JP2001168165A - 無人搬送車 - Google Patents
無人搬送車Info
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- JP2001168165A JP2001168165A JP34570199A JP34570199A JP2001168165A JP 2001168165 A JP2001168165 A JP 2001168165A JP 34570199 A JP34570199 A JP 34570199A JP 34570199 A JP34570199 A JP 34570199A JP 2001168165 A JP2001168165 A JP 2001168165A
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- guided vehicle
- automatic guided
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- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- -1 thin plate Substances 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Handcart (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 無人搬送車２で搬送するカセット２２を覆う
ように、円筒状で開口を備えたシャッター８を設け、上
部のフィルターファンユニット６に取り付けて、回動モ
ータ１０で回動させる。 【効果】 搬送時は、シャッター８でカセット２２の両
側部を覆い、フィルターファンユニット６からのクリー
ンエアーで流れ内に配置することができる。移載時には
シャッター８を回動させて、開口から移載できる。
ように、円筒状で開口を備えたシャッター８を設け、上
部のフィルターファンユニット６に取り付けて、回動モ
ータ１０で回動させる。 【効果】 搬送時は、シャッター８でカセット２２の両
側部を覆い、フィルターファンユニット６からのクリー
ンエアーで流れ内に配置することができる。移載時には
シャッター８を回動させて、開口から移載できる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】この発明は無人搬送車に関し、特に
搬送物品の汚染防止用のシャッターに関する。
搬送物品の汚染防止用のシャッターに関する。
【０００２】
【従来技術】クリーンルーム内で物品を搬送する無人搬
送車では、搬送中の物品の汚染を防止するため、無人搬
送車の側面の搬出入口をシャッターで開閉することが行
われている。シャッターとして最もコンパクトなものは
巻き上げ式のシャッターであるが、これは巻き取り時に
シャッターの内面と外面とが接触し、汚れた外面から内
面へ汚染が移行する恐れがある。この問題を解決するた
め、板状のシャッターを上下あるいは左右へスライドさ
せるものも提案されているが、コンパクトにできない。
送車では、搬送中の物品の汚染を防止するため、無人搬
送車の側面の搬出入口をシャッターで開閉することが行
われている。シャッターとして最もコンパクトなものは
巻き上げ式のシャッターであるが、これは巻き取り時に
シャッターの内面と外面とが接触し、汚れた外面から内
面へ汚染が移行する恐れがある。この問題を解決するた
め、板状のシャッターを上下あるいは左右へスライドさ
せるものも提案されているが、コンパクトにできない。
【０００３】
【発明の課題】この発明の課題は、コンパクトなシャッ
ターで、搬送物品の汚染を防止することにある（請求項
１〜３）。請求項２の発明での追加の課題は、シャッタ
ーが移載装置に干渉しないようにすることにある。請求
項３の発明での追加の課題は、シャッター内にクリーン
エアーを送気すると共に、シャッターの回動機構からの
発塵を防止することにある。
ターで、搬送物品の汚染を防止することにある（請求項
１〜３）。請求項２の発明での追加の課題は、シャッタ
ーが移載装置に干渉しないようにすることにある。請求
項３の発明での追加の課題は、シャッター内にクリーン
エアーを送気すると共に、シャッターの回動機構からの
発塵を防止することにある。
【０００４】
【発明の構成】この発明の無人搬送車は、少なくとも１
個の開口を備えた筒状のシャッターを、無人搬送車の物
品収容部を囲むように設けて、前記開口が物品収容部の
左右の搬出入口の少なくとも一方を向いた状態と、左右
の搬出入口とは共に異なる向きを向いた状態との間で、
前記シャッターを回動させるための回動手段を設けたも
のである（請求項１）。
個の開口を備えた筒状のシャッターを、無人搬送車の物
品収容部を囲むように設けて、前記開口が物品収容部の
左右の搬出入口の少なくとも一方を向いた状態と、左右
の搬出入口とは共に異なる向きを向いた状態との間で、
前記シャッターを回動させるための回動手段を設けたも
のである（請求項１）。
【０００５】またこの発明の無人搬送車は、少なくとも
１個の開口を備え、かつ軸がほぼ鉛直方向を向いた筒状
のシャッターを、無人搬送車の物品収容部を囲むように
設けて、前記開口が、無人搬送車の前後方向を向いた状
態と、物品収容部の左右の搬出入口の少なくとも一方を
向いた状態との間で、前記シャッターを回動させるため
の回動手段を設けたものである（請求項２）。好ましく
は、前記シャッターの上部に、フィルターファンユニッ
トを設けて、シャッター内にクリーンエアーを送気さ
せ、かつ該フィルターファンユニットの上部に、前記回
動手段を設ける。
１個の開口を備え、かつ軸がほぼ鉛直方向を向いた筒状
のシャッターを、無人搬送車の物品収容部を囲むように
設けて、前記開口が、無人搬送車の前後方向を向いた状
態と、物品収容部の左右の搬出入口の少なくとも一方を
向いた状態との間で、前記シャッターを回動させるため
の回動手段を設けたものである（請求項２）。好ましく
は、前記シャッターの上部に、フィルターファンユニッ
トを設けて、シャッター内にクリーンエアーを送気さ
せ、かつ該フィルターファンユニットの上部に、前記回
動手段を設ける。
【０００６】
【発明の作用と効果】請求項１の発明では、筒状のシャ
ッターの回動により、開口が物品収容部の左右の搬出入
口の少なくとも一方を向いて、物品の移載が可能な状態
と、シャッターが搬出入口を覆って、物品の移載が不能
な状態との間を切り替える。シャッターを巻き上げるの
ではなく回動させるため、シャッターの内面と外面とが
接触するとの問題は生じず、上下や左右にシャッターを
移動させるのではないので、筒状のシャッターを設置で
きれば良く、コンパクトにできる。さらに無人搬送車の
左右の搬出入口を、１つのシャッターで開閉できる。
ッターの回動により、開口が物品収容部の左右の搬出入
口の少なくとも一方を向いて、物品の移載が可能な状態
と、シャッターが搬出入口を覆って、物品の移載が不能
な状態との間を切り替える。シャッターを巻き上げるの
ではなく回動させるため、シャッターの内面と外面とが
接触するとの問題は生じず、上下や左右にシャッターを
移動させるのではないので、筒状のシャッターを設置で
きれば良く、コンパクトにできる。さらに無人搬送車の
左右の搬出入口を、１つのシャッターで開閉できる。
【０００７】請求項２の発明では、筒状のシャッターの
軸をほぼ鉛直方向に向けて配置し、開口が無人搬送車の
前後方向を向いた状態と、左右の搬出入口を向いた状態
との間で、シャッターを回動させる。するとシャッター
を物品の底面側まで回動させる必要がないので、シャッ
ターと移載装置との干渉を小さくできる。またシャッタ
ーの内外両面が接触せず、かつ円筒状のシャッターを収
容するだけのスペースがあれば設置でき、さらに１つの
シャッターで左右双方の搬出入口を開閉できる。ここで
シャッターの上部にフィルターファンユニットを設けて
クリーンエアーをシャッター内に送気すると、物品をク
リーンエアーの流れ内に配置でき、かつフィルターファ
ンユニットの上部にシャッターの回動手段を設けると、
回動手段での発塵をフィルターファンユニットで処理で
きるので、シャッターの内外の汚染も防止できる（請求
項３）。
軸をほぼ鉛直方向に向けて配置し、開口が無人搬送車の
前後方向を向いた状態と、左右の搬出入口を向いた状態
との間で、シャッターを回動させる。するとシャッター
を物品の底面側まで回動させる必要がないので、シャッ
ターと移載装置との干渉を小さくできる。またシャッタ
ーの内外両面が接触せず、かつ円筒状のシャッターを収
容するだけのスペースがあれば設置でき、さらに１つの
シャッターで左右双方の搬出入口を開閉できる。ここで
シャッターの上部にフィルターファンユニットを設けて
クリーンエアーをシャッター内に送気すると、物品をク
リーンエアーの流れ内に配置でき、かつフィルターファ
ンユニットの上部にシャッターの回動手段を設けると、
回動手段での発塵をフィルターファンユニットで処理で
きるので、シャッターの内外の汚染も防止できる（請求
項３）。
【０００８】
【実施例】図１〜図４に、実施例の無人搬送車２を示
す。この無人搬送車２は、クリーンルーム等で半導体基
板や液晶基板等を搭載したカセット等の物品を搬送する
ものである。４は無人搬送車２の走行部で、６は円柱状
あるいは角柱状等のフィルターファンユニットで、８は
円筒状のシャッターで、帯電防止済みのプラスチックの
シートや薄板、金属等を用いる。１０は回動モータで、
フィルターファンユニット６とシャッター８とを一体
に、例えば９０゜左右に回動させるためのもので、金属
板等から成る取り付け部１２に設置してある。シャッタ
ー８は円筒状に限らず角筒状等でも良く、またフィルタ
ーファンユニット６と共に回動させる必要はなく、回動
モータ１０で直接シャッター８のみを回動させても良
い。シャッター８には、その軸方向に沿って延びる開口
２６が例えば１カ所に設けてあり、その幅は物品２２を
搬出入できるだけの幅とする。１４は開口２６を塞ぐた
めのシールドで、無人搬送車２の前後のフレーム２４を
シールド１４に兼用しても良い。
す。この無人搬送車２は、クリーンルーム等で半導体基
板や液晶基板等を搭載したカセット等の物品を搬送する
ものである。４は無人搬送車２の走行部で、６は円柱状
あるいは角柱状等のフィルターファンユニットで、８は
円筒状のシャッターで、帯電防止済みのプラスチックの
シートや薄板、金属等を用いる。１０は回動モータで、
フィルターファンユニット６とシャッター８とを一体
に、例えば９０゜左右に回動させるためのもので、金属
板等から成る取り付け部１２に設置してある。シャッタ
ー８は円筒状に限らず角筒状等でも良く、またフィルタ
ーファンユニット６と共に回動させる必要はなく、回動
モータ１０で直接シャッター８のみを回動させても良
い。シャッター８には、その軸方向に沿って延びる開口
２６が例えば１カ所に設けてあり、その幅は物品２２を
搬出入できるだけの幅とする。１４は開口２６を塞ぐた
めのシールドで、無人搬送車２の前後のフレーム２４を
シールド１４に兼用しても良い。
【０００９】１６は移載装置のスカラーアームで、１８
はスカラーアーム１６を例えば１８０゜回転させるため
のターンテーブルで、２０はカセット２２を載置するた
めの載置部である。開口２６は例えば２カ所に設けても
良いが、シールド１４を１個で済ませるため、好ましく
は１ケ所に設ける。そしてシャッター８は、開口２６が
シールド１４を向いた状態と、無人搬送車２の左右の搬
出入口を向いた状態との間で回動する。シャッター８の
回動に必要な角度は、例えば±９０゜である。
はスカラーアーム１６を例えば１８０゜回転させるため
のターンテーブルで、２０はカセット２２を載置するた
めの載置部である。開口２６は例えば２カ所に設けても
良いが、シールド１４を１個で済ませるため、好ましく
は１ケ所に設ける。そしてシャッター８は、開口２６が
シールド１４を向いた状態と、無人搬送車２の左右の搬
出入口を向いた状態との間で回動する。シャッター８の
回動に必要な角度は、例えば±９０゜である。
【００１０】シャッター８の底部と走行部４の上面との
間にはスペースを設けて、フィルターファンユニット６
からのクリーンエアーが、この隙間から排出されるよう
にする。図１，図２に、フィルターファンユニット６か
らのクリーンエアーの流れを白抜き矢印で示す。
間にはスペースを設けて、フィルターファンユニット６
からのクリーンエアーが、この隙間から排出されるよう
にする。図１，図２に、フィルターファンユニット６か
らのクリーンエアーの流れを白抜き矢印で示す。
【００１１】図３，図４に、フィルターファンユニット
６の配置を示すと、３２はフィルターファンユニット６
の上部に設けた吸い込み部である。３４はフィルターフ
ァンユニット６への給電用のケーブルベアで、図４に示
すように、固定端３６から屈曲した状態で引き出し、フ
ィルターファンユニット６が９０゜回動しても給電でき
るようにする。回動モータ１０の回動やケーブルベア３
４の運動により、フィルターファンユニット６の上部で
は発塵が生じるが、これらは吸い込み部３２からフィル
ターファンユニット６へ吸引されて処理され、シャッタ
ー８の内外ともに汚染することがない。そしてフィルタ
ーファンユニット６からのクリーンエアーはカセット２
２の周囲を流れて、シャッター８の底部から排出され、
無人搬送車２の物品収容部の汚染を防止する。
６の配置を示すと、３２はフィルターファンユニット６
の上部に設けた吸い込み部である。３４はフィルターフ
ァンユニット６への給電用のケーブルベアで、図４に示
すように、固定端３６から屈曲した状態で引き出し、フ
ィルターファンユニット６が９０゜回動しても給電でき
るようにする。回動モータ１０の回動やケーブルベア３
４の運動により、フィルターファンユニット６の上部で
は発塵が生じるが、これらは吸い込み部３２からフィル
ターファンユニット６へ吸引されて処理され、シャッタ
ー８の内外ともに汚染することがない。そしてフィルタ
ーファンユニット６からのクリーンエアーはカセット２
２の周囲を流れて、シャッター８の底部から排出され、
無人搬送車２の物品収容部の汚染を防止する。
【００１２】
【変形例１】図５に変形例の無人搬送車を示す。なお特
に指摘した点以外は、図１〜図４の実施例と同様であ
る。図５の変形例では、ターンテーブル１８に一対の開
口４１，４１を備えた円筒状でプラスチックの薄板等の
シャッター４０を取り付け、ターンテーブル１８と共に
例えば±９０゜回動させる。これに伴って一対のシール
ド１４，１４を前後のフレーム２４，２４に取り付け
る。さらに移載装置として、図１のスカラーアーム１６
に代えて、スライドフォーク４２を設け、これでカセッ
ト２２を左右に搬出入する。シャッター４０の状態は、
図５の上部のように、左右の搬出入口を覆った状態と、
これから９０゜回動して、図５の下部のように、搬出入
口を開放した状態の２種類である。そして、シャッター
４０の上部に図示しない固定のフィルターファンユニッ
ト等を設けて、シャッター４０内にクリーンエアーを送
気する。またシャッター４０の底部にはスリット等を設
けて、フィルターファンユニットからのクリーンエアー
が排出されるようにする。
に指摘した点以外は、図１〜図４の実施例と同様であ
る。図５の変形例では、ターンテーブル１８に一対の開
口４１，４１を備えた円筒状でプラスチックの薄板等の
シャッター４０を取り付け、ターンテーブル１８と共に
例えば±９０゜回動させる。これに伴って一対のシール
ド１４，１４を前後のフレーム２４，２４に取り付け
る。さらに移載装置として、図１のスカラーアーム１６
に代えて、スライドフォーク４２を設け、これでカセッ
ト２２を左右に搬出入する。シャッター４０の状態は、
図５の上部のように、左右の搬出入口を覆った状態と、
これから９０゜回動して、図５の下部のように、搬出入
口を開放した状態の２種類である。そして、シャッター
４０の上部に図示しない固定のフィルターファンユニッ
ト等を設けて、シャッター４０内にクリーンエアーを送
気する。またシャッター４０の底部にはスリット等を設
けて、フィルターファンユニットからのクリーンエアー
が排出されるようにする。
【００１３】
【変形例２】図６，図７に第２の変形例を示す。５２は
円筒状のシャッターで、軸方向はほぼ水平で、左右の搬
出入口を覆った状態では、図７に示すように、上下に一
対の開口５４，５４がある。５０はシャッター５２の上
部に設けた固定のフィルターファンユニットで、５６は
回動モータで、シャッター５２を例えば９０゜回動さ
せ、フレーム２４内に取り付ける。
円筒状のシャッターで、軸方向はほぼ水平で、左右の搬
出入口を覆った状態では、図７に示すように、上下に一
対の開口５４，５４がある。５０はシャッター５２の上
部に設けた固定のフィルターファンユニットで、５６は
回動モータで、シャッター５２を例えば９０゜回動さ
せ、フレーム２４内に取り付ける。
【００１４】シャッター５２が左右の搬出入口を覆った
状態を、図７に実線で、左右の搬出入口を開放した状態
を、図７に１点鎖線で示す。この変形例では、スカラー
アーム１６のハンド５８の下方を空きスペースとし、こ
のためスカラーアーム１６の基部をカセット２２から離
して配置する。カセット２２を搬送中の状態では、一対
の開口５４，５４は上下を向いており、フィルターファ
ンユニット５０からのクリーンエアーは図７の白抜き矢
印のように流れて、シャッター５２の下部から排出され
る。物品の搬出入時には、シャッター５２は例えば±９
０゜回動し、開口５４からスカラーアーム１６により物
品を搬出入する。
状態を、図７に実線で、左右の搬出入口を開放した状態
を、図７に１点鎖線で示す。この変形例では、スカラー
アーム１６のハンド５８の下方を空きスペースとし、こ
のためスカラーアーム１６の基部をカセット２２から離
して配置する。カセット２２を搬送中の状態では、一対
の開口５４，５４は上下を向いており、フィルターファ
ンユニット５０からのクリーンエアーは図７の白抜き矢
印のように流れて、シャッター５２の下部から排出され
る。物品の搬出入時には、シャッター５２は例えば±９
０゜回動し、開口５４からスカラーアーム１６により物
品を搬出入する。
【図１】 実施例の無人搬送車の部分切り欠き部付き側
面図
面図
【図２】 実施例の無人搬送車の要部断面図
【図３】 実施例の無人搬送車でのフィルターファンユ
ニットとシャッターとを示す斜視図
ニットとシャッターとを示す斜視図
【図４】 実施例の無人搬送車でのフィルターファンユ
ニットの平面図
ニットの平面図
【図５】 変形例の無人搬送車でのシャッターの閉状態
と開状態とを示す平面図
と開状態とを示す平面図
【図６】 第２の変形例の無人搬送車の要部側面図
【図７】 第２の変形例の無人搬送車での、シャッター
の閉状態と開状態とを示す正面図
の閉状態と開状態とを示す正面図
２ 無人搬送車 ４ 走行部 ６，５０ フィルターファンユニット ８ シャッター １０，５６ 回動モータ １２ 取り付け部 １４ シールド １６ スカラーアーム １８ ターンテーブル ２０ 載置部 ２２ カセット ２４ フレーム ２６ 開口 ３２ 吸い込み部 ３４ ケーブルベア ３６ 固定端 ４０，５２ シャッター ４１，５４ 開口 ４２ スライドフォーク ５８ ハンド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｙ
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも１個の開口を備えた筒状のシ
ャッターを、無人搬送車の物品収容部を囲むように設け
て、 前記開口が物品収容部の左右の搬出入口の少なくとも一
方を向いた状態と、左右の搬出入口とは共に異なる向き
を向いた状態との間で、前記シャッターを回動させるた
めの回動手段を設けた無人搬送車。 - 【請求項２】 少なくとも１個の開口を備え、かつ軸が
ほぼ鉛直方向を向いた筒状のシャッターを、無人搬送車
の物品収容部を囲むように設けて、 前記開口が、無人搬送車の前後方向を向いた状態と、物
品収容部の左右の搬出入口の少なくとも一方を向いた状
態との間で、前記シャッターを回動させるための回動手
段を設けた無人搬送車。 - 【請求項３】 前記シャッターの上部に、フィルターフ
ァンユニットを設けて、シャッター内にクリーンエアー
を送気させ、かつ該フィルターファンユニットの上部
に、前記回動手段を設けたことを特徴とする、請求項２
の無人搬送車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34570199A JP2001168165A (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 無人搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34570199A JP2001168165A (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 無人搬送車 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001168165A true JP2001168165A (ja) | 2001-06-22 |
Family
ID=18378390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34570199A Pending JP2001168165A (ja) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | 無人搬送車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001168165A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100505027B1 (ko) * | 2002-12-13 | 2005-07-29 | 주식회사 신성이엔지 | 웨이퍼 운반장치 |
| JP2011051770A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Daifuku Co Ltd | カセット搬送装置 |
| JP2020524912A (ja) * | 2017-06-23 | 2020-08-20 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント（グループ）カンパニー リミティド | ウェハ搬送ボックス及びウェハ自動搬送システム |
-
1999
- 1999-12-06 JP JP34570199A patent/JP2001168165A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100505027B1 (ko) * | 2002-12-13 | 2005-07-29 | 주식회사 신성이엔지 | 웨이퍼 운반장치 |
| JP2011051770A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Daifuku Co Ltd | カセット搬送装置 |
| JP2020524912A (ja) * | 2017-06-23 | 2020-08-20 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント（グループ）カンパニー リミティド | ウェハ搬送ボックス及びウェハ自動搬送システム |
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