JPH11301475A - 搬送車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送車において、扉体を駆動するときに摺動
する部分（発塵源）を荷の下方に位置させることによ
り、荷の汚染を極力防ぐ。 【解決手段】 搬送車１の本体９の左右両側に形成され
た開口２４を開閉する二枚のシャッタ２５は、支持腕２
６を介して移載装置２０の回動駆動機構部分に組付けら
れている。つまり、二枚のシャッタ２５は移載装置２０
の駆動機構を利用し、移載装置２０と一体に水平面内で
一軸回動するように設けられている。二枚のシャッタ２
５は、一軸回動することによって横方向に開閉する。ま
た、二枚のシャッタ２５を一軸回動させる駆動機構の全
てが、移載装置２０を構成するフォーク２１の上面、つ
まり収容室２３内の荷４の載置面より下方に配置されて
いる。本体９内に荷４の収容室２３の前側に配設された
ファンフィルタユニット２７からは荷４に対して清浄な
気流が吹き付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば工場内に荷
の搬送作業のために配備され、荷の収容室を清浄に保つ
ためのクリーンユニットと、収容室の荷を出し入れする
ための開口を開閉する扉体とを備えた搬送車に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体工場内におけるクリーンル
ームにおいてこの種の搬送車が使用されている。クリー
ンルーム全体の清浄度を非常に高くしようとすると膨大
なコストがかかるため、プロセスに関係ないところの清
浄度を落とすようにする場合がある。そのため、設備間
で荷を搬送するときに荷を清浄に保った状態で搬送する
ことのできる搬送車が求められている。

【０００３】この種の搬送車が、例えば実開昭６２−１
３２０１３号公報、実開平１−１３３０６７号公報、特
開平４−３３１６５８号公報および特開平７−１０１５
０３号公報に開示されている。搬送車の本体には、荷の
収容室と、収容室に清浄なエアを送り込むことにより荷
を外気に触れない状態に保つクリーンユニットが備えら
れている。搬送車の本体に設けられた開口を開放したま
ま走行するものと、開口を扉により閉じて走行するもの
との二種類が知られている。例えば実開昭６２−１３２
０１３号公報には、荷を出し入れするための開口を開閉
するドア装置を備えた搬送車が開示されている。

【０００４】すなわち、図６に示すように、搬送車８１
には荷収容空間（収容室）８２内に配備されたコンベア
装置８３上の荷８４とほぼ同じ高さに、荷８４を出し入
れするときに上下に開閉されるドア板８５を備えたドア
装置８６が設けられている。ドア板８５はモータ８７に
よって駆動されるとともに、荷収容空間８２内を上下方
向に延びた状態で掛装されたチェーン８８に連結されて
いた。荷の出し入れはコンベア装置８３および出退駆動
装置８９の駆動により行われる。荷収容空間８２の上部
に配設されたクリーンユニット９０から荷８４に対して
上方から気流が吹き付けられるようになっていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】各装置８３，８６，８
９を構成する、モータ８７等の駆動源、ベルトやプー
リ、チェーン８８等の伝動機構、さらにレールやローラ
等のガイド部材などの摺動部分は発塵源となる。コンベ
ア装置８３および出退駆動装置８９については、それら
の発塵源が、クリーンユニット９０からの気流に対して
荷８４の下流側に位置するので、荷の汚染の心配は比較
的少ない。

【０００６】しかし、ドア装置８６を構成するチェーン
８８や、ドア板８５を案内するガイド部材は、荷の収容
位置（載置面）より上方に位置するため、ドア板８５が
上下動するときのチェーン８８やガイド部材の摺動部分
での発塵により、荷が汚染される恐れがあるという問題
があった。クリーンユニットから荷に向かう気流が横方
向であってもこの問題は同様に起こることになる。

【０００７】また、ドア装置８６を設けることは、モー
タや伝動機構などの配設スペースの増大をもたらし、搬
送車の車体の小型化を図るうえで支障となっていた。ま
た、、荷８４を出し入れするためにドア板８５を開けた
とき荷収容空間８２からクリーンルーム内へ流れ出る気
流の吹き出し力が強いと、クリーンルーム内の層流を乱
し、その乱流によって舞い上がった塵埃によって荷８４
を汚染させる恐れもあった。

【０００８】本発明は前記課題を解決するためになされ
たものであって、その第１の目的は、扉体を駆動すると
きの発塵源を荷の下方に位置させることにより、荷の汚
染を極力防ぐことができる搬送車を提供することにあ
る。第２の目的は、扉体の駆動機構を元々あった装置と
共有化することにより、発塵源の低減および駆動機構の
配設スペースの低減を図ることにある。第３の目的は、
扉体を開いたときの気流の吹き出しによる乱流を抑え、
乱流により飛散する塵埃による荷の汚染を回避すること
にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るため請求項１に記載の発明では、荷を収容するための
収容室と、該収容室を清浄に保つためのクリーンユニッ
トとを本体に備える搬送車において、荷の出し入れをす
るために前記本体に設けられた開口に対し、扉体を一軸
回動により横方向に開閉させる一軸駆動機構を備えてい
る。

【００１０】第２の目的を達成するため請求項２に記載
の発明では、請求項１に記載の発明において、前記一軸
駆動機構は、前記収容室の荷を出し入れするために前記
本体内に配備された移載装置を回動させる回動機構であ
り、前記移載装置が荷の出し入れをする作業位置に配置
されたときに、前記扉体が前記開口を開放する位置に配
置されるように、前記扉体と前記移載装置が一体回動可
能に設けられている。

【００１１】請求項３に記載の発明では、請求項１又は
請求項２に記載の発明において、前記扉体は、前記本体
の両側に設けられた前記開口を開閉するために二つ設け
られ、該二つの扉体が前記一軸駆動機構により一軸で一
体回動されることをその要旨とする。

【００１２】請求項４に記載の発明では、請求項１〜請
求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記一軸
駆動機構は、前記収容室における荷の収容位置より下方
に配置されている。

【００１３】第３の目的を達成するため請求項５に記載
の発明では、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載
の発明において、前記クリーンユニットは、前記収容室
に気流を送り込むものであり、前記扉体にはそれが開い
たときに前記クリーンユニットからの気流を遮らないよ
うにする通気孔が形成されている。

【００１４】請求項６に記載の発明では、請求項１〜請
求項５のいずれか一項に記載の発明において、前記扉体
は、閉じた状態で前記本体の側面とほぼ面一に配置され
るとともに、前記開口の進行方向前後端部に相当する部
位において内方へ屈曲している。

【００１５】（作用）従って、請求項１に記載の発明に
よれば、扉体は、一軸駆動機構により一軸回動すること
により、開口を横方向に開閉する。扉体を水平面内で一
軸回動させられればよいので、一軸駆動機構を収容室内
における荷の収容位置より下方に配置することが可能と
なる。つまり、扉体を駆動するときの摺動部分など発塵
源の全てが荷の収容位置より下方に配置することが可能
になる。

【００１６】請求項２に記載の発明によれば、移載装置
が一軸駆動機構により回動することにより、扉体が移載
装置と一体回動する。移載装置が回動して荷の出し入れ
をする作業位置に配置されたとき、扉体が開かれる。移
載装置が作業を終えて作業位置から回動することによっ
て、扉体が閉じられる。移載装置を回動させる一軸駆動
機構を利用して扉体が開閉するので、扉体の開閉駆動機
構をそれ専用に設ける必要がなくなる。

【００１７】請求項３に記載の発明によれば、本体の両
側に設けられた二つの開口を開閉する二つの扉体は、一
軸駆動機構により一体回動する。二つの扉体が一軸駆動
機構を共有するので、二つの扉体を駆動するときの発塵
源をできるだけ減らすことが可能となる。

【００１８】請求項４に記載の発明によれば、一軸駆動
機構が収容室における荷の収容位置より下方に配置され
ることから、扉体を駆動するときの発塵源が荷の収容位
置より下方に配置される。従って、扉体を開閉するとき
の発塵による荷の汚染を極力小さく抑えられる。

【００１９】請求項５に記載の発明によれば、扉体が開
いたとき、クリーンユニットと収容室との間に扉体が位
置することになっても、クリーンユニットからの気流は
扉体に形成された通気孔を通って収容室へ流れる。従っ
て、クリーンユニットからの気流が扉体に遮られてその
表面を流れ、扉体を挟んで収容室との反対側にできた隙
間から勢いよく吹き出し、乱流を起こすことはなくな
る。よって、床面等の塵埃が扉体を開けたときに乱流に
よって舞い上がる心配がなくなる。

【００２０】請求項６に記載の発明によれば、搬送車が
走行するときに閉じられた扉体は、本体の側面とほぼ面
一に配置され、開口の進行方向前後端部に相当する部位
において内方へ屈曲した形状をとる。従って、搬送車が
走行するときに本体の側面を流れる比較的強い気流によ
って、外部のエアが扉体と開口との隙間から流入するこ
とが抑えられる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態を図１〜図５に基づいて説明する。本実施形態で
は、建物内のクリームルームの清浄度が場所によって異
なり、例えば搬送車１の走行経路のうちプロセスに直接
関係しないところで清浄度を低くし、プロセスのための
設備２（図４を参照）のあるところで清浄度を高くして
いる。但し、このような工場での使用に限定されるもの
ではない。

【００２２】図４に示すように、各設備２には、設備２
に搬入すべき荷や、設備２から搬出された荷を、一時仮
置きするための載置台３を備えたステーションＳＴ（図
４を参照）が設けられている。搬送車１は、設備２から
搬出された荷４をステーションＳＴで荷を受取り、次の
プロセスが行われる設備２まで走行してそのステーショ
ンＳＴに荷４を受け渡す。本実施形態では、搬送車１の
走行経路を挟んだ両側に設備２が設置され、搬送車１は
左右両側から荷の受取りおよび受渡しが可能となってい
る。本実施形態では、荷４は、多数枚の液晶ガラス基板
が収納された容器である。容器内で多数枚の液晶ガラス
基板は例えば水平に保持された状態で上下方向に配列さ
れる。

【００２３】図３，図４に示すように、クリーンルーム
の床（グレーチング床）５には、一対の走行用レール６
が床面下方の建屋梁上に取付けられた支持材７に支持さ
れた状態で埋設されている。床面下方には、１本のガイ
ドレール８が支持材７に支持された状態で一対の走行用
レール６の中間位置に配置されている。

【００２４】搬送車１の本体９にはその底部に前後一対
の走行装置１０が配設されている。走行装置１０のハウ
ジング１１は本体９に対して水平面内で回動可能に支持
され、その両側に左右一組の走行輪１２，１３を備え
る。一組のうち走行輪１２がモータ１４によって駆動さ
れる駆動輪で、走行輪１３が従動輪となっている。ハウ
ジング１１の中央下部から床面のスリットを通って下方
に延出する支持具１５には前後二組（計４個）の案内輪
１６が支持され、４個の案内輪１６はガイドレール８を
挟み込むようにこれに当接している。各走行装置１０の
４個ずつの案内輪１６がガイドレール８に沿って案内さ
れて、各走行装置１０が本体９に対して回動することに
より、搬送車１は操舵される。

【００２５】図４に示すように、ガイドレール８の下部
側面上には給電線１７が配線されている。図３，図４に
示すように、支持具１５には前後一対の受電ユニット１
８が、給電線１７と対向する姿勢に保持された状態で、
前後一対の走行装置１０と一体回動可能に支持されてい
る。本実施形態では、受電ユニット１８が給電線１７を
流れる高周波電流との電磁誘導作用によって非接触で電
力を得る受電方式を採用している。なお、給電線（トロ
リー線も含む）から受電する受電方式ではなく、例えば
軌道上の所定箇所に設置された充電器からバッテリを充
電する充電方式を採用することもできる。

【００２６】図１，図４に示すように、車体９の内部に
形成された室１９には、その前後方向（図１における左
右方向）中央位置下方に移載装置２０が装備されてい
る。移載装置２０は、荷４を出し入れするするためのフ
ォーク２１を上部に備え、フォーク２１の下側に配置さ
れたケーシング２２内にその駆動系の各種装置類が収容
される。室１９において、フォーク２１の上面に載置さ
れた荷４の収容空間が収容室２３となっている。移載装
置２０は水平面内で回動可能に配備されている。

【００２７】図１〜図４に示すように、本体９の左右両
側には、荷４を出し入れするときの搬送口となる二つの
開口２４が形成されている。本体９内には二つの開口２
４をそれぞれ開閉するための扉体としての二枚のシャッ
タ２５が設けられている。二枚のシャッタ２５は移載装
置２０を挟んで対向して配置され、支持腕２６によって
移載装置２０の回動駆動機構部分に組付けられ、移載装
置２０と一体に一軸回動可能となっている。シャッタ２
５は、閉じた状態において、その外側面（表面）が本体
９の側面と面一に配置されるとともに、開口２４の前後
方向両端部と相対する部位が内側へ屈曲するように形成
されている。これは、搬送車１の走行時に本体９の側面
を流れる比較的強い気流によって、シャッタ２５と開口
２４との隙間から外部のエアが収容室２３に流入するこ
とを抑えるためである。なお、シャッタ２５の回動駆動
機構の詳しい構造については後述する。

【００２８】二枚のシャッタ２５は、フォーク２１に対
してその延出方向（スライド方向）と直交する両側に位
置する。このため、移載装置２０が図１に示すようにフ
ォーク２１のスライド方向を前後方向（同図における左
右方向）に一致させる姿勢をとったときに、シャッタ２
５が閉じる。そして、移載装置２０が図２に示すように
フォーク２１のスライド方向を車幅方向（左右方向）
（同図における上下方向）に一致させる姿勢をとったと
き、つまりフォーク２１により荷４の出し入れをするた
めの作業位置に配置されたときに、シャッタ２５が開く
ようになっている。移載装置２０がいずれかの方向に９
０°回動するごとにシャッタ２５が開閉される。なお、
本実施形態では移載装置２０の回動範囲が１８０°に設
定されている。

【００２９】図１〜図３に示すように、本体９内には収
容室２３の前側（同図における左側）にクリーンユニッ
トとしてのファンフィルタユニット２７が配設されてい
る。ファンフィルタユニット２７は、吸気孔２８（図３
に示す）を通じて室１９内にエアを取込むためのファン
２９と、ファン２９によって取込んだエアを濾過するた
めのフィルタ３０とを備える。シャッタ２５が閉じた状
態ではファン２９による室１９内へのエアの取込みによ
って、収容室２３の圧力がクリーンルームの圧力に対し
て正圧に保たれる。本実施形態では、ファンフィルタユ
ニット２７からの気流をフォーク２１上の荷４に横方向
から当てることにより、容器内の多数枚の液晶ガラス基
板の間隙を気流が通り抜けるようにしている。

【００３０】図３，図４に示すように、二枚のシャッタ
２５には通気孔としての多数の小孔３１がほぼ全面に均
一に形成されている。そのため、図２に示すシャッタ２
５が開いた状態では、一方のシャッタ２５がファンフィ
ルタユニット２７と収容室２３との間に位置することに
なるが、ファンフィルタユニット２７からの気流は多数
の小孔３１を通り抜けて収容室２３へ流れるようになっ
ている。このため、ファンフィルタユニット２７からの
気流が、シャッタ２５の表面に沿って左右に流れ、シャ
ッタ２５と開口２４との狭い隙間から図２に鎖線で示す
ように比較的勢いよく吹き出すことが防止される。な
お、シャッタ２５が閉じた状態では、ファンフィルタユ
ニット２７により室１９内に取込まれたエアは、シャッ
タ２５と開口２４との隙間、および多数の小孔３１から
流出する。

【００３１】次に、移載装置２０の駆動機構について説
明する。図４に示すように、ケーシング２２内には昇降
用モータ３２、旋回用モータ３３およびフォークモータ
３４が配設されている。ケーシング２２に支持された昇
降用モータ３３は、ボールネジ装置３５を駆動させる。
ボールネジ装置３５の軸３６は支持板３７に固定されて
いる。支持板３７に支持された旋回用モータ３３はその
駆動軸にギヤ３８を嵌着し、ギヤ３８が、支持板３７に
対して相対回転可能に支持された円筒体３９に外嵌され
ているギヤ４０に噛合している。フォークモータ３４は
円筒体３９に収容された状態で、円筒体３９の上面に固
定されたベース板４１の下面に一体回転可能に組付けら
れている。

【００３２】フォーク２１は４段スライド式であって、
下から順番にベース板４１、セカンドフォーク４２、ミ
ドルフォーク４３、アッパフォーク４４の４枚を備え
る。これら４枚はリニアガイド（図示せず）によってそ
の長手方向にスライド可能に接続されている。フォーク
２１は、１段目のベース板４１が上述のように円筒体３
９の上面に固定されていることから、旋回用モータ３３
が駆動されることにより円筒体３９と一体に回動する。
載置台３に荷４を置くときの液晶ガラス基板のオリフラ
（オリエンテーションフラット）の向きが予め決められ
ているため、フォーク２１はこのオリフラの向きを合わ
せのために１８０°旋回が可能になっている。

【００３３】二枚のシャッタ２５の下端部に連結された
各支持腕２６は、ベース板４１の下面に固定されてい
る。そのため、二枚のシャッタ２５は、移載装置２０と
一軸で一体回動するとともに、フォーク２１と一緒に上
下動する。フォーク２１の上面より下方位置には、二枚
のシャッタ２５が予め決められた軌道上を回動するよう
にこれらを案内するガイド（図示せず）が配設されてい
る。本実施形態では、二枚のシャッタ２５を駆動するた
めの駆動系、すなわちその駆動源である旋回用モータ３
３、ギヤ３８，４０および円筒体３９等からなる伝動機
構、およびガイドの全てが、荷４の収容位置（フォーク
２１の載置面）より下方に配置されている。なお、支持
腕２６、旋回用モータ３３、ギヤ３８，４０、円筒体３
９およびガイドにより一軸駆動機構及び回動機構が構成
される。

【００３４】本実施形態では、フォーク２１は４枚のフ
ォーク板４１〜４４がラック・ピニオン構造により連結
されて構成されており、フォークモータ３４の駆動方向
の違いによって二方向どちらにもスライドして延出す
る。フォーク板４１〜４４の連結構造は次のようにな
る。

【００３５】図４，図５に示すように、フォークモータ
３４の駆動軸に連結されたピニオン４６はセカンドフォ
ーク４２に設けられたラック４７に噛合している。セカ
ンドフォーク４２に軸支された軸４８（図４にのみ図
示）の両端に固定された二つのピニオン４９，５０が、
ベース板４１とミドルフォーク４３のそれぞれに設けら
れたラック５１，５２と噛合している。また、ミドルフ
ォーク４３に軸支された軸５３（図４にのみ図示）の両
端に固定された二つのピニオン５４，５５が、セカンド
フォーク４２とアッパフォーク４４のそれぞれに設けら
れたラック５６，５７に噛合している。２本の軸４８，
５３は、それらが軸支されているセカンドフォーク４２
およびミドルフォーク４３に対し、それぞれ軸受（図示
せず）を介して相対回転可能に支持されている。フォー
ク２１はこのようなラック・ピニオン構造により連結さ
れているため、二方向どちらにもスライドして延出でき
るようになっている。

【００３６】図４に示すように、ケーシング２２の側面
には小型のファンフィルタユニット６０が配設されてい
る。ケーシング２２内にはファン６１の回転による吸引
力によってファンフィルタユニット６０に向かう気流が
発生し、ケーシング２２内の駆動部分での発塵はほぼ全
てフィルタ６２に集塵される。

【００３７】本体９には、図４に示すように床５の下面
側にセンサ６３が支持されるとともに、図３，図４に示
すようにその左右両側面に光通信器６４が配設されてい
る。搬送車１は、センサ６３が図４に示す被検知部６５
を検知した時に走行用モータ１４の駆動が停止されるこ
とにより、ステーションＳＴの前面に対向する停止位置
で停止する。ステーションＳＴの前面には、搬送車１側
の光通信器６４と相対する位置に光通信器６６が配設さ
れている。搬送車１は停止位置に停止した状態で、光通
信器６４，６６間における通信により、荷置きまたは荷
取りしてよいかの確認をとってからその作業に入る。な
お、ステーションＳＴに設けられた載置台３には、フォ
ーク２１の荷置き・荷取りをするときの移動経路を確保
するための凹部３ａが形成されている。

【００３８】本体９には図３に示すコントローラ６７が
配設されている。コントローラ６７はセンサ６３や光通
信器６４からの信号に基づいて、各モータ１４，３２〜
３４、ファンフィルタユニット２７，６０等を駆動制御
する。受電ユニット１８からの高周波電流はコントロー
ラ６７内の電源回路（図示せず）によって直流の所定電
圧に降圧された後、各モータ１４，３２〜３４やファン
フィルタユニット２７，６０等に駆動電力として供給さ
れる。なお、本体９の前後にはバンパ６８が設けられて
いる。

【００３９】次に、搬送車１の作用を説明する。搬送車
１の運転中、ファンフィルタユニット２７，６０が作動
される。荷４の搬送中は、シャッタ２５が閉じられ、フ
ァンフィルタユニット２７によって外部のエアが室１９
内に吸入される。このため、収容室２３内が正圧に保た
れる。ファンフィルタユニット２７からの気流は、荷４
に対して横方向から吹き付けられ、液晶ガラス基板の間
隙を通り抜けるように流れる。そして、ファンフィルタ
ユニット２７により収容室２３内に取込まれたエアはシ
ャッタ２５の開口２４との隙間およびそのほぼ全面に形
成された多数の小孔３１から流出する。このように搬送
中は収容室２３内が正圧に保持されるため、搬送車１が
清浄度の比較的低いところを走行しても、収容室２３内
の荷４は清浄に保たれる。

【００４０】また、搬送車１の走行中に閉じたシャッタ
２５は、その外側面（表面）が本体９の側面と面一に配
置されるとともに、その前後方向両端部が内側へ屈曲す
る形状をとる。シャッタ２５の進行方向前側端部が走行
中に本体９の側面を流れる気流の方向に逆らう向きに傾
斜しているので、その隙間から外部のエアが収容室２３
に流入することが抑えられる。また、シャッタ２５の進
行方向後側端部が内方へ傾斜することにより本体９の側
面にできた凹みによって走行中に本体９の側面を流れる
気流の流速が弱まるので、その隙間から外部のエアが収
容室２３に流入することが抑えられる。このため、走行
中に本体９の側面を強い気流が流れても、外部のエアが
収容室２３に流入することはない。

【００４１】搬送車１の走行時などシャッタ２５を閉じ
るとき、移載装置２０はフォーク２１のスライド方向を
前後方向に一致させる図１に示す姿勢に配置される。そ
して、シャッタ２５を開くとき、移載装置２０はフォー
ク２１のスライド方向を車幅方向（左右方向）に一致さ
せる図２に示す姿勢（作業位置）に配置される。このよ
うに二枚のシャッタ２５は、移載装置２０と一体に一軸
回動することで、横方向に開閉する構造なので、その駆
動に必要な駆動源である旋回用モータ３２、ギヤ３８，
４０および円筒体３９等の伝動機構、さらにシャッタ２
５を案内するガイドなど、シャッタ２５を駆動させると
きに発塵源となる恐れのある部分が全て荷４の収容位置
より下方に配置される。このため、シャッタ２５を設け
ても、フォーク２１上の荷４の汚染の心配がなくなる。

【００４２】また、シャッタ２５が開いたときに、前側
のシャッタ２５がファンフィルタユニット２７と収容室
２３との間に位置するが、ファンフィルタユニット２７
からの気流は、図２に実線で示すようにシャッタ２５に
形成された多数の小孔３１を通り抜けて収容室２３に流
れる。このため、ファンフィルタユニット２７からの気
流が、図２に鎖線で示すようにシャッタ２５に遮られて
シャッタ２５の両端部と開口２４との隙間から勢いよく
吹き出すことがない。従って、クリーンルーム内を上か
ら下に向かって流れている層流を乱すことがない。よっ
て、層流を乱したための乱流によって床面などから舞い
上がった塵埃によって荷４が汚染される心配がない。

【００４３】移載装置２０による荷取り・荷置き作業は
次のように行われる。まず荷取りのときは空荷であるた
め、フォーク２１は下降位置に配置されている。搬送車
１の停止後、旋回用モータ３２が駆動されることにより
移載装置２０が図１の姿勢から９０°回動する。その結
果、シャッタ２５が開く。次にフォークモータ３４が駆
動されることにより、フォーク２１が図４に示すように
延出する。次に昇降用モータ３２が駆動されることによ
りフォーク２１がリフトアップし、載置台３上の荷４が
アッパフォーク４４上にすくい取られる。そして、フォ
ークモータ３４が延出時と反対方向に駆動されることに
よりフォーク２１が収縮する。こうして荷４が収容室２
３に収納されると、旋回用モータ３３が駆動され、移載
装置２０が図２の作業位置から９０°回動し、シャッタ
２５が閉じられる。

【００４４】また、荷置きをするときは、荷４を載置し
たフォーク２１は上昇位置に配置されており、搬送車１
の停止後、荷取りのときと逆の経路でフォーク２１が駆
動されることにより、荷置きが行われる。コントローラ
６７は、荷取りしたときのフォーク２１の向きを記憶し
ており、次に荷置きをするときに荷４の中の液晶ガラス
基板のオリフラの向きを荷置き先の設備２に合った向き
とするように、シャッタ２５を開くときの移載装置２０
の回動方向を決めている。もちろん、このような制御を
荷取りした後にシャッタ２５を閉じるときの移送装置２
０の回動方向を選択することによって行なうこともでき
る。

【００４５】ケーシング２２内の駆動部分の発塵はファ
ンフィルタユニット６０のフィルタ６２に確実に集塵さ
れるため、ケーシング２２内の駆動部分の発塵が収容室
２３内の荷４を汚染する心配はない。

【００４６】以上詳述したように本実施形態によれば、
以下に示す効果が得られる。 （１）二枚のシャッタ２５を移載装置２０と一体に一軸
回動させることにより、横方向に開閉させる方式を採用
したので、シャッタ２５の駆動のために摺動する部分
（発塵源）の全てを荷４の収容位置より下方に配置する
ことができる。よって、シャッタ２５を設けたことが、
収容室２３の清浄度を落とす原因にならず、収容室２３
内での荷４の汚染を防ぐことができる。

【００４７】（２）二枚のシャッタ２５を移載装置２０
の回動駆動機構を利用して、移載装置２０と一体回動可
能に組付けたので、シャッタ２５の開閉のためのそれ専
用の駆動機構を設ける必要がなく、発塵源を増やさずに
済むうえ、駆動機構の配設スペースの省スペース化に寄
与でき、搬送車１の小型化を図り易い。また、コントロ
ーラ６７によるシャッタ２５の開閉制御と移載装置２０
の回動制御とが一つの制御で済むので、別々の制御であ
った従来装置に比べ、コントローラ６７の制御を簡素化
できる。

【００４８】（３）シャッタ２５が開いたときにファン
フィルタユニット２７からの気流を遮らないように、シ
ャッタ２５に多数の小孔３１を形成したので、シャッタ
２５が開いたときにクリーンルーム内の層流をさほど乱
さずに済み、荷４を出し入れするときに床面などの塵埃
が舞い上がることに起因する荷４の汚染を防ぐことがで
きる。

【００４９】（４）シャッタ２５の外側面（表面）を本
体９の側面と面一に配置するとともに、シャッタ２５の
前後両端部を内側へ屈曲させたので、搬送車１の走行中
に本体９の側面に比較的強い気流が流れても、シャッタ
２５の開口２４との隙間から外部のエアが収容室２３に
流入することを防ぐことができる。

【００５０】（５）移載装置２０の駆動部分をケーシン
グ２２内に収容するとともに、ケーシング２２内の発塵
を集塵するファンフィルタユニット６０を配設したの
で、移載装置２０の駆動部分での発塵による収容室２３
内の荷４の汚染を、より一層確実に防ぐことができる。

【００５１】なお、上記実施形態に限定されるものでは
なく、例えば次のような形態で実施することができる。 ○ クリームルーム内で使用される搬送車に限定されな
い。クリーンルーム以外で使用される搬送車にシャッタ
機構を適用することができる。荷にクリーン度が要求さ
れない使われ方をするものであっても、モータの配設数
を減らすことができる。そのため、前記実施形態で効果
（２）で述べたシャッタの駆動機構の配設スペースの省
スペース化の効果は同様に得られる。

【００５２】○ シャッタ２５を開閉するときの移載装
置２０の回動制御方法は前記実施形態に限定されない。
例えば液晶ガラス基板等の基板のオリフラの向きを合わ
せることをする必要がない構成であれば、移載装置２０
の回動範囲を９０°とすることができる。また、移載装
置２０の回動方向を正逆させてシャッタ２５を開閉する
のではなく、移載装置２０をオリフラの向きを合わせる
ための必要時を除いて一方向へ９０°ずつ回動させる制
御方法を採用することもできる。

【００５３】○ 扉体を一軸回動させるための専用の駆
動機構（駆動源も含む）を設けてもよい。また、移載装
置２０の回動駆動機構部分に一体回動可能に組付けるの
ではなく、移載装置２０の駆動源である旋回用モータ３
３や昇降用モータ３２の動力を利用するだけで、伝動機
構は扉体専用に備える構成であってもよい。また、扉体
を開閉するために利用する駆動源は、移載装置のものに
限定はされず、搬送車に備えられる他の装置のものだっ
ても構わない。

【００５４】○ 前記実施形態では、シャッタ２５に多
数の小孔３１を形成することにより、シャッタ２５を開
いたときの室１９からの気流の吹き出しを抑えるように
したが、シャッタ２５を開くときには、クリーンフィル
タユニット２７の作動を停止させる方法を採用してもよ
い。この構成によっても、シャッタ２５を開いたときに
乱流を引き起こす心配がないので、塵埃を舞い上げるこ
とによる荷４の汚染を防ぐことができる。

【００５５】○ 本体９の左右片側のみに開口２４が設
けられ、シャッタ２５が一枚だけの構成であってもよ
い。また、二つの開口を設ける場合、開口の位置は本体
９の前後左右４方向のうち左右両側以外の他の組合せを
採用することもできる。例えば、本体９に対して、前と
後、前と左、前と右、左と後、右と後のいずれかの組合
せで二つの開口を設け、その二つの開口を開閉させるよ
うに二枚のシャッタを設けるようにしてもよい。

【００５６】○ シャッタ２５を一軸回動させるための
駆動源はモータに限定されない。例えば油圧シリンダ、
空圧シリンダ、電動シリンダであってもよい。シリンダ
のリニアな動きを回転に変換する機構を設ければ、シャ
ッタ２５を回動させることはできる。

【００５７】○ ファンフィルタユニット２７を本体９
の収容室２３を挟む前後に一対配設してもよい。この場
合、例えば搬送車１の進行方向前側に位置するファンフ
ィルタユニット２７を収容室２３にエアを取込むための
吸引用とし、進行方向後側に位置するファンフィルタユ
ニット２７を収容室２３からエアを排気する排気用とす
るとよい。この構成によれば、搬送車１が走行するとき
に本体９の進行方向後側にできる低圧部分に引込まれて
一緒についてこようとするエアを、排気の吹き出しエア
により払い退けることができる。そのため、清浄度の相
対的に低いところのエアを清浄度の高い場所に運んでし
まうことによる設備付近の清浄度の低下を確実に防ぐこ
とができる。

【００５８】○ 前記実施形態では、ファンフィルタユ
ニット２７を収容室２３の荷４に横方向から気流を当て
られるように、収容室２３に対して横方向に配置した
が、ファンフィルタユニット２７を収容室２３に対して
上側に配設してもよい。例えば荷の中の基板がほぼ垂直
に立てられた状態で配列されている場合は、荷の上側か
ら気流を当てた方が望ましい。

【００５９】○ フォークがスライドにより一方向にし
か延出できない構造の移載装置を採用しても構わない。
この場合、収容室２３に仮置台を設けておき（例えば荷
の底面四隅に相当する箇所に四つ）、収容室２３内に荷
を載せたフォークが戻った後、フォークをリフトダウン
させて荷を仮置台に載せておく構成とすればよい。この
構成によれば、二方向どちらにもフォークが延出可能な
移載装置を使用しなくても、これと同様の作業をするこ
とができる。もちろん、前記実施形態のように二方向ど
ちらにもフォーク２１が延出可能な移載装置２０を採用
した構成において、収容室２３内で荷４を仮置きするた
めの仮置台を設けてもよい。

【００６０】次に、前記実施形態及び別例から把握でき
る請求項に記載した発明以外の技術的思想（発明）につ
いて、それらの効果と共に以下に記載する。 （１）請求項１〜請求項６のいずれか一項において、前
記クリーンユニットは、前記収容室に対して横方向、も
しくは上方のうちいずれか少なくとも一箇所に設けられ
ている。この構成によれば、クリーンユニットから収容
室内の荷に対し、横方向、または上から下へ向かう方向
の気流が流れ、荷の収容位置より下方に一軸駆動機構が
配置されることにより、扉体を駆動するための摺動部分
での発塵による荷の汚染をほぼ確実に防ぐことができ
る。

【００６１】（２）請求項１〜請求項６及び前記（１）
のいずれか一つにおいて、前記一軸駆動機構はケーシン
グ内に収容され、該ケーシング内の発塵を集塵する集塵
手段を備えている。この構成によれば、ケーシング内に
収容された一軸駆動機構における発塵は集塵手段により
集塵されるので、一軸駆動機構における発塵による荷の
汚染を一層確実に防ぐことができる。

【００６２】（３）請求項１〜請求項６のいずれか一項
において、前記クリーンユニットは、前記本体の進行方
向前後に少なくとも二つ設けられ、本体に対して進行方
向前側のものがエアを収容室内に取込むように作動され
るるとともに、進行方向後側のものが収容室内のエアを
排気するように作動される。この構成によれば、走行す
る搬送車の後側にできる低圧部分に引込まれて一緒につ
いてこようとするエアを、排気の吹き出しエアにより払
い退けることができる。そのため、清浄度の相対的に低
いところのエアを清浄度の高い場所に運んでしまうこと
を防止することができる。

【００６３】（４）請求項１〜請求項４及び請求項６及
び前記（２），（３）のいずれか一つにおいて、前記ク
リーンユニットは、前記扉体が開くときにその作動が停
止される。この構成によれば、扉体を開くときにクリー
ンユニットの作動が停止されるので、扉体を開いたとき
にクリーンルーム内の層流を乱して床面等の塵埃を舞い
上げる心配がない。

【００６４】（５）請求項１〜請求項６及び前記（１）
〜（４）のいずれか一つにおいて、前記搬送車はクリー
ンルーム用である。

【００６５】

【発明の効果】以上詳述したように請求項１に記載の発
明によれば、扉体を一軸回動により横方向に開閉させる
構造を採用したので、一軸駆動機構を荷の収容位置より
下方に配置でき、扉体の駆動のための発塵による荷の汚
染を極力防ぐことができる。

【００６６】請求項２に記載の発明によれば、移載装置
の一軸駆動機構を利用して扉体を開閉させるので、扉体
の開閉駆動機構をそれ専用に設ける必要がなく、発塵源
を増やさずに済むとともに、駆動源や伝動機構などの配
設スペースを小さく抑えて搬送車の小型化を図ることが
できる。

【００６７】請求項３に記載の発明によれば、二つの扉
体が一軸駆動機構を共有するので、二つの扉体を駆動す
るときの発塵源をできるだけ減らすことができる。請求
項４に記載の発明によれば、一軸駆動機構が荷の収容位
置より下方に配置されることで、扉体を駆動するときの
発塵源が荷の収容位置より下方に位置するので、扉体を
駆動するときの発塵による荷の汚染を極力小さく抑える
ことができる。

【００６８】請求項５に記載の発明によれば、扉体が開
いたときにクリーンユニットと収容室との間に位置して
も、クリーンユニットからの気流が扉体に遮られること
なく通気孔を通り抜けるので、扉体を開いたときに吹き
出す気流が招いた乱流が塵埃を飛散させることによる荷
の汚染を防ぐことができる。

【００６９】請求項６に記載の発明によれば、搬送車が
走行するときに閉じられた扉体が、本体の側面とほぼ面
一に配置されるとともに、開口の進行方向前後端部に相
当する部位において内方へ屈曲した形状をとるので、扉
体と開口との隙間からの外部のエアの流入を抑えること
ができ、搬送中における荷の汚染を一層確実に防ぐこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態における搬送車の平断面図。

【図２】同じくシャッタを開けた状態を示す平断面図。

【図３】同じく一部破断した側面図。

【図４】同じく正断面図。

【図５】移載装置の平面図。

【図６】従来技術における搬送車の正断面図。

【符号の説明】

１…搬送車、１ａ…車体、４…荷、９…本体、２０…移
載装置、２１…フォーク、２３…収容室、２４…開口、
２５…扉体としてのシャッタ、２６…一軸駆動機構及び
回動機構を構成する支持腕、２７…クリーンユニットと
してのファンフィルタユニット、３１…通気孔としての
小孔、３３…一軸駆動機構及び回動機構を構成する旋回
用モータ、３８，４０…一軸駆動機構及び回動機構を構
成するギヤ、３９…一軸駆動機構及び回動機構を構成す
る円筒体。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 荷を収容するための収容室と、該収容室
   を清浄に保つためのクリーンユニットとを本体に備える
   搬送車において、 荷の出し入れをするために前記本体に設けられた開口に
   対し、扉体を一軸回動により横方向に開閉させる一軸駆
   動機構を備えている搬送車。
2. 【請求項２】 前記一軸駆動機構は、前記収容室の荷を
   出し入れするために前記本体内に配備された移載装置を
   回動させる回動機構であり、前記移載装置が荷の出し入
   れをする作業位置に配置されたときに、前記扉体が前記
   開口を開放する位置に配置されるように、前記扉体と前
   記移載装置が一体回動可能に設けられている請求項１に
   記載の搬送車。
3. 【請求項３】 前記扉体は、前記本体の両側に設けられ
   た前記開口を開閉するために二つ設けられ、該二つの扉
   体が前記一軸駆動機構により一軸で一体回動される請求
   項１又は請求項２に記載の搬送車。
4. 【請求項４】 前記一軸駆動機構は、前記収容室におけ
   る荷の収容位置より下方に配置されている請求項１〜請
   求項３のいずれか一項に記載の搬送車。
5. 【請求項５】 前記クリーンユニットは、前記収容室に
   気流を送り込むものであり、前記扉体にはそれが開いた
   ときに前記クリーンユニットからの気流を遮らないよう
   にする通気孔が形成されている請求項１〜請求項４のい
   ずれか一項に記載の搬送車。
6. 【請求項６】 前記扉体は、閉じた状態で前記本体の側
   面とほぼ面一に配置されるとともに、前記開口の進行方
   向前後端部に相当する部位において内方へ屈曲している
   請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の搬送車。