JP4947410B2 - カセットケース梱包用緩衝体 - Google Patents
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Description
よって、外装箱が半導体ウェーハの主面を下に向けた状態で落下などした場合、その落下による衝撃力がこれらの緩衝体を介してカセットケース、ひいては半導体ウェーハに作用することとなる。このとき上記主面対向側の各突起が主面から外れた位置にあるため、半導体ウェーハをこれらの突起において両端支持梁の状態で支持することができないため、かつ、突起同士がかなり離れていたため、この衝撃力による半導体ウェーハの主面の中央部位のたわみ変形量が大きくなって、半導体ウェーハに欠け、傷、割れなどの損傷が発生する可能性が存在した。
また、横方向衝撃吸収ブロックは、上記上型部材および下型部材と一体に成形してもよく、また別素材(ただし衝撃吸収能力が高い素材で、例えば弾性係数の高い発泡プラスチックやゴムなど)を用いて上記下型部材とは別体に形成してもよい。
段ボール箱11は所定寸法の直方体であって、その段ボール箱11内には、SEMI規格の1個のカセットケース10が収容されて梱包される。
カセットケース10は所定深さの本体部分とその上側の開口を覆う蓋部とを有する所定の略直方体形状のプラスチック製箱体であって、その本体部分の内部には複数枚のシリコンウェーハWが平行に並んで装填されている。例えば口径300mmのシリコンウェーハWが25枚縦に(カセットケースの底面に対して垂直に)並列にその溝内に載置された状態でカセットケース10内に収容されている。シリコンウェーハWの並ぶ方向が段ボール箱11の長辺の方向と一致している。
そして、この下型部材12は、その下側に向かって突出する、4角形の頂点位置に配置された4個の下側衝撃吸収ブロック25により段ボール箱11の内底面との間にも所定の隙間を画成している。下側衝撃吸収ブロック25は、矩形の枠体21(カセットケース10の底部に対応している)に対して4箇所、4角形の頂点位置に設けられている。その下側衝撃吸収ブロック25の突出高さは4.5cmである。
そして、下型部材12の矩形の枠体21の2つの長辺には、図1に示すように、各2個のブロック23が所定距離だけ離間してそれぞれ突設されている。これらのブロック23は、半導体ウェーハWの主面に対して光を垂直に照射したとき、そのブロックの投影像の投影位置がこの主面を正面視して上記カセットケース10内の半導体ウェーハWの直径幅内に位置するように、突設配置されている。これらの4個のブロック23が、下型部材12から上記シリコンウェーハWの主面(表裏面)と直交する方向であって、段ボール箱11の内側壁面に向かって突出した横方向衝撃吸収ブロックを構成することとなる。これらの横方向衝撃吸収ブロック23が段ボール箱11の内側面(垂直面)に当接してその段ボール箱11内壁面(垂直面)との間に所定の隙間を上下左右にそれぞれ形成している。その横方向衝撃吸収ブロック23の先端突出面は平坦な垂直面で構成されている。
また、この下型部材12はその下側に向かって突出する複数の下側衝撃吸収ブロック25により箱11の底面との間にも所定の隙間を画成している。これらの下側衝撃吸収ブロック25は、枠体21の4隅部分に均等に4箇所設けられ、同じ高さに形成されている。その突出面は平坦である。
なお、これらの上型部材13と下型部材12はいずれも金型などを用いた樹脂一体成形品として形成してある。
上型部材13は、枠体31の内側の四角形の空間においてカセットケース10の上端部を保持することとなる。枠体31から水平面方向に突出したブロック33,34が箱11の内壁面(垂直面)に所定の隙間を形成することとなる。また、上側衝撃吸収ブロック35は箱11の天井面との間に所定の隙間を構成する。
また、下型部材12は、枠体21の内側の平面視して四角形の空間においてカセットケース10の下端部を保持することとなる。枠体21から水平方向(横方向)に突出したブロック23,24が段ボール箱11の内壁面(垂直面)に所定の隙間を形成することとなる。また、下側衝撃吸収ブロック25は段ボール箱11の底面との間に所定の隙間を形成する。
なお、段ボール箱11内へのカセットケース10の収納に際しては、カセットケース10に上型部材13、下型部材12を嵌合させて一体化した後で、これらを段ボール箱11に収納してもよい。
以上の結果、もしこの段ボール箱11が輸送中に転倒した場合でも、この緩衝体、特に下型部材12の長辺方向ブロック23により、段ボール箱11が大きくたわんで変形してもこれを段ボール箱11の内壁面で堅固に支持することができ、その衝撃力を緩和吸収することができる。もちろん、この場合各ブロックなどにより衝撃の吸収緩和が同時になされる。特に、シリコンウェーハWの主面の直径幅内で表裏面の両側にそれぞれ4個の長辺方向ブロック(横方向衝撃吸収ブロック)23を設けているので、これによりシリコンウェーハWに作用する衝撃力を緩和吸収することができ、シリコンウェーハWの主面に垂直に作用する外力を低減することができる。これにより、カセットケース10内のシリコンウェーハWに対するダメージが軽減され、シリコンウェーハWの割れや欠けが未然に防止される。
上側衝撃吸収ブロック35の突出長さ(足の長さ)が異なる複数の上型部材13と、下側衝撃吸収ブロック25の突出長さ(足の長さ)が異なる複数の下型部材12とを準備し、それらを、25枚のシリコンウェーハWがその内部に載置されたカセットケース10に上下からそれぞれ嵌合し、さらに段ボール箱11に梱包した。
そして、カセットケース10が梱包された段ボール箱11を、所定の高さ位置から床面に対して落下させ、カセットケース10内のシリコンウェーハWの割れの有無を確認した。なお、落下試験は、カセットケース10の蓋面(天)を下にして段ボール箱11を落下させた場合と、カセットケース10の底面(底)を下にして落下させた場合についてそれぞれ行った。同時に落下時の加速度も測定した。その結果を以下の表1に示す。
なお、表中の足の長さは落下方向を底にした場合、下側衝撃吸収ブロック25の突出長さである。天にした場合、上側衝撃吸収ブロック35の突出長さである。
12 下型部材、
13 上型部材、
10 カセットケース、
23 長辺方向ブロック(横方向衝撃吸収ブロック)、
25 下側衝撃吸収ブロック、
35 上側衝撃吸収ブロック。
Claims (2)
- 内部に複数枚の半導体ウェーハが主面を略垂直にした縦向き状態で、かつ、これらの半導体ウェーハの主面が互いに平行となるように装填された略直方体のカセットケースを、これらの半導体ウェーハの主面と平行に設けられている一対の内側壁を有する直方体の箱に収容して梱包するとき、このカセットケースとこの箱との間に介装されるカセットケース梱包用緩衝体において、
略矩形の枠体で構成され、上記カセットケースの底部に嵌合し、上記箱の内底壁に当接するとともに、このカセットケースの外側壁とこの箱の内側壁との間に隙間を有してカセットケースを支持する下型部材と、
略矩形の枠体で構成され、上記カセットケースの蓋部に嵌合し、上記箱の天井壁に当接するとともに、このカセットケースの外側壁とこの箱の内側壁との間に隙間を有してカセットケースを支持する上型部材とを備え、
上記上型部材および上記下型部材には、上記半導体ウェーハの主面と直交する方向で、上記一対の内側壁に向かってそれぞれ2個ずつ突出した横方向衝撃吸収ブロックが配設され、
上記カセットケースを上記箱に収容して梱包した際に、上記半導体ウェーハの主面に対して垂直な方向に光を照射して横方向衝撃吸収ブロックを投影した場合、その横方向衝撃吸収ブロックの投影像がこの半導体ウェーハの直径の幅内に位置するカセットケース梱包用緩衝体。 - 上記略矩形の上型部材には、その上面にて4角形の頂点位置に4個の上側衝撃吸収ブロックがそれぞれ上方に向かって突出して配設されるとともに、
上記略矩形の下型部材には、その下面にて4角形の頂点位置に4個の下側衝撃吸収ブロックがそれぞれ下方に向かって突出して配設された請求項1に記載のカセットケース梱包用緩衝体。
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