TWM518213U - 具通氣之晶圓傳送盒 - Google Patents

Description

具通氣之晶圓傳送盒

本新型係有關於一種具通氣之晶圓傳送盒。

習知晶圓盒用以放置複數個晶圓，且可於廠區內之半導體製程間傳輸。習知晶圓盒可為前開式標準盒(Front Opening Unified Pod,FOUP)。當於不同廠區間傳送晶圓時，通常將習知晶圓盒再以塑膠袋真空包裝後傳送。習知僅以塑膠袋真空包裝之方式不能提供習知晶圓盒在傳送時之防震效果，可能造成習知晶圓盒內晶圓之損壞或造成盒內微粒掉落而影響晶圓良率。並且，上述習知方式不能提供習知晶圓盒在傳送時之良好環境，例如不能控制習知晶圓盒傳送時之周圍環境溫度、濕度及特殊氣體含量，使得習知晶圓盒之晶圓易受周圍環境變化而造成晶圓損壞。

本新型提供一種具通氣之晶圓傳送盒。在一實施例中，具通氣之晶圓傳送盒包括一盒體、一承載座、複數個氣體傳輸裝置及一蓋體。該盒體具有一開口、一容納空間及複數個氣體輸入孔。該承載座設置於該容納空間內，該承載座用以承載一晶圓盒。該等氣體傳輸裝置用以連通該晶圓盒之氣體輸入口及該盒體之氣體輸入孔。該蓋體覆蓋該開口，且接觸該晶圓盒之一頂部。

本新型之晶圓傳送盒可輸入氣體，使晶圓傳送盒內之氣體可流通循環，以控制本新型之晶圓傳送盒內之溫度、濕度及特殊氣體含 量；且本新型之晶圓傳送盒可輸入氣體至晶圓盒內，使該晶圓盒內之氣體可流通循環，以控制晶圓盒內之溫度、濕度及特殊氣體含量，避免避免晶圓盒內晶圓受到雜質或微粒之污染或因環境變化而造成晶圓損壞，降低晶圓受掉落微粒的影響而造成良率下降。

10‧‧‧具通氣之晶圓傳送盒

11‧‧‧氣體傳遞裝置

12‧‧‧氣體傳輸裝置

13‧‧‧氣體供給裝置

20‧‧‧盒體

21‧‧‧開口

22‧‧‧容納空間

23‧‧‧第一間隔件

25‧‧‧第一氣體輸入孔

26‧‧‧第二氣體輸入孔

27‧‧‧第一氣體輸出孔

28‧‧‧第二氣體輸出孔

30‧‧‧承載座

31、32‧‧‧導塊

33、34‧‧‧孔洞

36‧‧‧第一固定件

37‧‧‧第二固定件

40‧‧‧第一緩衝元件

41‧‧‧橫向緩衝元件

42‧‧‧縱向緩衝元件

50‧‧‧蓋體

51‧‧‧蓋板

52‧‧‧固定框

53‧‧‧緩衝板

54‧‧‧止檔板

55‧‧‧第二緩衝元件

56‧‧‧橫向緩衝元件

57‧‧‧縱向緩衝元件

70‧‧‧晶圓盒

80‧‧‧感測裝置

71‧‧‧氣體輸入口

121‧‧‧第一傳輸管

122‧‧‧第二間隔件

123‧‧‧第一墊圈

131‧‧‧第二墊圈

132‧‧‧第二傳輸管

133‧‧‧管路

311‧‧‧引導斜面

312‧‧‧夾制面

411‧‧‧外螺紋軸管

413‧‧‧鋼珠

421‧‧‧外螺紋軸管

423‧‧‧定位柱

561‧‧‧外螺紋軸管

563‧‧‧鋼珠

571‧‧‧外螺紋軸管

573‧‧‧鋼珠

圖1顯示本新型之晶圓傳送盒容置晶圓盒之一實施例之示意圖；圖2顯示本新型之晶圓傳送盒之承載座及氣體傳遞裝置之一實施例之示意圖；圖3顯示本新型之晶圓傳送盒之盒體之一實施例之示意圖；圖4顯示本新型之晶圓傳送盒之氣體傳遞裝置及氣體傳輸裝置之一實施例之示意圖；圖5顯示本新型之晶圓傳送盒之氣體傳輸裝置之一實施例之放大示意圖；圖6顯示本新型之晶圓傳送盒之蓋體之一實施例之示意圖；及圖7顯示本新型之晶圓傳送盒之蓋體及晶圓盒之一實施例之示意圖。

圖1顯示本新型之晶圓傳送盒容置晶圓盒之一實施例之示意圖；圖2顯示本新型之晶圓傳送盒之承載座及氣體傳遞裝置之一實施例之示意圖；圖3顯示本新型之晶圓傳送盒之盒體之一實施例之示意圖；圖4顯示本新型之晶圓傳送盒之氣體傳遞裝置及氣體傳輸裝置之一實施例之示意圖；圖5顯示本新型之晶圓傳送盒之氣體傳輸裝置之一實施例之放大示意圖。配合參考圖1至圖5，在一實施例中，本新型具通氣之晶圓傳送盒10包括一盒體20、一承載座30、複數個氣體傳輸裝置12及一蓋體50。

該盒體20具有一開口21及一容納空間22。該開口21係朝上。該 盒體20可為壓克力材質或塑膠材質，且可為透明壓克力。該承載座30設置於該容納空間22內，用以承載一晶圓盒70。該晶圓盒70用以放置複數個晶圓，可為前開式標準盒(Front Opening Unified Pod,FOUP)。該承載座30具有複數個導塊31、32，用以引導該晶圓盒70設置於該承載座30上。在一實施例中，該承載座30具有五個導塊31、32，分別設置於該承載座30之側邊，每一導塊具有一引導斜面及一夾制面，以導塊31為例，該導塊31具有一引導斜面311及一夾制面312，該引導斜面311朝向該晶圓傳送盒10之內部，使該晶圓盒70由該開口21置入時，能由該引導斜面311順利引導設置於該承載座30上，避免置入時之震動及搖晃，而影響該晶圓盒70內之晶圓；且該晶圓盒70可由該夾制面312夾制固定於該承載座30上。

該晶圓傳送盒10另包括複數個第一緩衝元件40。該等第一緩衝元件40設置於該承載座30，且該等第一緩衝元件40接觸該盒體20。該等第一緩衝元件40具有複數個橫向緩衝元件41及縱向緩衝元件42。該等橫向緩衝元件41設置於該承載座30之側邊，且該等橫向緩衝元件41接觸該盒體20之側面。在一實施例中，該承載座30之每一側邊設置二個橫向緩衝元件41，該橫向緩衝元件41可為一外螺紋定位珠，其包括一外螺紋軸管411、一彈簧(圖未示出)及一鋼珠413，該彈簧設置於該外螺紋軸管411內，該鋼珠413設置於該外螺紋軸管411之一端，該彈簧抵頂該鋼珠413。該橫向緩衝元件41設置於該承載座30之一第一固定件36，該第一固定件36具有內螺紋，以與該外螺紋軸管411配合。該鋼珠413接觸該盒體20之側面，以提供該承載座30及該晶圓盒70橫向及側面之緩衝避震。

該等縱向緩衝元件42設置於該承載座30之角落，且該等縱向緩衝元件42接觸該盒體20之底面。在一實施例中，該等縱向緩衝元件42設置於該承載座30之四角落，該縱向緩衝元件42可為一外螺紋定位 柱，其包括一外螺紋軸管421、一彈簧(圖未示出)及一定位柱423，該彈簧設置於該外螺紋軸管421內，該定位柱423設置於該外螺紋軸管421之一端，該彈簧抵頂該定位柱423。該縱向緩衝元件42設置於該承載座30之一第二固定件37，該第二固定件37具有內螺紋，以與該外螺紋軸管421配合。該定位柱423接觸該盒體20之底面，以提供該承載座30及該晶圓盒70縱向及底面之緩衝避震。

該盒體20另包括複數個氣體輸入孔25、26及複數個氣體輸出孔27、28，設置於該盒體20之底部。該等氣體輸入孔25、26包括複數個第一氣體輸入孔25及複數個第二氣體輸入孔26，該等氣體輸出孔27、28包括複數個第一氣體輸出孔27及複數個第二氣體輸出孔28。在一實施例中，該盒體20包括二個第一氣體輸入孔25、二個第二氣體輸入孔26、二個第一氣體輸出孔27及二個第二氣體輸出孔28。二個第一氣體輸入孔25及二個第一氣體輸出孔27用以提供該晶圓傳送盒10之氣體循環；二個第二氣體輸入孔26及二個第二氣體輸出孔28用以提供該晶圓盒70之氣體循環。該等氣體輸入孔25、26連接氣體供給裝置，以輸入氣體，例如氮氣。

該晶圓傳送盒10另包括複數個氣體傳遞裝置11，連通該盒體20之該等第一氣體輸入孔25。在一實施例中，該晶圓傳送盒10包括二個氣體傳遞裝置11，連通該盒體20之二個第一氣體輸入孔25。該氣體傳遞裝置11可為一多孔性管，使氣體由該多孔性管之外側面輸出。該承載座30具有複數個孔洞33、34，貫穿該承載座30之上下表面，使得該晶圓傳送盒10內之氣體得以流通。該多孔性管之外側面輸出之氣體，可經由該等孔洞33、34，由該等第一氣體輸出孔27排出。因此，在傳送時，本新型之晶圓傳送盒10內之氣體可流通循環，以控制本新型之晶圓傳送盒10內之溫度、濕度及特殊氣體含量。

該等氣體傳輸裝置12連通該晶圓盒70之氣體輸入口71及該盒體 20之該等第二氣體輸入孔26，使得該等第二氣體輸入孔26輸入之氣體可輸入至該晶圓盒70內，且該晶圓盒70排出之氣體可由第二氣體輸出孔28排出。因此，在傳送時，該晶圓盒70內之氣體可流通循環，以控制該晶圓盒70內之溫度、濕度及特殊氣體含量。

該氣體傳輸裝置12包括一第一傳輸管121、複數個第二間隔件122及一第一墊圈123。該第一傳輸管121連通該晶圓盒70之氣體輸入口71及該盒體20之該等第二氣體輸入孔26。該等第二間隔件122及該第一墊圈123設置於該盒體20之該等第二氣體輸入孔26外，形成一通氣空間，部分該第一傳輸管121設置於該通氣空間，且該第一傳輸管121與該第二氣體輸入孔26間具有一空隙124，以提供該氣體傳輸裝置12之避震緩衝。該第一墊圈123可為矽膠材質，亦具有相當之彈性。

該氣體供給裝置13連接該等第二氣體輸入孔26，該氣體供給裝置13包括複數個第二墊圈131、複數個第二傳輸管132及一管路133。該等第二墊圈131設置於該等第二氣體輸入孔26內，該等第二傳輸管132連接該等第二墊圈131，且該管路133連接該等第二傳輸管132，該管路133輸入氣體，例如氮氣。因此，利用該等氣體傳輸裝置12，可輸入氣體至該晶圓盒70，以控制該晶圓盒70內之溫度、濕度及特殊氣體含量。

圖6顯示本新型之晶圓傳送盒之蓋體之一實施例之示意圖；圖7顯示本新型之晶圓傳送盒之蓋體及晶圓盒之一實施例之示意圖。配合參考圖1、圖6及圖7，該蓋體50覆蓋該開口21，且接觸該晶圓盒70之一頂部。

在一實施例中，該蓋體50包括一蓋板51、一固定框52、一緩衝板53、一止檔板54及複數個第二緩衝元件55。該固定框52設置於該蓋板51之底面。該緩衝板53活動式地設置於該固定框52內，且該緩衝板53呈凹槽狀，配合該晶圓盒70之該頂部之形狀，使該晶圓盒70之該頂 部容納至該緩衝板53內。該止檔板54固定至該固定框52，且該止檔板54呈方形環狀，其寬度延伸至足以限制該緩衝板53向下移動。

該等第二緩衝元件55具有複數個橫向緩衝元件56及縱向緩衝元件57。該等橫向緩衝元件56設置於該固定框52之側邊，且該等橫向緩衝元件56接觸該緩衝板53之側面。在一實施例中，該固定框52之每一側邊設置二個橫向緩衝元件56，該橫向緩衝元件56可為一外螺紋定位珠，其包括一外螺紋軸管561、一彈簧(圖未示出)及一鋼珠563，該彈簧設置於該外螺紋軸管561內，該鋼珠563設置於該外螺紋軸管561之一端，該彈簧抵頂該鋼珠563。該橫向緩衝元件56設置於該固定框52，且該固定框52具有內螺紋，以與該外螺紋軸管561配合。該鋼珠563接觸該緩衝板53之側面，以提供該晶圓盒70之該頂部之橫向及側面之緩衝避震。

縱向緩衝元件57設置於該緩衝板53之側邊，且該等縱向緩衝元件57接觸該蓋板51。在一實施例中，該緩衝板53之每一側邊設置一個縱向緩衝元件57，該縱向緩衝元件57可為一外螺紋定位珠，其包括一外螺紋軸管571、一彈簧(圖未示出)及一鋼珠573，該彈簧設置於該外螺紋軸管571內，該鋼珠573設置於該外螺紋軸管571之一端，該彈簧抵頂該鋼珠573。該縱向緩衝元件57設置於該緩衝板53之側邊，且該緩衝板53之側邊具有內螺紋，以與該外螺紋軸管571配合。該鋼珠573接觸該蓋板51，以提供該晶圓盒70之該頂部之縱向之緩衝避震。

該晶圓傳送盒10另包括一感測裝置80，設置於該盒體20或該蓋體50，該感測裝置80用以偵測該晶圓傳送盒10內之溫度、濕度或壓力。該感測裝置80另可用以作為一加速度器(Accelerometer)、陀螺儀(Gyroscope)或磁力計(Magnetometer)等。該感測裝置80亦可用以偵測特殊氣體含量，例如：氧氣或氮氣等。且該感測裝置80可利 用無線或有線方式傳輸所偵測之訊號。

利用本新型之晶圓傳送盒，可提供於傳送該晶圓盒時之頂部、側面及底面之全方位避震緩衝，以避免晶圓盒內晶圓之損壞。本新型之晶圓傳送盒可輸入氣體，以控制本新型之晶圓傳送盒內之溫度、濕度及特殊氣體含量，且本新型之晶圓傳送盒可輸入氣體至晶圓盒內，以控制晶圓盒內之溫度、濕度及特殊氣體含量，避免避免晶圓盒內晶圓受到雜質或微粒之污染或因環境變化而造成晶圓損壞，降低晶圓受掉落微粒的影響而造成良率下降。

上述實施例僅為說明本新型之原理及其功效，而非限制本新型。習於此技術之人士對上述實施例所做之修改及變化仍不違背本新型之精神。本新型之權利範圍應如後述之申請專利範圍所列。

10‧‧‧具通氣之晶圓傳送盒

11‧‧‧氣體傳遞裝置

20‧‧‧盒體

21‧‧‧開口

23‧‧‧第一間隔件

30‧‧‧承載座

31、32‧‧‧導塊

36‧‧‧第一固定件

37‧‧‧第二固定件

40‧‧‧第一緩衝元件

41‧‧‧橫向緩衝元件

42‧‧‧縱向緩衝元件

50‧‧‧蓋體

52‧‧‧固定框

55‧‧‧第二緩衝元件

70‧‧‧晶圓盒

80‧‧‧感測裝置

311‧‧‧引導斜面

312‧‧‧夾制面

Claims (16)

1. 一種具通氣之晶圓傳送盒，包括：一盒體，具有一開口、一容納空間及複數個氣體輸入孔；一承載座，設置於該容納空間內，該承載座用以承載一晶圓盒；複數個氣體傳輸裝置，用以連通該晶圓盒之氣體輸入口及該盒體之氣體輸入孔；及一蓋體，覆蓋該開口，且接觸該晶圓盒之一頂部。
2. 根據請求項1之晶圓傳送盒，另包括複數個第一緩衝元件，設置於該承載座，且該等第一緩衝元件接觸該盒體。
3. 根據請求項2之晶圓傳送盒，其中該等第一緩衝元件具有複數個橫向緩衝元件及縱向緩衝元件，該等橫向緩衝元件設置於該承載座之側邊，且該等橫向緩衝元件接觸該盒體之側面；該等縱向緩衝元件設置於該承載座之角落，且該等縱向緩衝元件接觸該盒體之底部。
4. 根據請求項3之晶圓傳送盒，其中該橫向緩衝元件為一外螺紋定位珠，該承載座包括複數個第一固定件，該橫向緩衝元件設置於該承載座之該第一固定件，該第一固定件具有內螺紋，以與該外螺紋定位珠配合。
5. 根據請求項3之晶圓傳送盒，其中該縱向緩衝元件為一外螺紋定位柱，該承載座包括複數個第二固定件，該縱向緩衝元件設置於該承載座之該第二固定件，該第二固定件具有內螺紋，以與該外螺紋定位柱配合。
6. 根據請求項1之晶圓傳送盒，其中該承載座具有複數個導塊，用以引導該晶圓盒設置於該承載座上。
7. 根據請求項6之晶圓傳送盒，其中該導塊具有一引導斜面及一夾制面，該引導斜面朝向該晶圓傳送盒之內部，用以引導該晶圓盒設置於該承載座上；該夾制面用以夾制固定該晶圓盒於該承載座上。
8. 根據請求項1之晶圓傳送盒，其中該承載座具有複數個孔洞，貫穿該承載座。
9. 根據請求項1之晶圓傳送盒，其中該盒體另包括複數個氣體輸出孔。
10. 根據請求項9之晶圓傳送盒，其中該等氣體輸入孔包括複數個第一氣體輸入孔及複數個第二氣體輸入孔；該等氣體輸出孔包括複數個第一氣體輸出孔及複數個第二氣體輸出孔。
11. 根據請求項10之晶圓傳送盒，另包括複數個氣體傳遞裝置，連通該盒體之該等第一氣體輸入孔。
12. 根據請求項10之晶圓傳送盒，其中該等氣體傳輸裝置連通該晶圓盒之氣體輸入口及該盒體之該等第二氣體輸入孔。
13. 根據請求項12之晶圓傳送盒，其中該氣體傳輸裝置包括一第一傳輸管、複數個第二間隔件及一第一墊圈，該第一傳輸管連通該晶圓盒之氣體輸入口及該盒體之該等第二氣體輸入孔；該等第二間隔件及該第一墊圈設置於該盒體之該等第二氣體輸入孔外，形成一通氣空間，部分 該第一傳輸管設置於該通氣空間，且該第一傳輸管與該第二氣體輸入孔間具有一空隙。
14. 根據請求項1之晶圓傳送盒，其中該蓋體包括一蓋板、一固定框、一緩衝板、一止檔板及複數個第二緩衝元件；該固定框設置於該蓋板之底面；該緩衝板活動式地設置於該固定框內，且該緩衝板呈凹槽狀，使該晶圓盒之該頂部容納至該緩衝板內；該止檔板固定至該固定框，且該止檔板呈方形環狀，其寬度延伸至足以限制該緩衝板向下移動；該等第二緩衝元件具有複數個橫向緩衝元件及縱向緩衝元件，該等橫向緩衝元件設置於該固定框之側邊，且該等橫向緩衝元件接觸該緩衝板之側面，該等縱向緩衝元件設置於該緩衝板之側邊，且該等縱向緩衝元件接觸該蓋板。
15. 根據請求項14之晶圓傳送盒，其中該等第二緩衝元件之該等橫向緩衝元件及該等縱向緩衝元件為外螺紋定位珠。
16. 根據請求項1之晶圓傳送盒，另包括一感測裝置，設置於該盒體或該蓋體，該感測裝置用以偵測該晶圓傳送盒內之溫度、濕度或壓力。