CN205122548U - 具有通气功能的晶圆传送盒 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种具有通气功能的晶圆传送盒。具有通气功能的晶圆传送盒包括一盒体、一承载座、多个气体传输装置及一盖体。该盒体具有一开口、一容纳空间及多个气体输入孔。该承载座设置于该容纳空间内，该承载座用以承载一晶圆盒。所述气体传输装置用以连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的气体输入孔。该盖体覆盖该开口，且接触该晶圆盒的一顶部。本实用新型的晶圆传送盒可输入气体，以控制该晶圆传送盒内的温度、湿度及特殊气体含量，且本实用新型的晶圆传送盒可输入气体至该晶圆盒内，以控制晶圆盒内的温度、湿度及特殊气体含量，避免晶圆盒内晶圆受到杂质或微粒的污染或因环境变化而造成晶圆损坏。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种具有通气功能的晶圆传送盒。
背景技术
现有晶圆盒用以放置多个晶圆，且可于厂区内的半导体制造过程间传输。现有晶圆盒可为前开式标准盒(FrontOpeningUnifiedPod,FOUP)。当于不同厂区间传送晶圆时，通常将现有晶圆盒再以塑料袋真空包装后传送。现有仅以塑料袋真空包装的方式不能提供现有晶圆盒在传送时的防震效果，可能造成现有晶圆盒内晶圆的损坏或造成盒内微粒掉落而影响晶圆良率。并且，上述现有方式不能提供现有晶圆盒在传送时的良好环境，例如不能控制现有晶圆盒传送时的周围环境温度、湿度及特殊气体含量，使得现有晶圆盒的晶圆易受周围环境变化而造成晶圆损坏。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种具有通气功能的晶圆传送盒。
为达上述目的，本实用新型的主要技术方案为：在一实施例中，具有通气功能的晶圆传送盒包括一盒体、一承载座、多个气体传输装置及一盖体。该盒体具有一开口、一容纳空间及多个气体输入孔。该承载座设置于该容纳空间内，该承载座用以承载一晶圆盒。所述气体传输装置用以连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的气体输入孔。该盖体覆盖该开口，且接触该晶圆盒的一顶部。
优选地，所述具有通气功能的晶圆传送盒还包括多个第一缓冲元件，所述第一缓冲元件设置于该承载座，且所述第一缓冲元件接触该盒体。
优选地，所述第一缓冲元件具有多个横向缓冲元件及纵向缓冲元件，所述横向缓冲元件设置于该承载座的侧边，且所述横向缓冲元件接触该盒体的侧面；所述纵向缓冲元件设置于该承载座的角落，且所述纵向缓冲元件接触该盒体的底部。
优选地，所述横向缓冲元件为一外螺纹定位珠，该承载座包括多个第一固定件，该横向缓冲元件设置于该承载座的该第一固定件，该第一固定件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。
优选地，所述纵向缓冲元件为一外螺纹定位柱，该承载座包括多个第二固定件，该纵向缓冲元件设置于该承载座的该第二固定件，该第二固定件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。
优选地，所述承载座具有多个导块，用以引导该晶圆盒设置于该承载座上。
优选地，所述导块具有一引导斜面及一夹制面，该引导斜面朝向该晶圆传送盒的内部，用以引导该晶圆盒设置于该承载座上；该夹制面用以夹制固定该晶圆盒于该承载座上。
优选地，所述承载座具有多个孔洞，贯穿该承载座。
优选地，所述盒体还包括多个气体输出孔。
优选地，所述气体输入孔包括多个第一气体输入孔及多个第二气体输入孔；所述气体输出孔包括多个第一气体输出孔及多个第二气体输出孔。
优选地，所述具有通气功能的晶圆传送盒还包括多个气体传递装置，连通该盒体的所述第一气体输入孔。
优选地，所述气体传输装置连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的所述第二气体输入孔。
优选地，所述气体传输装置包括一第一传输管、多个第二间隔件及一第一垫圈，该第一传输管连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的所述第二气体输入孔；所述第二间隔件及该第一垫圈设置于该盒体的所述第二气体输入孔外，形成一通气空间，部分该第一传输管设置于该通气空间，且该第一传输管与该第二气体输入孔间具有一空隙。
优选地，所述盖体包括一盖板、一固定框、一缓冲板、一止挡板及多个第二缓冲元件；该固定框设置于该盖板的底面；该缓冲板活动式地设置于该固定框内，且该缓冲板呈凹槽状，使该晶圆盒的该顶部容纳至该缓冲板内；该止挡板固定至该固定框，且该止挡板呈方形环状，该止挡板的宽度延伸至足以限制该缓冲板向下移动；所述第二缓冲元件具有多个横向缓冲元件及纵向缓冲元件，所述横向缓冲元件设置于该固定框的侧边，且所述横向缓冲元件接触该缓冲板的侧面，所述纵向缓冲元件设置于该缓冲板的侧边，且所述纵向缓冲元件接触该盖板。
优选地，所述第二缓冲元件的所述横向缓冲元件及所述纵向缓冲元件为外螺纹定位珠。
优选地，所述具有通气功能的晶圆传送盒还包括一感测装置，设置于该盒体或该盖体，该感测装置用以检测该晶圆传送盒内的温度、湿度或压力。
本实用新型的有益效果在于：本实用新型的晶圆传送盒可输入气体，使晶圆传送盒内的气体可流通循环，以控制本实用新型的晶圆传送盒内的温度、湿度及特殊气体含量；且本实用新型的晶圆传送盒可输入气体至晶圆盒内，使该晶圆盒内的气体可流通循环，以控制晶圆盒内的温度、湿度及特殊气体含量，避免晶圆盒内晶圆受到杂质或微粒的污染或因环境变化而造成晶圆损坏，降低晶圆受掉落微粒的影响而造成良率下降。
附图说明
图1显示本实用新型的晶圆传送盒容置晶圆盒的一实施例的示意图；
图2显示本实用新型的晶圆传送盒的承载座及气体传递装置的一实施例的示意图；
图3显示本实用新型的晶圆传送盒的盒体的一实施例的示意图；
图4显示本实用新型的晶圆传送盒的气体传递装置及气体传输装置的一实施例的示意图；
图5显示本实用新型的晶圆传送盒的气体传输装置的一实施例的放大示意图；
图6显示本实用新型的晶圆传送盒的盖体的一实施例的示意图；
图7显示本实用新型的晶圆传送盒的盖体及晶圆盒的一实施例的示意图。
主要部件符号说明：
10具有通气功能的晶圆传送盒
11气体传递装置
12气体传输装置
13气体供给装置
20盒体
21开口
22容纳空间
23第一间隔件
25第一气体输入孔
26第二气体输入孔
27第一气体输出孔
28第二气体输出孔
30承载座
31、32导块
33、34孔洞
36第一固定件
37第二固定件
40第一缓冲元件
41横向缓冲元件
42纵向缓冲元件
50盖体
51盖板
52固定框
53缓冲板
54止挡板
55第二缓冲元件
56横向缓冲元件
57纵向缓冲元件
70晶圆盒
80感测装置
71气体输入口
121第一传输管
122第二间隔件
123第一垫圈
131第二垫圈
132第二传输管
133管路
311引导斜面
312夹制面
411外螺纹轴管
413钢珠
421外螺纹轴管
423定位柱
561外螺纹轴管
563钢珠
571外螺纹轴管
573钢珠。
具体实施方式
图1显示本实用新型的晶圆传送盒容置晶圆盒的一实施例的示意图；图2显示本实用新型的晶圆传送盒的承载座及气体传递装置的一实施例的示意图；图3显示本实用新型的晶圆传送盒的盒体的一实施例的示意图；图4显示本实用新型的晶圆传送盒的气体传递装置及气体传输装置的一实施例的示意图；图5显示本实用新型的晶圆传送盒的气体传输装置的一实施例的放大示意图。配合参考图1至图5，在一实施例中，本实用新型具有通气功能的晶圆传送盒10包括一盒体20、一承载座30、多个气体传输装置12及一盖体50。
该盒体20具有一开口21及一容纳空间22。该开口21朝上。该盒体20可为压克力材料或塑料材料，且可为透明压克力。该承载座30设置于该容纳空间22内，用以承载一晶圆盒70。该晶圆盒70用以放置多个晶圆，可为前开式标准盒(FrontOpeningUnifiedPod,FOUP)。该承载座30具有多个导块31、32，用以引导该晶圆盒70设置于该承载座30上。在一实施例中，该承载座30具有五个导块31、32，分别设置于该承载座30的侧边，每一导块具有一引导斜面及一夹制面，以导块31为例，该导块31具有一引导斜面311及一夹制面312，该引导斜面311朝向该晶圆传送盒10的内部，使该晶圆盒70由该开口21置入时，能由该引导斜面311顺利引导设置于该承载座30上，避免置入时的震动及摇晃，而影响该晶圆盒70内的晶圆；且该晶圆盒70可由该夹制面312夹制固定于该承载座30上。
该晶圆传送盒10还包括多个第一缓冲元件40。所述第一缓冲元件40设置于该承载座30，且所述第一缓冲元件40接触该盒体20。所述第一缓冲元件40具有多个横向缓冲元件41及纵向缓冲元件42。所述横向缓冲元件41设置于该承载座30的侧边，且所述横向缓冲元件41接触该盒体20的侧面。在一实施例中，该承载座30的每一侧边设置两个横向缓冲元件41，该横向缓冲元件41可为一外螺纹定位珠，其包括一外螺纹轴管411、一弹簧(图中未示出)及一钢珠413，该弹簧设置于该外螺纹轴管411内，该钢珠413设置于该外螺纹轴管411的一端，该弹簧抵顶该钢珠413。该横向缓冲元件41设置于该承载座30的一第一固定件36，该第一固定件36具有内螺纹，以与该外螺纹轴管411配合。该钢珠413接触该盒体20的侧面，以提供该承载座30及该晶圆盒70横向及侧面的缓冲避震。
所述纵向缓冲元件42设置于该承载座30的角落，且所述纵向缓冲元件42接触该盒体20的底面。在一实施例中，所述纵向缓冲元件42设置于该承载座30的四角落，该纵向缓冲元件42可为一外螺纹定位柱，其包括一外螺纹轴管421、一弹簧(图中未示出)及一定位柱423，该弹簧设置于该外螺纹轴管421内，该定位柱423设置于该外螺纹轴管421的一端，该弹簧抵顶该定位柱423。该纵向缓冲元件42设置于该承载座30的一第二固定件37，该第二固定件37具有内螺纹，以与该外螺纹轴管421配合。该定位柱423接触该盒体20的底面，以提供该承载座30及该晶圆盒70纵向及底面的缓冲避震。
该盒体20还包括多个气体输入孔25、26及多个气体输出孔27、28，设置于该盒体20的底部。所述气体输入孔25、26包括多个第一气体输入孔25及多个第二气体输入孔26，所述气体输出孔27、28包括多个第一气体输出孔27及多个第二气体输出孔28。在一实施例中，该盒体20包括两个第一气体输入孔25、两个第二气体输入孔26、两个第一气体输出孔27及两个第二气体输出孔28。两个第一气体输入孔25及两个第一气体输出孔27用以提供该晶圆传送盒10的气体循环；两个第二气体输入孔26及两个第二气体输出孔28用以提供该晶圆盒70的气体循环。所述气体输入孔25、26连接气体供给装置，以输入气体，例如氮气。
该晶圆传送盒10还包括多个气体传递装置11，连通该盒体20的所述第一气体输入孔25。在一实施例中，该晶圆传送盒10包括两个气体传递装置11，连通该盒体20的两个第一气体输入孔25。该气体传递装置11可为一多孔性管，使气体由该多孔性管的外侧面输出。该承载座30具有多个孔洞33、34，贯穿该承载座30的上下表面，使得该晶圆传送盒10内的气体得以流通。该多孔性管的外侧面输出的气体，可经由所述孔洞33、34，由所述第一气体输出孔27排出。因此，在传送时，本实用新型的晶圆传送盒10内的气体可流通循环，以控制本实用新型的晶圆传送盒10内的温度、湿度及特殊气体含量。
所述气体传输装置12连通该晶圆盒70的气体输入口71及该盒体20的所述第二气体输入孔26，使得所述第二气体输入孔26输入的气体可输入至该晶圆盒70内，且该晶圆盒70排出的气体可由第二气体输出孔28排出。因此，在传送时，该晶圆盒70内的气体可流通循环，以控制该晶圆盒70内的温度、湿度及特殊气体含量。
该气体传输装置12包括一第一传输管121、多个第二间隔件122及一第一垫圈123。该第一传输管121连通该晶圆盒70的气体输入口71及该盒体20的所述第二气体输入孔26。所述第二间隔件122及该第一垫圈123设置于该盒体20的所述第二气体输入孔26外，形成一通气空间，部分该第一传输管121设置于该通气空间，且该第一传输管121与该第二气体输入孔26间具有一空隙124，以提供该气体传输装置12的避震缓冲。该第一垫圈123可为硅胶材料，亦具有相当的弹性。
该气体供给装置13连接所述第二气体输入孔26，该气体供给装置13包括多个第二垫圈131、多个第二传输管132及一管路133。所述第二垫圈131设置于所述第二气体输入孔26内，所述第二传输管132连接所述第二垫圈131，且该管路133连接所述第二传输管132，该管路133输入气体，例如氮气。因此，利用所述气体传输装置12，可输入气体至该晶圆盒70，以控制该晶圆盒70内的温度、湿度及特殊气体含量。
图6显示本实用新型的晶圆传送盒的盖体的一实施例的示意图；图7显示本实用新型的晶圆传送盒的盖体及晶圆盒的一实施例的示意图。配合参考图1、图6及图7，该盖体50覆盖该开口21，且接触该晶圆盒70的一顶部。
在一实施例中，该盖体50包括一盖板51、一固定框52、一缓冲板53、一止挡板54及多个第二缓冲元件55。该固定框52设置于该盖板51的底面。该缓冲板53活动式地设置于该固定框52内，且该缓冲板53呈凹槽状，配合该晶圆盒70的该顶部的形状，使该晶圆盒70的该顶部容纳至该缓冲板53内。该止挡板54固定至该固定框52，且该止挡板54呈方形环状，其宽度延伸至足以限制该缓冲板53向下移动。
所述第二缓冲元件55具有多个横向缓冲元件56及纵向缓冲元件57。所述横向缓冲元件56设置于该固定框52的侧边，且所述横向缓冲元件56接触该缓冲板53的侧面。在一实施例中，该固定框52的每一侧边设置两个横向缓冲元件56，该横向缓冲元件56可为一外螺纹定位珠，其包括一外螺纹轴管561、一弹簧(图中未示出)及一钢珠563，该弹簧设置于该外螺纹轴管561内，该钢珠563设置于该外螺纹轴管561的一端，该弹簧抵顶该钢珠563。该横向缓冲元件56设置于该固定框52，且该固定框52具有内螺纹，以与该外螺纹轴管561配合。该钢珠563接触该缓冲板53的侧面，以提供该晶圆盒70的该顶部的横向及侧面的缓冲避震。
纵向缓冲元件57设置于该缓冲板53的侧边，且所述纵向缓冲元件57接触该盖板51。在一实施例中，该缓冲板53的每一侧边设置一个纵向缓冲元件57，该纵向缓冲元件57可为一外螺纹定位珠，其包括一外螺纹轴管571、一弹簧(图中未示出)及一钢珠573，该弹簧设置于该外螺纹轴管571内，该钢珠573设置于该外螺纹轴管571的一端，该弹簧抵顶该钢珠573。该纵向缓冲元件57设置于该缓冲板53的侧边，且该缓冲板53的侧边具有内螺纹，以与该外螺纹轴管571配合。该钢珠573接触该盖板51，以提供该晶圆盒70的该顶部的纵向的缓冲避震。
该晶圆传送盒10还包括一感测装置80，设置于该盒体20或该盖体50，该感测装置80用以检测该晶圆传送盒10内的温度、湿度或压力。该感测装置80还可用以作为一加速度器(Accelerometer)、陀螺仪(Gyroscope)或磁力计(Magnetometer)等。该感测装置80亦可用以检测特殊气体含量，例如：氧气或氮气等。且该感测装置80可利用无线或有线方式传输所检测的信号。
利用本实用新型的晶圆传送盒，可提供于传送该晶圆盒时的顶部、侧面及底面的全方位避震缓冲，以避免晶圆盒内晶圆的损坏。本实用新型的晶圆传送盒可输入气体，以控制本实用新型的晶圆传送盒内的温度、湿度及特殊气体含量，且本实用新型的晶圆传送盒可输入气体至晶圆盒内，以控制晶圆盒内的温度、湿度及特殊气体含量，避免晶圆盒内晶圆受到杂质或微粒的污染或因环境变化而造成晶圆损坏，降低晶圆受掉落微粒的影响而造成良率下降。
上述实施例仅为说明本实用新型的原理及其功效，而非限制本实用新型。本领域技术人员对上述实施例所做的修改及变化仍不违背本实用新型的精神。本实用新型的权利范围应如所附的权利要求书的范围所列。
Claims (16)
1.一种具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述具有通气功能的晶圆传送盒包括：
一盒体，所述盒体具有一开口、一容纳空间及多个气体输入孔；
一承载座，所述承载座设置于该容纳空间内，该承载座承载一晶圆盒；
多个气体传输装置，所述气体传输装置连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的气体输入孔；及
一盖体，所述盖体覆盖该开口，且接触该晶圆盒的一顶部。
2.根据权利要求1所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述具有通气功能的晶圆传送盒还包括多个第一缓冲元件，所述第一缓冲元件设置于该承载座，且所述第一缓冲元件接触该盒体。
3.根据权利要求2所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述第一缓冲元件具有多个横向缓冲元件及纵向缓冲元件，所述横向缓冲元件设置于该承载座的侧边，且所述横向缓冲元件接触该盒体的侧面；所述纵向缓冲元件设置于该承载座的角落，且所述纵向缓冲元件接触该盒体的底部。
4.根据权利要求3所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述横向缓冲元件为一外螺纹定位珠，该承载座包括多个第一固定件，该横向缓冲元件设置于该承载座的该第一固定件，该第一固定件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。
5.根据权利要求3所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述纵向缓冲元件为一外螺纹定位柱，该承载座包括多个第二固定件，该纵向缓冲元件设置于该承载座的该第二固定件，该第二固定件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。
6.根据权利要求1所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述承载座具有多个导块，所述导块引导该晶圆盒设置于该承载座上。
7.根据权利要求6所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述导块具有一引导斜面及一夹制面，该引导斜面朝向该晶圆传送盒的内部，所述引导斜面引导该晶圆盒设置于该承载座上；该夹制面夹制固定该晶圆盒于该承载座上。
8.根据权利要求1所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述承载座具有多个孔洞，贯穿该承载座。
9.根据权利要求1所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述盒体还包括多个气体输出孔。
10.根据权利要求9所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述气体输入孔包括多个第一气体输入孔及多个第二气体输入孔；所述气体输出孔包括多个第一气体输出孔及多个第二气体输出孔。
11.根据权利要求10所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述具有通气功能的晶圆传送盒还包括多个气体传递装置，连通该盒体的所述第一气体输入孔。
12.根据权利要求10所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述气体传输装置连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的所述第二气体输入孔。
13.根据权利要求12所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述气体传输装置包括一第一传输管、多个第二间隔件及一第一垫圈，该第一传输管连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的所述第二气体输入孔；所述第二间隔件及该第一垫圈设置于该盒体的所述第二气体输入孔外，形成一通气空间，部分该第一传输管设置于该通气空间，且该第一传输管与该第二气体输入孔间具有一空隙。
14.根据权利要求1所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述盖体包括一盖板、一固定框、一缓冲板、一止挡板及多个第二缓冲元件；该固定框设置于该盖板的底面；该缓冲板活动式地设置于该固定框内，且该缓冲板呈凹槽状，使该晶圆盒的该顶部容纳至该缓冲板内；该止挡板固定至该固定框，且该止挡板呈方形环状，该止挡板的宽度延伸至足以限制该缓冲板向下移动；所述第二缓冲元件具有多个横向缓冲元件及纵向缓冲元件，所述横向缓冲元件设置于该固定框的侧边，且所述横向缓冲元件接触该缓冲板的侧面，所述纵向缓冲元件设置于该缓冲板的侧边，且所述纵向缓冲元件接触该盖板。
15.根据权利要求14所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述第二缓冲元件的所述横向缓冲元件及所述纵向缓冲元件为外螺纹定位珠。
16.根据权利要求1所述的具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述具有通气功能的晶圆传送盒还包括一感测装置，设置于该盒体或该盖体，该感测装置检测该晶圆传送盒内的温度、湿度或压力。
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