CN102903656B - 一种光罩篮 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光罩篮，用于搬送装有光罩的光罩盒，能够固定光罩盒，避免对光罩造成损坏，并且，能够同时运送多个装有光罩的光罩盒，提高工作效率。该光罩篮包括：支架、至少两个抽屉板以及挡板，其中，所述至少两个抽屉板水平连接在所述支架上，每两个抽屉板之间的距离不小于光罩盒放置时的高度，所述挡板设置在每个抽屉板的上表面，且挡板围成的区域与光罩盒放置时的搁置面相匹配。

Description

一种光罩篮

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种搬送光刻机中光罩的光罩篮。

背景技术

在半导体生产过程中，需要在特定环境下(如光罩室)将光罩从水晶盒(存放光罩的一种容器)转移到光刻机专用的光罩盒中，然后才能将装有光罩的光罩盒搬送到光刻机，再使用光罩进行后续操作。

目前，在将装有光罩的光罩盒搬送到光刻机时，一般是采用普通的篮子，就是将装有光罩的光罩盒放于普通的篮子中，再搬送至光刻机处。

然而，光罩盒的体积远远小于普通的篮子，并且，普通的篮子无法定位光罩盒的活动方向，而光罩盒的一面是活动的，这就使得光罩很容易滑出光罩盒，以损坏光罩。

同时，光刻机专用的光罩盒很薄，也就使得不能将多个光罩盒叠在一起放置，使得每次运送的光罩的数量有限，降低了工作效率。

发明内容

本发明提供一种光罩篮，用以搬送装有光罩的光罩盒，能够固定光罩盒，避免对光罩造成损坏，并且，能够同时运送多个装有光罩的光罩盒，提高工作效率。

本发明实施例提供的具体技术方案如下：

一种光罩篮，包括：支架、至少两个抽屉板以及挡板，其中，

所述至少两个抽屉板水平连接在所述支架上，每两个抽屉板之间的距离不小于光罩盒放置时的高度；

所述挡板设置在每个抽屉板的上表面，且挡板围成的区域与光罩盒放置时的搁置面相匹配。

基于上述技术方案，本实施例中，通过设计光罩篮，在半导体生产过程中，能够将装有光罩的光罩盒放入光罩篮抽屉板上由挡板围成的区域内，并且，在每个挡板围成的区域内仅放置一个光罩盒，并且，挡板围成的区域与光罩盒放置时的搁置面相匹配，由挡板对光罩盒进行固定，有效地防止了光罩盒相对于抽屉板滑动，并且，在光罩篮中设有多个抽屉板，每个抽屉板上可以放置一个光罩盒，这样可以一次性移动多个光罩盒，提高了工作效率，又有效地避免了将多个光罩盒叠放在一起，对光罩造成的损坏，同时也可以任意取用任意一个光罩盒，而无需移动其它光罩盒。

附图说明

图1为本实施例中光罩篮的立体结构示意图；

图2为本实施例中光罩篮的主视图；

图3为本实施例中支架板与缺少的侧面相邻的侧面的主视图和侧视图；

图4为本实施例中抽屉板的主视图和侧视图。

具体实施方式

为了在搬送装有光罩的光罩盒时，能够固定光罩盒，避免对光罩造成损坏，并且，能够同时运送多个装有光罩的光罩盒，提高工作效率，本发明实施例提供了一种光罩篮，主要包括支架、至少两个抽屉板以及挡板。

下面结合附图对本发明优选的实施例进行详细说明。

如附图1和附图2所示，本发明实施例中，光罩篮主要包括支架101、至少两个抽屉板102以及挡板103，其中，

至少两个抽屉板102水平连接在支架101上，每两个抽屉板102之间的距离不小于光罩盒放置时的高度；

挡板103设置在每个抽屉板102的上表面，且挡板103围成的区域与光罩盒放置时的搁置面相匹配。

实际应用中，支架101的实现方式有多种，例如，支架101为两个相互平行的立面组合而成，或者，支架101为两个里面组合而成的半封闭的三角柱型结构。较佳地，支架101为两个相互平行的立面与另一个立面垂直连接而成的半封闭的框型结构体。对其其他支架的实现方式，能够应用于本发明的，本发明也将其包括在内。

较佳地，抽屉板102采用抽拉式结构连接在支架101上。具体为：在支架101的两个立面相互对应的位置开设导轨301，如附图3所示，每个立面上开设至少两个导轨，相应地在抽屉板102的两个侧面边缘分别设置滑轮组401，如附图4所示，将抽屉板102设有滑轮组401的两个侧面，与支架101开设导轨301的两个立面相互对应进行安装，形成抽拉式结构。较佳地，滑轮组401包括两个或两个以上的滑轮。

较佳地，光罩篮还包括多个防滑塞子302，如附图3所示，分别设置在支架101上开设导轨301的一端或两端。例如，在导轨301的一端开口时，在开口的一端设置防滑塞子302，而在导轨301的两端均开口时，则在分别在两端设置防滑塞子302。

在抽屉板102采用抽拉式结构与支架101连接时，较佳地，光罩篮还包括防滑栓105，卡合在抽屉板102与支架101的连接处，以固定抽屉板102。例如，可以采用外接卡槽卡合在抽屉板102与支架101的连接处，即在将光罩盒放入抽屉板102后，采用外接卡槽卡合在抽屉板102与支架101的连接处，以固定抽屉板102，然后移动光罩篮，在取出光罩盒时，将外接卡槽去除，以将抽屉板抽出，然后取出光罩盒。

本实施例中，防滑栓105可以是一个或多个。

较佳地，光罩篮还包括至少两个支撑杆104，每个支撑杆104对应一个抽屉板102，平行设置在抽屉板102下方，与抽拉方向相同的抽屉板102的侧面对齐，并与支架101固定连接。实际应用中，可以将支撑杆104的两端分别与支架101的两个侧面的内壁固定连接，或者将支撑杆104的一端与支架101的一个侧面固定连接。

其中，在防滑栓105为一个时，防滑栓105的两端分别设置于支架101的上底面或下底面；或者是防滑栓105的一端设置于支架101的上底面，另一端设置于最底层的支撑杆104上；或者是一端设置于最底层的支撑杆104上，另一端设置在位于最上方的抽屉板102上方的支架101的边缘。

其中，在防滑栓105为多个时，针对每个抽屉板102设置至少一个防滑栓105，防滑栓105的一端固定于相应的支撑杆104，另一端固定于支架101一个立面的边缘。例如，在抽屉板102形成抽拉结构的两端均设置防滑栓，每个防滑栓105的一端固定于支撑杆104，另一端固定于相应抽屉板上方的支架101的边缘。

具体地，防滑栓105的一端固定于支撑杆104，另一端固定于支架101的边缘时，在支架101的边缘且位于抽屉板102的上方设置防滑挂钩106，如附图3所示，将防滑栓105的一端挂接在防滑挂钩106上。防滑栓105的设置能够有效避免在移动光罩篮时，抽屉板102滑出，避免了对光罩盒以及光罩盒内的光罩造成损坏。

实际应用中，防滑栓的设置也可以综合上述两种方法，将设置一个防滑栓的方法与设置多个防滑栓的方法进行组合应用，对于任意组合形式能够应用于本实施例的，本实施例也将其包括在内。

较佳地，光罩篮上还设有一提手107，该提手107连接在支架101的两侧，以便于移动光罩篮。

较佳地，挡板103由前挡板1031、后挡板1032、侧挡板1033(即左挡板和右挡板)组合而成。

较佳地，挡板103至少一侧设有凹槽1034，以便于放置或拿取位于挡板103内的光罩盒。例如，在前挡板1031上设有凹槽。

较佳地，支撑杆104的宽度小于或等于支架101设有导轨的立面的宽度。例如，支撑杆与支架底面的形状和大小均相同，或者是，支撑杆的宽度为与支架导轨所在的立面宽度的1/10。

较佳地，由挡板103围成的区域与放置光罩盒时搁置面的形状和大小均相同，以防止在移动光罩篮时，位于光罩盒内的光罩滑出光罩盒。

较佳地，本实施例中，光罩篮的各组成部分均采用防静电的材料制成，该防静电的材料至少可以是陶瓷、塑料、硅胶等。

基于上述技术方案，本实施例中，通过设计光罩篮，在半导体生产过程中，能够将装有光罩的光罩盒放入光罩篮抽屉板上由挡板形成的区域内，并且，在挡板围成的区域内仅放置一个光罩盒，由挡板围成的区域与光罩盒放置时的搁置面相匹配，以由当班固定光罩盒，有效地防止了光罩盒相对于抽屉板滑动，并且，在光罩篮中设有多个抽屉板，每个抽屉板上可以放置一个光罩盒，这样可以一次性移动多个光罩盒，提高了工作效率，又有效地避免了将多个光罩盒叠放在一起，对光罩造成的损坏，同时也可以任意取用任意一个光罩盒，而无需移动其它光罩盒。

并且，本实施例中，通过设置防滑栓，能够有效地防止移动光罩篮的过程中抽屉板滑出，进一步避免了光罩盒滑出抽屉板对光罩造成的损坏。

同时，通过在挡板的一侧设置凹槽，能够更方便地取用或放置光罩盒，进一步提高了工作效率。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (13)

1.一种光罩篮，其特征在于，包括：支架、至少两个抽屉板以及挡板，其中，

所述至少两个抽屉板水平连接在所述支架上，每两个抽屉板之间的距离不小于光罩盒放置时的高度；

所述挡板设置在每个抽屉板的上表面，且挡板围成的区域与光罩盒放置时的搁置面相匹配。

2.如权利要求1所述的光罩篮，其特征在于，所述支架为两个相互平行的立面组合而成；或者，所述支架为两个相互平行的立面与另一个立面垂直连接而成半封闭的框型结构体；或者，所述支架为两个立面组合而成的半封闭的三角柱型结构体。

3.如权利要求2所述的光罩篮，其特征在于，所述至少两个抽屉板采用抽拉式结构连接在所述支架上。

4.如权利要求3所述的光罩篮，其特征在于，还包括防滑栓，卡合在所述至少两个抽屉板与所述支架的连接处，以固定抽屉板。

5.如权利要求4所述的光罩篮，其特征在于，所述防滑栓为一个或多个。

6.如权利要求5所述的光罩篮，其特征在于，还包括至少两个支撑杆，分别平行设置在每个抽屉板下方；

所述支撑杆垂直于抽拉方向而与抽屉板的侧面对齐，并与所述支架固定连接。

7.如权利要求6所述的光罩篮，其特征在于，所述防滑栓为多个时，针对每个抽屉板设置至少一个防滑栓，防滑栓的一端固定于支撑杆，另一端固定于支架的边缘。

8.如权利要求7所述的光罩篮，其特征在于，防滑栓的一端固定于支撑杆，另一端固定于支架边缘，包括：

在支架边缘且位于所述抽屉板的上方设置防滑挂钩，将所述防滑栓的一端挂接在所述防滑挂钩上。

9.如权利要求3所述的光罩篮，其特征在于，所述至少两个抽屉板采用抽拉式结构连接在所述支架上，包括：

在所述支架的两个立面相互对应的位置开设导轨，每个立面开设至少两个导轨，相应地在抽屉板的两个侧面边缘分别设置滑轮组；

将所述抽屉板设有滑轮组的两个侧面，与所述支架开设导轨的两个立面相互对应进行安装，形成抽拉式结构。

10.如权利要求9所述的光罩篮，其特征在于，还包括多个防滑塞子，分别设置在所述支架开设导轨的一端或两端。

11.如权利要求1-10任一项所述的光罩篮，其特征在于，还包括一提手，连接在所述支架的两侧。

12.如权利要求1-10任一项所述的光罩篮，其特征在于，所述挡板至少一侧设有凹槽。

13.如权利要求11所述的光罩篮，其特征在于，所述光罩篮的各组成部分均采用防静电材料制成。