JP2003174073A - クリーン搬送車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 カセット等の搬送物を収容するようにしたク
リーンボックス内のクリーン度を、常時、高レベルに保
持できるようにしたクリーン搬送車を提供すること。 【解決手段】 カセット等の搬送物１３の移載を行うた
めの開口部を一側面に形成し、搬送物１３を収容するよ
うにしたクリーンボックスを、開口部が台車前方向位置
と台車側方位置間で旋回可能となるように台車１上に配
設するとともに、クリーンボックスの開口部と対向する
位置に排気部２０を形成し、台車前方向位置にファンフ
ィルタユニット１９を配設する。クリーン搬送車が走行
する際は、ファンフィルタユニットにクリーンボックス
の開口部を向けて、ファンフィルタユニットから清浄な
空気をクリーンボックス内に吹き込むようにするととも
に、搬送物の移載を行う際は、台車側方のステーション
１８側に開口部を向けて、ステーション側から清浄な空
気をクリーンボックス内に吹き込む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーン搬送車に
関し、特に、カセット等の搬送物を収容するようにした
クリーンボックス内のクリーン度を常時高レベルに保持
できるようにしたクリーン搬送車に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、クリーンルーム内で使用されるカ
セット等の搬送物を収容するようにしたクリーンボック
スを備えたクリーン搬送車として、例えば、特開平１１
−３０１４７５号公報に示されるものがある。このクリ
ーン搬送車は、搬送時における搬送物の汚染を防止する
ために、搬送車内部で生じた発塵を車体下部に設けたフ
ァンフィルタユニットで補足し、清浄な空気を搬送車外
部へ排気するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
クリーンルーム内で使用されるクリーン搬送車は、移載
時には、停止したステーションの装置側から空気が搬送
車内に流入し搬送車が汚染されることがあった。また、
この従来のクリーン搬送車は、ファンフィルタユニット
が２個必要であり、これにより、フィルタの点検や定期
交換の維持費が増加するという問題があった。

【０００４】本発明は、上記従来のクリーンルーム内で
使用されるクリーン搬送車が有する問題点に鑑み、カセ
ット等の搬送物を収容するようにしたクリーンボックス
内のクリーン度を常時高レベルに保持できるようにした
クリーン搬送車を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１発明のクリーン搬送車は、カセット等の搬送
物の移載を行うための開口部を一側面に形成し、前記搬
送物を収容するようにしたクリーンボックスを、前記開
口部が台車前方向又は後方向位置と台車側方位置間で旋
回可能となるように台車上に配設するとともに、クリー
ンボックスの開口部と対向する位置に排気部を形成し、
台車の前又は後方向位置にファンフィルタユニットを配
設したことを特徴とする。

【０００６】このクリーン搬送車は、カセット等の搬送
物の移載を行うための開口部を一側面に形成し、前記搬
送物を収容するようにしたクリーンボックスを、前記開
口部が台車前方向又は後方向位置と台車側方位置間で旋
回可能となるように台車上に配設するとともに、クリー
ンボックスの開口部と対向する位置に排気部を形成し、
台車前方向又は後方向位置にファンフィルタユニットを
配設することから、クリーン搬送車が走行する際は、台
車の前又は後方向位置に配設したファンフィルタユニッ
トにクリーンボックスの開口部を向けて、ファンフィル
タユニットから清浄な空気をクリーンボックス内に吹き
込むようにするとともに、搬送物の移載を行う際は、台
車側方のステーション側に開口部を向けて、ステーショ
ン側から清浄な空気をクリーンボックス内に吹き込むこ
とができ、これにより、クリーンボックス内のクリーン
度を常時高レベルに保持することができる。

【０００７】この場合において、排気部を、クリーンボ
ックス内を流通した空気が整流板を介して台車の下方に
向けて排出されるように構成することができる。

【０００８】これにより、クリーンボックス内を流通し
た空気の逆流を確実に防止することができ、搬送物を収
容するようにしたクリーンボックス内のクリーン度を高
レベルに確実に保持することができる。

【０００９】また、本第２発明のクリーン搬送車は、カ
セット等の搬送物の移載を行うための開口部を一側面に
形成し、前記搬送物を収容するようにしたクリーンボッ
クスを、前記開口部が台車前方向又は後方向位置と台車
側方位置間で旋回可能となるように台車上に配設すると
ともに、クリーンボックスの開口部と対向する位置にフ
ァンフィルタユニットを配設し、開口部を排気部とした
ことを特徴とする。

【００１０】このクリーン搬送車は、カセット等の搬送
物の移載を行うための開口部を一側面に形成し、前記搬
送物を収容するようにしたクリーンボックスを、前記開
口部が台車前方向又は後方向位置と台車側方位置間で旋
回可能となるように台車上に配設するとともに、クリー
ンボックスの開口部と対向する位置にファンフィルタユ
ニットを配設し、開口部を排気部とすることから、クリ
ーン搬送車が走行する際は、クリーンボックスの開口部
を台車後方向に向けて、ファンフィルタユニットから清
浄な空気をクリーンボックス内に吹き込むようにすると
ともに、搬送物の移載を行う際は、台車側方のステーシ
ョン側に開口部を向けて、クリーンボックス内の清浄な
空気をステーション側に吹き込むことができ、これによ
り、クリーンボックス内のクリーン度を常時高レベルに
保持することができる。

【００１１】この場合において、クリーンボックスの天
井部に吸気部を形成することができる。

【００１２】これにより、クリーンボックス内を流通し
た空気の逆流を確実に防止することができ、搬送物を収
容するようにしたクリーンボックス内のクリーン度を高
レベルに確実に保持することができる。

【００１３】また、クリーンボックスを、台車上に配設
したカセット等の搬送物の移載装置と共に旋回するよう
に構成することができる。

【００１４】これにより、駆動機構を簡易に構成するこ
とができるとともに、クリーンボックスとカセット等の
搬送物の移載装置の同期を確実にとることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明のクリーン搬送車の
実施の形態を図面に基づいて説明する。

【００１６】図１〜図６に、本発明のクリーン搬送車の
第１実施例を示す。このクリーン搬送車Ａは、下部に配
設した車輪２により走行可能とした台車１と、この台車
１に旋回可能に配設したカセット等の搬送物１３の移載
装置Ａ１と、この移載装置Ａ１と共に旋回するように構
成したクリーンボックスＡ２とより構成する。

【００１７】台車１は、下部に走行用の車輪２を備え、
車輪２を台車１内に配設したモータ等の駆動装置（図示
省略）より走行可能とする。

【００１８】カセット等の搬送物１３の移載装置Ａ１
は、台車１の上部に旋回軸受け部７を介して旋回可能に
旋回フレーム３を支持し、この旋回フレーム３に取り付
けた旋回ギヤ６に、旋回モータ４に取り付けた旋回ピニ
オン５を噛合し、旋回モータ４の正逆選択駆動により、
旋回ピニオン５及び旋回ギヤ６を介して旋回フレーム３
を正方向又は逆方向に選択的に旋回するようにし、さら
にこの旋回フレーム３に昇降フレーム８を配設して構成
されている。

【００１９】旋回フレーム３に配設する昇降フレーム８
は、旋回フレーム３に対し昇降可能に支持され、昇降フ
レーム８の側面で、その高さ方向に沿って配設した昇降
ギヤ９に、旋回フレーム３に配設した昇降ピニオン１０
を噛合し、かつ昇降ピニオン１０を昇降モータ（図示省
略）の正逆選択駆動により、昇降フレーム８を旋回フレ
ーム３にて支持しつつ、上昇又は降下するように構成さ
れている。

【００２０】そして、昇降フレーム８の上部のクリーン
ボックスＡ２内となる位置に、移載手段Ｃを配設する。
この移載手段Ｃは、移載底板１２、移載中板１６及び移
載上板１７の３個の板状部材を重ねて互いにスライドし
て伸縮するように構成し、この移載手段Ｃが伸長したと
き、移載上板１７がクリーンボックスＡ２の側部外方位
置に突出するようになり、これにより、ステーション側
の装置１８とクリーン搬送車Ａ間で、カセット等の搬送
物１３の移載を行うことができるようにする。なお、カ
セット等の搬送物１３は、この伸縮する移載手段Ｃの移
載上板１７の上に載置される。

【００２１】この場合、旋回フレーム３の旋回可能な角
度は、特に限定されるものではないが、少なくとも、移
載装置Ａ１の移載手段Ｃが、クリーン搬送車Ａの走行方
向となる台車前方向位置を挟んで、カセット等の搬送物
１３の移載を行う台車両側方位置、すなわち、ステーシ
ョン側の装置１８に対向する位置間の１８０度の範囲と
なるように設定する。

【００２２】移載装置Ａ１の外側面には、台車１の外側
面を含めて、そのほぼ全面を覆うようなカバー１４を配
設するようにする。

【００２３】一方、クリーンボックスＡ２は、クリーン
ボックス本体１１の支持部１１ａを介して移載装置Ａ１
の旋回フレーム３上に載置することにより、移載装置Ａ
１の旋回フレーム３と共に旋回するように構成する。そ
して、クリーンボックスＡ２を構成するクリーンボック
ス本体１１は、内部にカセット１３を収納できるように
板材を屈曲して形成するとともに、カセット等の搬送物
１３の移載を行うための開口部１１ｂを一側面に形成す
るとともに、この開口部１１ｂと対向する位置に排気部
２０を形成するようにする。これにより、クリーンボッ
クス本体１１の開口部１１ｂを、クリーン搬送車Ａの走
行方向となる台車前方向位置と、カセット等の搬送物１
３の移載を行う台車両側方位置、すなわち、ステーショ
ン側の装置１８に対向する位置に、選択的に位置させる
ことができるようにする。

【００２４】また、排気部２０は、開口部１１ｂと対向
する背面板１１ｃの前面に所定の間隔をあけて、多数の
小孔を形成した整流板２１を配設するとともに、背面板
１１ｃと整流板２１の間に形成した空間を下方に向けて
開放して構成することにより、クリーンボックス本体１
１内を流通した空気が、整流板２１を介して台車１の下
方に向けて排出されるようにする。

【００２５】また、クリーン搬送車Ａの台車１には、台
車前方向位置で、クリーンボックス本体１１の開口部１
１ｂがクリーン搬送車Ａの走行方向となる台車前方向位
置にあるとき、この開口部１１ｂと対向するように、フ
ァンフィルタユニット１９を配設する。このファンフィ
ルタユニット１９は、特に限定されるものではないが、
例えば、ファンとＨＥＰＡフィルタでもって構成し、フ
ァンフィルタユニット１９から清浄な空気をクリーンボ
ックス本体１１内に吹き込むことができるようにする。

【００２６】次に、このクリーン搬送車Ａの動作につい
て説明する。このクリーン搬送車Ａは、クリーン搬送車
Ａが走行する際は、クリーンボックス本体１１の開口部
１１ｂを、台車前方向位置に配設したファンフィルタユ
ニット１９に向けるようにして、ファンフィルタユニッ
ト１９から清浄な空気をクリーンボックス本体１１の開
口部１１ｂを介してクリーンボックス本体１１内に吹き
込むようにする。一方、カセット等の搬送物１３の移載
を行う際は、クリーンボックス本体１１の開口部１１ｂ
を、カセット等の搬送物１３の移載を行う台車両側方位
置、すなわち、ステーション側の装置１８に対向する側
に向けて、ステーション側から清浄な空気をクリーンボ
ックス本体１１の開口部１１ｂを介してクリーンボック
ス本体１１内に吹き込むようにする。そして、いずれの
場合も、クリーンボックス本体１１内を流通した空気
が、整流板２１を介して、背面板１１ｃと整流板２１の
間に形成した空間に導入され、この空間を通って台車１
の下方に向けて排出されるようにする。

【００２７】さらに、図７〜図１１を参照して、本発明
のクリーン搬送車の第２実施例を説明する。このクリー
ン搬送車Ａは、下部に配設した車輪２により走行可能と
した台車１と、この台車１に旋回可能に配設したカセッ
ト等の搬送物１３の移載装置Ａ１と、この移載装置Ａ１
と共に旋回するように構成したクリーンボックス１１と
を備えており、クリーンボックス１１は、カセット等の
搬送物１３の移載を行うための開口部１１ｂが一側面に
形成されるとともに、台車１上に配設した移載装置Ａ１
と共に旋回するように構成されている。そして、このク
リーン搬送車Ａは、クリーンボックス１１の開口部１１
ｂと対向する位置にファンフィルタユニット１９が配設
され、このクリーンボックス１１の開口部１１ｂが排気
部とされるとともに、クリーンボックス１１の天井部に
吸気部１５が形成されている。

【００２８】台車１は、下部に走行用の車輪２を備え、
車輪２を台車１内に配設したモータ等の駆動装置（図示
省略）より走行可能とする。

【００２９】カセット等の搬送物１３の移載装置Ａ１
は、図９に示すように、台車１の上部に旋回軸受け部７
を介して昇降フレーム３を支持し、この旋回フレーム３
に取り付けた旋回ギヤ６に、旋回モータ４に取り付けた
旋回ピニオン５を噛合し、旋回モータ４の正逆選択駆動
により、旋回ピニオン５及び旋回ギヤ６を介して旋回フ
レーム３を正方向又は逆方向に選択的に旋回するように
し、さらにこの旋回フレーム３に昇降フレーム８を配設
して構成されている。

【００３０】旋回フレーム３に配設する昇降フレーム８
は、図９に示すように、旋回フレーム３に対し昇降可能
に支持され、昇降フレーム８の側面で、その高さ方向に
沿って配設したリニアガイド８ａによって上下方向に移
動可能とする。昇降フレーム８は、図示しないボールス
クリューあるいはラック・ピニオンにより昇降モータに
よって駆動する。

【００３１】移載装置Ａ１は、図９に示すように、昇降
フレーム８の上に配設されたクリーンボックス１１の内
となる位置に配設されている。この移載装置Ａ１は、移
載底板１２、移載中板１６及び移載上板１７の３個の板
状部材を重ねて互いにスライドして伸縮するように構成
し、この移載装置Ａ１が伸長駆動したときに、移載上板
１７がクリーンボックス１１の側部外方位置に突出する
ようになり、これにより、ステーション側の製造装置１
８とクリーン搬送車間で、カセット等の搬送物１３の移
載を行うことができる。また、移載装置Ａ１の外側面に
は、台車１の外側面を含めて、そのほぼ全面を覆うよう
なカバー１４が配設されている。なお、カセット等の搬
送物１３は、この伸縮する移載装置Ａ１の移載上板１７
の上に載置される。

【００３２】この場合、旋回フレーム３の旋回可能な角
度は、特に限定されるものではないが、少なくとも、移
載装置Ａ１が、クリーン搬送車の走行方向となる台車前
方向位置を挟んで、カセット等の搬送物１３の移載を行
う台車両側方位置、すなわち、ステーション側の装置１
８に対向する位置間の１８０度の範囲となるように設定
する。

【００３３】一方、クリーンボックスＡ１は、クリーン
ボックス本体１１の支持部１１ａを介して移載装置Ａ１
の昇降フレーム８上に載置することにより、昇降フレー
ム８と共に旋回するように構成されている。

【００３４】そして、クリーンボックスＡ１を構成する
クリーンボックス本体１１は、内部にカセット等の搬送
物１３を収納できるように板材を屈曲して形成されると
ともに、搬送物１３の移載を行うための開口部１１ｂが
一側面に形成され、この開口部１１ｂと対向する位置に
ファンフィルタユニット１９が設置されている。

【００３５】ファンフィルタユニット１９は、クリーン
ボックス１１の旋回中に搬送車の車体１との干渉を最小
にするために、円弧状（かまぼこ状）の断面形状とし、
搬送物１３の側面にフィルタの濾紙２３を設置しいて
る。そして、クリーンボックス１１の天井部に吸引ファ
ン２２を設置し、搬送車上部からクリーンルーム内の空
気を吸引し、濾紙２３で空気を濾過して、清浄な空気を
搬送物１３の側面から開口部１１ｂに向けて流す。

【００３６】これにより、クリーンボックス本体１１の
開口部１１ｂを、クリーン搬送車の走行方向となる台車
前方向位置と、カセット等の搬送物１３の移載を行う台
車両側方位置、すなわち、ステーション側の製造装置１
８に対向する位置に、選択的に移動できるようにする。

【００３７】また、クリーン搬送車からの排気について
は、開口部１２と対向する台車の車体部に所定の間隔を
あけて、多数の小孔を形成した通気部を形成する。これ
により、吸引ファン２２から吸引した空気は、図７に示
すように、クリーン搬送車が進行方向に走行する際に
は、クリーンボックス１１を通過し、車体の通気口２
４、２５を通って車体後部から整流して排気される。

【００３８】図１０（ａ）は、クリーン搬送車の移載中
の空気の流れを示し、吸引ファン２２から吸引された空
気は、濾紙２３で濾過された後、搬送物１３の周囲を通
過して開口部１１ｂから排気される。また、図１０
（ｂ）は、クリーン搬送車の走行中の気流を示し、吸引
ファン２２から吸引された空気は、濾紙２３で濾過され
た後、搬送物１３の周囲を通過して車体の通気口２４、
２５を介して車体後部から排気される。

【００３９】かくして、本実施例のクリーン搬送車は、
開口部１１ｂを一側面に形成し搬送物１３を収容するよ
うにしたクリーンボックス１１を、前記開口部１１ｂが
台車の後方向位置と側方位置間で旋回可能となるように
台車上に配設するとともに、クリーンボックス１１にフ
ァンフィルタユニット１９を配設することから、クリー
ン搬送車が走行する際は、ファンフィルタユニット１９
から清浄な空気をクリーンボックス１１内に吹き込むよ
うにして、開口部１１ｂから台車後方に排気するととも
に、搬送物１３の移載を行う際は、開口部１１ｂを台車
側方のステーション側に向けて、ステーション側に清浄
な空気をクリーンボックス内から吹き出すことができ
る。これにより、クリーンボックス下部の旋回装置や昇
降装置等の発塵源とクリーンボックスを分離して搬送物
を収容することができ、さらに、車体の上部から吸引す
ることにより、搬送車の走行による発塵からも吸気部を
隔離することができ、クリーンボックス内のクリーン度
を、常時、高レベルに保持することができる。また、従
来のように、ファンフィルタユニットを台車に固定的に
設置した場合は、移載のためにクリーンボックスを旋回
させたときに、ファンフィルタユニットの濾過された空
気の流れがクリーンボックスで遮られることになり、空
気の乱流によりクリーンボックス下部の移載装置Ａ１で
発生する発塵が舞い上がりやすくなる。このため、従来
のクリーン搬送車では、発塵の舞い上がりを防止するた
めに強制的に車体下部に気流を流す排気ファンが別途必
要となるが、本実施例のクリーン搬送車のように、ファ
ンフィルタユニット１９をクリーンボックス１１と共に
旋回させることにより、このような排気ファンを省略す
ることができる。

【００４０】以上、本発明のクリーン搬送車について、
その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例
に記載した構成に限定されるものではなく、例えば、第
１実施例のクリーン搬送車では、ファンフィルタユニッ
ト１９を台車後方向位置に配設し、クリーン搬送車Ａが
走行する際に、クリーンボックス本体１１の開口部１１
ｂを、この台車後方向位置に配設したファンフィルタユ
ニット１９に向けるようにする等、その趣旨を逸脱しな
い範囲において適宜その構成を変更することができる。
また、第２実施例のクリーン搬送車では、例えば、図１
１に示すように、車体後部の車体の一部を省略し、クリ
ーンボックスから直接排気することで、車体構造を簡略
化し、軽量化することもできる。車体後部の通気孔は、
搬送車が複数車線で走行し、停車中の搬送車の横を隣接
する車線の搬送車が追い越しをする場合、追い越しする
搬送車の風圧で気流がクリーンボックスに逆流すること
を防止する効果があるが、追い越しのない単車線の運行
では図１１に示す構成は有効である。

【００４１】

【発明の効果】本第１発明のクリーン搬送車によれば、
カセット等の搬送物の移載を行うための開口部を一側面
に形成し、前記搬送物を収容するようにしたクリーンボ
ックスを、前記開口部が台車前方向又は後方向位置と台
車側方位置間で旋回可能となるように台車上に配設する
とともに、クリーンボックスの開口部と対向する位置に
排気部を形成し、台車前方向又は後方向位置にファンフ
ィルタユニットを配設することから、クリーン搬送車が
走行する際は、台車の前又は後方向位置に配設したファ
ンフィルタユニットにクリーンボックスの開口部を向け
て、ファンフィルタユニットから清浄な空気をクリーン
ボックス内に吹き込むようにするとともに、搬送物の移
載を行う際は、台車側方のステーション側に開口部を向
けて、ステーション側から清浄な空気をクリーンボック
ス内に吹き込むことができ、これにより、クリーンボッ
クス内のクリーン度を常時高レベルに保持することがで
きる。

【００４２】この場合、排気部を、クリーンボックス内
を流通した空気が整流板を介して台車の下方に向けて排
出されるように構成することにより、クリーンボックス
内を流通した空気の逆流を確実に防止することができ、
搬送物を収容するようにしたクリーンボックス内のクリ
ーン度を高レベルに確実に保持することができる。

【００４３】また、本第２発明のクリーン搬送車によれ
ば、カセット等の搬送物の移載を行うための開口部を一
側面に形成し、前記搬送物を収容するようにしたクリー
ンボックスを、前記開口部が台車前方向又は後方向位置
と台車側方位置間で旋回可能となるように台車上に配設
するとともに、クリーンボックスの開口部と対向する位
置にファンフィルタユニットを配設し、開口部を排気部
とすることから、クリーン搬送車が走行する際は、クリ
ーンボックスの開口部を台車後方向に向けて、ファンフ
ィルタユニットから清浄な空気をクリーンボックス内に
吹き込むようにするとともに、搬送物の移載を行う際
は、台車側方のステーション側に開口部を向けて、クリ
ーンボックス内の清浄な空気をステーション側に吹き込
むことができ、これにより、クリーンボックス内のクリ
ーン度を常時高レベルに保持することができる。

【００４４】この場合、クリーンボックスの天井部に吸
気部を形成することにより、クリーンボックス内を流通
した空気の逆流を確実に防止することができ、搬送物を
収容するようにしたクリーンボックス内のクリーン度を
高レベルに確実に保持することができる。

【００４５】さらに、クリーンボックスを、台車上に配
設したカセット等の搬送物の移載装置と共に旋回するよ
うに構成することにより、駆動機構を簡易に構成するこ
とができるとともに、クリーンボックスとカセット等の
搬送物の移載装置の同期を確実にとることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクリーン搬送車の第１実施例を示す正
面断面図である。

【図２】同カセット移載時の状態を示す正面断面図であ
る。

【図３】同クリーンボックスを示す外観斜視図である。

【図４】同クリーン搬送車の側面図である。

【図５】同クリーン搬送車の走行時の空気の流れを示す
平面図である。

【図６】同クリーン搬送車の搬送物の移載時の空気の流
れを示す平面図である。

【図７】本発明のクリーン搬送車の第２実施例を示す側
面図である。

【図８】同クリーンボックスを示す外観斜視図である。

【図９】同カセット移載時の状態を示す正面断面図であ
る。

【図１０】同クリーン搬送車を示し、（ａ）は走行時の
気流の流れを示す平面断面図、（ｂ）は移載時の気流の
流れを示す平面断面図である。

【図１１】車体後部を省略した走行中のクリーン搬送車
を示す側面図である。

【符号の説明】

Ａ クリーン搬送車 Ａ１ 移載装置 Ａ２ クリーンボックス Ｃ 移載手段 １ 台車 ２ 車輪 ３ 旋回フレーム ４ 旋回モータ ５ 旋回ピニオン ６ 旋回ギヤ ７ 旋回軸受け部 ８ 昇降フレーム ９ 昇降ギヤ １０ 昇降ピニオン １１ クリーンボックス本体 １１ａ 支持部 １１ｂ 開口部 １１ｃ 背面板 １３ 搬送物（カセット） １４ カバー １５ 吸気部 １８ ステーション側の製造装置 １９ ファンフィルタユニット ２０ 排気部 ２１ 整流板 ２２ 吸引ファン ２３ 濾紙 ２４ 車体内側の通気口 ２５ 車体外側の通気口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｌ Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｃ (72)発明者 荒居 康正 兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 橋本 敏浩 兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 杉山 徳治 兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 飯沼 肇 兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 山本 治正 兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 島川 直樹 兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 遠藤 嘉也 兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立 機電工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3D050 AA11 BB04 BB22 BB30 DD01 EE08 EE15 KK14 3F022 AA08 BB09 CC02 EE05 JJ11 KK02 KK05 LL12 3L058 BF08 5F031 DA01 FA03 FA15 GA49 GA58 LA12 LA14 NA02 NA16

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセット等の搬送物の移載を行うための
   開口部を一側面に形成し、前記搬送物を収容するように
   したクリーンボックスを、前記開口部が台車前方向又は
   後方向位置と台車側方位置間で旋回可能となるように台
   車上に配設するとともに、クリーンボックスの開口部と
   対向する位置に排気部を形成し、台車の前又は後方向位
   置にファンフィルタユニットを配設したことを特徴とす
   るクリーン搬送車。
2. 【請求項２】 排気部を、クリーンボックス内を流通し
   た空気が整流板を介して台車の下方に向けて排出される
   ように構成したことを特徴とする請求項１記載のクリー
   ン搬送車。
3. 【請求項３】 カセット等の搬送物の移載を行うための
   開口部を一側面に形成し、前記搬送物を収容するように
   したクリーンボックスを、前記開口部が台車前方向又は
   後方向位置と台車側方位置間で旋回可能となるように台
   車上に配設するとともに、クリーンボックスの開口部と
   対向する位置にファンフィルタユニットを配設し、開口
   部を排気部としたことを特徴とするクリーン搬送車。
4. 【請求項４】 クリーンボックスの天井部に吸気部を形
   成したことを特徴とする請求項３記載のクリーン搬送
   車。
5. 【請求項５】 クリーンボックスを、台車上に配設した
   カセット等の搬送物の移載装置と共に旋回するようにし
   たことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のクリ
   ーン搬送車。