KR101351701B1 - 카세트 반송장치 - Google Patents

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Abstract

[과제] 기판을 수납하는 카세트를 랙 안으로부터 기판 반출 작업부에 반송할 때, 상기 카세트의 기판 출입용 개구부를 닫고, 반송 도중에도 카세트 안의 분위기를 양호하게 유지 할 수 있도록 한다.
[해결수단] 승강 캐리지(15)상에, 상기 승강 캐리지(15)상의 퇴입위치와 가로측방으로 진출한 진출 위치와의 사이에서 자유롭게 수평 출퇴 이동되는 카세트 이재용 지지대(20)가 설치된 카세트 반송장치에 있어서, 승강 캐리지(15)상에서 카세트 이재용 지지대(20)를 자유롭게 수평 출퇴 이동되도록 지지하는 지지부{턴테이블(16)}에, 상기 카세트 이재용 지지대(20)상에 지지되어 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재된 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 닫는 덮개(22)가 설치된 구성.

Description

카세트 반송장치{CASSETTE TRANSPORT APPARATUS}
본 발명은, 텔레비전의 디스플레이에 사용되는 유리기판 등을 수납하는 카세트, 특히 클린 카세트라고 칭해지는 카세트의 반송장치에 관한 것이다.
상기와 같은 유리기판 등을 수납한 카세트는, 일시적으로 자동 창고의 선반에 보관되어, 유리기판에 대한 각종 처리를 행할 때에, 상기 자동 창고가 구비하는 주행 크레인에 의해 선반으로부터 처리장치 가까이의 유리기판 반출 작업부에 반출되어, 여기서 카세트 안으로부터 유리기판이 유리기판 취출용 로봇에 의해 꺼내져 처리장치에 공급된다. 그리고, 카세트 안에 수납되어 있는 유리기판은, 더러워진 분위기에 접촉하는 것을 피할 필요가 있어, 이 때문에 내부공간 그 자체를 깨끗한 환경으로 유지할 수 있도록 한 자동 창고가 사용되고 있었던 것이지만, 대규모인 자동 창고의 경우, 그 큰 내부공간 전체를 깨끗한 환경에 유지하기에는 심대한 설비 비용과 유지 비용이 들기 때문에, 카세트 자체에 그 내부공간을 깨끗하게 유지할 수 있는 기능을 갖게 한 클린 카세트라고 칭해지는 것이 활용되기 시작했다.
즉, 클린 카세트는, 일측면만이 기판 출입용 개구부로서 개방된 직사각형 상자형의 것으로, 상기 개구부와는 반대측의 측벽에, 외부 공기를 도입하여 카세트 안에 필터를 경유하여 보내는 팬·필터·유닛(FFU)이 조립해 넣어진 것이고, 자동 창고의 랙 안에 수납되어 있을 때에는, 상기 FFU에 통전하여 카세트 내부를 깨끗한 분위기로 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 그러나, 이 클린 카세트를 랙과 유리기판 반출 작업부나 유리기판 반입 작업부와의 사이에서 주행 크레인에 의해 반송하는 동안은, 만일 상기 주행 크레인의 승강 캐리지측으로부터 클린 카세트의 FFU에 통전할 수 있도록 구성했다고 해도, 카세트의 반송 도중에 크게 개방한 기판 출입용 개구부로부터 창고내의 분위기가 비집고 들어가, 카세트의 내부공간의 클린도를 저하시켜 버리게 된다. 이것은, 카세트가 FFU를 장비하고 있는지 아닌지, 혹은 창고 그 자체가 깨끗한 분위기로 유지되는 것인지 아닌지에 관계없이 염려되는 것으로서, 창고내의 분위기가 카세트의 반송중에 상기 카세트 안에 비집고 들어가지 않게 하는 것이 바람직하다.
종래는, 예를 들면 특허문헌 1에 기재되는 바와 같이, 카세트 반송장치의 카세트 지지부에, 반송되는 카세트를 수납하는 클린 박스를 설치해 두는 것을 생각할 수 있었다.
[특허문헌 1] 일본 공개특허공보 2003-174073호
상기 특허문헌 1에 기재된 구성에서는, 카세트 반송장치의 카세트 지지부상에 설치되는 클린 박스가, 카세트를 수납할 수 있는 대형의 것이고, 종래의 클린 카세트의 FFU와 같은 수단을 구비하는 것이기 때문에, 카세트 반송장치가 대형이고 고가의 것이 된다. 게다가, 그 클린 박스 자체에, 카세트가 출입되는 큰 개구부가 존재하므로, 반송 도중에 클린 박스내, 나아가서는 상기 클린 박스내에 수납되어 있는 카세트 안에 외부 공기가 비집고 들어가는 것을 완전히 방지할 수 없다.
본 발명은, 상기와 같은 종래의 문제점을 해소할 수 있는 카세트 반송장치를 제안하는 것으로서, 청구항 1에 기재된 본 발명에 관한 카세트 반송장치는, 후술하는 실시형태의 참조 부호를 붙여 나타내면, 짐 반입 반출용 스태커 크레인의 승강 캐리지(15)상에, 상기 승강 캐리지(15)상의 퇴입위치와 가로측방으로 진출한 진출 위치와의 사이에서 자유롭게 수평 출퇴 이동되는 카세트 이재용 지지대(20)가 설치된 카세트 반송장치로서, 승강 캐리지(15)상에서 카세트 이재용 지지대(20)를 자유롭게 수평 출퇴 이동되도록 지지하는 지지부{(턴 테이블(16)}에, 상기 카세트 이재용 지지대(20)상에 지지되어 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재된 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 닫는 덮개(22)가 설치되고, 이 덮개(22)에, 상기 덮개(22)가 닫는 기판 출입용 개구부(6a)로부터 카세트(6)내의 기판(10)의 수납위치를 검출하는 기판위치 검출장치(30)가 설치된 구성이 되어 있다.
상기 본 발명을 실시하는 경우, 청구항 2에 기재된 바와 같이, 상기 덮개 (22)에, 상기 덮개(22)가 닫는 기판 출입용 개구부(6a)로부터 카세트(6)내의 기판(10)의 수납위치를 검출하는 기판위치 검출장치(30)를 부착할 수 있다.
또한, 카세트(6)가, 카세트 이재용 지지대(20)에 의해 승강 캐리지(15)상을 향하여 이재될 때의 이동방향의 후단측에 기판 출입용 개구부(6a)를 구비하고 있을 때는, 청구항 3에 기재된 바와 같이, 상기 덮개(22)는, 카세트 이재 경로의 외측의 퇴피 위치와, 카세트 이재 경로내의 닫힘 작용 위치와의 사이에서 자유롭게 이동되도록 구성할 수 있다. 이 경우, 청구항 4에 기재된 바와 같이, 덮개(22)는, 카세트 이재 경로의 양측의 퇴피 위치와, 카세트 이재 경로내의 닫힘 작용 위치와의 사이에서 자유롭게 이동되는 좌우 한 쌍의 덮개 단체(23A,23B)로 구성하고, 닫힘 작용 위치에 있는 좌우 한 쌍의 덮개 단체(23A,23B)가 서로 인접하여 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 닫도록 구성하고, 상기 기판위치 검출장치(30)는, 한쪽의 덮개 단체(23A)에 부착할 수 있다. 게다가 이 경우, 청구항 5에 기재된 바와 같이, 좌우 한 쌍의 덮개 단체(23A,23B)는, 상기 지지부{턴테이블(16)}상에 수직 지지축 (25a,25b)의 주위에 퇴피 위치와 닫힘 작용 위치와의 사이에서 자유롭게 수평 요동되도록 축지지하고, 닫힘 작용 위치로부터 퇴피 위치에 열어 이동한 각 단체 (23A,23B)가, 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재된 카세트(6)의 양측 상당 위치에 있도록 구성할 수 있다.
또한, 청구항 2에 기재된 바와 같이 기판위치 검출장치(30)를 덮개(22)에 부착하는 경우, 청구항 6에 기재된 바와 같이, 기판위치 검출장치(30)는, 덮개(22)가 퇴피 위치와 닫힘 작용 위치와의 사이를 이동할 때에 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재된 카세트(6)와 간섭하지 않는 후퇴 위치와, 덮개(22)가 닫힘 작용 위치에 있을 때에 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)에 접근하거나 또는 그 중에 비집고 들어가는 전진 위치와의 사이에서 자유롭게 전진 후진되도록 설치할 수 있지만, 청구항 7에 기재된 바와 같이, 기판위치 검출장치(30)는, 덮개(40)가 퇴피 위치와 닫힘 작용 위치와의 사이를 이동할 때에 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재된 카세트(6)와 간섭하지 않는 위치에서 또한 덮개(40)가 닫힘 작용 위치에 있을 때에는 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)로부터 카세트(6)내의 기판(10)을 검출할 수 있는 위치에 있어서, 덮개(40)에 고정하는 것도 가능하다.
또한, 카세트(6)가, 카세트 이재용 지지대(20)에 의해 승강 캐리지(15)상을 향하여 이재될 때의 이동방향의 전단측에 기판 출입용 개구부(6a)를 구비하고 있는 경우는, 청구항 8에 기재된 바와 같이, 상기 덮개(49)는, 승강 캐리지(15)상에 이재될 때의 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)에 대면하는 위치에 고정하여 둘 수 있다. 또한, 청구항 9에 기재된 바와 같이, 상기 지지부는, 수직 축심의 주위에 자유롭게 회전되는 턴테이블(16)로 구성하고, 이 턴테이블(16)의 180도의 회전에 의해, 카세트 이재용 지지대(20)를 이 카세트 반송장치의 주행 경로의 좌우 어느 쪽에 대해서도 수평 출퇴 이동시킬 수 있도록 구성할 수 있다.
청구항 1에 기재된 본 발명의 구성에 의하면, 취급하는 카세트가, 기판 출입용 개구부 이외의 각 측면이 벽재로 닫혀지고 또한 먼저 설명한 바와 같은 FFU를 구비한 소위 클린 카세트이더라도, 카세트 이재용 지지대에 의해 승강 캐리지상의 정위치에 이재된 상기 카세트의 기판 출입용 개구부를 덮개에 의해 닫은 상태로 반송할 수 있으므로, 이 카세트 반송시에 FFU를 가동시킬 수 있도록 구성하지 않아도, 반송 도중에 더러워진 외부 공기가 기판 출입용 개구부로부터 카세트 안에 비집고 들어가는 것을 방지할 수 있다. 게다가, 승강 캐리지상의 정위치에 카세트 수납용의 클린 박스를 설치하는 종래의 구성과 비교하여, 승강 캐리지측에는 덮개를 설치할 뿐이기 때문에, 만일 이 덮개를 개폐시키는 구동수단이 병용되는 경우에도, 승강 캐리지측의 구성은 비교적 간단하고, 승강 캐리지측이 대형이 되는 정도도 작아, 비교적 염가로 실시할 수 있다.
또한, 청구항 2에 기재된 구성에 의하면, 상기 덮개로 기판 출입용 개구부를 닫은 상태의 카세트를 반송하고 있는 동안에, 상기 덮개에 부착되어 있는 기판위치 검출장치(매핑 센서)에 의해, 카세트 안에 수납되어 있는 기판의 수납위치 정보(매핑 데이터)를 취득할 수 있어, 기판 반출 작업부에 반출한 후에 기판위치 검출장치에 의해 기판의 위치 정보를 취득하는 경우와 비교하여, 상기 기판 반출 작업부에 있어서 기판 취출용 로봇에 의해 기판을 카세트 안으로부터 꺼낼 때까지의 사이클 타임을 단축시킬 수 있다. 게다가, 카세트의 기판 출입용 개구부를 닫는 덮개에 기판위치 검출장치가 부착되어 있으므로, 기판 출입용 개구부와 이것을 개폐하는 덮개와는 별도로, 매핑 센서용 개구와 이것을 개폐하는 덮개를 설치하고, 또한 상기 매핑 센서용 개구에 대해서 매핑 센서를 출입하는 수단을 설치하지 않으면 안 되는 경우와 비교하여, 장치 전체의 구조와 제어계를 심플하게 하여, 염가로 실시할 수 있다.
또한, 청구항 3에 기재된 구성에 의하면, 이 카세트 반송장치가 카세트를 출입하는 랙의 카세트 수납 구획에 대해서 카세트를, 그 기판 출입용 개구부가 카세트 반송장치의 주행 통로가 있는 측과는 반대의 카세트 수납 구획의 가장 안쪽으로 개구하는 방향에서 수납할 수 있으므로, 기판 출입용 개구부가 카세트 반송장치의 주행 통로가 있는 측으로 개구하는 방향에서 수납되는 경우보다, 카세트 안을 깨끗한 분위기로 유지하는 것이 용이하다. 게다가, 상기 카세트를 카세트 이재용 지지대에 의해 카세트 반송장치측의 승강 캐리지상에 이재했을 때에는, 상기 카세트의 기판 출입용 개구부를 덮개로 닫을 수 있어, 소기의 목적을 달성할 수 있다.
이 경우, 청구항 4에 기재된 구성에 의하면, 카세트의 큰 기판 출입용 개구부를 1개의 덮개 단체로 이루어지는 덮개로 개폐시키는 경우와 비교하여, 퇴피 위치와 닫힘 작용 위치와의 사이에서 이동시키는 덮개 단체가 작아져, 덮개 단체를 이동시키는 기구의 구성이 용이해지는 동시에, 덮개의 개폐에 필요로 하는 시간을 반감시킬 수 있어, 사이클 타임을 단축시킬 수 있다. 또한 청구항 5에 기재된 구성에 의하면, 좌우 한 쌍의 덮개 단체를 단순히 1축의 주위에 자유롭게 수평 요동되도록 축지지하면 좋기 때문에, 덮개 단체의 지지 구조나 그 구동 기구도 간단하게 된다. 또한, 퇴피 위치에 있는 덮개 단체를, 승강 캐리지상의 정위치에 이재된 카세트의 양측 상당 위치에서 또한 카세트 이재 경로를 따르는 방향으로 전향시키는 것도 가능하므로, 덮개 닫힘 공간 전체의 폭을 좁힐 수 있다.
또한, 청구항 6에 기재된 구성에 의하면, 카세트의 기판 출입용 개구부를 덮개로 닫은 상태에서 기판위치 검출장치에 의해 기판 위치를 검출시킬 때, 상기 기판위치 검출장치의 위치를 카세트 안에 필요 깊이까지 비집고 들어가게 할 수 있다. 따라서, 기판위치 검출장치로서, 카세트 안에 수평으로 수납되어 있는 기판의 수평인 판면을 상하방향으로부터 검출하는 타입의 센서를 이용하여, 확실한 기판 위치 검출을 행하게 할 수 있다.
한편, 청구항 7에 기재된 구성에 의하면, 덮개에 대해서 기판위치 검출장치를 이동시키는 기구나 그 제어계가 불필요하고, 용이하게 또한 염가로 본 발명을 실시할 수 있다. 이 경우도, 약간량이라면 기판위치 검출장치를 기판 출입용 개구부로부터 카세트 안에 비집고 들어가게 하는 것이 가능하므로, 상기와 같은 기판의 수평인 판면을 상하방향으로부터 검출하는 타입의 센서를 이용하는 것도 가능하고, 만일 그러한 타입의 센서를 이용할 수 없는 듯한 위치에 기판위치 검출장치가 위치하는 경우에도, 기판의 둘레가장자리의 수직 단면을 검출하는 타입의 센서를 이용하면 좋다.
카세트 반송장치가 카세트를 출입하는 랙의 카세트 수납 구획에 대해서 카세트를, 그 기판 출입용 개구부가 카세트 반송장치의 주행 통로가 있는 측으로 개구하는 방향에서 수납하는 경우에는, 청구항 8에 기재된 구성에 의해서 본 발명을 실시할 수 있어, 덮개를 퇴피 위치와 닫힘 작용 위치와의 사이에서 이동시키는 기구나 그 제어계가 불필요하게 되어, 매우 염가로 본 발명을 실시할 수 있다.
또한, 청구항 9에 기재된 구성에 의하면, 카세트 반송장치의 주행 경로의 좌우 양측에 카세트 수납 랙을 배치하거나 또는, 상기 주행 경로의 한쪽에 카세트 수납 랙을 배치하는 동시에 반대측에 카세트를 내려 기판을 반출하는 기판 반출 작업부를 배치할 수 있다. 이 경우도, 덮개는 카세트 이재용 지지대와 일체로 회전하므로, 카세트 이재용 지지대가 주행 경로의 좌우 어느 쪽으로부터 카세트를 받는 경우도, 상기 덮개에 의해 그 카세트의 기판 출입용 개구부를 닫게 하는 동시에, 청구항 2에 기재된 구성을 조합하는 것에 의해, 상기 덮개에 설치되어 있는 기판위치 검출장치에 의해 카세트 안의 기판의 위치를 검출시킬 수 있다.
도 1은 도 1 내지 도 11은 본 발명의 제 1 실시예를 도시하는 도면으로서, 도 1의 A도는 카세트 반송장치를 이용한 설비의 주요부를 도시하는 평면도, B도는 카세트 반송장치의 전체의 개략을 도시하는 측면도이다.
도 2는 상기 카세트 반송장치에 있어서의 승강 캐리지상의 구성을 도시하는 횡단 평면도이다.
도 3은 상기 승강 캐리지상의 구성을 도시하는, 가장 가까운 쪽의 덮개를 생략한 측면도이다.
도 4는 상기 승강 캐리지상의 덮개가 열린 상태를 도시하는 정면도이다.
도 5는 A도 및 B도는 덮개에 대해서 기판위치 검출장치를 전후 이동시키는 기구의 예를 도시하는 평면도이다.
도 6은 상기 카세트 반송장치가 한쪽의 랙으로부터 카세트를 꺼낼 때의 상태를 도시하는 횡단 평면도이다.
도 7은 상기 카세트 반송장치가 한쪽의 랙으로부터 꺼낸 카세트의 기판 출입용 개구부를 덮개로 닫은 상태를 도시하는 평면도이다.
도 8은 도 6의 일부 절결 측면도이다.
도 9는 도 7의 측면도이다.
도 10은 A도는 승강 캐리지상의 정위치에 카세트가 이재된 상태를 도시하는 확대 일부 횡단 평면도, B도는 덮개를 닫은 상태에서의 주요부의 확대 횡단 평면도이다.
도 11은 도 9의 상태를 반대측으로부터 본 주요부의 확대 일부 종단 측면도이다.
도 12는 도 12 내지 도 14는 본 발명의 제 2 실시예를 도시하는 도면으로서, 도 12는 카세트 이재용 지지대가 카세트를 받는 상태의 평면도이다.
도 13은 덮개가 열린 상태를 도시하는 주요부의 일부 횡단 평면도이다.
도 14는 승강 캐리지상에 이재된 카세트의 기판 출입용 개구부를 덮개로 닫은 상태를 도시하는 주요부의 일부 횡단 평면도이다.
도 15는 도 15 내지 도 17은 본 발명의 제 3 실시예를 도시하는 도면으로서, 도 15는 카세트 이재용 지지대가 카세트를 받는 상태의 평면도이다.
도 16은 카세트 이재용 지지대가 카세트를 승강 캐리지상으로 끌여들이고 있는 상태의 주요부의 측면도이다.
도 17은 카세트 이재용 지지대에 의해 카세트가 승강 캐리지상의 정위치에 이재된 상태의 주요부의 일부 종단 측면도이다.
도 1 내지 도 11에 기초하여 본 발명의 제 1 실시예를 설명하면, 도 1에 도시하는 바와 같이 본 발명의 카세트 반송장치(1)는, 2열로 병설된 랙(2A,2B)간의 주행 통로(3)에 있어서, 마루면상에 부설된 지지용 가이드 레일(4)로 지지되어, 양 랙(2A,2B)을 따라서 스스로 주행한다. 양 랙(2A,2B)에는, 클린 카세트(6)를 수납하는 카세트 수납 구획(7)이 입체적으로 배치되어 있고, 한쪽의 랙(2A)에는, 각각 1개의 카세트 수납 구획(7)을 이용하여 구성된 기판 반출 작업부(8)와 기판 반입 작업부(9)가 설치되어, 기판 반출 작업부(8)에 반출된 클린 카세트(6)내로부터 기판 (10)을 1매씩 꺼내 처리장치(11)에 반입하는 기판 취출용 로봇장치(12)와, 처리장치(11)에서 처리된 처리 끝난 기판(10)을 기판 반입 작업부(9)에서 대기하는 클린 카세트(6)내에 1매씩 수납하는 기판 수납용 로봇장치(13)가 병설되어 있다. 한편, 기판 취출용 로봇장치(12) 및 기판 수납용 로봇장치(13)는 종래 주지의 것으로, 도면에서는 로봇 장치 그 자체는 도시 생략하고 있다.
카세트 반송장치(1)는, 주행 방향 전후 한 쌍의 지지기둥(14)간에 승강하는 승강 캐리지(15)를 구비한 것으로, 승강 캐리지(15)상에 수직 축심의 주위에서 자유롭게 정역회전되는 턴테이블(16)이 탑재되고, 이 턴테이블(16)상에, 클린 카세트 (6)를 랙(2A,2B)의 카세트 수납 구획(7)이나 기판 반출 작업부(8) 및 기판 반입 작업부(9)와의 사이에서 이재하기 위한 카세트 이재수단(17)이 설치되어 있다.
이 카세트 이재수단(17)은, 도 3, 도 4, 도 6, 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 턴테이블(16)상에, 카세트 반송장치(1)의 주행 방향에 대해서 직각 가로방향으로 고정된 고정 슬라이드 레일대(18), 이 고정 슬라이드 레일대(18)상에, 카세트 반송장치(1)의 주행 방향에 대해서 직각 가로 방향에서 한쪽으로만 자유롭게 출퇴 이동되도록 지지된 중간단 슬라이드 레일대(19), 및 이 중간단 슬라이드 레일대 (19)상에, 상기 중간단 슬라이드 레일대(19)의 출퇴 이동방향과 동일방향으로 자유롭게 출퇴 이동되도록 지지된 카세트 이재용 지지대(20)로 구성된 것으로, 종래의 자동 창고에 채용되어 있는 짐 반입 반출용 스태커 크레인의 승강 캐리지상에 설치된 러닝 포크와 같은 구동수단에 의해, 고정 슬라이드 레일대(18)에 대한 중간단 슬라이드 레일대(19)의 출퇴이동에 연동하여 카세트 이재용 지지대(20)가 중간단 슬라이드 레일대(19)에 대해서 출퇴이동하는 것이고, 카세트 이재용 지지대(20)는, 평면에서 보아 카세트 이재용 지지대(20)가 고정 슬라이드 레일대(18)와 겹쳐지는 퇴입위치와, 카세트 이재용 지지대(20)가 고정 슬라이드 레일대(18)로부터 완전히 가로방향으로 멀어진 진출 위치와의 사이에서 수평 출퇴 이동할 수 있다. 또한, 턴테이블(16)을 180도 회전시키는 것에 의해, 카세트 반송장치(1)의 주행방향에 대한 카세트 이재용 지지대(20)의 출퇴 이동방향을 좌우 반대방향으로 변경할 수 있다.
상기 구성의 삼단 포크 형식의 카세트 이재수단(17)은 일례에 지나지 않고, 예를 들면 먼저 인용한 특허문헌 1에 기재된 바와 같이, 턴테이블(16)과 카세트 이재용 지지대(20)와의 사이에 끼운 링크 기구에 의해 카세트 이재용 지지대(20)를 턴테이블(16)에 대해서 자유롭게 출퇴 이동되도록 지지시키는 구성의 것이더라도 좋다. 요컨대, 후술하는 덮개의 개폐 지지기구와 간섭하지 않는 구성이면, 카세트 이재용 지지대(20)의 출퇴 이동기구는 어떤 구성의 것이더라도 좋다.
상기 구성의 카세트 반송장치(1)에 의하면, 이 카세트 반송장치(1)의 주행, 승강 캐리지(15)의 승강, 및 턴테이블(16)의 회전에 의해, 카세트 이재수단(17)을, 랙(2A,2B)이 구비하는 카세트 수납 구획(7)내의 임의의 카세트 수납 구획(7), 또는 기판 반출 작업부(8)나 기판 반입 작업부(9)에 대한 카세트 이재 위치에 대응시킬 수 있다. 한편, 각 카세트 수납 구획(7), 기판 반출 작업부(8), 및 기판 반입 작업부(9)에는, 클린 카세트(6)의 저부 좌우 양 측변을 지지하는 좌우 한 쌍의 카세트 지지구(21)가 배치되어 있다. 그리고, 카세트 수납 구획(7)에 수납되어 있는 클린 카세트(6)를 출고하는 경우, 도 8에 도시하는 바와 같이, 출고 대상의 카세트 수납 구획(7)의 카세트 지지 레벨보다 조금 낮은 레벨로 상기 출고 대상의 카세트 수납 구획(7)에 카세트 이재수단(17)을 대응 정지시킨 후, 종래 주지하는 바와 같이, 카세트 이재용 지지대(20)의 출퇴운동과 승강 캐리지(15)의 단위량의 상승 운동과의 조합으로 이루어지는 카세트 취출 동작을 행하게 하는 것에 의해, 카세트 수납 구획(7)내에 수납되어 있던 클린 카세트(6)를 카세트 반송장치(1)의 승강 캐리지(15)상에 이재할 수 있다. 기판 반출 작업부(8)나 기판 반입 작업부(9)에 지지되어 있는 클린 카세트(6)를 카세트 반송장치(1)측으로 이재하는 것도, 상기와 같은 순서로 행할 수 있다.
상기와는 반대로, 카세트 반송장치(1)의 승강 캐리지(15)상으로부터, 비어 있는 카세트 수납 구획(7)내에 클린 카세트(6)를 입고할 때는, 클린 카세트(6)를 지지하고 있는 카세트 이재수단(17)을, 입고 대상의 카세트 수납 구획(7)의 카세트 지지 레벨보다 조금 높은 레벨에서 상기 입고 대상의 카세트 수납 구획(7)내에 카세트 이재수단(17)을 대응 정지시킨 후, 종래 주지하는 바와 같이, 클린 카세트(6)를 지지하고 있는 카세트 이재용 지지대(20)의 출퇴운동과 승강 캐리지(15)의 단위량의 하강 운동과의 조합으로 이루어지는 카세트 내림 동작을 행하게 하는 것에 의해, 카세트 이재용 지지대(20)상의 클린 카세트(6)의 좌우 양 측변을 입고 대상의 카세트 수납 구획(7)의 카세트 지지구(21)상에 이재할 수 있다. 카세트 반송장치 (1)로부터 기판 반출 작업부(8)나 기판 반입 작업부(9)에 클린 카세트(6)를 이재하는 것도, 상기와 같은 순서로 행할 수 있다.
클린 카세트(6)는, 도 11에 도시하는 바와 같이, 유리기판(10)을 수평 상태로 상하 복수단에 수납하는 상자형의 것으로, 정면의 기판 출입용 개구부(6a) 이외의 각 면은 벽재로 닫혀지고, 배면측에는, 외부 공기를 도입하여 카세트 안에 필터를 경유하여 보내는 팬·필터·유닛(FFU)(6b)이 설치되어 있다. 이 클린 카세트(6)가, 그 기판 출입용 개구부(6a)가 랙(2A,2B)간의 카세트 반송장치(1)의 주행 통로 (3)가 있는 측과는 반대측에 면하는 방향, 즉, FFU(6b)가 주행 통로(3)가 있는 측에 면하는 방향에서, 각 랙(2A,2B)의 카세트 수납 구획(7)내에 수납된다.
상기 클린 카세트(6)를 랙(2A,2B)의 카세트 수납 구획(7)이나 기판 반출 작업부(8) 또는 기판 반입 작업부(9)와의 사이에서 상기와 같이 이재할 수 있는 카세트 반송장치(1)에는, 승강 캐리지(15)상에 지지되어 반송되는 클린 카세트(6)의 상기 기판 출입용 개구부(6a)를 닫는 덮개가 설치된다. 즉, 카세트 이재용 지지대 (20)에서 승강 캐리지(15)상의 정위치{카세트 이재용 지지대(20)가 퇴입위치에 이르렀을 때의 위치}에 이재된 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)는, 먼저 설명한 랙(2A,2B)의 카세트 수납 구획(7)에 대한 수납방향으로부터 분명하듯이, 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재될 때의 카세트 이동방향의 뒤쪽에서 후방방향으로 개구하고 있지만, 이 기판 출입용 개구부(6a)를, 상기 클린 카세트(6)가 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재되었을 때에 닫는 덮개(22)가, 도 2 내지 도 4에 도시하는 바와 같이, 승강 캐리지(15)상에서 카세트 이재수단(17)을 지지하는 턴테이블 (16)에 설치되어 있다.
이 덮개(22)는, 좌우 한 쌍의 덮개 단체(23A,23B)와, 양 덮개 단체(23A,23B)를 동시에 연동시켜 개폐 운동시키는 구동수단(24)으로 구성되어 있다. 각 덮개 단체(23A,23B)는, 턴테이블(16)에 각각 수직 지지축(25a,25b)에 의해 일단이 축지지된 수평 요동 암(26a,26b)의 유단(遊端)에, 외단 저부가 고착된 것으로, 상기 수직 지지축(25a,25b)을 중심으로 하는 원호형의 수직판부(23a)와, 상기 원호형 수직판부(23a)의 상하 양측 가장자리로부터 수직 지지축(25a,25b)이 있는 측으로 수평으로 연달아 설치된 상하 양 수평판부(23b,23c)로 구성되어 있다. 상기 좌우 한 쌍의 수평 요동 암(26a,26b)은, 턴테이블(16)과 카세트 이재수단(17)의 고정 슬라이드 레일대(18)와의 사이에 형성된 공간내로부터 외측으로 연장하고 있다.
구동수단(24)은, 턴테이블(16)에 내장된 것으로, 상기 수직 지지축(25a,25b)을 사이에 두고 수평 요동 암(26a,26b) 각각과 연동하고 또한 서로 교합하는 한 쌍의 평치차(27a,27b)와, 한쪽의 평치차(27a)에 교합하는 평치차(28)를 출력축에 구비한 모터(29)로 구성되고, 이 모터(29)를 가동시키는 것에 의해 양 수평 요동 암 (26a,26b)을 서로 연동시켜 소요 각도 범위내에서 정역회전 구동할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 이 양 수평 요동 암(26a,26b)의 소요 각도 범위내에서의 정역회전에 의해, 이들 양 수평 요동 암(26a,26b)의 선단에 고착 지지된 좌우 한 쌍의 덮개 단체(23A,23B)는, 도 2, 도 6, 및 도 10A에 도시하는 바와 같이, 카세트 이재수단(17)의 좌우 양 외측으로 열려 퇴피한 퇴피 위치와, 도 7 및 도 10B에 도시하는 바와 같이, 양 덮개 단체(23A,23B)의 원호형 수직판부(23a)의 수직 내단변끼리가 서로 인접하는 동시에 상하 양 수평판부(23b,23c)의 수평 내측변끼리가 서로 인접하는 닫힘 작용 위치와의 사이에서 대칭적으로 동기하여 수평 요동 운동하게 된다.
더 상세하게 설명하면, 좌우 한 쌍의 덮개 단체(23A,23B)가 도 2, 도 6, 및 도 10A에 도시하는 퇴피 위치에 있을 때, 그 원호형 수직판부(23a)는, 먼저 설명한 바와 같이 카세트 이재수단(17)의 카세트 이재용 지지대(20)가 진출위치로부터 승강 캐리지(15)상의 퇴입위치와의 사이를 출퇴이동할 때의 상기 카세트 이재용 지지대(20)상에 지지된 클린 카세트(6)의 이동 궤적, 즉, 카세트 이재 경로의 외측에 있고, 그리고 양 덮개 단체(23A,23B)의 상하 양 수평판부(23b,23c)는, 평면에서 보아 카세트 이재수단(17)의 카세트 이재용 지지대(20)의 출퇴이동 경로의 외측에 있고 또한, 도 4의 가상선 및 도 11에 도시하는 바와 같이, 상기 카세트 이재용 지지대(20)상에서 지지되는 클린 카세트(6)의 상하 양면 레벨보다 상하 양 외측에 조금 떨어진 위치에 있다. 따라서, 먼저 설명한 순서로, 랙(2A,2B)의 카세트 수납 구획(7)내로부터 클린 카세트(6)를 승강 캐리지(15)상에 이재할 때, 좌우 한 쌍의 덮개 단체(23A,23B)를 좌우로 열고, 도 2, 도 6, 및 도 10A에 도시하는 퇴피 위치에 이동시켜 두는 것에 의해, 카세트 이재수단(17)의 출퇴이동하는 카세트 이재용 지지대(20)나 그 위에 지지되어 있는 클린 카세트(6)가 퇴피 위치의 덮개 단체(23A, 23B)와 간섭하는 일은 없다.
클린 카세트(6)를 지지한 카세트 이재용 지지대(20)가 승강 캐리지(15)상의 퇴입위치에 이르러, 그 위에 지지되어 있는 클린 카세트(6)가 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이르렀다면, 구동수단(24)의 모터(29)를 정회전 구동하고, 수평 요동암 (26a,26b)을 사이에 두고 좌우 한 쌍의 덮개 단체(23A,23B)를 퇴피 위치로부터 상기 닫힘 작용 위치까지 닫힘 이동시킨다. 이 결과, 먼저 설명한 바와 같이, 도 7 및 도 10B에 도시하는 바와 같이, 양 덮개 단체(23A,23B)의 원호형 수직판부(23a)의 수직 내단변끼리가 서로 인접하는 동시에 상하 양 수평판부(23b,23c)의 수평 내측변끼리가 서로 인접하여, 양 덮개 단체(23A,23B)의 원호형 수직판부(23a)와 상하 양 수평판부(23b,23c)가, 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 닫는 덮개 공간을 형성한다. 이 때, 양 덮개 단체(23A,23B)의 원호형 수직판부(23a)의 수직 외단변 및 상하 양 수평판부(23b,23c)의 서로 일직선장에 연속하는 수평측변은, 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)의 외측에 빈틈을 두고 바깥에서 끼우는 것이 된다.
상기와 같이 작용시킬 수 있는 덮개(22)에는, 그 한쪽의 덮개 단체(23A)의 내측에, 클린 카세트(6)내에서의 유리기판(10)의 수납위치를 검출하는 기판위치 검출장치(30)가 부착되어 있다. 이 기판위치 검출장치(30)는, 수직 지지지둥 부재 (31)에 상하방향 소요 간격마다 유리기판(10)을 검출하는 센서(32)를 부착한 것으로, 상기 수직 지지지둥 부재(31)가, 도 10B 및 도 11에 실선으로 나타내는 바와 같이, 각 센서(32)의 선단 감지부가 클린 카세트(6)내의 각 단(段) 유리기판(10)의 주변부에 적당한 빈틈을 두고 겹치는 위치까지 비집고 들어가는 전진 위치 F와, 덮개 단체(23A)의 원호형 수직판부(23a)에 접근하는 후퇴 위치 R과의 사이에서 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 도 5A에 도시하는 바와 같이, 예를 들면 덮개 단체(23A)의 하측 수평판부(23c)상에서, 덮개 단체(23B)의 하측 수평판부(23c)와 인접하는 수평 내측변에 가까운 위치에 상기 수평 내측변과 평행하게 부설한 슬라이드 가이드 레일(33)에 기판위치 검출장치(30){수직 지지지둥 부재(31)}의 하단을 자유롭게 전후 이동되도록 지지시켜, 이 슬라이드 가이드 레일(33)을 따라서 기판위치 검출장치(30){수직 지지지둥 부재(31)}를 전후 왕복 이동시키는 구동수단으로서, 수직 지지지둥 부재(31)측의 암나사체(34)에 나사식 맞춤 관통하는 나사축(35)을 슬라이드 가이드 레일(33)과 평행하게 자전만 가능하게 지지하고, 이 나사축(35)을 정역회전 구동하는 모터(36)를 설치하여 이루어지는 나사식 구동수단이나, 도시 생략하고 있지만, 유체압 실린더용의 구동수단 등을 이용할 수 있다.
한편, 기판위치 검출장치(30)를 전진 위치 F와 후퇴 위치 R과의 사이에 왕복 이동시키는 구성에 있어서, 상기 슬라이드 가이드 레일(33)은 필수적인 것은 아니다. 예를 들면 도 5B에 도시하는 바와 같이, 기판위치 검출장치(30){수직 지지지둥 부재(31)}의 하단을 선단에 고착하고 또한 타단부가 수직 지지축(37)에 의해 지지된 수평 요동 암(38)을 이용할 수도 있다. 이 경우, 상기 수평 요동 암(38)을 전후 왕복 요동시키는 구동수단으로서, 상기 수직 지지축(37)을 정역회전 구동하는 모터 (39) 외, 도시 생략하고 있지만, 나사식 구동수단이나 유체압 실린더용의 구동수단 등을 이용할 수 있다. 또한, 슬라이드 가이드 레일(33)이나 수평 요동 암(38)은, 기판위치 검출장치(30){수직 지지지둥 부재(31)}의 상하 양단을 지지하도록, 덮개 단체(23A)의 상하 양 수평판부(23b,23c)를 이용하여 상하 한 쌍 설치해도 좋다.
상기와 같이 한쪽의 덮개 단체(23A)의 내측에 부착된 기판위치 검출장치(30)의 후퇴 위치 R은, 덮개 단체(23A)가 퇴피 위치와 닫힘 작용 위치와의 사이를 개폐 운동할 때에, 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재된 클린 카세트(6)와 후퇴 위치 R에 있는 기판위치 검출장치(30)가 서로 간섭하는 것이 없도록 설정되는 동시에, 덮개 단체(23A)가 퇴피 위치에 있을 때는, 후퇴 위치 R에 있는 기판위치 검출장치 (30)가, 카세트 이재수단(17)의 카세트 이재용 지지대(20)의 출퇴이동에 수반하는 카세트 이재 경로의 외측에 있도록 설정되어 있다.
이상의 구성에 의하면, 덮개(22)의 양 덮개 단체(23A,23B)를 열어 퇴피 위치에서 대기시킨 상태에서, 랙(2A,2B)의 카세트 수납 구획(7)으로부터 클린 카세트 (6)를 카세트 이재수단(17)에 의해 승강 캐리지(15)상의 정위치까지 꺼냈을 때, 덮개(22)에 의해 상기 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 닫는 동시에, 상기 덮개(22)가 구비하는 기판위치 검출장치(30)에 의해, 클린 카세트(6)내에 수납되어 있는 유리기판(10)의 수납위치 정보를 취득할 수 있다. 즉, 양 덮개 단체 (23A,23B)가 퇴피 위치에서 대기하고 있을 때는, 한쪽의 덮개 단체(23A)가 구비하는 기판위치 검출장치(30)는 후퇴 위치 R에서 대기하고 있고, 이 양 덮개 단체 (23A,23B)를 구동수단(24)에 의해 닫힘 작용 위치에 닫힘이동 시키고, 승강 캐리지 (15)상의 정위치에 이재된 클린 카세트(6)의 이재 방향에 대해 후측에서 후방방향으로 개구하고 있는 기판 출입용 개구부(6a)를 양 덮개 단체(23A,23B)로 닫았다면, 후퇴 위치 R에서 대기하고 있는 기판위치 검출장치(30)를 전진 위치 F까지 이동시킨다. 이 결과, 기판위치 검출장치(30)의 각 센서(32)의 선단 감지부가, 클린 카세트(6)내의 각 단 기판 수납 구획내에 소요량 비집고 들어가, 각 센서(32)중, 기판 수납 구획에 수납되어 있는 유리기판(10)의 주변부 판면에 대면한 센서(32)만이 유리기판이 있는 ON신호를 출력하므로, 기판위치 검출장치(30)의 각 센서(32)의 ON/OFF 정보로부터, 이 클린 카세트(6)내에서의 유리기판(10)의 수납위치 정보(매핑 데이터)를 취득할 수 있다.
상기의 기판위치 검출장치(30)에 의한 클린 카세트(6)내의 유리기판(10)의 수납위치 정보의 취득은, 덮개(22)에 의해 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부 (6a)를 닫은 후, 기판위치 검출장치(30)가 후퇴 위치 R로부터 전진 위치 F로 전환이 끝난 직후에 행하여져, 필요한 정보의 취득이 완료되었다면, 즉시 기판위치 검출장치(30)를 전진 위치 F로부터 후퇴 위치 R로 되돌려 두는 것이 바람직하다. 취득된 유리기판(10)의 수납위치 정보는, 기판반출 작업부(8)에 이재된 클린 카세트 (6)내로부터 유리기판(10)을 1매씩 꺼내 처리장치(11)에 보내는 기판 취출용 로봇장치(12)에 전송된다. 한편, 카세트 이재수단(17)에 의해 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재되고 또한 덮개(22)에 의해 기판 출입용 개구부(6a)가 닫혀진 클린 카세트(6)는, 승강 캐리지(15)의 승강 운동과 카세트 반송장치(1)의 주행에 의해, 기판 반출 작업부(8)에 대한 이재 위치까지 반송된다. 이 때의 클린 카세트(6)가, 기판 반출 작업부(8)를 구비하는 랙(2A)과는 반대측의 랙(2B)으로부터 반출된 것일 때는, 그 기판 출입용 개구부(6a)의 개구 방향이 기판 반출 작업부(8)가 있는 측과는 반대측을 향하고 있으므로, 반송 도중 등에 턴테이블(16)을 180도 회전시켜, 상기 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 기판 반출 작업부(8)가 있는 측으로 전향시켜 둔다. 이때, 덮개(22) 및 그 개폐를 위한 구동수단(24)은 턴테이블 (16)에 설치되어 있으므로, 클린 카세트(6)와 그 기판 출입용 개구부(6a)를 닫고 있는 덮개(22)는, 일체로 180도 전향하게 된다.
카세트 반송장치(1)에 의해 클린 카세트(6)를 기판 반출 작업부(8)에 대한 이재 위치까지 반송했다면, 상기 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 닫고 있는 덮개(22)를 열림 이동시킨다. 즉, 구동수단(24)에 의해 닫힘 작용 위치에 있는 양 덮개 단체(23A,23B)를 구동수단(24)에 의해 열림 이동시키고, 카세트 이재 경로의 좌우 양측의 퇴피 위치에 이동시킨다. 이 때까지 기판위치 검출장치(30)는 후퇴 위치 R에 되돌려지고 있으므로, 덮개(22)의 열림 이동시에 기판위치 검출장치 (30)가 클린 카세트(6)와 간섭하는 일은 없다. 덮개(22)를 다 열었다면, 먼저 설명한 바와 같이 카세트 이재수단(17)의 카세트 이재용 지지대(20)의 출퇴운동과 승강 캐리지(15)의 단위량의 하강운동과의 조합으로 이루어지는 카세트 내림 동작을 행하게 하여, 승강 캐리지(15)상의 정위치에 지지되어 있던 클린 카세트(6)를 기판 반출 작업부(8)에 반출 이재하면 좋다. 이 다음은 종전과 같이, 기판 취출용 로봇장치(12)가 미리 주어진 기판 수납위치 정보(매핑 데이터)에 기초하여 자동 제어되어, 유리기판 반출 작업부(8)에 이재된 클린 카세트(6)내로부터 유리기판(10)이 1매씩 꺼내져 다음 단의 처리장치(11)로 보내진다.
처리장치(11)에서의 처리가 완료된 유리기판(10)은, 기판 수납용 로봇장치 (13)에 의해, 기판 반입 작업부(9)에서 대기하고 있는 클린 카세트(6)내에 자동적으로 수납된다. 상기 클린 카세트(6)내에 소정 매수의 유리기판(10)이 수납되었다면, 상기 클린 카세트(6)는, 카세트 반송장치(1)에 의해, 랙(2A,2B)이 비어 있는 카세트 수납 구획(7)내에 되돌려지거나 또는, 다른 반송 라인으로 보내진다.
다음에 본 발명의 제 2 실시예를 도 12 내지 도 14에 기초하여 설명하면, 이 실시예의 덮개(40)를 구성하는 좌우 한 쌍의 덮개 단체(41A,41B)는, 턴테이블(16)상에서 좌우 외측에 떨어진 위치에 수직 지지축(42a,42b)에 의해 일단이 자유롭게 수평 요동되도록 축지지된 좌우 한 쌍의 수평 요동 암(43a,43b)의 선단부에, 상기 덮개 단체(41A,41B)의 외단부 저면이 고착되는 것에 의해, 상기 수직 지지축(42a, 42b)의 주위에서 수평으로 개폐 운동할 수 있도록 지지되어 있다. 이 양 덮개 단체 (41A,41B)를 동시에 연동시켜 개폐 운동시키는 구동수단(44)은, 턴테이블(16)에 내장된 것으로, 상기 수직 지지축(42a,42b) 및 체인 전동 수단(45a,45b)을 사이에 두고 수평 요동 암(43a,43b) 각각과 연동하여 한편 서로 교합하는 한 쌍의 평치차 (46a,46b)와, 한쪽의 평치차(46a)에 교합하는 평치차(47)를 출력축에 구비한 모터 (48)로 구성되고, 이 모터(48)를 가동시키는 것에 의해 양 수평 요동 암(43a,43b)을 서로 연동시켜 소요 각도 범위 내에서 정역회전 구동할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 이 양 수평 요동 암(43a,43b)의 소요 각도 범위내에서의 정역회전에 의해, 이들 양 수평 요동 암(43a,43b)의 선단에 고착 지지된 좌우 한 쌍의 덮개 단체(41A,41B)가, 도 12 및 도 13에 도시하는 바와 같이, 카세트 이재수단(17)의 카세트 이재용 지지대(20)의 출퇴이동에 수반하는 카세트 이재 경로의 좌우 양 외측으로 열려 퇴피한 퇴피 위치와, 도 14에 도시하는 바와 같이, 양 덮개 단체 (41A,41B)가 상기 카세트 이재 경로를 횡단하는 방향으로 서로 인접하고, 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재된 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 닫는 닫힘 작용 위치와의 사이에 대칭적으로 동기하여 수평 요동 운동하게 된다.
이 제 2 실시예의 특징은, 수평 요동 암(43a,43b)의 회전 중심인 수직 지지축(42a,42b)의 위치를, 제 1 실시예에서의 수평 요동 암(26a,26b)의 회전 중심인 수직 지지축(25a,25b)의 위치보다, 카세트 이재 경로의 좌우 외측 가까이에서 또한 전방{카세트 이재용 지지대(20)의 진출 이동방향} 가까이로 바꾸는 것에 의해, 덮개 단체(41A,41B)를 구성하는 상하 양 수평판부(41b,41c)간의 수직판부(41a)의 전방으로의 내뻗음을 작게 할 수 있도록 한 점과, 한쪽의 덮개 단체(41A)의 내단부 내측에 기판위치 검출장치(30)를 위치 고정하여 설치할 수 있도록 한 점에 있다.
즉, 한쪽의 덮개 단체(41A)의 내단부 내측에 위치 고정해서 설치된 기판위치 검출장치(30)는, 닫힘 작용 위치로 전환된 양 덮개 단체(41A,41B)가 승강 캐리지 (15)상의 정위치에 이재된 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 닫고 있을 때, 기판 출입용 개구부(6a)내에 센서(32)의 선단 감지부가 비집고 들어가, 클린 카세트(6)내에 수납되어 있는 유리기판(10)의 주변부 판면을 검출할 수 있지만, 덮개 단체(41A,41B)를 닫힘 작용 위치로부터 카세트 이재 경로의 좌우 양측의 퇴피 위치로 전환할 때의 기판위치 검출장치(30)의 수직 지지축(42a,42b) 주위의 회동 궤적은, 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재된 클린 카세트(6)의 외측을 통과하여, 위치 고정되어 있는 기판위치 검출장치(30)가 클린 카세트(6)와 간섭하는 일은 없다. 또한, 카세트 이재 경로의 좌우 양측의 퇴피 위치로 전환된 양 덮개 단체 (41A,41B)는, 그 전체가 상기 카세트 이재 경로의 외측에서 또한 상기 카세트 이재 경로와 거의 평행한 방향에 있다.
다음에 본 발명의 제 3 실시예를 도 15 내지 도 17에 기초하여 설명하면, 이 실시예에서는, 클린 카세트(6)는, 도 1A에 도시하는 카세트 반송장치(1)의 주행 통로(3)를 향하여 기판 출입용 개구부(6a)가 개구하는 방향, 즉, 앞의 실시예와는 역방향에서 랙(2A,2B)의 카세트 수납 구획(7)에 수납된다. 따라서, 승강 캐리지(15)상의 카세트 이재수단(17)의 카세트 이재용 지지대(20)가 랙(2A,2B)의 카세트 수납 구획(7)으로부터 클린 카세트(6)를 반출하여 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이재할 때, 기판 출입용 개구부(6a)가 이동방향의 전단에 위치하는 방향에서 클린 카세트 (6)가 승강 캐리지(15)상으로 이동하므로, 이 클린 카세트(6)가 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이르렀을 때에, 그 기판 출입용 개구부(6a)를 닫는 위치에 덮개(49)가, 턴테이블(16)에 대해서 위치 고정 상태로 배치되어 있다.
즉, 턴테이블(16)상에 고정되어 있는 카세트 이재수단(17)의 고정 슬라이드 레일대(18)의 후단부{카세트 이재용 지지대(20)가 진출 이동하는 측과는 반대측}에 지지부재(50)를 사이에 두고 부착된 덮개(49)는, 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)의 전체를 닫을 수 있는 사이즈의 1매의 판 형상의 것으로서, 그 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 닫는 측에, 기판위치 검출장치(30)가 직접 고정되어 있다. 따라서, 카세트 이재용 지지대(20)에 지지되어 승강 캐리지(15)측으로 반송되는 클린 카세트(6)가 상기 승강 캐리지(15)상의 정위치에 이르렀을 때, 덮개(49)가 상기 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 닫는 동시에, 기판위치 검출장치(30)의 각 센서(32)가, 클린 카세트(6)내의 각 단 기판 수납 구획내에 비집고 들어가, 상기 기판 수납 구획내에 지지되어 있는 유리기판(10)의 주변부 판면을 검출할 수 있는 상태가 된다.
한편, 상기 각 실시예에 있어서, 기판위치 검출장치(30)의 센서(32)로서, 클린 카세트(6)내의 각 단 기판 수납 구획내에 지지되어 있는 유리기판(10)의 주변부의 수평인 판면에 상하방향으로부터 대면하고, 상기 유리기판(10)의 주변부 판면을 검출할 수 있는 센서(32)를 사용하고 있지만, 유리기판(10)의 둘레가장자리의 수직 단면을 검출하는 센서를 이용할 수도 있다. 이 경우는, 덮개(22,40,49)가 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)를 닫았을 때, 기판위치 검출장치(30)의 센서의 선단 감지부가 클린 카세트(6)내의 유리기판(10)의 주변부 판면과 겹쳐지는 위치까지 비집고 들어갈 필요가 없고, 센서의 능력에 따라서는, 클린 카세트(6)내에 비집고 들어가지 않는 위치로부터도, 내부의 유리기판(10)의 수납위치 정보를 취득하는 것이 가능하게 된다.
또한, 제 1 실시예 또는 제 2 실시예에 있어서, 카세트 이재수단(17)의 카세트 이재용 지지대(20)에 의해 클린 카세트(6)를 승강 캐리지(15)상의 정위치를 조금 지나친 퇴입 한도 위치까지 끌어 들여, 그 후, 카세트 이재용 지지대(20)의 전진 이동에 의해 클린 카세트(6)를 본래의 정위치까지, 기판 출입용 개구부(6a)가 이동방향의 전단에 위치하는 방향에서 이동시킬 수 있는 경우에는, 클린 카세트(6)를 상기 퇴입 한도 위치까지 끌어들인 상태에서, 덮개(22,40)를 닫힘 작용 위치까지 닫힘이동시켜, 이 후, 상기 퇴입 한도 위치의 클린 카세트(6)를 정위치까지 되돌리는 것에 의해, 닫힘 작용 위치에서 대기하고 있는 덮개(22,40)에 대해서 접근 이동하는 클린 카세트(6)의 기판 출입용 개구부(6a)가 상기 덮개(22,40)에 의해서 닫혀지도록 구성할 수 있다.
이 구성에 의하면, 덮개(22,40)의 개폐시에, 상기 덮개(22,40) 그 자체나 상기 덮개(22,40)에 부착되어 있는 기판위치 검출장치(30)가 클린 카세트(6)와 간섭하지 않도록 구성하는 것이 용이해지고, 또한, 덮개(22,40)에 대해서 기판위치 검출장치(30)를 이동시키지 않아도, 결과적으로 기판위치 검출장치(30)의 센서(32)의 선단 감지부를 클린 카세트(6)내에 필요 깊이까지 상대적으로 용이하게 비집고 들어가게 할 수 있다.
본 발명의 카세트 반송장치는, 텔레비전의 디스플레이에 사용되는 유리기판을 수납하는 클린 카세트를 보관용 랙으로부터 꺼내, 이 클린 카세트를, 처리장치에 유리기판을 보내기 위한 기판 반출 작업부에 반송하기 위한 카세트 반송장치, 특히 클린 카세트 안의 유리기판의 수납위치 정보를 반송중에 취득할 수 있는 카세트 반송장치로서 활용할 수 있다.
1 : 카세트 반송장치
2A, 2B : 랙
3 : 주행 통로
6 : 클린 카세트
6a : 기판 출입용 개구부
6b : 팬·필터·유닛(FFU)
7 : 카세트 수납 구획
8 : 기판 반출 작업부
9 : 기판 반입 작업부
10 : 유리기판
11 : 처리장치
12 : 기판 취출용 로봇장치
13 : 기판 수납용 로봇장치
15 : 승강 캐리지
16 : 턴테이블(카세트 이재용 지지대의 지지부)
17 : 카세트 이재수단
20 : 카세트 이재용 지지대
21 : 카세트 지지구
22,40,49 : 덮개
23A,23B,41A,41B : 덮개 단체
23a,41a : 수직판부
23b,23c,41b,41c : 상하 양 수평판부
24,44 : 구동수단
26a,26b,38,43a,43b : 수평 요동 암
29,36,39,48 : 모터
30 : 기판위치 검출장치
31 : 수직 지지지둥 부재
32 : 센서
33 : 슬라이드 가이드 레일
35 : 나사축

Claims (9)

  1. 짐 반입 반출용 스태커 크레인의 승강 캐리지상에, 상기 승강 캐리지상의 퇴입위치와 가로측방으로 진출한 진출 위치와의 사이에서 자유롭게 수평 출퇴 이동되는 카세트 이재용 지지대가 설치된 카세트 반송장치로서, 승강 캐리지상에서 카세트 이재용 지지대를 자유롭게 수평 출퇴 이동되도록 지지하는 지지부에, 상기 카세트 이재용 지지대상에 지지되어 승강 캐리지상의 정위치에 이재된 카세트의 기판 출입용 개구부를 닫는 덮개가 설치되어 있는, 카세트 반송장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 덮개에, 상기 덮개가 닫는 기판 출입용 개구부로부터 카세트 안의 기판의 수납위치를 검출하는 기판위치 검출장치가 설치되어 있는, 카세트 반송장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 카세트는, 카세트 이재용 지지대에 의해 승강 캐리지상을 향하여 이재될 때의 이동방향의 후단측에 기판 출입용 개구부를 구비하고, 상기 덮개는, 카세트 이재 경로의 외측의 퇴피 위치와, 카세트 이재 경로내의 닫힘 작용 위치와의 사이에서 자유롭게 이동되도록 구성되어 있는, 카세트 반송장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 덮개는, 카세트 이재 경로의 양측의 퇴피 위치와, 카세트 이재 경로내의 닫힘 작용 위치와의 사이에서 자유롭게 이동되는 좌우 한 쌍의 덮개 단체로 이루어지고, 닫힘 작용 위치에 있는 좌우 한 쌍의 덮개 단체가 서로 인접하여 카세트의 기판 출입용 개구부를 닫도록 구성되어 있는, 카세트 반송장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 좌우 한 쌍의 덮개 단체는, 상기 지지부상에 수직 지지축의 주위에 퇴피 위치와 닫힘 작용 위치와의 사이에서 자유롭게 수평 요동되도록 축지지되어, 닫힘 작용 위치로부터 퇴피 위치로 열어 이동한 각 덮개 단체가, 승강 캐리지상의 정위치에 이재된 카세트의 양측 상당 위치에 있도록 구성된, 카세트 반송장치.
  6. 제 2 항에 있어서, 기판위치 검출장치는, 상기 덮개가 퇴피 위치와 닫힘 작용 위치와의 사이를 이동할 때에 승강 캐리지상에 이재된 카세트와 간섭하지 않는 후퇴 위치와, 덮개가 닫힘 작용 위치에 있을 때에 카세트의 기판 출입용 개구부에 접근하거나 또는 그 중에 비집고 들어가는 전진 위치와의 사이에서 자유롭게 전진 후진되도록, 상기 덮개에 부착되어 있는, 카세트 반송장치.
  7. 제 2 항에 있어서, 기판위치 검출장치는, 상기 덮개가 퇴피 위치와 닫힘 작용 위치와의 사이를 이동할 때에 승강 캐리지상의 정위치에 이재된 카세트와 간섭하지 않는 위치에서 또한 덮개가 닫힘 작용 위치에 있을 때에는 카세트의 기판 출입용 개구부로부터 카세트 안의 기판을 검출할 수 있는 위치에서, 상기 덮개에 고정되어 있는, 카세트 반송장치.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 카세트는, 카세트 이재용 지지대에 의해 승강 캐리지상을 향하여 이재될 때의 이동방향의 전단측에 기판 출입용 개구부를 구비하고, 상기 덮개는, 승강 캐리지상에 이재될 때의 카세트의 기판 출입용 개구부에 대면하는 위치에 고정되어 있는, 카세트 반송장치.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 지지부는, 수직 축심의 주위에 자유롭게 회전되는 턴테이블로 구성되고, 이 턴테이블의 180도의 회전에 의해, 카세트 이재용 지지대를 이 카세트 반송장치의 주행 경로의 좌우 어느 쪽에 대해서도 수평 출퇴 이동시킬 수 있도록 구성된, 카세트 반송장치.
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