TWM536357U - 檢測治具 - Google Patents

Description

檢測治具

本創作係有關於一種檢測治具，特別是有關於一種能大幅提升檢測效率及降低檢測成本的晶片檢測治具。

一般而言，在製造完成後，晶片還需經過多次的檢測，而在檢測程序中，待測晶片則需經過多個不同的檢測站才能完成完整的檢測程序。

如第1圖所示，在檢測站進行檢測前，為了確保檢測作業的精確度，使用者需先將待測晶片C放入定位治具F中，待檢測完畢後，再利用真空吸嘴VC將待測晶片C由定位治具F取出，再進入下一個檢測站進行檢測，若待測物是無法利用真空取放，使用者則必須透過機械夾取裝置或磁力裝置來取出待測物。

由上述可知，待測晶片C每次的移動至下一個檢測站均需要置放於定位治具F進行定位，因此每次檢測僅能針對單一或少量的待測晶片C進行檢測。

文，在檢測站檢測完畢後，使用者需要利用真空吸嘴VC、機械夾取裝置或磁力裝置來取出待測晶片C，再將待測晶片C放入另一個定位治具C中，上述裝置不但會增加能源的消耗，若是產生故障更會影響整個檢測過程，故會大幅增加檢測程序的成本。

此外，由於在整個檢測程序中，使用者需要重覆取放待測晶片C，因此使得檢測程序極度缺乏效率，且重覆接觸致待測晶片C也可能導致其損 壞，進一步提升了檢測程序的成本。

再者，待測晶片C放入定位治具F後，定位治具F包覆了待測晶片C大部份的表面，因此使得待測晶片C的作業面積大幅降低，使用上極為不便。

因此，如何提出一種檢測治具，其能夠有效改善習知技藝之檢測程序的各種缺點，已經了成為一個刻不容緩的問題。

有鑑於上述習知技藝之問題，本創作之其中一目的就是在提供一種檢測治具，以解決習知技藝之檢測程序的各種缺點。

根據本創作之其中一目的，提出一種檢測治具，其可包含下拖盤及上拖盤。下拖盤可包含複數個檢測槽，各個檢測槽可用於置放待測物。上拖盤可包含複數個檢測孔，該些檢測孔可對應於該些檢測槽，且檢測孔可小於檢測槽。其中，上拖盤可分離地設置於下拖盤上，使該些待測物可固定於該些檢測槽中，藉此可透過該些檢測孔對該些待測物進行檢測。

在一較佳的實施例中，檢測槽的形狀可對應於該待測物。

在一較佳的實施例中，檢測槽之底部可包含孔洞及複數個支撐部。

在一較佳的實施例中，檢測槽可包含複數個延伸部。

在一較佳的實施例中，下拖盤可包含辨識碼，如一維條碼、二維條碼或其它各種不同的辨識碼，辨識碼可用於查詢該些待測物的檢測資訊。

在一較佳的實施例中，上拖盤可包含辨識碼，如一維條碼、二維條碼或其它各種不同的辨識碼，辨識碼可用於查詢該些待測物的檢測資訊。

在一較佳的實施例中，下拖盤可包含複數第一環境資訊檢測孔。

在一較佳的實施例中，下拖盤可包含複數拖盤定位銷。

在一較佳的實施例中，下拖盤可包含複數第一探針定位孔。

在一較佳的實施例中，下拖盤可包含複數個定位導角缺口，該些導角缺口可設置於下拖盤周緣的相對側。

在一較佳的實施例中，上拖盤可包含複數第二環境資訊檢測孔，該些第二環境資訊檢測孔可對應於該些第一環境資訊檢測孔。

在一較佳的實施例中，上拖盤可包含複數拖盤定位孔，該些拖盤定位孔可對應於該些拖盤定位銷。

在一較佳的實施例中，可上拖盤可包含複數第二探針定位孔，該些第二探針定位孔可對應於該些第一探針定位孔。

在一較佳的實施例中，上拖盤可包含複數個定位取放導角缺口，該些定位取放導角缺口可設置於該上拖盤周緣的相對側。

本創作之檢測治具，其可具有一或多個下述優點：

(1)在本創作之一實施例中，檢測治具具有特殊的結構設計，故檢測治具本身即可提供定位的功能，故不需要使用額外的定位治具，故一次可對大批量的待測物進行檢測。

(2)在本創作之一實施例中，檢測治具本身即可提供定位的功能，因此在檢測程序中不需要透過真空吸嘴等裝置重覆取放待測物，故可降低能源消耗及設備需求，使檢測程序的成本大幅降低。

(3)在本創作之一實施例中，檢測治具在檢測站檢測完畢後，不需要透過真空吸嘴等裝置取放待測物即可直接進入下一個檢測站進行檢測，故可使檢測程序的效率提升，且避免待測物損壞，進一步減少了檢測程序的成本，且提升了設備稼動率。

(4)在本創作之一實施例中，檢測治具之各個檢測槽的上方不但可具有開孔，底部更可具有孔洞，而僅靠數個支撐部支撐待測物，故可使待測物有最大的作業面積，使用上極為方便。

(5)在本創作之一實施例中，檢測治具之上拖盤及下拖盤均可具有二維條碼，因此可以讓使用者更有效率地追蹤每一個檢測槽中的待測物的檢測資訊，以加強品質管制。

1‧‧‧檢測治具

11‧‧‧下拖盤

111‧‧‧檢測槽

1111‧‧‧延伸部

1112‧‧‧孔洞

1113‧‧‧支撐部

112、122‧‧‧二維條碼

113‧‧‧第一環境資訊檢測孔

114‧‧‧拖盤定位銷

115‧‧‧第一探針定位孔

116‧‧‧定位導角缺口

12‧‧‧上拖盤

121‧‧‧檢測孔

123‧‧‧第二環境資訊檢測孔

124‧‧‧拖盤定位孔

125‧‧‧第二探針定位孔

126‧‧‧定位取放導角缺口

C‧‧‧待測物

F‧‧‧定位治具

VC‧‧‧真空吸嘴

第1圖係為習知技藝之檢測程序之示意圖。

第2圖係為本創作之檢測治具之第一實施例之上視圖。

第3圖係為本創作之檢測治具之第一實施例之側視圖。

第4圖係為本創作之第一實施例之檢測治具之下拖盤之上視圖。

第5A圖係為本創作之第一實施例之檢測治具之下拖盤之檢測槽放大圖。

第5B圖係為本創作之第一實施例之檢測治具之下拖盤之檢測槽放大圖(置入晶片)。

第6圖係為本創作之第一實施例之檢測治具之下拖盤之側視圖。

第7圖係為本創作之第一實施例之檢測治具之上拖盤之上視圖。

第8圖係為本創作之第一實施例之檢測治具之上拖盤之側視圖。

以下將參照相關圖式，說明依本創作之檢測治具之實施例，為了清楚與方便圖式說明之故，圖式中的各部件在尺寸與比例上可能會被誇大或縮小地呈現，為使便於理解，下述實施例中之相同元件係以相同之符號標示來說明。

請參閱第2圖及第3圖，係為本創作之檢測治具之第一實施例之上視圖及側視圖。如第2圖所示，檢測治具1可包含下拖盤11及上拖盤12，上 拖盤12可分離地設置於下拖盤11上，而複數個待測物C則可設置於下拖盤11及上拖盤12之間；其中，待測物C可為各種晶片，如邏輯晶片、數位晶片或MEMS晶片等等。

而檢測治具1的側視圖則如第3圖所示。由上述可知，本實施例中是利用薄板狀的下拖盤11及上拖盤12將多個待測物C固定於二者之間，以進行檢測工作。

請參閱第4圖、第5圖及第6圖，係為本創作之第一實施例之檢測治具之下拖盤之上視圖及側視圖及檢測槽放大圖。第4圖為檢測治具之下拖盤之上視圖，其中下拖盤11可包含複數個檢測槽111、二維條碼112、複數第一環境資訊檢測孔113、複數拖盤定位銷114、複數第一探針定位孔115及複數個定位導角缺口116。而檢測治具1之下拖盤11之側視圖則如第6圖所示。

如第4圖所示，該些檢測槽111可分佈於下拖盤11的中央形成陣列結構，各個檢測槽111可用於置放待測物C，而各個檢測槽111的形狀可對應於待測物C的形狀，以對待測物C限位，使待測物C可以穩固地放置於檢測槽111中；在本實施例中，檢測槽111的為矩形，當然，在其它較佳的實施例中，檢測槽111的形狀可依實際需求變化為其它各種不同形狀，如三角形、正方形、長方形、梯形、圓形、橢圓形及多邊形等等，本發明並不以此為限。

第5A圖及第5B圖為檢測治具之下拖盤之檢測槽放大圖，如第5A圖所示，檢測槽111可具有特殊的結構設計，檢測槽111可包含複數個延伸部1111，而檢測槽111之底部可包含孔洞1112及複數個支撐部1113。該些延伸部1111可分別位於檢測槽1111的四個角。該些支撐部1113也可分別位於檢測槽1111的四個角，且各個支撐部1113的尺寸可以很小，使孔洞1112 僅略小於檢測槽111。如第5B圖所示，如此可以使放置於檢測槽111中的待測物C不掉出檢測槽111，又可使待測物C露出較大的面積，以提供檢測作業使用。當然，上述檢測槽111的結構僅為舉例，檢測槽111的結構可依實際需求變化，本發明並不以此為限。

如第4圖所示，二維條碼112可用於查詢設置於該些檢測槽111的該些待測物C的檢測資訊，因此使用者可以透過二維條碼112直接追蹤每一個待測物C的檢測狀況，以加強品質管制；在其它較佳的實施例中，二維條碼112也可為其它不同的辨識碼，如一維條碼或其它各種不同的辨識碼。

該些第一環境資訊檢測孔113可供使用者用於檢測各種不同的環境資訊，如溫度及壓力等等，讓使用者可以得知目前測試環境的狀況；在本實施例中，該些第一環境資訊檢測孔113可分別設置於下拖盤11的四個角及中央，當然，上述僅為舉例，第一環境資訊檢測孔113設置的位置及數量可依實際需求變化，本發明並不以此為限。

該些拖盤定位銷114可供使用者用於固定上拖盤12，並對上拖盤12進行定位，使上拖盤12可以正確地設置在下拖盤11上，該些拖盤定位銷114可位於下拖盤11相對的二側。當然，上述僅為舉例，該些拖盤定位銷114設置的位置及數量可依實際需求變化，本發明並不以此為限。

該些第一探針定位孔115可供使用者用於定位探針模組(未繪於圖中)，使探針模組的複數個探針能夠對準下拖盤11的該些檢測槽111，該些第一探針定位孔115可位於下拖盤11相對的二側，並可具有不同的形狀。當然，上述僅為舉例，該些第一探針定位孔115設置的位置、數量及形狀可依實際需求變化，本發明並不以此為限。

該些定位導角缺口116可為三角形，其可用於拿取該下拖盤11，使用者可利用工具插入該些定位導角缺口116以提起並移動該下拖盤11，下拖 盤11相對的二側可分別具有一個定位導角缺口116。當然，上述僅為舉例，該些定位導角缺口116設置的位置、數量及形狀可依實際需求變化，本發明並不以此為限。

請參閱第7圖及第8圖，係為本創作之第一實施例之檢測治具之上拖盤之上視圖及側視圖。第7圖為檢測治具之上拖盤之上視圖，其中上拖盤12可包含複數個檢測孔121、二維條碼122、複數第二環境資訊檢測孔123、複數拖盤定位孔124、複數第二探針定位孔125及複數個定位取放導角缺口126。而檢測治具1之上拖盤12之側視圖則如第8圖所示。

如第7圖所示，該些檢測孔121可分佈於上拖盤12的中央而形成陣列結構，該些檢測孔121的位置可對應於下拖盤11的該些檢測槽111，且檢測孔121的尺寸可略小於檢測槽111，使上拖盤12與下拖盤11組合時，設置於該些檢測槽111中的待測物C不會由該些檢測槽111中掉落，而待測物C的探腳則可由檢測孔121露出，如此使待測物C露出較大的面積，以提供檢測作業使用；在本實施例中，檢測孔121的為矩形，當然，在其它較佳的實施例中，檢測孔121的形狀可依實際需求變化為其它各種不同形狀，如三角形、正方形、長方形、梯形、圓形、橢圓形及多邊形等等，本發明並不以此為限。

同樣的，上拖盤12也可具有二維條碼112，其可用於查詢設置於該些檢測槽111的該些待測物C的檢測資訊，因此使用者可以透過二維條碼112直接追蹤每一個待測物C的檢測狀況，以加強品質管制；在其它較佳的實施例中，二維條碼112也可為其它不同的辨識碼，如一維條碼或其它各種不同的辨識碼。

該些第二環境資訊檢測孔123可對應於下拖盤11的該些第一環境資訊檢測孔113，使用者可透過任一個第二環境資訊檢測孔123及對應的第一環 境資訊檢測孔113來檢測各種不同的環境資訊，如溫度及壓力等等，讓使用者可以得知目前測試環境的狀況；在本實施例中，該些第二環境資訊檢測孔123可對應於該些第一環境資訊檢測孔113分別設置於上拖盤12的四個角及中央，當然，上述僅為舉例，第二環境資訊檢測孔123設置的位置及數量可依實際需求變化，本發明並不以此為限。

該些拖盤定位孔124可對應於下拖盤11的該些拖盤定位銷114，該些拖盤定位銷114可分別插入對應的拖盤定位孔124，使上拖盤12可以正確地設置在下拖盤11上，拖盤定位孔124可對應於該些拖盤定位銷114分別設置於上拖盤12相對的二側。當然，上述僅為舉例，該些拖盤定位孔124設置的位置及數量可依實際需求變化，本發明並不以此為限。

該些第二探針定位孔125可對應於下拖盤11的該些第一探針定位孔115，探針模組(未繪於圖中)可分別插入各個第二探針定位孔125及對應的第一探針定位孔115以進行定位，使探針模組的複數個探針能夠對準下拖盤11的該些檢測槽111，該些第二探針定位孔125可對應於該些第一探針定位孔115可位於上拖盤12相對的二側，並可具有不同的形狀。當然，上述僅為舉例，該些第二探針定位孔125設置的位置、數量及形狀可依實際需求變化，本發明並不以此為限。由上述可知，檢測治具1本身可具有特殊設計的結構，其可提供完整的定位功能，故不需要使用額外的定位治具，故一次可對大批量的待測物進行檢測，使檢測程序的效率大幅的提升。

該些定位取放導角缺口126可為三角形，其可用於拿取該上拖盤12，使用者可利用工具插入該些定位取放導角缺口126以提起並移動該上拖盤12，上拖盤12相對的二側可分別具有一對定位取放導角缺口126。當然，上述僅為舉例，該些定位取放導角缺口126設置的位置、數量及形狀可依實際需求變化，本發明並不以此為限。

值得一提的是，在習知技藝的檢測程序中，使用者每次將待測物移動至下一個檢測站時均需要將待測物置放於定位治具進行定位，因此每次檢測僅能針對單一或少量的待測物進行檢測。相反的，在本創作之一實施例中，檢測治具具有特殊的結構設計，故檢測治具本身即可提供定位的功能，故不需要使用額外的定位治具，故一次可對大批量的待測物進行檢測。

又，在習知技藝的檢測程序中，在檢測站檢測完畢後，使用者需要利用真空吸嘴等裝置來取出待測物，再將待測物放入另一個定位治具中，上述裝置不但會增加能源的消耗，若是產生故障更會影響整個檢測過程，故會大幅增加檢測程序的成本。相反的，在本創作之一實施例中，檢測治具本身即可提供定位的功能，因此在檢測程序中不需要透過真空吸嘴等裝置重覆取放待測物，故可降低能源消耗及設備需求，使檢測程序的成本大幅降低。

此外，在習知技藝的檢測程序中，使用者需要重覆取放待測物，因此使得檢測程序極度缺乏效率，且重覆接觸致待測物也可能導致其損壞，進一步提升了檢測程序的成本。相反的，在本創作之一實施例中，檢測治具在檢測站檢測完畢後，不需要透過真空吸嘴等裝置取放待測物即可直接進入下一個檢測站進行檢測，故可使檢測程序的效率提升，且避免待測物損壞，進一步減少了檢測程序的成本，且提升了設備稼動率。

另外，在習知技藝的檢測程序中，使用者在將待測物放入定位治具後，定位治具包覆了待測物大部份的表面，因此使得待測物的作業面積大幅降低，使用上極為不便。相反的，在本創作之一實施例中，檢測治具之各個檢測槽的上方不但可具有開孔，底部更可具有孔洞，而僅靠數個支撐部支撐待測物，故可使待測物有最大的作業面積，使用上極為方便。

再者，在本創作之一實施例中，檢測治具之上拖盤及下拖盤均可具有 二維條碼，因此可以讓使用者更有效率地追蹤每一個檢測槽中的待測物的檢測資訊，以加強品質管制。

可見本創作在突破先前之技術下，確實已達到所欲增進之功效，且也非熟悉該項技藝者所易於思及，其所具之進步性、實用性，顯已符合專利之申請要件，爰依法提出專利申請，懇請貴局核准本件新型專利申請案，以勵創作，至感德便。

以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。其它任何未脫離本創作之精神與範疇，而對其進行之等效修改或變更，均應該包含於後附之申請專利範圍中。

11‧‧‧下拖盤

111‧‧‧檢測槽

112、122‧‧‧二維條碼

113‧‧‧第一環境資訊檢測孔

114‧‧‧拖盤定位銷

115‧‧‧第一探針定位孔

116‧‧‧定位導角缺口

12‧‧‧上拖盤

121‧‧‧檢測孔

123‧‧‧第二環境資訊檢測孔

124‧‧‧拖盤定位孔

125‧‧‧第二探針定位孔

126‧‧‧定位取放導角缺口

C‧‧‧待測物

Claims (16)

1. 一種檢測治具，係包含：一下拖盤，係包含複數個檢測槽，各個該檢測槽用於置放一待測物；以及一上拖盤，係包含複數個檢測孔，該些檢測孔係對應於該些檢測槽，且該檢測孔小於該檢測槽；其中，該上拖盤可分離地設置於該下拖盤上，使該些待測物固定於該些檢測槽中，以透過該些檢測孔對該些待測物進行檢測。
2. 如申請專利範圍第1項所述之檢測治具，其中該檢測槽的形狀係對應於該待測物。
3. 如申請專利範圍第1項所述之檢測治具，其中該檢測槽之底部係包含一孔洞及複數個支撐部。
4. 如申請專利範圍第1項所述之檢測治具，其中該檢測槽係包含複數個延伸部。
5. 如申請專利範圍第1項所述之檢測治具，其中該下拖盤係包含一辨識碼，係用於查詢該些待測物的檢測資訊。
6. 如申請專利範圍第1項所述之檢測治具，其中該上拖盤係包含一辨識碼，係用於查詢該些待測物的檢測資訊。
7. 如申請專利範圍第1項所述之檢測治具，其中該下拖盤係包含複數第一環境資訊檢測孔。
8. 如申請專利範圍第1項所述之檢測治具，其中該下拖盤係包含複數拖盤定位銷。
9. 如申請專利範圍第1項所述之檢測治具，其中該下拖盤係包含複數第一探針定位孔。
10. 如申請專利範圍第1項所述之檢測治具，其中該下拖盤係包含複數個定位導角缺口，該些導角缺口設置於該下拖盤周緣的相對側。
11. 如申請專利範圍第5項所述之檢測治具，其中該辨識碼係為一一維條碼或一二維條碼。
12. 如申請專利範圍第6項所述之檢測治具，其中該辨識碼係為一一維條碼或一二維條碼。
13. 如申請專利範圍第7項所述之檢測治具，其中該上拖盤係包含複數第二環境資訊檢測孔，該些第二環境資訊檢測孔係對應於該些第一環境資訊檢測孔。
14. 如申請專利範圍第8項所述之檢測治具，其中該上拖盤係包含複數拖盤定位孔，該些拖盤定位孔對應於該些拖盤定位銷。
15. 如申請專利範圍第9項所述之檢測治具，其中該上拖盤係包含複數第二探針定位孔，該些第二探針定位孔對應於該些第一探針定位孔。
16. 如申請專利範圍第10項所述之檢測治具，其中該上拖盤係包含複數個定位取放導角缺口，該些定位取放導角缺口設置於該上拖盤周緣的相對側。