JP2007015799A - 無人搬送車 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走行機構を有する架台部10と、架台部上に回動可能に設置され、搬送物を収容する移載部20とを備え、搬送物の受け渡しに際して、移載部が回動される構造の無人搬送車1である。移載部20は、搬送物を外部から遮蔽するためのカバー22と、カバー内に清浄な空気を供給するためのファンフィルターユニット25とを備える。搬送物の受け渡しの際には、ファンフィルターユニットから搬送物に清浄な空気が吹き付けられる。
【選択図】図1
Description
例えば、ディスプレイ用のガラス基板や半導体ウエハなど、クリーンルーム内で取り扱う物品を積載して指定場所まで自動的に搬送する無人搬送車としては、例えば図4に示すような無人搬送車が知られている。この無人搬送車は、走行機構を有する側面視略L字形の架台部51と、搬送物を収容する移載部52とを備え、移載部52が架台部51のベースフレーム53上に回動可能に設置されている。移載部52には、搬送中に搬送物が汚染されるのを防止するためのカバー55が取り付けられる一方、架台部51の垂直フレーム54には、高性能フィルタとファンとを組み合わせたファンフィルターユニット(FFU)56が取り付けられ、搬送中、カバー55内には清浄な空気が供給されて、カバー55内の空間が所望の清浄状態に保たれるように構成されている。また、移載部52は、架台部51の垂直フレーム54側に搬送物の出入口を有し、搬送時には、この搬送物出入口が垂直フレーム54により閉塞される一方、搬送物の受け渡し時には、移載部52が回動することにより搬送物出入口が開放されるようになっている。
このため、搬送物の受け渡しの際には、搬送物の周囲に清浄な空気を供給することができず、移載部52の回転による周囲粉塵の巻き込みや、移載部機器の動作による発塵等により、搬送物が汚染される懸念があった。
この無人搬送車1は、クリーン環境での取り扱いが要求される物品(例えばディスプレイ用のガラス基板や半導体ウエハなど)を搬送するための無軌道式の自動搬送車であって、図1に示すように、走行機構を有する架台部10と、搬送物を収容する移載部20とにより概略構成されている。
可動テーブル21は、カバー22の一端が垂直フレーム12に当接する位置から所定距離離間する位置(回動したときに垂直フレーム12に衝突しない位置)まで、ベースフレーム11の長手方向に沿って進退自在に保持されるとともに、所定の角度範囲内(例えば、0度〜±90度の角度範囲内)で回動自在に保持されている。
そのため、従来のように受け渡し場所周辺の清浄度を厳密に制御する必要がなく、ライフサイクルコストの低減を図ることができる。
10 架台部
11 ベースフレーム
12 垂直フレーム
20 移載部
22 カバー
23 搬送物の出入口
25 ファンフィルターユニット
Claims (2)
- 走行機構を有する架台部と、上記架台部上に回動可能に設置され、搬送物を収容する移載部とを備え、搬送物の受け渡しに際して、上記移載部が回動される構造の無人搬送車であって、
上記移載部は、搬送物を外部から遮蔽するためのカバーと、上記カバー内に清浄な空気を供給するためのファンフィルターユニットとを備え、
上記ファンフィルターユニットは、搬送物の受け渡し中に、搬送物に対して清浄な空気を吹き付け可能な位置に配置されていることを特徴とする無人搬送車。 - 上記架台部は、上記移載部を搭載するベースフレームと、上記ベースフレーム上の一端に立設された垂直フレームとを有し、
上記移載部は、上記垂直フレーム側に搬送物の出入口を有し、この出入口は、搬送時には上記垂直フレームにより閉塞される一方、搬送物の受け渡し時には、上記移載部が回動することにより開放される構成とし、この出入口と相対する位置に上記ファンフィルターユニットが配置されていることを特徴とする請求項1に記載の無人搬送車。
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2005
- 2005-07-06 JP JP2005197429A patent/JP4829553B2/ja not_active Expired - Fee Related
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