CN203839357U - 硅片载片盒固定托盘 - Google Patents
硅片载片盒固定托盘 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203839357U CN203839357U CN201420240148.8U CN201420240148U CN203839357U CN 203839357 U CN203839357 U CN 203839357U CN 201420240148 U CN201420240148 U CN 201420240148U CN 203839357 U CN203839357 U CN 203839357U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixing
- reference column
- slide cassette
- chip carrying
- carrying boxes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种硅片载片盒固定托盘，涉及专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备技术领域。包括托盘本体，以及设置在托盘本体上表面的定位柱，所述托盘本体的上表面还设有与载片盒的大小相适配的凹槽，所述定位柱设有一根，定位柱的位置与载片盒上的任意一个固定通孔相对应，且与固定通孔的形状相适配。所述固定托盘通过其上表面的凹槽和一根定位柱对载片盒进行定位和固定，不仅定位准确可防止载片盒放反的问题，还提高了工作效率，且由于定位柱只使用一根，降低了定位柱损坏的几率，维护成本低。
Description
技术领域
本实用新型涉及专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备技术领域，尤其涉及一种硅片载片盒固定托盘。
背景技术
光伏电池可分为晶体硅电池和非晶体硅电池，晶体硅电池的制作工艺包括：制绒-扩散-镀膜-印刷-烧结-测试。在印刷工序，一般将前端工序做好的硅片按照一定的方向放置于印刷机取片部位，将硅片依次取出，并运送至印刷台，在印刷台进行硅片的印刷。其中，印刷机具体的工作过程如下：将完成好前段工序的硅片按照一定的方向装载至硅片的载片盒，将载片盒按照一定的方向固定到固定托盘上，由拉片器运送硅片至传送带，再由传送带运送硅片至印刷台，以完成后续的印刷工艺。
载片盒1的顶面结构示意图如图2所示，设有四个感应孔2，而载片盒1的底面也就是载片盒的固定面，如图3所示，除了设有与顶面对应的感应孔2外，还设有三个固定通孔3。申请号为201320320627.6的专利文献公开了一种改进的载片盒和载片盒固定托盘，用于固定载片盒，并具体公开了技术方案：所述固定托盘包括底座，如图4所示，以及设置在所述底座上表面的固定柱4，所述固定柱4的位置与所述固定通孔3的位置一一对应，且所述固定柱高出所述底座部分的形状与所述固定通孔的形状匹配。
上述专利文献虽然公开了一种改进的载片盒和载片盒固定托盘，但是固定托盘在使用的过程中存在以下缺点：一、由于固定托盘的上表面是个平面，对于载片盒的固定和定位是靠其表面的多根固定柱，然而通过多根定位柱对载片盒进行定位，虽然能够实现准确的固定和定位效果，但是由于在其定位载片盒的过程中必须同时将多根定位柱准确的插入到固定通孔中才能对其定位，而在定位和固定的过程中必然需要经过多次调整，才能达到准确固定和定位的效果，造成工作效率不高。二、由于使用多根定位柱，提高了定位柱损坏的几率，造成维护成本高。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片载片盒固定托盘，所述固定托盘通过其上表面的凹槽和一根定位柱对载片盒进行定位和固定，不仅定位准确可防止载片盒放反的问题，还提高了工作效率，且由于定位柱只使用一根，降低了定位柱损坏的几率，维护成本低。
为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种硅片载片盒固定托盘，包括托盘本体，以及设置在托盘本体上表面的定位柱，其特征在于：所述托盘本体的上表面还设有与载片盒的大小相适配的凹槽，所述定位柱设有一根，定位柱的位置与载片盒上的任意一个固定通孔相对应，且与固定通孔的形状相适配。
进一步优选的技术方案在于：所述定位柱的底部与所述托盘本体螺纹连接或焊接。
进一步优选的技术方案在于：所述定位柱露出部分的高度为5mm-15mm。
进一步优选的技术方案在于：所述凹槽的深度为1cm-3cm。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于：所述固定托盘通过其上表面的凹槽和一根定位柱对载片盒进行定位和固定，不仅定位准确可防止载片盒放反的问题，还提高了工作效率，且由于定位柱只使用一根，降低了定位柱损坏的几率，维护成本低。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1是本实用新型的俯视结构示意图；
图2是现有技术硅片载片盒的俯视结构示意图；
图3是现有技术硅片载片盒的仰视结构示意图；
图4是现有技术的固定托盘的俯视结构示意图；
其中：1、载片盒 2、感应孔 3、固定通孔 4、固定柱 5、托盘本体 6、凹槽 7、定位柱。
具体实施方式
下面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
正如背景技术部分所述，现有技术中的载片盒固定托盘在使用时由于固定托盘的上表面是个平面，对于载片盒的固定和定位是靠其表面的多根固定柱，然而通过多根定位柱对载片盒进行定位，虽然能够实现准确的固定和定位效果，但是由于在其定位载片盒的过程中必须同时将多根定位柱准确的插入到固定通孔中才能对其定位，而在定位和固定的过程中必然需要经过多次调整，才能达到准确固定和定位的效果，造成工作效率不高。此外，由于使用多根定位柱，提高了定位柱损坏的几率，造成维护成本高。
基于上述原因，本实用新型公开了一种硅片载片盒固定托盘，包括托盘本体5，以及设置在托盘本体5上表面的定位柱7，上述内容与现有技术是相同的，具体内容可参见引证的专利文献。
本申请相对于现有技术的不同之处在于：如图1所示，所述托盘本体5的上表面还设有与载片盒1的大小相适配的凹槽6，也就是说载片盒正好能够卡入到凹槽内，凹槽的四周对载片盒能够起到固定和定位的作用。当然如果只有凹槽的结构是不能区分载片盒的正反面的，因此，在所述凹槽内还设有一根定位柱，通过定位柱就能够区分载片盒的正反面，因为，定位柱的固定位置正好与载片盒背面的固定通孔相对应，且与固定通孔3的形状相适配，如果载片盒的正面朝向凹槽，定位柱7将会顶住载片盒，载片盒不能放入凹槽。也就是说，定位柱的位置只要满足与载片盒背面的固定通孔相对应，不与载片盒正面的通孔相对应即可，位置可有多种选择。
凹槽的深度一般控制在1cm-3cm，当然本领域的技术人员还可以根据需要进行适当的调整。所述定位柱7的底部与所述托盘本体5螺纹连接，通过螺纹连接方便更换，使用方便，也可以是焊接或其他方式的固定连接。所述定位柱7露出部分的高度为5mm-15mm，同理本领域的技术人员还可以根据不同的载片盒对高度进行适当调整，其目的是插入到固定通孔内，将载片盒进行定位和固定。
综上，所述固定托盘通过其上表面的凹槽和一根定位柱对载片盒进行定位和固定，不仅定位准确可防止载片盒放反的问题，还提高了工作效率，且由于定位柱只使用一根，降低了定位柱损坏的几率，维护成本低。
Claims (4)
1.一种硅片载片盒固定托盘，包括托盘本体（5），以及设置在托盘本体（5）上表面的定位柱（7），其特征在于：所述托盘本体（5）的上表面还设有与载片盒（1）的大小相适配的凹槽（6），所述定位柱（7）设有一根，定位柱（7）的位置与载片盒（1）上的任意一个固定通孔（3）相对应，且与固定通孔（3）的形状相适配。
2.根据权利要求1所述的硅片载片盒固定托盘，其特征在于：所述定位柱（7）的底部与所述托盘本体（5）螺纹连接或焊接。
3.根据权利要求1所述的硅片载片盒固定托盘，其特征在于：所述定位柱（7）露出部分的高度为5mm-15mm。
4.根据权利要求1所述的硅片载片盒固定托盘，其特征在于：所述凹槽的深度为1cm-3cm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420240148.8U CN203839357U (zh) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | 硅片载片盒固定托盘 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420240148.8U CN203839357U (zh) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | 硅片载片盒固定托盘 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203839357U true CN203839357U (zh) | 2014-09-17 |
Family
ID=51517163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420240148.8U Expired - Fee Related CN203839357U (zh) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | 硅片载片盒固定托盘 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203839357U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112687609A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-20 | 至芯半导体(杭州)有限公司 | 利用石墨盘和衬底生长AlN外延层的方法和石墨盘 |
-
2014
- 2014-05-12 CN CN201420240148.8U patent/CN203839357U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112687609A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-20 | 至芯半导体(杭州)有限公司 | 利用石墨盘和衬底生长AlN外延层的方法和石墨盘 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106429474B (zh) | 自动上料系统 | |
| US8343804B2 (en) | Implementing multiple different types of dies for memory stacking | |
| CN201897631U (zh) | 具有散热装置的半导体晶片测试装置及检测系统 | |
| CN202922099U (zh) | 高速硅片激光自动打孔系统 | |
| CN104669167A (zh) | 一种定位机构 | |
| CN203839357U (zh) | 硅片载片盒固定托盘 | |
| CN204487419U (zh) | 一种定位机构 | |
| CN202498808U (zh) | 电池自动贴膜机 | |
| CN206827145U (zh) | 一种电池卡座机贴托盘工装 | |
| CN207395688U (zh) | 定位治具和3d曲面玻璃检测系统 | |
| CN209955313U (zh) | 一种快速的多穴贴膜治具 | |
| CN203859940U (zh) | 用于柔性线路板加工的万用治具 | |
| CN204624112U (zh) | 电子器件托盘 | |
| CN203688424U (zh) | 手工法切割漆膜涂层划格试验用高精度安全型辅助装置 | |
| CN202697047U (zh) | 自动化元件嵌入设备 | |
| CN207447794U (zh) | 贴合治具 | |
| CN209127533U (zh) | 一种太阳能电池载板定位装置 | |
| TWM536357U (zh) | 檢測治具 | |
| CN207480383U (zh) | 一种定位柱式陶瓷加工治具 | |
| CN204558505U (zh) | 太阳能电池片存储供给用转运盒 | |
| CN207903000U (zh) | 用于包装二极管的装置 | |
| CN203277344U (zh) | 一种硅片片盒及对应的固定托盘 | |
| CN209852801U (zh) | 一种可追踪物流托盘 | |
| KR20160087152A (ko) | 수직 이송이 가능한 전지팩 이송 장치 | |
| CN203621763U (zh) | 带定位孔托板的上料电池盒 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140917 Termination date: 20160512 |