JP2003007814A - ガラス基板収納用カセット - Google Patents
ガラス基板収納用カセットInfo
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- JP2003007814A JP2003007814A JP2001192673A JP2001192673A JP2003007814A JP 2003007814 A JP2003007814 A JP 2003007814A JP 2001192673 A JP2001192673 A JP 2001192673A JP 2001192673 A JP2001192673 A JP 2001192673A JP 2003007814 A JP2003007814 A JP 2003007814A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- front cover
- glass substrate
- cover
- opening
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 収納時や搬送時に周囲に浮遊する異物がガラ
ス基板に付着することを防止し、クリーンルームの搬送
ルート部と収納部のクリーン度を下げたり、搬送ルート
部と収納部を外部に設けてクリーンルームの体積を小さ
くしたりすることができるガラス基板収納用カセットを
提供すること。 【解決手段】 開口部１ａに配設される前部カバー２
と、前部カバー２の上部に折曲可能に接続され、カセッ
ト１の天板１１に沿って配設される上部カバー３と、前
部カバー２の両側部からカセット１の両側板１２に沿っ
てそれぞれ延設された側部カバー４とを設けるととも
に、側板１２の上部１２ａを円弧状に形成して、側部カ
バー４を側板１２にピン５により枢着し、前部カバー２
を回動可能とする。
ス基板に付着することを防止し、クリーンルームの搬送
ルート部と収納部のクリーン度を下げたり、搬送ルート
部と収納部を外部に設けてクリーンルームの体積を小さ
くしたりすることができるガラス基板収納用カセットを
提供すること。 【解決手段】 開口部１ａに配設される前部カバー２
と、前部カバー２の上部に折曲可能に接続され、カセッ
ト１の天板１１に沿って配設される上部カバー３と、前
部カバー２の両側部からカセット１の両側板１２に沿っ
てそれぞれ延設された側部カバー４とを設けるととも
に、側板１２の上部１２ａを円弧状に形成して、側部カ
バー４を側板１２にピン５により枢着し、前部カバー２
を回動可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板収納用
カセットに関し、特に、密閉構造とすることにより、収
納時や搬送時に周囲に浮遊する異物がガラス基板に付着
することを防止することができるガラス基板収納用カセ
ットに関するものである。
カセットに関し、特に、密閉構造とすることにより、収
納時や搬送時に周囲に浮遊する異物がガラス基板に付着
することを防止することができるガラス基板収納用カセ
ットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶の製造ラインにおいては、搬
送装置と製造装置との間に、両装置間の液晶ガラス基板
の搬送のタイミングを調整したり、製造装置における加
工速度の速度差を吸収して、液晶ガラス基板の搬送及び
加工を円滑に行なえるように、液晶ガラス基板を一時的
にストックするためのガラス基板収納用カセットを配設
するようにしている。そして、このガラス基板収納用カ
セットは、通常、複数枚の液晶ガラス基板を多段式に収
納するように構成されているが、開口部は開放されたま
までガラス基板を密閉する構造になってはおらず、浮遊
する異物がある場合はガラス基板への付着を防止するこ
とができないという問題があった。
送装置と製造装置との間に、両装置間の液晶ガラス基板
の搬送のタイミングを調整したり、製造装置における加
工速度の速度差を吸収して、液晶ガラス基板の搬送及び
加工を円滑に行なえるように、液晶ガラス基板を一時的
にストックするためのガラス基板収納用カセットを配設
するようにしている。そして、このガラス基板収納用カ
セットは、通常、複数枚の液晶ガラス基板を多段式に収
納するように構成されているが、開口部は開放されたま
までガラス基板を密閉する構造になってはおらず、浮遊
する異物がある場合はガラス基板への付着を防止するこ
とができないという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このため、液晶の製造
ラインのようなクリーン度を要求されるような状況にお
いては、複数の製造装置の間を搬送する際に、その搬送
ルートに対しても高いクリーン度が要求されることにな
る。この場合、クリーンルームのクリーン度を維持する
費用は、クリーンルームの体積と、必要とされるクリー
ン度とによって決定され、搬送ルートに対しても高いク
リーン度が要求される現状では、高いクリーン度が広い
空間に必要となることからクリーンルームの維持に多く
の費用が費やされる。
ラインのようなクリーン度を要求されるような状況にお
いては、複数の製造装置の間を搬送する際に、その搬送
ルートに対しても高いクリーン度が要求されることにな
る。この場合、クリーンルームのクリーン度を維持する
費用は、クリーンルームの体積と、必要とされるクリー
ン度とによって決定され、搬送ルートに対しても高いク
リーン度が要求される現状では、高いクリーン度が広い
空間に必要となることからクリーンルームの維持に多く
の費用が費やされる。
【０００４】本発明は、上記従来のガラス基板収納用カ
セットが有する問題点に鑑み、収納時や搬送時に周囲に
浮遊する異物がガラス基板に付着することを防止し、ク
リーンルームの搬送ルート部と収納部のクリーン度を下
げたり、搬送ルート部と収納部を外部に設けてクリーン
ルームの体積を小さくしたりすることができるガラス基
板収納用カセットを提供することを目的とする。
セットが有する問題点に鑑み、収納時や搬送時に周囲に
浮遊する異物がガラス基板に付着することを防止し、ク
リーンルームの搬送ルート部と収納部のクリーン度を下
げたり、搬送ルート部と収納部を外部に設けてクリーン
ルームの体積を小さくしたりすることができるガラス基
板収納用カセットを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のガラス基板収納用カセットは、複数枚の液
晶ガラス基板を多段式に収納し、ガラス基板を前面の開
口部から出し入れする箱状のガラス基板収納用カセット
において、開口部に配設される前部カバーと、該前部カ
バーの上部に折曲可能に接続され、カセットの天板に沿
って配設される上部カバーと、前部カバーの両側部から
カセットの側板に沿ってそれぞれ延設された側部カバー
とを設けるとともに、側板の上部を円弧状に形成して、
側部カバーを側板に枢着し、前部カバーを回動可能とな
したことを特徴とする。
め、本発明のガラス基板収納用カセットは、複数枚の液
晶ガラス基板を多段式に収納し、ガラス基板を前面の開
口部から出し入れする箱状のガラス基板収納用カセット
において、開口部に配設される前部カバーと、該前部カ
バーの上部に折曲可能に接続され、カセットの天板に沿
って配設される上部カバーと、前部カバーの両側部から
カセットの側板に沿ってそれぞれ延設された側部カバー
とを設けるとともに、側板の上部を円弧状に形成して、
側部カバーを側板に枢着し、前部カバーを回動可能とな
したことを特徴とする。
【０００６】このガラス基板収納用カセットは、カセッ
トの開口部に配設される前部カバーと、前部カバーに接
続してカセットの天板に沿って配設される上部カバーと
により、開口部を閉じてカセットを密閉し、また、開口
部を開放するときには、前部カバーを上方に回転させる
ことにより、前部カバーに接続された上部カバーが連動
して後退し、これら前部カバーと上部カバーはカセット
の天板に沿うように伏せた状態でコンパクトに展開す
る。これにより、このガラス基板収納用カセットは、収
納時や搬送時には開口部を閉じ、周囲の清浄度に影響さ
れることなくカセット内の清浄度を保ち、浮遊する異物
がガラス基板に付着することを防止することができ、そ
の結果、クリーンルームの搬送ルート部と収納部のクリ
ーン度を下げたり、搬送ルート部と収納部を外部に設け
てクリーンルームの体積を小さくしたりすることができ
る。
トの開口部に配設される前部カバーと、前部カバーに接
続してカセットの天板に沿って配設される上部カバーと
により、開口部を閉じてカセットを密閉し、また、開口
部を開放するときには、前部カバーを上方に回転させる
ことにより、前部カバーに接続された上部カバーが連動
して後退し、これら前部カバーと上部カバーはカセット
の天板に沿うように伏せた状態でコンパクトに展開す
る。これにより、このガラス基板収納用カセットは、収
納時や搬送時には開口部を閉じ、周囲の清浄度に影響さ
れることなくカセット内の清浄度を保ち、浮遊する異物
がガラス基板に付着することを防止することができ、そ
の結果、クリーンルームの搬送ルート部と収納部のクリ
ーン度を下げたり、搬送ルート部と収納部を外部に設け
てクリーンルームの体積を小さくしたりすることができ
る。
【０００７】この場合において、前部カバーの閉じ位置
で、前部カバーを固定するロック機構を設けることがで
きる。
で、前部カバーを固定するロック機構を設けることがで
きる。
【０００８】これにより、前部カバーと上部カバーを閉
じ位置で固定し、ガラス基板を収納している時やカセッ
トを搬送している時に、ガラス基板が落下しないように
するとともに、カセットの搬送時に傾いたり旋回したり
しても、ガラス基板をカセット内で移動しないようにす
ることができる。
じ位置で固定し、ガラス基板を収納している時やカセッ
トを搬送している時に、ガラス基板が落下しないように
するとともに、カセットの搬送時に傾いたり旋回したり
しても、ガラス基板をカセット内で移動しないようにす
ることができる。
【０００９】また、前部カバーの開き位置で、前部カバ
ーを固定するロック機構を設けることができる。
ーを固定するロック機構を設けることができる。
【００１０】これにより、前部カバーと上部カバーを開
き位置で固定し、カセットの開口部の不意の閉塞を防止
することができる。
き位置で固定し、カセットの開口部の不意の閉塞を防止
することができる。
【００１１】さらに、ロック機構を、側部カバーに設け
た係止部と、カセットの側板に配設され、係止部に離脱
可能に係合するロック片とにより構成することができ
る。
た係止部と、カセットの側板に配設され、係止部に離脱
可能に係合するロック片とにより構成することができ
る。
【００１２】これにより、ロック機構をガラス基板収納
用カセットに簡便に設けることができる。
用カセットに簡便に設けることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明のガラス基板収納用
カセットの実施の形態を図面に基づいて説明する。
カセットの実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】図１〜図２に、本発明のガラス基板収納用
カセットの一実施例を示す。ガラス基板収納用カセット
は、液晶ガラス基板Ａを一時的にストックして搬送する
ためのもので、複数枚のガラス基板Ａを、受け台（図示
省略）を介して多段式に収納し、ガラス基板Ａを前面の
開口部１ａから出し入れする箱状のものからなる。そし
て、このガラス基板収納用カセットは、開口部１ａに配
設される前部カバー２と、前部カバー２の上部に折曲可
能に接続され、カセット１の天板１１に沿って配設され
る上部カバー３と、前部カバー２の両側部からカセット
１の両側板１２に沿ってそれぞれ延設された側部カバー
４とを設けるとともに、側板１２の上部１２ａを円弧状
に形成して、側部カバー４を側板１２にピン５により枢
着し、前部カバー２を回動可能となしている。
カセットの一実施例を示す。ガラス基板収納用カセット
は、液晶ガラス基板Ａを一時的にストックして搬送する
ためのもので、複数枚のガラス基板Ａを、受け台（図示
省略）を介して多段式に収納し、ガラス基板Ａを前面の
開口部１ａから出し入れする箱状のものからなる。そし
て、このガラス基板収納用カセットは、開口部１ａに配
設される前部カバー２と、前部カバー２の上部に折曲可
能に接続され、カセット１の天板１１に沿って配設され
る上部カバー３と、前部カバー２の両側部からカセット
１の両側板１２に沿ってそれぞれ延設された側部カバー
４とを設けるとともに、側板１２の上部１２ａを円弧状
に形成して、側部カバー４を側板１２にピン５により枢
着し、前部カバー２を回動可能となしている。
【００１５】カセット１は、開口部１ａ以外は、天板１
１、側板１２、底板及び背板（図示省略）によって一体
に囲繞されており、天板１１は、側板１２の円弧の上端
位置まで後退している。また、前部カバー２と上部カバ
ー３は、柔軟な合成樹脂板等によって、ヒンジ状に折曲
可能に接続されている。
１、側板１２、底板及び背板（図示省略）によって一体
に囲繞されており、天板１１は、側板１２の円弧の上端
位置まで後退している。また、前部カバー２と上部カバ
ー３は、柔軟な合成樹脂板等によって、ヒンジ状に折曲
可能に接続されている。
【００１６】さらに、このガラス基板収納用カセット
は、図１（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、前部カバ
ー２の閉じ位置と開き位置とで、それぞれ前部カバー２
を固定するロック機構６を備えている。このロック機構
６は、半裁長円状の側部カバー４の外周部に設けた２箇
所の切欠き状係止部６１、６２と、カセット１の側板１
２にスライド可能に配設され、係止部６１、６２に離脱
可能に係合するロック片６３とにより構成されている。
前部カバー２を閉じ位置で固定するときには、図１
（ａ）に示すように、ロック片６３を係止部６１に係合
させ、前部カバー２を開き位置で固定するときには、図
２（ｂ）に示すように、ロック片６３を係止部６２に係
合させる。
は、図１（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、前部カバ
ー２の閉じ位置と開き位置とで、それぞれ前部カバー２
を固定するロック機構６を備えている。このロック機構
６は、半裁長円状の側部カバー４の外周部に設けた２箇
所の切欠き状係止部６１、６２と、カセット１の側板１
２にスライド可能に配設され、係止部６１、６２に離脱
可能に係合するロック片６３とにより構成されている。
前部カバー２を閉じ位置で固定するときには、図１
（ａ）に示すように、ロック片６３を係止部６１に係合
させ、前部カバー２を開き位置で固定するときには、図
２（ｂ）に示すように、ロック片６３を係止部６２に係
合させる。
【００１７】前部カバー２の回動は、側部カバー４を介
してモータ等により自動で行うか、あるいは手動で行う
ことが可能である。また、ロック片６３のスライドも、
前部カバー２の回動位置に合わせてモータ等により自動
で行うか、あるいは手動で行うことが可能である。
してモータ等により自動で行うか、あるいは手動で行う
ことが可能である。また、ロック片６３のスライドも、
前部カバー２の回動位置に合わせてモータ等により自動
で行うか、あるいは手動で行うことが可能である。
【００１８】かくして、本実施例のガラス基板収納用カ
セットは、カセット１の開口部１ａに配設される前部カ
バー２と、前部カバー２に接続してカセット１の天板１
１に沿って配設される上部カバー３とにより、開口部１
ａを閉じてカセット１を密閉し、また、開口部１ａを開
放するときには、前部カバー２を上方に回転させること
により、前部カバー２に接続された上部カバー３が連動
して後退し、これら前部カバー２と上部カバー３はカセ
ット１の天板１１に沿うように伏せた状態でコンパクト
に展開する。これにより、このガラス基板収納用カセッ
トは、収納時や搬送時には開口部１ａを閉じ、周囲の清
浄度に影響されることなくカセット１内の清浄度を保
ち、浮遊する異物がガラス基板Ａに付着することを防止
することができ、その結果、クリーンルームの搬送ルー
ト部と収納部のクリーン度を下げたり、搬送ルート部と
収納部を外部に設けてクリーンルームの体積を小さくし
たりすることができる。
セットは、カセット１の開口部１ａに配設される前部カ
バー２と、前部カバー２に接続してカセット１の天板１
１に沿って配設される上部カバー３とにより、開口部１
ａを閉じてカセット１を密閉し、また、開口部１ａを開
放するときには、前部カバー２を上方に回転させること
により、前部カバー２に接続された上部カバー３が連動
して後退し、これら前部カバー２と上部カバー３はカセ
ット１の天板１１に沿うように伏せた状態でコンパクト
に展開する。これにより、このガラス基板収納用カセッ
トは、収納時や搬送時には開口部１ａを閉じ、周囲の清
浄度に影響されることなくカセット１内の清浄度を保
ち、浮遊する異物がガラス基板Ａに付着することを防止
することができ、その結果、クリーンルームの搬送ルー
ト部と収納部のクリーン度を下げたり、搬送ルート部と
収納部を外部に設けてクリーンルームの体積を小さくし
たりすることができる。
【００１９】また、閉じ位置と開き位置とで、それぞれ
前部カバー２を固定するロック機構６を設けたことによ
り、前部カバー２と上部カバー３を閉じ位置で固定し、
ガラス基板Ａを収納している時やカセット１を搬送して
いる時に、ガラス基板Ａが落下しないようにするととも
に、カセット１の搬送時に傾いたり旋回したりしても、
ガラス基板Ａをカセット１内で移動しないようにするこ
とができる。さらに、前部カバー２と上部カバー３を開
き位置で固定し、カセット１の開口部１ａの不意の閉塞
を防止することができる。
前部カバー２を固定するロック機構６を設けたことによ
り、前部カバー２と上部カバー３を閉じ位置で固定し、
ガラス基板Ａを収納している時やカセット１を搬送して
いる時に、ガラス基板Ａが落下しないようにするととも
に、カセット１の搬送時に傾いたり旋回したりしても、
ガラス基板Ａをカセット１内で移動しないようにするこ
とができる。さらに、前部カバー２と上部カバー３を開
き位置で固定し、カセット１の開口部１ａの不意の閉塞
を防止することができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明のガラス基板収納用カセットによ
れば、カセットの開口部に配設される前部カバーと、前
部カバーに接続してカセットの天板に沿って配設される
上部カバーとにより、開口部を閉じてカセットを密閉
し、また、開口部を開放するときには、前部カバーを上
方に回転させることにより、前部カバーに接続された上
部カバーが連動して後退し、これら前部カバーと上部カ
バーはカセットの天板に沿うように伏せた状態でコンパ
クトに展開することができ、これにより、収納時や搬送
時には開口部を閉じ、周囲の清浄度に影響されることな
くカセット内の清浄度を保ち、浮遊する異物がガラス基
板に付着することを防止することができ、その結果、ク
リーンルームの搬送ルート部と収納部のクリーン度を下
げたり、搬送ルート部と収納部を外部に設けてクリーン
ルームの体積を小さくしたりすることができる。
れば、カセットの開口部に配設される前部カバーと、前
部カバーに接続してカセットの天板に沿って配設される
上部カバーとにより、開口部を閉じてカセットを密閉
し、また、開口部を開放するときには、前部カバーを上
方に回転させることにより、前部カバーに接続された上
部カバーが連動して後退し、これら前部カバーと上部カ
バーはカセットの天板に沿うように伏せた状態でコンパ
クトに展開することができ、これにより、収納時や搬送
時には開口部を閉じ、周囲の清浄度に影響されることな
くカセット内の清浄度を保ち、浮遊する異物がガラス基
板に付着することを防止することができ、その結果、ク
リーンルームの搬送ルート部と収納部のクリーン度を下
げたり、搬送ルート部と収納部を外部に設けてクリーン
ルームの体積を小さくしたりすることができる。
【００２１】また、前部カバーの閉じ位置で、前部カバ
ーを固定するロック機構を設けることにより、前部カバ
ーと上部カバーを閉じ位置で固定し、ガラス基板を収納
している時やカセットを搬送している時に、ガラス基板
が落下しないようにするとともに、カセットの搬送時に
傾いたり旋回したりしても、ガラス基板をカセット内で
移動しないようにすることができる。
ーを固定するロック機構を設けることにより、前部カバ
ーと上部カバーを閉じ位置で固定し、ガラス基板を収納
している時やカセットを搬送している時に、ガラス基板
が落下しないようにするとともに、カセットの搬送時に
傾いたり旋回したりしても、ガラス基板をカセット内で
移動しないようにすることができる。
【００２２】また、前部カバーの開き位置で、前部カバ
ーを固定するロック機構を設けることにより、前部カバ
ーと上部カバーを開き位置で固定し、カセットの開口部
の不意の閉塞を防止することができる。
ーを固定するロック機構を設けることにより、前部カバ
ーと上部カバーを開き位置で固定し、カセットの開口部
の不意の閉塞を防止することができる。
【００２３】さらに、ロック機構を、側部カバーに設け
た係止部と、カセットの側板に配設され、係止部に離脱
可能に係合するロック片とにより構成することにより、
ロック機構をガラス基板収納用カセットに簡便に設ける
ことができる。
た係止部と、カセットの側板に配設され、係止部に離脱
可能に係合するロック片とにより構成することにより、
ロック機構をガラス基板収納用カセットに簡便に設ける
ことができる。
【図１】本発明のガラス基板収納用カセットの一実施例
を示し、（ａ）は前部カバーと上部カバーが閉じた状態
を示す斜視図、（ｂ）は前部カバーと上部カバーが開き
かけた状態を示す斜視図である。
を示し、（ａ）は前部カバーと上部カバーが閉じた状態
を示す斜視図、（ｂ）は前部カバーと上部カバーが開き
かけた状態を示す斜視図である。
【図２】同実施例のガラス基板収納用カセットを示し、
（ａ）は前部カバーと上部カバーがさらに開いた状態を
示す斜視図、（ｂ）は前部カバーと上部カバーが完全に
開いた状態を示す斜視図である。
（ａ）は前部カバーと上部カバーがさらに開いた状態を
示す斜視図、（ｂ）は前部カバーと上部カバーが完全に
開いた状態を示す斜視図である。
１ カセット
１ａ 開口部
１１ 天板
１２ 側板
１２ａ 側板上部
２ 前部カバー
３ 上部カバー
４ 側部カバー
５ ピン
６ ロック機構
６１ 係止部
６２ 係止部
６３ ロック片
Ａ ガラス基板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 島川 直樹
兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立
機電工業株式会社内
(72)発明者 福渡 一郎
兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立
機電工業株式会社内
Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA15 BB03 CA02 CB03
DA17 DB04 DC02 FA03 GA04
5F031 CA05 DA01 DA08 EA12 NA02
NA18 PA26
Claims (4)
- 【請求項１】 複数枚の液晶ガラス基板を多段式に収納
し、ガラス基板を前面の開口部から出し入れする箱状の
ガラス基板収納用カセットにおいて、開口部に配設され
る前部カバーと、該前部カバーの上部に折曲可能に接続
され、カセットの天板に沿って配設される上部カバー
と、前部カバーの両側部からカセットの側板に沿ってそ
れぞれ延設された側部カバーとを設けるとともに、側板
の上部を円弧状に形成して、側部カバーを側板に枢着
し、前部カバーを回動可能となしたことを特徴とするガ
ラス基板収納用カセット。 - 【請求項２】 前部カバーの閉じ位置で、前部カバーを
固定するロック機構を設けたことを特徴とする請求項１
記載のガラス基板収納用カセット。 - 【請求項３】 前部カバーの開き位置で、前部カバーを
固定するロック機構を設けたことを特徴とする請求項１
又は２記載のガラス基板収納用カセット。 - 【請求項４】 ロック機構を、側部カバーに設けた係止
部と、カセットの側板に配設され、係止部に離脱可能に
係合するロック片とにより構成したことを特徴とする請
求項２又は３記載のガラス基板収納用カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001192673A JP2003007814A (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | ガラス基板収納用カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001192673A JP2003007814A (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | ガラス基板収納用カセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003007814A true JP2003007814A (ja) | 2003-01-10 |
Family
ID=19031094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001192673A Pending JP2003007814A (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | ガラス基板収納用カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003007814A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105225993A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-01-06 | 盛美半导体设备（上海）有限公司 | 手动的载片花篮装载机构 |
| KR20200014906A (ko) * | 2017-06-23 | 2020-02-11 | 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드 | 기판 이송 박스 및 기판 자동 이송 시스템 |
-
2001
- 2001-06-26 JP JP2001192673A patent/JP2003007814A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105225993A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-01-06 | 盛美半导体设备（上海）有限公司 | 手动的载片花篮装载机构 |
| KR20200014906A (ko) * | 2017-06-23 | 2020-02-11 | 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드 | 기판 이송 박스 및 기판 자동 이송 시스템 |
| KR102332850B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2021-12-01 | 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드 | 기판 이송 박스 및 기판 자동 이송 시스템 |
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