JP2020524912A - ウェハ搬送ボックス及びウェハ自動搬送システム - Google Patents
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Abstract
本発明はウェハ搬送カセットと自動ウェハ搬送システムを提供する。ウェハ搬送カセットはウェハを収容するよう構成されたウェハ収納フレーム、ベース、ケーシング、カバー及び回転連結機構を備える。ベースとケーシングは互いに固定して接続され、ウェハ収納フレームが収容される空洞を共に画定する。ケーシングはウェハを出し入れできる開口部を画定する。カバーは回転連結機構によりケーシングに回動可能に連結され、回転連結機構が回転すると、カバーはベース上をスライドして開口部を開閉する。本発明によれば、ウェハを収納するように構成されたウェハ収納フレームがベースとケーシングにより画定された空洞に収容されるので輸送中のウェハ汚染を防止できる。またカッセットのカバーは回転連結機構によりアーチ形経路に沿って移動するよう駆動され、それによりカバーが開口部を開閉することでウェハ搬送カセットの自動開閉を実現できる。【選択図】図２
Description
本発明はマイクロエレクトロニック処理の技術分野に関し、より具体的には、ウェハ搬送カセット及び自動ウェハ搬送システムに関する。
集積回路（ＩＣ）は、コンピュータ、産業用制御機器及び家電などの電子製品に広く使用されており、ＩＣ設計、製造及び他の関連技術は電子製品の急速な進歩とともに急速に発展している。ほとんどのＩＣ部品はウェハで作製される。
ＩＣの製造に使用されるウェハは、微粒子、塵、有機物などあらゆる種類の粒子によって汚染されやすく、それらは、欠陥のもととなるとともに、作製されるＩＣの品質を低下させる恐れがある。このため、清潔な環境でＩＣを作製する必要がある。部屋の棚（ｓｅｌｖｅｓ）に格納されたウェハは通常、大気に直接露出されている。部屋の清浄度があまり高くない場合は、ウェハは輸送中、簡単に汚染されることになる。しかし、部屋の清浄度を制御するのは簡単ではない。また、ＩＣの品質に対する要件が高くなると、部屋の清浄度に対する要求が高くなることが望まれており、それにより、製造コストが著しく増大することになる。したがって、ウェハが大気に直接露出されるのを保護可能なウェハ搬送カセットを提供することによって、このような部屋の清浄度に対する要件を低減することが望まれている。さらに、ほとんどのＩＣ生産ラインは自動化されているため、高いＩＣ生産スループットを保証するため、こうしたウェハ搬送カセットを自動的に開閉できることも望まれている。
本発明の目的は、ウェハが汚染され、ウェハ搬送カセットが輸送中に自動的に開閉できないという問題を解決するためのウェハ搬送カセット及び自動ウェハ搬送システムを提供することにある。
このため、本発明は、ウェハ収納フレームを収容するように構成されたウェハ搬送カセットであって、ベースと、ケーシングと、カバーと、回転連結機構と、を備え、前記ベース及び前記ケーシングは互いに固定して接続されており、前記ウェハ収納フレームを収容するための空洞を共に画定し、前記ケーシングはウェハを中に入れたり、取り出したりすることができる開口部を画定し、前記カバーが、前記回転連結機構により前記ケーシングに回転可能に連結され、前記回転連結機構が回転すると、前記カバーが前記ベース上をスライドし、それによって前記開口部を開いたり、又は閉じたりする、ウェハ搬送カセットを提供する。
任意選択的に、前記ウェハ搬送カセットは押圧機構を更に備え、それは、前記ウェハ収納フレームと対向する前記カバーの表面に配置され、前記カバーに対して弾性的に拡張可能であり、前記カバーの移動中、前記押圧機構は、前記ウェハの前記位置を調整するように、前記ウェハの平面内の前記ウェハ収納フレーム内のウェハに力を加えることができる。
任意選択的に、前記押圧機構は、押棒と、拡張可能リンクと、バネと、を備え、前記拡張可能リンクは前記カバー及び前記押棒にそれぞれ接続された２つの端部を有し、前記バネは前記拡張可能リンクの上をスリーブし、前記バネは、前記拡張可能リンクの軸方向に前記押棒を移動している間、前記押棒に軸方向の予荷重を付与するように構成される。
任意選択的に、前記押棒の長さ方向は、前記ウェハ収納フレームの軸に平行であり、前記押棒の長さは前記ウェハ収納フレームに格納され得るウェハの総高以上である。
任意選択的に、前記ベースはスライドするための前記カバーを案内するように構成された案内部材を備える。
任意選択的に、前記案内部材は前記ベースに形成された溝部であり、前記カバーは前記溝部に沿ってスライドすることができる。
任意選択的に、前記ウェハ搬送カセットは、前記カバーの内側に固定され、前記ベースと転がり接触する少なくとも１つの転がり軸受を更に備える。
任意選択的に、前記転がり軸受は樹脂軸受である。
任意選択的に、前記回転連結機構は回転シャフトと、回転軸受と、接続部材とを備え、前記回転軸受は前記ケーシングに固定され、前記回転シャフトの一端は前記回転軸受を貫通し、前記接続部材の一端に連結され、前記回転シャフトの更なる端部は、前記ケーシングから突出して駆動端として機能し、前記接続部材の更なる端部は前記カバーに固定して接続されている。
任意選択的に、前記ケーシングは前記ベースと反対の上部を備え、前記回転シャフトは前記ケーシングの前記上部から突出して前記上部に回転可能に連結され、前記回転シャフトは前記ケーシングの前記上部の中央に配置されている。
任意選択的に、前記接続部材はリンク棒として実装され、少なくとも２つのリンク棒が前記カバーと前記回転シャフトとの間に配置され、互いに対して角度を付けて配設されている。
任意選択的に、前記ベースは前記ウェハ収納フレームの底部と整合し接続するように構成されたフレーム位置決め機構を備える。
任意選択的に、前記フレーム位置決め機構はフレーム位置決め用溝部又はフレーム位置決め用突出部である。
任意選択的に、引き込み締結アセンブリは、前記開口部が完全に閉じたり完全に開いたりする場合に、引き込み力で前記カバーを前記ケーシングに取り付けるため、前記カバーのスライド方向に沿って前記カバーの両面に、かつ前記ケーシングの対応する位置にそれぞれ設けられている。
任意選択的に、前記カバーはアーチ形であり、前記開口部を開いたり、閉じたりするために、前記ベース上をアーチ形経路に沿ってスライドするように構成されている。
本発明はまた、複数のウェハ処理ステーション間、前記複数のウェハ処理ステーションと複数のウェハ収納エリアとの間、かつ／又は前記複数のウェハ収納エリア間において、ウェハを搬送するように構成された自動ウェハ搬送システムであって、前記自動ウェハ搬送システムは、請求項１〜１５のいずれか一項に記載のウェハ搬送カセットと、
前記ウェハ搬送カセットの前記ケーシングに配設されたフランジと、前記回転連結機構を回転させる回転駆動機構と、前記フランジを把持することによって前記ウェハ搬送カセットを輸送するように構成された自動搬送装置と、を備える、自動ウェハ搬送システムを提供する。
前記ウェハ搬送カセットの前記ケーシングに配設されたフランジと、前記回転連結機構を回転させる回転駆動機構と、前記フランジを把持することによって前記ウェハ搬送カセットを輸送するように構成された自動搬送装置と、を備える、自動ウェハ搬送システムを提供する。
任意選択的に、前記ウェハ処理ステーション及び／又はウェハ収納エリアのそれぞれは、前記ウェハ搬送カセットと整合し接続するように構成された軸受面を有するウェハカセットステージを備える。
本発明で提供されるウェハ搬送カセット及び自動ウェハ搬送システムでは、ウェハを収納するように構成されたウェハ収納フレームが、ベース及びケーシングにより画定された空洞に収容されるので、輸送中のウェハの汚染を防止できる。また、カッセットのカバーは回転連結機構によりアーチ形経路に沿って移動するように駆動され、それにより、カバーが、ケーシング内に画定され、ウェハを中に入れたり、取り出したりすることができる開口部を開いたり閉じたりして、それによって、ウェハ搬送カセットの自動開閉を実現できる。
以下に、添付図面を参照して、本発明で提案されるウェハ搬送カセット及び自動ウェハ搬送システムの特定の実施形態を説明する。本発明の特徴及び利点は以下の詳細な説明及び添付の特許請求の範囲から明らかになるであろう。なお、添付図面は、必ずしも一定の縮尺で提示されてしない非常に簡略化した形態で提供され、実施形態を説明する際の便宜と明瞭さを促進することのみを意図している。
実施形態１
図１は本発明の実施形態にかかるカバーを閉じた状態のウェハ搬送カセットの概略構造図であり、図２は本発明の実施形態にかかるカバーを開いた状態のウェハ搬送カセットの概略構造図である。図１及び図２を参照すると、ウェハ搬送カセットはウェハ収納フレーム１０と、ベース２０と、ケーシング３０と、カバー４０と、回転連結機構６０（図１及び図２には図示せず）と、を備える。ウェハ収納フレーム１０はウェハを収容するように構成されている。ベース２０及びケーシング３０は互いに固定して接続されており、ウェハ収納フレーム１０が収容される空洞７１を共に画定する。空洞７１は概して円筒形である。ケーシング３０はウェハを中に入れたり、取り出したりすることができる開口部７２を画定する。カバー４０はアーチ形であり、回転連結機構６０により回動可能にケーシング３０に連結され、回転連結機構６０が回転すると、カバー４０がベース２０に沿ってスライドし、開口部７２を開いたり、閉じたりする。
図１は本発明の実施形態にかかるカバーを閉じた状態のウェハ搬送カセットの概略構造図であり、図２は本発明の実施形態にかかるカバーを開いた状態のウェハ搬送カセットの概略構造図である。図１及び図２を参照すると、ウェハ搬送カセットはウェハ収納フレーム１０と、ベース２０と、ケーシング３０と、カバー４０と、回転連結機構６０（図１及び図２には図示せず）と、を備える。ウェハ収納フレーム１０はウェハを収容するように構成されている。ベース２０及びケーシング３０は互いに固定して接続されており、ウェハ収納フレーム１０が収容される空洞７１を共に画定する。空洞７１は概して円筒形である。ケーシング３０はウェハを中に入れたり、取り出したりすることができる開口部７２を画定する。カバー４０はアーチ形であり、回転連結機構６０により回動可能にケーシング３０に連結され、回転連結機構６０が回転すると、カバー４０がベース２０に沿ってスライドし、開口部７２を開いたり、閉じたりする。
本実施の形態で提供されるウェハ搬送カセットでは、ウェハを収容するように構成されたウェハ収納フレーム１０はベース２０及びケーシング３０によって画定される空洞７１内に収容されるので、輸送中のウェハの汚染を防止することができる。また、カセットのカバー４０は回転連結機構によりアーチ形経路に沿って移動するように駆動され、それにより、カバー４０が、ケーシング３０内に画定され、ウェハを中に入れたり取り出したりすることができるように構成された開口部７２を開いたり閉じたりすることによって、ウェハ搬送カセットの自動開閉を実現することができる。
図３は本発明の実施形態にかかるウェハ搬送カセットの一部の概略構造図であり、図４は本発明の実施形態にかかるウェハ搬送カセットの簡略化した概略断面図である。本実施形態では、図３及び図４を参照すると、ウェハ搬送カセットは、押圧機構５０を更に備えることができ、それは、拡張可能にカバー４０に接続されており、カバー４０の移動中、ウェハ収納フレーム１０内のウェハの位置を調整することができる。ウェハを、開口部７２を通じてウェハ収納フレーム１０の中に配置中又は配置後、ウェハがすべて、それぞれの所望の位置に位置しているわけではない（すなわち、ウェハが互いに整列していない）。この時点では、カバー４０に開口部７２を開いたり閉じたりさせると、カバー４０はウェハ収納フレーム１０に装填されたウェハＷによって詰まりやすい。これは、ウェハ搬送カセットの自動開閉を妨げたり、ウェハＷへの損傷を引き起こしたりする場合がある。本実施形態にかかるウェハ搬送カセットでは、カバー４０がアーチ形経路に沿って移動し、ケーシング３０の開口部７２を開いたり閉じたりすると、カバー４０に固定して配置された押圧機構５０は、ウェハ収納フレーム１０内のウェハの位置を調整することができる。つまり、カバー４０を移動して、開口部７２を開いたり閉じたりしながら、ウェハ収納フレーム１０内のウェハの位置を調整することができ、それによって、カバー４０が意図せずに詰まってしまうのを防止し、ウェハ搬送カセットの機能不全及びウェハＷへの損傷を回避することができる。更に、カバー４０を閉じた後、押圧機構５０はウェハ収納フレーム１０内の所望の位置にウェハを制限することができるので、ウェハ収納フレーム１０内のウェハの移動を回避することができる。
具体的には、図３を参照すると、本実施形態では、押圧機構５０は押棒５１と、拡張可能リンク５２と、バネ（図示せず）と、を含むことができる。拡張可能リンク５２のそれぞれは、カバー４０及び押棒５１にそれぞれ接続された２つの端子を有する。拡張可能リンク５２は押棒５１を支持するように構成されている。バネは各拡張可能リンク５２上をスリーブし、拡張可能リンク５２の軸方向に沿った押棒５１の移動中、押棒５１に予荷重を付与するように構成されている。押棒５１は、カバー４０の移動中、ウェハ収納フレーム１０に装填されたウェハＷの位置を調整するように構成されている。すなわち、カバー４０が移動している間、押棒５１はウェハＷを押圧することができ、それによって、ウェハの位置を調整することができる。本実施形態では、カバー４０がアーチ形経路を移動しながら、押棒５１は、ウェハＷの外周縁に沿ってスライドし、それらの外周縁において所望の位置に正確に装填されていないウェハの一部を押圧することになり、ウェハの位置を調整することができることに留意されたい。
本実施形態では、ウェハ搬送カセットは少なくとも１つの押圧機構５０を備えることができ、各押棒５１は一度に少なくとも１つのウェハＷを調整することができる場合がある。
押棒５１は、カバー４０の移動中に、ウェハＷと接触でき、ウェハによって押圧され得るように弾性であってもよい。このようにして、ウェハＷへ損傷を生じることなく、ウェハＷの位置を効率的に調整することができる。
カバー４０が移動しているとき、バネが常に押棒５１をウェハ収納フレーム１０内のウェハに対して押圧しつつ、拡張可能リンク５２は、カバー４０に向かって、又はカバーから離れて移動することができる。この設計により、押棒５１とウェハとの間の接触はバネによって緩衝されることができるので、押圧機構５０内の押棒５１によるウェハの調整中、ウェハへの衝撃損傷を回避することができる。
好ましくは、押棒５１の長手方向が、ウェハが配設されるウェハ収納フレーム１０の軸に平行である。また、押棒５１の長さは、ウェハ収納フレーム１０に収納され得るウェハの総高以上であることが好ましい。
好ましくは、ベースはスライドするためのカバーを案内するように構成された案内部材８１を備える。案内部材８１の存在により、カバー４０が移動の際に詰まるのを防止することができる。
好ましくは、少なくとも１つの転がり軸受８２（図３参照）がカバー４０の内側に設けられ、カバーのスライド移動を容易にする。転がり軸受８２の補助により、摩擦によるウェハを汚染する粒子の生成を低減しつつ、カバー４０を円滑にスライドすることができ、それによって、粒子によるウェハ汚染のリスクを低減することができる。転がり軸受８２は、好ましくは、樹脂軸受である。
好ましくは、案内部材８１は、カバーがスライドすることができるアーチ形溝部として実装され得る。
図３を参照すると、本実施形態では、ウェハ搬送カセットの回転連結機構６０は、回転シャフト６１と接続部材６２とを備えることができる。回転シャフト６１はケーシング３０に配置される一方、接続部材６２のそれぞれは、一端でカバー４０に固定して接続され、他端で回転シャフト６１に連結されている。回転シャフト６１は、カバー４０を接続部材６２に固定して接続させ、回転シャフト６１の軸の周りに回転させ、すなわち、カバー４０をアーチ形経路に沿って移動させるべく、接続部材６２を回動させるように駆動するように構成されている。
具体的には、接続部材６２は、リンク棒として実装されてもよく、リンク棒の数は少なくとも２つとすることができる。２本のリンク棒の場合、それらはカバーと回転シャフトとの間に固定して接続され、互いに対して一定の角度で配設され得る。
具体的には、図３を参照すると、カバー４０は軸受座部６３と、軸受座部６３によってケーシング３０に固定された軸受（図示せず）と、を更に含むことができる。軸受を貫通する回転シャフト６１の一端は接続部材６２に固定して接続され得、回転シャフト６１の他端は、ケーシング３０から突出して駆動端として機能し得る。
好ましくは、ケーシング３０はベース２０の反対の上部３１を含むことができ、回転シャフト６１は上部３１に配置されてもよい。具体的には、回転シャフト６１はケーシング３０の上部３１に挿入され、それに回転可能に連結されてもよい。好ましくは、回転シャフト６１はケーシング３０の上部３１の中央部に配置される。この設計により、上部３１の中央部に配設されていない回転シャフト６１を有する設計と比べて、ウェハ搬送カセットのサイズを低減でき、それゆえに、ウェハ搬送カセットの重量を低減することができる。更に、本実施形態では、ケーシング３０の上部３１の位置を、ベース２０と関連のみで記載し、いかなる意味においても、ウェハ搬送カセットの実際の形状又は向きを制限しない。
図１及び図２を参照すると、本実施形態では、ケーシング３０は、空洞７１に背を向ける面に設けられてもよく、第１の接続部３２は自動搬送装置を接続するように構成されてもよい。自動搬送装置は、第１の接続部３２を把持し、ウェハ搬送カセットを輸送するように構成されている。
具体的には、第１の接続部３２は、空洞７１に背を向けるケーシング３０の上部３１の面に配置されてもよい。第１の接続部３２は凹部又は突出部であってもよい。自動搬送装置はＯＨＴ（ｏｖｅｒｈｅａｄ ｈｏｉｓｔ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ：天井走行式無人搬送車）又はＡＧＶ（ａｕｔｏｍａｔｅｄ ｇｕｉｄｅｄ ｖｅｈｉｃｌｅ：無人搬送車）であってもよい。このようにして、ウェハ搬送カセットは、追加の適合を要することなく、既存の生産ラインの輸送システムに互換して統合することができる。もちろん、自動搬送装置はＩＣ生産ラインに通常使用される任意の他の好適な搬送装置であってもよい。
好ましくは、第１の接続部３２はフランジであってもよい。好ましくは、第１の接続部３２はケーシング３０の上部３１の中央に配設されてもよい。この場合、搬送装置によるウェハ搬送カセットの輸送中、搬送カセット内でのウェハの移動を引き起こすウェハ搬送カセットのあらゆる傾きを回避でき、それによって、移動によるウェハへの損傷も回避することができる。
図５に示すように、ベース２０は、その上に、ウェハ収納フレーム１０の底部と係止するように構成されたフレーム位置決め機構を備えてもよい。本実施形態では、フレーム位置決め機構はベース２０に形成されたフレーム位置決め用溝部３３１であってもよく、ウェハ収納フレーム１０の底部は、スナップフィットによりフレーム位置決め用溝部３３１と係止してもよい。
図３及び図４を参照すると、本実施形態では、少なくとも１つの引き込み締結アセンブリ８３が、スライド方向に沿ったカバーの面と、このカバー４０の面に対応するケーシング３０の面の両方に設けられてもよい。好ましくは、２つの引き込み締結アセンブリ８３は、スライド方向に沿ったカバー４０の面と、カバーの面に対応するケーシング３０の面の両方に設けられる。開口部が完全に閉じている又は開いている場合は、引き込み締結アセンブリ８３はカバー４０をケーシング３０に締結するように機能することができる。
具体的には、引き込み締結アセンブリ８３のそれぞれは、互いに磁気的に引き寄せられた磁気ボタンと磁気棒とから構成されてもよい。磁気ボタンはカバー４０に配設されてもよく、磁気棒はケーシング３０に配設されてもよく、その逆であってもよい。
本実施形態では、図１を参照すると、ウェハ収納フレーム１０はウェハを格納するように構成されており、ウェハが直接露出される開放構造体である。例えば、ウェハ収納フレーム１０は、それぞれ単一のウェハを受け入れるように構成された複数のウェハ支持部を含むことができる。ウェハスロットの隣接するスロットは、ウェハ間の間隔を形成するように一定の距離だけ離れていてもよい。好ましくは、ウェハ収納フレーム１０は、既存の生産ラインで使用されるウェハカセット又はＳＭＩＦ（ｓｔａｎｄａｒｄ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）ポッドのいずれかであってもよい。ウェハ収納フレーム１０は水平面に垂直な軸を有する垂直型であってもよいし、水平面に平行な軸を有する水平型であってもよい。両方の場合において、本実施形態にかかるウェハ搬送カセットでは、回転シャフト６１の軸はウェハ収納フレーム１０の軸に平行である。
本実施形態では、上記に規定するウェハ搬送カセットと、回転連結機構を回転させるように構成された回転駆動機構と、第１の定着部材３２を把持することによってウェハ搬送カセットを輸送するための自動搬送装置と、を備える自動ウェハ搬送システムも提供する。自動ウェハ搬送システムは、ＩＣ生産ラインでの自動物体搬送を可能にするように構成されている。ウェハ搬送カセットは、複数のウェハ処理ステーション間、ウェハ処理ステーションとウェハ搬送カセットバッファエリアとの間、又はそのようなバッファエリア間で輸送することができる。
任意選択的に、自動ウェハ搬送システムはウェハ処理ステーション及び／又はウェハ搬送カセットバッファエリアのそれぞれに設けられたウェハカセットステージを更に含んでもよい。ウェハカセットステージはウェハ搬送カセットが位置的制限と接続されている軸受面を有してもよく、その結果、ウェハ搬送カセットをウェハカセットステージに固定することができる。
本実施形態では、ベース２０内のフレーム位置決め用溝部３３１はベース２０の厚み以上の深さを有してもよく、その結果、ウェハ収納フレーム１０の底部はフレーム位置決め用溝部３３１を貫通できるので、ウェハカセットステージと接触することができる。フレーム位置決め用溝部３３１と同じ溝部がウェハカセットステージの軸受面に形成されてもよく、その結果、ウェハ収納フレーム１０はウェハカセットステージのベース２０及び軸受面の両方と係止することができる。
実施形態２
図６に示すように、本実施形態は実施形態１とは異なるのは、フレーム位置決め機構が、ウェハ収納フレーム１０の底部と係止でき、ウェハ収納フレーム１０の位置を制限できるフレーム位置決め用突出部３３２として実装される点である。
図６に示すように、本実施形態は実施形態１とは異なるのは、フレーム位置決め機構が、ウェハ収納フレーム１０の底部と係止でき、ウェハ収納フレーム１０の位置を制限できるフレーム位置決め用突出部３３２として実装される点である。
任意選択的に、実施形態２のウェハ搬送カセットを組み込んだ自動ウェハ搬送システムはまた、位置的制限を有するベース２０の底面に接続され得る軸受面を有するウェハカセットステージも含んでもよい。特に、位置決め用脚部３４はベース２０の下部面に形成されてもよい。したがって、図７に示すように、対応する位置決め用差込口がウェハカセットステージの軸受面に形成されており、その逆も同様である。
本発明のウェハ搬送カセットは、限定されないが、８″及び１２″を含む異なるサイズのウェハを輸送するために使用することができる。具体的には、実施形態１に記載のベース２０は、８″ウェハ用のウェハ収納フレーム２０に適しているが、実施形態２のものは、１２″ウェハ用のウェハ収納フレーム２０に適している。
上記提示された説明は本発明のうち数少ない好ましい実施形態の説明に過ぎず、あらゆる意味においても本発明の範囲を制限しない。上記の教示に基づいて当業者によって行われる一部及び全部の変更及び修正は添付の特許請求の範囲に規定された範囲に入るものである。
１０ ウェハ収納フレーム
２０ ベース
３０ ケーシング
３１ 上部
３２ 第１の接続部
３３１ フレーム位置決め用溝
３３２ フレーム位置決め用突出部
３４ 位置決め用脚部
４０ カバー
５０ 押圧機構
５１ 押棒
５２ 拡張可能リンク
６０ 回転連結機構
６１ 回転シャフト
６２ 接続部材
６３ 軸受座部
Ｗ ウェハ
７１ 空洞
７２ 開口部
８１ 案内部材
８２ 転がり軸受
８３ 引き込み締結アセンブリ
２０ ベース
３０ ケーシング
３１ 上部
３２ 第１の接続部
３３１ フレーム位置決め用溝
３３２ フレーム位置決め用突出部
３４ 位置決め用脚部
４０ カバー
５０ 押圧機構
５１ 押棒
５２ 拡張可能リンク
６０ 回転連結機構
６１ 回転シャフト
６２ 接続部材
６３ 軸受座部
Ｗ ウェハ
７１ 空洞
７２ 開口部
８１ 案内部材
８２ 転がり軸受
８３ 引き込み締結アセンブリ
Claims (17)
- ウェハ収納フレームを収容するように構成されたウェハ搬送カセットであって、
ベースと、ケーシングと、カバーと、回転連結機構と、を備え、
前記ベース及び前記ケーシングは互いに固定して接続されており、前記ウェハ収納フレームを収容するための空洞を共に画定し、前記ケーシングは、ウェハを中に入れたり、取り出したりすることができる開口部を画定し、前記カバーは前記回転連結機構により前記ケーシングに回転可能に連結され、前記回転連結機構が回転すると、前記カバーが前記ベース上をスライドし、それによって、前記開口部を開いたり、又は閉じたりする、ウェハ搬送カセット。 - 前記ウェハ収納フレームに対向する前記カバーの表面に配置され、前記カバーに対して弾性的に拡張可能な押圧機構を更に備え、
前記カバーの移動中、前記押圧機構は、前記ウェハの位置を調整するように、前記ウェハの平面において前記ウェハ収納フレーム内のウェハに力を加えることができる、
請求項１に記載のウェハ搬送カセット。 - 前記押圧機構は、押棒と、拡張可能リンクと、バネと、を備え、前記拡張可能リンクは前記カバー及び前記押棒にそれぞれ接続された２つの端部を有し、前記バネは前記拡張可能リンク上をスリーブし、前記バネは、前記拡張可能リンクの軸方向に前記押棒を移動している間、前記押棒に軸方向の予荷重を付与するように構成される、請求項２に記載のウェハ搬送カセット。
- 前記押棒の長さ方向は、前記ウェハ収納フレームの軸に平行であり、前記押棒の長さは前記ウェハ収納フレームに格納され得るウェハの総高以上である、
請求項３に記載のウェハ搬送カセット。 - 前記ベースは、その上にスライドするための前記カバーを案内するように構成された案内部材を備える、
請求項１に記載のウェハ搬送カセット。 - 前記案内部材は前記ベースに形成された溝部であり、前記カバーは前記溝部に沿ってスライドすることができる、
請求項５に記載のウェハ搬送カセット。 - 前記カバーの内側に固定され、前記ベースと転がり接触する少なくとも１つの転がり軸受を更に備える、
請求項１に記載のウェハ搬送カセット。 - 前記転がり軸受は樹脂軸受である、請求項７に記載のウェハ搬送カセット。
- 前記回転連結機構は回転シャフトと、回転軸受と、接続部材とを備え、前記回転軸受は前記ケーシングに固定され、前記回転シャフトの一端は前記回転軸受を貫通し、前記接続部材の一端に連結され、前記回転シャフトの更なる端部は、前記ケーシングから突出して駆動端として機能し、前記接続部材の更なる端部は前記カバーに固定して接続されている、請求項１に記載のウェハ搬送カセット。
- 前記ケーシングは前記ベースと反対の上部を備え、前記回転シャフトは前記ケーシングの前記上部から突出し、前記上部に回転可能に連結され、前記回転シャフトは前記ケーシングの前記上部の中央に配置されている、請求項９に記載のウェハ搬送カセット。
- 前記接続部材はリンク棒として実装され、少なくとも２つのリンク棒が前記カバーと前記回転シャフトとの間に配置され、互いに対して角度を付けて配設されている、
請求項９に記載のウェハ搬送カセット。 - 前記ベースは、その上に、前記ウェハ収納フレームの底部と整合し接続するように構成されたフレーム位置決め機構を備える、請求項１に記載のウェハ搬送カセット。
- 前記フレーム位置決め機構はフレーム位置決め用溝部又はフレーム位置決め用突出部である、請求項１２に記載のウェハ搬送カセット。
- 引き込み締結アセンブリが、前記開口部が完全に閉じている又は完全に開いている場合に、引き込み力で前記カバーを前記ケーシングに取り付けるため、前記カバーのスライド方向に沿った前記カバーの両面に、かつ前記ケーシングの対応する位置にそれぞれ設けられている、請求項１に記載のウェハ搬送カセット。
- 前記カバーは、アーチ形であり、前記開口部を開いたり、閉じたりするために、前記ベース上をアーチ形経路に沿ってスライドするように構成されている、請求項１に記載のウェハ搬送カセット。
- 複数のウェハ処理ステーション間、前記複数のウェハ処理ステーションと複数のウェハ収納エリアとの間、かつ／又は前記複数のウェハ収納エリア間において、ウェハを搬送するように構成された自動ウェハ搬送システムであって、
請求項１〜１５のいずれか一項に記載のウェハ搬送カセットと、
前記ウェハ搬送カセットの前記ケーシングに配設されたフランジと、
前記回転連結機構を回転させる回転駆動機構と、前記フランジを把持することによって前記ウェハ搬送カセットを輸送するように構成された自動搬送装置と、
を備える、自動ウェハ搬送システム。 - 前記ウェハ処理ステーション及び／又はウェハ収納エリアのそれぞれは、前記ウェハ搬送カセットと整合し接続するように構成された軸受面を有するウェハカセットステージを備える、請求項１６に記載の自動ウェハ搬送システム。
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