CN201673896U

CN201673896U - 光罩储存器

Info

Publication number: CN201673896U
Application number: CN2010202163284U
Authority: CN
Inventors: 黄元裕; 吴功; 张伟祥
Original assignee: TAIWAN FORTREND CO Ltd
Current assignee: TAIWAN FORTREND CO Ltd
Priority date: 2010-06-01
Filing date: 2010-06-01
Publication date: 2010-12-15
Anticipated expiration: 2020-06-01

Abstract

一种光罩储存器，包括有：一底座、一架体、及一箱体。其中，底座贯设有复数通孔，其中一通孔与一气体供应装置相通。架体承置于底座上，架体具有复数中空立柱，每一中空立柱开设有一直向气道、及与直向气道连通的复数横向气道，每一中空立柱并横向凸伸复数肋片，复数直向气道并分别对应与底座的复数通孔连通，箱体是盖合于底座上并覆盖住架体。由此，本实用新型能同时储存复数光罩，且能结合层流的气道结构，使每一片光罩的上缘及下缘皆能获得惰性气体充分的保护。

Description

光罩储存器

技术领域

本实用新型是关于一种光罩储存器，尤其指一种适用于可储存复数光罩的光罩储存器。

背景技术

一般的光罩、或圆片等半导体物料多数存放于盒体中保存，且为避免上述物料于储存时，受到氧化或污染，因此必须在非氧化性气体，亦即在惰性气体的环境中保存。由于半导体物料盒无法完全密闭，一般的光罩盒在大气环境下储存一段时间后，盒体内部氧气的含量即会慢慢增加，因此惰性气体充填后的光罩盒其储存期间并不长，仍必须不断的于一段时间内重复充填惰性气体，方能确保光罩盒体内的洁净环境。

目前储存光罩的光罩盒其容量可分为两种型式，一为单片式，一为多片式。传统的多片式光罩盒大多是针对某些特殊机台的应用而设计，并非用来保存光罩用，故无充填惰性气体的设计。至于公知单片式的光罩盒，其为了解决污染、及霾化(haze)问题，多数单片式的光罩盒储具有氮气(N2)或超洁净气体(XCDA：Xtra Clean Dry Air)等惰性气体的充填功能。

请参阅图1，是公知单片式光罩储存器的剖视图，光罩储存器90具有一底座91、及一箱体93，底座91贯设有一进气孔911、及一排气孔912，充填的气体可为氮气(N₂)或超洁净气体(XCDA)，光罩95则承置于底座91上。

上述公知光罩储存器90受限于其既有的结构，其底座91的进气孔911及排气孔912皆位于光罩95下缘，故充填的惰性气体大部分在光罩95下缘流动，较不均匀，而光罩95上缘则很难再到充足的惰性气体保护，并非十分理想。

本实用新型人缘因于此，本于积极实用新型的精神，亟思一种可以解决上述问题的光罩储存器，几经研究实验终至完成本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的在于一种光罩储存器，以改进公知技术中存在的缺陷。

为实现上述目的，本实用新型提供的光罩储存器，其包括：

一底座，贯设有一第一通孔、及一第二通孔，该第一通孔与一气体供应装置相通；

一架体，承置于该底座上，包括有复数中空立柱，每一中空立柱开设有一直向气道、及与该直向气道连通的复数横向气道，并横向凸伸复数肋片，该复数直向气道分别对应与该二通孔连通；以及

一箱体，盖合于该底座并覆盖该架体。

所述的光罩储存器，其中该底座的该第一通孔并固设有一过滤网。

所述的光罩储存器，其中每一横向气道开设于该肋片上。

所述的光罩储存器，其中每一横向气道开设于相邻肋片之间。

所述的光罩储存器，其中该架体包括有一用以连结该复数中空立柱的横板。

所述的光罩储存器，其中包括有一进气管路、及一气体分配器，该进气管路依序连通该第一通孔、该气体分配器、及该气体供应装置。

所述的光罩储存器，其中包括有一与该气体分配器电连接的可用以定时控制该气体分配器开闭的控制器。

所述的光罩储存器，其中包括有一湿度量测器、及一回收管路，该回收管路依序连通该第二通孔、及该气体分配器，该湿度量测器固设于该回收管路、并与该控制器电连接，该控制器依该湿度量测器侦测的湿度而控制该气体分配器开闭。

所述的光罩储存器，其中该回收管路并与一气体回收装置连通。

所述的光罩储存器，其中该气体供应装置为氮气气体供应装置。

本实用新型提供的光罩储存器能同时储存复数光罩，且能结合层流的气道结构，使每一片光罩的上缘及下缘皆能获得惰性气体充分的保护。

附图说明

图1是公知光罩储存器的剖视图。

图2是本实用新型第一较佳实施例的立体图。

图3是图2的部分放大剖视图。

图4是本实用新型第一较佳实施例的剖视图。

图5是本实用新型第一较佳实施例的应用系统示意图。

图6是本实用新型第二较佳实施例的中空立柱剖视图。

图7是本实用新型第二较佳实施例的剖视图。

图8是本实用新型第二较佳实施例的应用系统示意图。

附图中主要组件符号说明：

1光罩储存器，10底座，11第一通孔，12第二通孔，13第一卡合槽，14第二卡合槽，15过滤网，16过滤网，2光罩储存器，20架体，21中空立柱，211直向气道，212横向气道，22肋片，25横板，30箱体，31第一凹槽，32第二凹槽，40进气管路，41进气管路，42进气管路，44气体分配器，46气体供应装置，47进气管路，48进气管路，49控制器，52气体分配器，54湿度量测器，56气体回收装置，57回收管路，58回收管路，59控制器，71中空立柱，711直向气道，712横向气道，72肋片，75横板，80光罩，90光罩储存器，91底座，911进气孔，912排气孔，93箱体，95光罩。

具体实施方式

本实用新型是有关于一种光罩储存器，用以储存复数光罩，包括有：一底座、一架体、及一箱体。其中，底座贯设有一第一通孔、及一第二通孔，第一通孔是与一气体供应装置相通。架体则承置于底座上，架体具有复数中空立柱，每一中空立柱开设有一直向气道、及与直向气道连通的复数横向气道，且每一中空立柱并横向凸伸复数肋片，该些肋片是用以分别承置支撑该些光罩，复数直向气道并分别对应与底座的二通孔连通。至于箱体是盖合于底座上并覆盖住架体。

由此，本实用新型能同时储存复数光罩，且能结合层流的气道结构，使每一片光罩的上缘及下缘皆能获得惰性气体充分的保护。

此外，上述底座的第一通孔与第二通孔可固设一过滤网，用以过滤气体供应装置中的微粒，以提升进入光罩储存器的充填气体的洁净度。

另外，上述架体的每一中空立柱的每一横向气道可开设于该肋片上，也可开设于相邻肋片之间，并对应相互朝内，可增加层流的均匀效果。

再者，上述架体可还包括有一横板，横板可用以连结固定该二中空立柱，使整体架体成单一结构件。

此外，本实用新型于充填气体时，可还包括有一进气管路、及一气体分配器，进气管路依序连通底座的第一通孔、气体分配器、及气体供应装置，可手控气体供应装置的开闭，以控制光罩储存器的气体充填时间。

又，本实用新型于充填气体时也可还包括一与气体分配器电连接的控制器，控制器可用以定时自动控制气体分配器开闭，以定时自动控制光罩储存器的气体充填时间。

另外，本实用新型于充填气体时，可还包括有一湿度量测器、及一回收管路，回收管路依序连通底座的第二通孔、及气体分配器，湿度量测器是固设于回收管路上，湿度量测器并与控制器电连接，使控制器可依湿度量测器所侦测的湿度而控制气体分配器开闭，即可依回收管路的湿度值而自动控制光罩储存器的气体充填时间。又，上述回收管路可与一气体回收装置连通，可重复使用该气体，节省成本。

再者，上述气体供应装置可为氮气(N₂)或超洁净气体(XCDA)的气体供应装置。

以下结合附图作详细说明。

请参阅图2、图3、及图4，其分别为本实用新型第一较佳实施例的立体图、部分放大剖视图、及剖视图。本实施例是有关于一种光罩储存器，可用以储存复数光罩，光罩储存器1包括有：一底座10、一架体20、及一箱体30。

如图所示，底座10上贯设有二第一通孔11、及二第二通孔12，底座10的侧边并设有一第一卡合槽13、及一第二卡合槽14，架体20承置于底座10上，架体20具有四中空立柱21、及一横板25，横板25连结该四中空立柱21，使整体架体20成一结构件。且每一中空立柱21开设有一直向气道211、及与该直向气道211连通的复数横向气道212，每一中空立柱21并横向凸伸复数肋片22，该复数肋片22是用以分别承置该复数光罩80，亦即，每一光罩80的四个角落各有一肋片22支撑。又，四中空立柱21的直向气道211分别两两对应与第一通孔11、及第二通孔12连通(图4仅绘示一第一通孔11及一第二通孔12示意)。箱体30具有一第一凹槽31、及一第二凹槽32，箱体30盖合于底座10并覆盖架体20，箱体30的第一凹槽31与第二凹槽32则分别与底座10的第一卡合槽13与第二卡合槽14相对应卡合固定。

在本实施例中，第一通孔11并固设有一过滤网15，第二通孔12也固设有一过滤网16，该二过滤网15、16可提升进入光罩储存器1的充填气体的洁净度。

如图3所示，在本实施例中，每一中空立柱21的横向气道212开设于其所对应的肋片22上，并对应相互朝内，可增加层流的均匀效果。

由此，本实施例的光罩储存器1能同时储存复数光罩80，且能结合层流的气道结构，使每一片光罩80的上缘及下缘皆能获得惰性气体充分的保护。

请再参阅图5，是本实用新型第一较佳实施例的应用系统示意图，本实施例的光罩储存器1是与一气体分配器44及一气体供应装置46相连，亦即气体供应装置46的出口经由进气管路40连接至气体分配器44的入口，而气体分配器44的出口则分别经由进气管路42、41连接至光罩储存器1的第一通孔11与第二通孔12，且气体分配器44电连接一控制器49，控制器49可用以定时控制气体分配器44开闭，以定时自动控制光罩储存器1的气体充填时间。

在本实施例中，气体供应装置46所提供的气体为氮气(N₂)，且光罩储存器1的底座10的第一通孔11与第二通孔12皆作为进气孔。

请再参阅图6、及图7，其分别为本实用新型第二较佳实施例的中空立柱剖视图、及剖视图。本实施例与第一实施例的结构大致相同，其差异仅在于本实施例的每一中空立柱71的每一横向气道712开设于相邻肋片72之间，而非如第一实施例将横向气道212开设于肋片22上。换言之，本实施例的每一横向气道712也如同第一实施例皆与直向气道711相通，本实施例也可达到增加层流的均匀效果。

如图7所示，本实施例的光罩储存器2也具有一横板75，横板75连结该四中空立柱71，而使整体架体成一结构件。另本实施例的底座10的第一通孔11作为进气孔，而第二通孔12则作为排气孔，其也装设有一过滤网16。

由此，本实施例的光罩储存器2也如同第一实施例，能同时储存复数光罩80，且能结合层流的气道结构，使每一片光罩80的上缘及下缘皆能获得惰性气体充分的保护。

请再参阅图8，是本实用新型第二较佳实施例的应用系统示意图，本实施例的光罩储存器2与一气体分配器52、一气体供应装置46、及一气体回收装置56相连，亦即气体供应装置46的出口经由进气管路47连接至气体分配器52的入口，而气体分配器52的出口则经由进气管路48连接至光罩储存器2的第一通孔11，光罩储存器2的第二通孔12则经由回收管路58连接至气体分配器52的入口，气体分配器52的出口再经由回收管路57连接至气体回收装置56，且回收管路58上并固设有一湿度量测器54。

气体分配器52与湿度量测器54皆连接至一控制器59，控制器59可依该湿度量测器54侦测的湿度而控制该气体分配器52开闭，亦即当光罩储存器2的湿度高于某一特定值，控制器59即可自动控制气体分配器52对光罩储存器2充填气体。

本实施例不仅如同第一实施例能同时储存复数光罩80，且也能结合层流的气道结构，使每一片光罩80的上缘及下缘皆能获得惰性气体充分的保护。且气体回收装置56可回收该惰性气体，可重复使用，亦具节省成本的功效。

上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本实用新型所主张的权利范围自应以申请的权利要求范围所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims

1.一种光罩储存器，其特征在于，包括：

一箱体，盖合于该底座并覆盖该架体。

2.如权利要求1所述的光罩储存器，其特征在于，其中该底座的该第一通孔并固设有一过滤网。

3.如权利要求1所述的光罩储存器，其特征在于，其中每一横向气道开设于该肋片上。

4.如权利要求1所述的光罩储存器，其特征在于，其中每一横向气道开设于相邻肋片之间。

5.如权利要求1所述的光罩储存器，其特征在于，其中该架体包括有一用以连结该复数中空立柱的横板。

6.如权利要求1所述的光罩储存器，其特征在于，其中包括有一进气管路、及一气体分配器，该进气管路依序连通该第一通孔、该气体分配器、及该气体供应装置。

7.如权利要求6所述的光罩储存器，其特征在于，其中包括有一与该气体分配器电连接的可用以定时控制该气体分配器开闭的控制器。

8.如权利要求7所述的光罩储存器，其特征在于，其中包括有一湿度量测器、及一回收管路，该回收管路依序连通该第二通孔、及该气体分配器，该湿度量测器固设于该回收管路、并与该控制器电连接，该控制器依该湿度量测器侦测的湿度而控制该气体分配器开闭。

9.如权利要求8所述的光罩储存器，其特征在于，其中该回收管路并与一气体回收装置连通。

10.如权利要求1所述的光罩储存器，其特征在于，其中该气体供应装置为氮气气体供应装置。