉的后退位置与当盖体22在关闭作用位置时接近或进入卡匣6的基板出入用开口部6a的前进位置之间，前进后退自如地被安装在盖体22上，但是，如第七方面发明所示，基板位置检测装置30也可以在当盖体40在退避位置与关闭作用位置之间移动时不与被移载到升降运输器15上的卡匣6相干涉的位置，并且在盖体40位于关闭作用位置时能够自卡匣6的基板出入用开口部6a检测卡匣6内的基板10的位置，被固定于盖体40。
而且，卡匣6当在通过卡匣移载用支撑座20朝向升降运输器15上被移载时的移动方向前端侧具有基板出入用开口部6a时，如第八方面发明所示，前述盖体49能够被固定在被移载至升降运输器15上时与卡匣6的基板出入用开口部6a相向的位置。而且，如第九方面发明所示，前述支撑部由在垂直轴心周围旋转自如的转台16构成，并且构成为通过前述转台16的180度旋转，使卡匣移载用支撑座20相对于前述卡匣搬送装置的行走路径左右任意侧，也能够水平出退移动。
当使用第一方面所述的本发明的构成时，即使被处理的卡匣为基板出入用开口部以外的各侧面由壁材关闭，而且具有如上所述FFU的所谓洁净卡匣，由于在将通过卡匣移载用支撑座被移载到升降运输器上的一定位置的该卡匣的基板出入用开口部用盖体加以关闭的状态下可搬运，所以，即使并非构成为在搬送前述卡匣时可转动FFU，在搬送途中，也能够防止被污染的外部气体自基板出入用开口部进入卡匣内，而且，与在升降运输器上的一定位置设置卡匣收纳用的洁净盒的先前结构相比，由于只是在升降运输器侧设置盖体，所以，即使假设在并用将盖体加以开闭的驱动机构时，升降运输器侧的结构比较简单，升降运输器侧变得大型化的程度较小，能够比较便宜地实施。
而且，当使用第二方面发明所述的构成时，在以用前述盖体将基板出入用开口部加以关闭的状态搬送卡匣的期间，能够利用安装在前述盖体上的基板位置检测装置(地图传感器(マツピングセンサ一))取得被收纳于卡匣内的基板的收纳位置信息(地图数据(マツピングデ一タ))，与搬出到基板搬出作业部后利用基板位置检测装置来取得基板位置信息的情况相比，在该基板搬出作业部中，能够缩短通过基板取出用机器人将基板自卡匣内取出为止的循环时间。而且，由于在将卡匣的基板出入用开口部加以关闭的盖体上安装有基板位置检测装置，所以，与除了基板出入用开口部与将基板出入用开口部加以开闭的盖体之外，另外设置地图传感器用开口及将地图传感器用开口加以开闭的盖体，而且，必须设置相对于地图传感器用开口将地图传感器加以出入的机构的情况相比，能够使装置整体的构造及控制系统简单化，而且能够便宜地实施。
而且，当使用第三方面发明所述的构成时，由于前述卡匣搬送装置对于将卡匣加以送出入的架体的卡匣收纳舱，能够以卡匣的基板出入用开口部在与卡匣搬送装置的具有行走通路的一侧相反的卡匣收纳舱深处侧开口的方向收纳卡匣，所以，与以基板出入用开口部在卡匣搬送装置的具有行走通路的一侧开口的方向被收纳的情况相比，能够比较容易使卡匣内保持洁净的环境气体。而且，当使该卡匣通过卡匣移载用支撑座移载到卡匣搬送装置侧的升降运输器上时，能够用盖体将该卡匣的基板出入用开口部加以关闭，能够达成期望的目的。
在此情况下，当使用第四方面发明所述的构成时，与用由一个盖单体构成的盖体将卡匣的较大基板出入用开口部加以开闭的情况相比，在退避位置与关闭作用位置之间移动的盖单体可以变小，移动盖单体的机构构成可以变得容易，并且开闭盖体所需时间可以减半，能够缩短循环时间。而且，当使用第五方面发明所述的构成时，由于只要使左右一对盖单体单纯地在单轴周围水平摆动自如地被轴支撑即可，所以，盖单体的支撑结构或其驱动机构也变得简单。而且，由于可以使在退避位置的盖单体在被移载到升降运输器上的一定位置的卡匣两侧相当位置上，转向到沿着卡匣移载路径的方向，所以，能够使盖体开闭空间整体的宽度变窄。
而且，当使用第六方面发明所述的构成时，在用盖体将卡匣的基板出入用开口部加以关闭的状态下，当利用基板位置检测装置来检测基板位置时，能够使该基板位置检测装置的位置朝卡匣内伸入至必要深度。因此，作为基板位置检测装置，可以利用自上下方向将水平收纳在卡匣内的基板的水平板面加以检测的类型传感器，能够进行可靠的基板位置的检测。
另外，当使用第七方面发明所述的构成时，不需要使基板位置检测装置相对于盖体移动的机构或其控制系统，能够容易且便宜地实施本发明。在此情况下，只要是若干量，可以使基板位置检测装置自基板出入用开口部进入到卡匣内，所以，可以利用自上下方向将上述基板的水平板面加以检测的类型传感器，即使假设基板位置检测装置位于该种类型的传感器无法利用的位置的情况下，只要利用将基板周缘的垂直端面加以检测的类型传感器即可。
当卡匣搬送装置相对于使卡匣出入的架体的卡匣收纳舱，以卡匣的基板出入用开口部在卡匣搬送装置的具有行走通路的一侧开口的方向收纳卡匣时，能够根据第八方面发明所述的构成来实施本发明，不需要使盖体在退避位置与关闭作用位置之间移动的机构或其控制系统，能够非常便宜地实施本发明。
而且，当使用第九方面发明所述的构成时，可以在卡匣搬送装置的行走路径左右两侧配置卡匣收纳架体，或者，在该行走路径单侧配置卡匣收纳架体，并且在相反侧配置卸下卡匣而搬出基板的基板搬出作业部。在此情况下，由于盖体与卡匣移载用支撑座一体旋转，所以，在卡匣移载用支撑座自行走路径的左右任意侧接受卡匣的情况下，也能够使用该盖体将前述卡匣的基板出入用开口部加以关闭，并且通过将第二方面发明所述的构成加以组合，能够利用设于该盖体的基板位置检测装置，将卡匣内的基板的位置加以检测。
附图说明
图1A是表示利用本发明第一实施例的卡匣搬送装置的设备重要部位的俯视图；图1B是表示本发明第一实施例的卡匣搬送装置整体概略的侧视图；
图2是表示上述卡匣搬送装置中的升降运输器上的结构的横剖俯视图；
图3是表示上述升降运输器上的结构的省略前侧的盖体的侧视图；
图4是表示上述升降运输器上的盖体打开的状态的主视图；
图5A和图5B是表示使基板位置检测装置相对于盖体前后移动的机构实例的俯视图；
图6是表示上述卡匣搬送装置自单侧架体取出卡匣时的状态的横剖俯视图；
图7是表示上述卡匣搬送装置用盖体将自单侧架体取出的卡匣的基板出入用开口部关闭的状态的俯视图；
图8是图6的局部剖开侧视图；
图9是图7的侧视图；
图10A是表示卡匣被移载到升降运输器上的一定位置上的状态的放大局部横剖俯视图；图10B是在关闭盖体的状态下的重要部位的横剖俯视图；
图11是将图9的状态自相反侧看到的重要部位的放大局部纵剖侧视图；
图12是本发明第二实施例的卡匣移载用支撑座接受卡匣的状态的俯视图；
图13是表示盖体打开状态的重要部位的局部横剖俯视图；
图14是表示用盖体将被移载到升降运输器上的卡匣的基板出入用开口部关闭的状态的重要部位的局部横剖俯视图；
图15是本发明第三实施例的卡匣移载用支撑座接受卡匣的状态的俯视图；
图16是卡匣移载用支撑座将卡匣拉入升降运输器上的状态的重要部位的侧视图；
图17是表示通过卡匣移载用支撑座卡匣被移载到升降运输器上的一定位置后的状态的重要部位的局部纵剖侧视图。
附图标记说明
1卡匣搬送装置；
2A，2B架体；
3行走通路；
6洁净卡匣；
6a基板出入用开口部；
6b风扇过滤器单元(FFU)；
7卡匣收纳舱；
8基板搬出作业部；
9基板搬入作业部；
10玻璃基板；
11处理装置；
12基板取出用机器人装置；
13基板收纳用机器人装置；
15升降运输器；
16转台(卡匣移载用支撑座的支撑部)；
17卡匣移载机构；
20卡匣移载用支撑座；
21卡匣支撑件；
22，40，49盖体；
23A，23B，41A，41B盖单体；
23a，41a垂直板部；
23b，23c，41b，41c上下两水平板部；
24，44驱动机构；
26a，26b，38，43a，43b水平摆动臂；
29，36，39，48马达；
30基板位置检测装置；
31垂直支柱构件；
32传感器；
33滑动导轨；
35螺杆。
具体实施方式
基于图1～图11将本发明的第一实施例说明如下：如图1所示，本发明的卡匣搬送装置(カセツト搬送装置)1在两列并排设置的架体2A，2B之间的行走通路3中被铺设于地面上的支撑用导轨4支撑，并沿着两架体2A，2B自行行走。在两架体2A，2B上立体地配置有卡匣收纳舱7，该卡匣收纳舱7收纳洁净卡匣6，在单侧的架体2A处分别设有利用一个卡匣收纳舱7来构成的基板搬出作业部8及基板搬入作业部9，并且同时设置有基板取出用机器人装置12与基板收纳用机器人装置13，该基板取出用机器人装置12自被搬出到基板搬出作业部8的洁净卡匣6内，将基板10一块一块地取出并搬入到处理装置11，该基板收纳用机器人装置13使被处理装置11处理过的已处理基板10一块一块地收纳到在基板搬入作业部9处等待机的洁净卡匣6内。基板取出用机器人装置12及基板收纳用机器人装置13是众所周知的装置，在图面中省略了机器人装置的图示。
卡匣搬送装置1具有在行走方向前后的一对支柱14间升降的升降运输器15，在升降运输器15上安装有绕垂直轴心周围正反转自如的转台16，在前述转台16上设有卡匣移载机构17，该卡匣移载机构17用于使洁净卡匣6在架体2A，2B的卡匣收纳舱7或基板搬出作业部8及基板搬入作业部9间移载。
如图3、图4、图6及图8所示，前述卡匣移载机构17由固定滑轨座18、中段滑轨座19及卡匣移载用支撑座20构成，其中，固定滑轨座18在转台16上相对于卡匣搬送装置1的行走方向成直角横向地被固定，中段滑轨座19在前述固定滑轨座18上相对于卡匣搬送装置1的行走方向成直角横向且仅能往单侧出退移动自如地被支撑，卡匣移载用支撑座20在前述中段滑轨座19上与该中段滑轨座19的出退移动方向同方向且出退移动自如地被支撑，采用与设于先前自动仓库所采用的货物搬入搬出用堆垛机升降运输器上的行走叉子(ランニングフオ一ク)相同的驱动机构，卡匣移载用支撑座20与相对于固定滑轨座18的中段滑轨座19出退移动相联动而相对于中段滑轨座19出退移动，卡匣移载用支撑座20当俯视时能够在卡匣移载用支撑座20与固定滑轨座18重叠的退入位置与卡匣移载用支撑座20自固定滑轨座18往横向完全离去的进出位置之间水平出退移动。而且，通过使转台16旋转180度，能够使相对于卡匣搬送装置1行走方向的卡匣移载用支撑座20的出退移动方向在左右相反方向上进行改变。
如上所述构成的三段叉子形的卡匣移载机构17只不过是一实例，例如在背景部分中引用过的专利文献1中的记载的那样，也可以构成为利用在转台16与卡匣移载用支撑座20之间安装的链接机构(リンク機構)，使卡匣移载用支撑座20相对于转台16出退移动自如地支撑。总之，只要其构成不与下述盖体的开闭支撑机构相干涉，卡匣移载用支撑座20的出退移动机构可为任意构成。
根据如上所述构成的卡匣搬送装置1，通过前述卡匣搬送装置1的行走、升降运输器15的升降以及转台16的旋转，能够使卡匣移载机构17与架体2A，2B所具有的卡匣收纳舱7内的任意卡匣收纳舱7，或者相对于基板搬出作业部8或基板搬入作业部9的卡匣移载位置相对应。另外，在各卡匣收纳舱7、基板搬出作业部8及基板搬入作业部9，配置有将洁净卡匣6底部左右两侧边支撑的左右一对卡匣支撑件21。如图8所示，当把收纳于卡匣收纳舱7的洁净卡匣6出库时，以比出库对象的卡匣收纳舱7的卡匣支撑水平高度略低的水平高度(レベル)，使卡匣移载机构17与该出库对象的卡匣收纳舱7对应而停止后，如以前众所周知那样，通过进行将卡匣移载用支撑座20的出退运动与升降运输器15单位量的上升运动组合所构成的卡匣取出动作，能够使被收纳在卡匣收纳舱7内的洁净卡匣6移载到卡匣搬送装置1的升降运输器15上。将被基板搬出作业部8或基板搬入作业部9支撑的洁净卡匣6往卡匣搬送装置1侧移载，也以与上述同样的顺序来实施。
与上述相反地，当自卡匣搬送装置1的升降运输器15上，使洁净卡匣6入库到空的卡匣收纳舱7内时，使支撑洁净卡匣6的卡匣移载机构17，以比出库对象的卡匣收纳舱7的卡匣支撑水平高度略高的水平高度，使卡匣移载机构17与该入库对象的卡匣收纳舱7对应而停止后，如先前众所周知那样，通过进行将卡匣移载用支撑座20的出退运动与升降运输器15单位量的下降运动组合所构成的卡匣卸下动作，能够使卡匣移载用支撑座20上的洁净卡匣6左右两侧边，移载到入库对象的卡匣收纳舱7卡匣支撑件21上。使洁净卡匣6自卡匣搬送装置1往基板搬出作业部8或基板搬入作业部9移载的作业，也以与上述同样的顺序来实施。
如图11所示，洁净卡匣6是以水平状态上下多段地收纳玻璃基板10的箱型部件，除正面的基板出入用开口部6a以外的各面被壁部件关闭，在背面侧处设有将外部气体取入并经由过滤器送至卡匣内的风扇过滤器单元(FFU)6b。前述洁净卡匣6以其基板出入用开口部6a面向与架体2A，2B间的卡匣搬送装置1的具有行走通路3的一侧相反一侧的方向，即FFU6b面向具有行走通路3的一侧的方向被收纳在各架体2A，2B的卡匣收纳舱7内。
在能够使前述洁净卡匣6如上所述地在架体2A，2B的卡匣收纳舱7或基板搬出作业部8或基板搬入作业部9之间移载的卡匣搬送装置1设有盖体，前述盖体关闭支撑在升降运输器15上而被搬送的洁净卡匣6的前述基板出入用开口部6a。即，由相对于先前说明过的架体2A，2B的卡匣收纳舱7的收纳方向可知，利用卡匣移载用支撑座20移载到升降运输器15上的一定位置(卡匣移载用支撑座20到达退入位置时的位置)的洁净卡匣6的基板出入用开口部6a虽然在被移载到升降运输器15上的一定位置时的卡匣移动方向后侧朝后方开口，但是，如图2～图4所示，当该洁净卡匣6被移载到升降运输器15上的一定位置时关闭，前述基板出入用开口部6a的盖体22设于在升降运输器15上支撑卡匣移载机构17的转台16上。
前述盖体22由左右一对盖单体23A，23B及与两盖单体23A，23B同时联动而进行开闭运动的驱动机构24构成。各盖单体23A，23B的外端底部固定在一端分别通过垂直支轴25a，25b轴支撑在转台16的水平摆动臂26a，26b的游动端处，各盖单体23A，23B由以前述垂直支轴25a，25b为中心的圆弧形垂直板部23a及自该圆弧形垂直板部23a上下两侧缘往具有垂直支轴25a，25b的一侧沿水平连续设置的上下两水平板部23b，23c构成。前述左右一对水平摆动臂26a，26b自形成于转台16与卡匣移载机构17的固定滑轨座18之间的空间内延伸至外侧。
驱动机构24设置于转台16内，由一对平齿轮27a，27b和马达29构成，其中，一对平齿轮27a，27b通过前述垂直支轴25a，25b分别与水平摆动臂26a，26b联动而且相互咬合，马达29在输出轴具有与一边平齿轮27a相咬合的平齿轮28，该驱动机构24通过转动前述马达29能够使两水平摆动臂26a，26b相互联动，可在所需角度范围内进行正反转驱动。通过前述两水平摆动臂26a，26b在所需角度范围内的正反转，被固定支撑在前述两水平摆动臂26a，26b前端的左右一对盖单体23A，23B，在如图2、图6及图10A所示的向卡匣移载机构17的左右两外侧打开并退避的退避位置与如图7及图10B所示的关闭作用位置之间对称地同步进行水平摆动运动，前述关闭作用位置是指两盖单体23A，23B处于圆弧形垂直板部23a的垂直内端边相互邻接，并且上下两水平板部23b，23c的水平内侧边相互邻接的位置。
更详细地说明如下：当左右一对盖单体23A，23B位于图2、图6及图10A所示的退避位置时，前述圆弧形垂直板部23a，如上所述，位于卡匣移载机构17的卡匣移载用支撑座20自进出位置在与升降运输器15上的退入位置之间出退移动时支撑在该卡匣移载用支撑座20上的洁净卡匣6的移动轨迹，即卡匣移载路径的外侧，而且，两盖单体23A，23B的上下两水平板部23b，23c，在俯视中，位于卡匣移载机构17的卡匣移载用支撑座20的出退移动路径外侧，并且如图4假想线及图11所示，位于比被该卡匣移载用支撑座20支撑的洁净卡匣6的上下两面水平高度少许离开上下两外侧的位置。因此，按照如上所述的顺序，当把洁净卡匣6自架体2A，2B的卡匣收纳舱7内移载到升降运输器15上时，使左右一对盖单体23A，23B向左右打开而移动到图2、图6及图10A所示的退避位置，由此，卡匣移载机构17的出退移动的卡匣移载用支撑座20或被支撑在其上的洁净卡匣6不与退避位置的盖单体23A，23B产生干涉。
当支撑洁净卡匣6的卡匣移载用支撑座20到达升降运输器15上的退入位置，而被支撑在其上的洁净卡匣6到达升降运输器15上的一定位置时，使驱动机构24的马达29正转驱动，通过水平摆动臂26a，26b使左右一对单盖体23A，23B自退避位置移动至前述关闭作用位置而进行关闭。其结果，如上所述，如图7及图10B所示，两盖单体23A，23B的圆弧形垂直板部23a的垂直内端边相互邻接，并且上下两水平板部23b，23c的水平内侧边相互邻接，由两盖单体23A，23B圆弧形垂直板部23a与上下两水平板部23b，23c形成关闭洁净卡匣6的基板出入用开口部6a的盖体空间。此时，两盖单体23A，23B的圆弧形垂直板部23a的垂直外端边及上下两水平板部23b，23c的相互一直线状连续的水平侧边，隔着间隙而外嵌在洁净卡匣6的基板出入用开口部6a外侧。
在能够如上所述地作用的盖体22上，在前述单侧的盖单体23A内侧安装有基板位置检测装置30，该基板位置检测装置30检测洁净卡匣6内的玻璃基板10的收纳位置。前述基板位置检测装置30在垂直支柱构件31上沿上下方向隔着规定间隔安装有检测玻璃基板10的传感器32，该基板位置检测装置30构成为，如图10B及图11的实线所示，该垂直支柱构件31能够在前进位置F与后退位置R之间移动，前述前进位置F是各传感器32的前端感知部进入至隔着适当间隙与洁净卡匣6内的各段玻璃基板10周边部重叠的位置，前述后退位置R是接近盖单体23A的圆弧形垂直板部23a的位置。具体来说，如图5A所示，例如在盖单体23A的下侧水平板部23c上，在接近与盖单体23B下侧水平板部23c相邻接的水平内侧边的位置，与该水平内侧边平行地铺设有滑动导轨33，在该滑动导轨33上前后移动自如地支撑有基板位置检测装置30(垂直支柱构件31)的下端，沿着前述滑动导轨33使基板位置检测装置30(垂直支柱构件31)前后往复移动，作为使基板位置检测装置30前后往复移动的驱动机构，有螺杆式驱动机构、图示省略的利用液压缸的驱动机构等，其中，螺杆式驱动机构将螺纹贯穿垂直支柱构件31侧的内螺纹体34的螺杆35与滑动导轨33平行地支撑为只能自转，并设置有使前述螺杆35正反转驱动的马达26。
另外，在使基板位置检测装置30在前进位置F与后退位置R之间往复移动的结构中，前述滑动导轨33并不是必须有的构件。例如，如图5B所示，也可以利用水平摆动臂38，该水平摆动臂38在前端固定基板位置检测装置30(垂直支柱构件31)的下端，而另一端部被垂直支轴37支承。在此情况下，作为使该水平摆动臂38前后往复摆动的驱动机构，除了使前述垂直支轴37正反转驱动的马达39之外，还有省略图示的螺杆式驱动机构、使用液压缸的驱动机构等。而且，滑动导轨33或水平摆动臂38也可以利用盖单体23A的上下两水平板部23b，23c设置成上下一对，以便支撑基板位置检测装置30(垂直支柱构件31)的上下两端。
如上所述，安装在单侧盖单体23A内侧的基板位置检测装置30的后退位置R被设定成，当盖单体23A在退避位置与关闭作用位置间进行开闭运动时，被移载到升降运输器15上的一定位置的洁净卡匣6与位于后退位置R的基板位置检测装置30相互不干涉，并且，当盖单体23A在退避位置时，位于后退位置R的基板位置检测装置30处在伴随卡匣移载机构17的卡匣移载用支撑座20的出退移动的卡匣移载路径的外侧。
根据以上的结构，在盖体22的两盖单体23A，23B打开并在退避位置待机的状态下，当利用卡匣移载机构17将洁净卡匣6从架体2A，2B的卡匣收纳舱7取出至升降运输器15上的一定位置时，使盖体22关闭该洁净卡匣6的基板出入用开口部6a，并且，通过该盖体22具有的基板位置检测装置30能够取得收纳于洁净卡匣6内的玻璃基板10的收纳位置信息。即，当两盖单体23A，23B在退避位置待机时，单侧盖单体23A具有的基板位置检测装置30在后退位置待机，如果通过驱动机构24使前述两盖单体23A，23B关闭到关闭作用位置，并利用两盖单体23A，23B关闭相对于被移载到升降运输器15上的一定位置的洁净卡匣6的移载方向在后侧朝后方开口的基板出入用开口部6a，则使在后退位置R上待机的基板位置检测装置30移动至前进位置F。其结果，基板位置检测装置30的各传感器32的前端感知部以所需量进入到洁净卡匣6内的各段基板收纳舱内，各传感器32中仅与收纳于基板收纳舱的玻璃基板10的周边部板面相向的传感器32输出玻璃基板存在的ON信号，所以，能够根据基板位置检测装置30的各传感器32的ON/OFF的信息，取得前述洁净卡匣6中的玻璃基板10的收纳位置信息(地图数据)。
由前述基板位置检测装置30取得洁净卡匣6内的玻璃基板10的收纳位置信息是在盖体22将洁净卡匣6的基板出入用开口部6a关闭后，基板位置检测装置30自后退位置R切换到前进位置F不久加以实施，如果必要信息取得结束后，最好立刻使基板位置检测装置30自前进位置F退回到后退位置R。取得的玻璃基板10的收纳位置信息被传送到基板取出用机器人装置12，前述基板取出用机器人装置12自被移载到基板搬出作业部8的洁净卡匣6内一块一块地取出玻璃基板10并送到处理装置11。另外，通过卡匣移载机构17被移载到升降运输器15上的一定位置，并且通过盖体22关闭基板出入用开口部6a的洁净卡匣6，由于升降运输器15的升降运动与卡匣搬送装置1的行走，被搬送至对应于基板搬出作业部8的移载位置。此时，如果洁净卡匣6从具有基板搬出作业部8的架体2A相反侧的架体2B搬出，则前述基板出入用开口部6a的开口方向朝向与具有基板搬出作业部8的一侧相反的方向，所以，在搬送途中等使转台16旋转180度，使该洁净卡匣6的基板出入用开口部6a转向到具有基板搬出作业部8的一侧。此时，由于盖体22及开闭该盖体22的驱动机构24设于转台16上，因此，洁净卡匣6及关闭其基板出入用开口部6a的盖体22一体旋转180度。
如果利用卡匣搬送装置1将洁净卡匣6搬送至对应于基板搬出作业部8的移载位置，则打开关闭该洁净卡匣6的基板出入用开口部6a的盖体22。即，利用驱动机构24打开位于关闭作用位置的两盖单体23A，23B，并使其移动到卡匣移载路径的左右两侧的退避位置。由于直到此时基板位置检测装置30退回到后退位置R，因此，在盖体22打开时，基板位置检测装置30与洁净卡匣6相互不干涉。当盖体22的打开结束时，如上所述，进行由卡匣移载机构17的卡匣移载用支撑座20的出退运动与升降运输器15单位量的下降运动所组合成的卡匣卸下动作，使支撑在升降运输器15上的一定位置的洁净卡匣6搬出移载到基板搬出作业部8即可。之后，如上所述，基板取出用机器人装置12根据之前被给予的基板收纳位置信息(地图数据)被自动控制，从被移载到基板搬出作业部8的洁净卡匣6内一块一块地取出玻璃基板10并送入下一段的处理装置11。
在处理装置11处理完毕的玻璃基板10，通过基板收纳用机器人装置13自动地收纳到在基板搬入作业部9处待机的洁净卡匣6内。如果在该洁净卡匣6内收纳有规定数量的玻璃基板10，该洁净卡匣6通过卡匣搬送装置1回到架体2A，2B的空的卡匣收纳舱7内，或者被送出到其他搬送线。
接着，参照图12～图14说明本发明的第二实施例。构成此实施例盖体40的左右一对盖单体41A，41B在转台16上，将该盖单体41A，41B的外端部底面固定于在向左右外侧离开的位置一端通过垂直支轴42a，42b水平摆动自如地轴支撑的左右一对水平摆动臂43a，43b前端部上，由此，左右一对盖单体41A，41B被支撑为能够在前述垂直支轴42a，42b周围水平地进行开闭运动。使前述两盖单体41A，41B同时联动而开闭运动的驱动机构44是内置于转台16的机构，其由一对平齿轮46a，46b及马达48构成，前述一对平齿轮46a，46b通过前述垂直支轴42a，42b及链条传动机构42a，45b分别与水平摆动臂43a，43b联动且相互咬合，前述马达48在输出轴具有与一侧的平齿轮46a相咬合的平齿轮47，通过转动前述马达48，两水平摆动臂43a，43b相互联动，在所需角度范围内能够进行正反转驱动。通过前述两水平摆动臂43a，43b在所需角度范围内的正反转，被固定支撑在前述两水平摆动臂43a，43b前端的左右一对盖单体41A，41B，在如图12及图13所示的退避位置与如图14所示的关闭作用位置之间，对称地同步进行水平摆动运动，前述退避位置是左右一对盖单体41A，41B向与卡匣移载机构17的卡匣移载用支撑座20的出退移动相伴随的卡匣移载路径的左右两外侧打开而退避的位置，前述关闭作用位置是两盖单体41A，41B在横断前述卡匣移载路径的方向上相互邻接，并关闭被移载到升降运输器15上的一定位置的洁净卡匣6的基板出入用开口部6a的位置。
此第二实施例的特征在于，使成为水平摆动臂43a，43b旋转中心的垂直支轴42a，42b的位置，比第一实施例中的成为水平摆动臂26a，26b旋转中心的垂直支轴25a，25b的位置，还要靠近卡匣移载路径的左右外侧，而且靠近前方(卡匣移载用支撑座20的进出移动方向)，由此，能够使构成盖单体41A，41B的上下两水平板部41b，41c间的向垂直板部41a前方突出的部分减小，另外，也能够使基板位置检测装置30固定在单侧的盖单体41A内端部内侧。
即，固定在单侧的盖单体41A内端部内侧的基板位置检测装置30，当被切换到关闭作用位置的两盖单体41A，41B关闭被移载到升降运输器15上的一定位置的洁净卡匣6的基板出入用开口部6a时，传感器32的前端感知部进入基板出入用开口部6a内，能够检测被收纳于洁净卡匣6内的玻璃基板6的周边部板面，但是，使盖单体41A，41B自关闭作用位置切换到卡匣移载路径的左右两侧的退避位置时，基板位置检测装置30的垂直支轴42a，42b周围的转动轨迹通过被移载到升降运输器15上的一定位置的洁净卡匣6外侧，被固定位置的基板位置检测的装置30与洁净卡匣6互不干涉。而且，被切换到卡匣移载路径的左右两侧的退避位置的两盖单体41A，41B，其整体在卡匣移载路径外侧，而且其方向与该卡匣移载路径大致平行。
接着，参照图15～图17说明本发明第三实施例。在本实施例中，洁净卡匣6以基板出入用开口部6a朝向图1A所示的卡匣搬送装置1的行走通路3开口的方向，即与上述实施例相反的方向，被收纳在架体2A，2B的卡匣收纳舱7。因此，当升降运输器15上的卡匣移载机构17的卡匣移载用支撑座20，自架体2A，2B的卡匣收纳舱7搬出洁净卡匣6并移载到升降运输器15上的一定位置时，由于洁净卡匣6以基板出入用开口部6a位于移动方向前端的方向移动到升降运输器15上，所以，当前述洁净卡匣6到达升降运输器15上的一定位置时，盖体49在相对于转台16位置被固定的状态下配设在关闭前述基板出入用开口部6a的位置。
即，通过支撑构件50安装在被固定于转台16上的卡匣移载机构17的固定滑轨座18后端部(与卡匣移载用支撑座20的进出移动侧相反的一侧)的盖体49为一块板状物，其具有能够关闭洁净卡匣6的基板出入用开口部6a整体的尺寸，在关闭前述洁净卡匣6的基板出入用开口部6a的一侧，直接固定有基板位置检测装置30。因此，当被卡匣移载用支撑座20支撑并搬送到升降运输器15侧的洁净卡匣6到达该升降运输器15上的一定位置时，盖体49关闭该洁净卡匣6的基板出入用开口部6a的同时，基板位置检测装置30的各传感器32进入到洁净卡匣6内的各段基板收纳舱内，成为能够检测支撑在该基板收纳舱内的玻璃基板10的周边部板面的状态。
在上述各实施例中，作为基板位置检测装置30的传感器32，虽然使用自上下方向与支撑在洁净卡匣6内的各段基板收纳舱内的玻璃基板10周边部的水平板面相向而能够检测该玻璃基板10的周边部板的传感器32，但是，也可以利用检测玻璃基板10周缘的垂直端面的传感器。在此情况下，当盖体22，40，49关闭洁净卡匣6的基板出入用开口部6a时，基板位置检测装置30的传感器的前端感知部无需进入到与洁净卡匣6内的玻璃基板10的周边部板面相重叠的位置，根据传感器的能力，即使自不进入洁净卡匣6内的位置，也能够取得内部的玻璃基板10的收纳位置信息。
而且，在第一实施例或第二实施例中，在通过卡匣移载机构17的卡匣移载用支撑座20，使洁净卡匣6拉入至少许超过升降运输器15上的一定位置的退入极限位置，之后，通过卡匣移载用支撑座20的前进移动，以基板出入用开口部6a位于移动方向的前端的方向，使洁净卡匣6移动到原来的一定位置的情况下，以使洁净卡匣6拉入前述退入极限位置后的状态，使盖体22，40关闭到关闭作用位置，之后，通过使前述退入极限位置上的洁净卡匣6回到一定位置，相对于在关闭作用位置待机的盖体22，40接近移动的洁净卡匣6的基板出入用开口部6a被该盖体22，40关闭。
根据上述结构，很容易构成为在盖体22，40关闭时，该盖体22，40或被安装于该盖体22，40的基板位置检测装置30不与洁净卡匣6相干涉，而且，即使不使基板位置检测装置30相对于盖体22，40移动，结果，能够相对容易地使基板位置检测装置30传感器32的前端感知部进入洁净卡匣6内的必要深度。
工业实用性
本发明的卡匣搬送装置，能够作为从保管用架体取出将使用于电视显示器的玻璃基板收纳的洁净卡匣，并且用于使前述洁净卡匣向基板搬出作业部搬送的卡匣搬送装置，尤其能够作为在搬送中能够取得洁净卡匣内的玻璃基板的收纳位置信息的卡匣搬送装置而充分利用，其中，基板搬出作业部用于将玻璃基板向处理装置送入。

Claims (6)

1.一种卡匣搬送装置，在升降运输器上，在该升降运输器上的退入位置与进出到横向侧的进出位置之间，设有水平出退移动自如的卡匣移载用支撑座，该卡匣搬送装置的特征在于，
在升降运输器上，在将卡匣移载用支撑座水平出退移动自如地加以支撑的支撑部设有盖体，前述盖体将在前述卡匣移载用支撑座上被支撑而被移载到升降运输器上的一定位置的卡匣的基板出入用开口部加以关闭；
前述卡匣在通过卡匣移载用支撑座朝向升降运输器上移载时的移动方向后端侧具有基板出入用开口部，前述盖体构成为在卡匣移载路径外侧的退避位置与卡匣移载路径内的关闭作用位置之间移动自如；
前述盖体由左右一对盖单体构成，前述左右一对盖单体在卡匣移载路径两侧的退避位置与卡匣移载路径内的关闭作用位置之间移动自如，在关闭作用位置上的左右一对盖单体构成为相互邻接而关闭卡匣的基板出入用开口部，左右一对盖单体在垂直支轴的周围，在退避位置与关闭作用位置之间水平摆动自如地被轴支撑在前述支撑部上，自关闭作用位置向退避位置开动的各盖单体构成为位于被移载到升降运输器上的一定位置的卡匣的两侧相当位置。
2.如权利要求1所述的卡匣搬送装置，其特征在于，在前述盖体上设有基板位置检测装置，前述基板位置检测装置自该盖体关闭的基板出入用开口部检测卡匣内的基板的收纳位置。
3.如权利要求2所述的卡匣搬送装置，其特征在于，基板位置检测装置在当前述盖体在退避位置与关闭作用位置之间移动时不与被移载到升降运输器上的卡匣相干涉的后退位置与当盖体在关闭作用位置时接近或进入卡匣的基板出入用开口部的前进位置之间，前进后退自如地被安装在前述盖体上。
4.如权利要求2所述的卡匣搬送装置，其特征在于，基板位置检测装置在当前述盖体在退避位置与关闭作用位置之间移动时不与被移载到升降运输器上的卡匣相干涉的位置，并且在盖体位于关闭作用位置时能够自卡匣的基板出入用开口部检测卡匣内的基板的位置，被固定于前述盖体。
5.如权利要求1或2所述的卡匣搬送装置，其特征在于，卡匣在通过卡匣移载用支撑座朝向升降运输器上被移载时的移动方向前端侧具有基板出入用开口部，前述盖体固定在被移载至升降运输器上时与卡匣的基板出入用开口部相向的位置。
6.如权利要求1或2所述的卡匣搬送装置，其特征在于，前述支撑部由在垂直轴心周围旋转自如的转台构成，并且构成为通过前述转台的180度旋转，使卡匣移载用支撑座相对于前述卡匣搬送装置的行走路径左右任意侧，也能够水平出退移动。
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